JP2013162076A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、半導体基板10と、ゲート電極20と、第1半導体層25aおよび第2半導体層25bと、を具備する。前記半導体基板は、基板部8と、前記基板部上の第1フィン部9aおよび前記第1フィン部に隣接する第2フィン部9bとを有する。前記ゲート電極は、チャネル領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部の側面上および上面上の一部に絶縁層を介して連接して形成される。前記第1半導体層および前記第2半導体層は、ソース/ドレイン領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部のそれぞれの側面上および上面上の一部に形成される。前記第1フィン部の上面の高さは、前記第2フィン部の上面の高さよりも高い。
【選択図】 図2
Description
図1乃至図10を用いて、本実施形態に係る半導体装置(Fin−FET)について説明する。本実施形態は、隣接するFin−FET1a(または1c)およびFin−FET1bにおいて、フィン部9a(または9c)とフィン部9bとの高さを変える例である。これにより、フィン部9a(または9c)のソース/ドレイン領域にSEG法により形成される半導体層25a(または25c)と、フィン部9bのソース/ドレイン領域にSEG法により形成される半導体層25bとのショートを防ぐことができる。以下に、本実施形態について、詳説する。
まず、図1乃至図3を用いて、本実施形態に係る半導体装置の構造について説明する。 図1は、本実施形態に係る半導体装置の構造を示す斜視図である。また、図2(a)は本実施形態に係る半導体装置の構造を示す平面図であり、図2(b)は図2(a)のB−B線に沿った断面図であり、図2(c)は図2(a)のC−C線に沿った断面図であり、図2(d)は図2(a)のD−D線に沿った断面図である。
次に、図4乃至図10を用いて、本実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。また、図4(a)乃至図10(a)は本実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す平面図であり、図4(b)乃至図10(b)は図4(a)乃至図10(a)のB−B線に沿った断面図であり、図4(c)乃至図10(c)は図4(a)乃至図10(a)のC−C線に沿った断面図であり、図4(d)乃至図10(d)は図4(a)乃至図10(a)のD−D線に沿った断面図である。
上記実施形態によれば、隣接するFin−FET1a(または1c)およびFin−FET1a1bにおいて、フィン部9a(または9c)の高さとフィン部9bの高さとが異なる。すなわち、ソース/ドレイン領域において、SEG法により形成されるフィン部9a(または9c)上の半導体層25a(または25c)の高さと、フィン部9b上の半導体層25bの高さとをずらすことができる。これにより、隣接する半導体層25a(または25c)と半導体層25bとの接触、すなわち、ショートを防ぐことができる。したがって、セルサイズの微細化を図りつつ、Fin−FET1の高性能化を図ることが可能になる。
図11乃至図13を用いて、本実施形態に係るFin−FET1の適用例について説明する。ここでは、Fin−FET1をMRAM(Magnetic Random Access Memory)に適用する例について説明する。
Claims (5)
- 基板部と、前記基板部上の第1フィン部および前記第1フィン部に隣接する第2フィン部とを有する半導体基板と、
チャネル領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部の側面上および上面上の一部に絶縁層を介して連接して形成されたゲート電極と、
ソース/ドレイン領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部のそれぞれの側面上および上面上の一部に形成された第1半導体層および第2半導体層と、
を具備し、
前記第1フィン部の上面の高さは、前記第2フィン部の上面の高さよりも高いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1半導体層の最下面は、前記第2半導体層の最上面よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1フィン部と前記第2フィン部との間の距離は、前記第1フィン部の側面上に形成された前記第1半導体層および前記第2フィン部の側面上に形成された前記第2半導体層の積算膜厚よりも大きいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1フィン部および前記第2フィン部の側面および上面の面方位は、(100)であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 半導体基板に、基板部と、前記基板部上の第1フィン部および前記第1フィン部に隣接する第2フィン部とを形成する工程と、
前記第2フィン部をエッチングすることにより、前記第2フィン部の上面を前記第1フィン部の上面よりも低くする工程と、
チャネル領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部の側面上および上面上の一部に絶縁層を介してゲート電極を形成する工程と、
SEG法により、ソース/ドレイン領域における前記第1フィン部および前記第2フィン部のそれぞれの側面上および上面上の一部に第1半導体層および第2半導体層を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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