JP2013161282A - 導電性フィルムロールの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の製造方法は、フィルム基材の初期ロールを巻き戻しながら、フィルム基材の一方の側に、第1透明導電体層と第1銅層とをスパッタ法により順次積層し、得られた第1積層体をロール状に巻き取って第1ロールとする第1工程と、該第1ロールを大気中で30時間以上保管して、第1銅層の表面に、酸化銅(I)を含有する酸化皮膜層を形成する第2工程と、第1ロールを巻き戻しながら、フィルム基材の他方の側に、第2透明導電体層と第2銅層とをスパッタ法により順次積層し、得られた第2積層体をロール状に巻き取って第2ロールとする第3工程を含む。
【選択図】図1
Description
先ず、本発明に用いられる第1工程は、フィルム基材の初期ロールを巻き戻しながら、フィルム基材の一方の側に、第1透明導電体層と第1銅層とを例えば1×10−5Pa〜1Paの低圧気体中でスパッタ法により順次積層し、得られた第1積層体をロール状に巻き取って第1ロールとする工程である(ステップS11)。このような工程によれば、第1透明導電体層と第1銅層とを順次積層することによって、各層の密着性を向上させ、さらに層間に混入する異物を減少させることができる。
本発明に用いられる第2工程は、上記第1積層体を巻回した第1ロールを大気中(例えば、88000Pa〜105000Pa、10〜50℃)で30時間以上保管して、第1銅層の表面に、酸化銅(I)を含有する酸化皮膜層を形成する工程である(ステップS12)。
本発明に用いられる第3工程は、第1ロールを巻き戻しながら、フィルム基材の他方の側に、第2透明導電体層と第2銅層とを例えば1×10−5Pa〜1Paの低圧気体中でスパッタ法により順次積層し、得られた第2積層体をロール状に巻き取って第2ロールとする工程である(ステップS13)。本第3工程を実行する際には、例えば、図1のスパッタ装置において、第1ロールを保持部11にセットし、フィルム基材の他方の側に、第2透明導電体層と第2銅層とを連続的に積層し、得られた積層体を保持部17で巻き取って第2ロールとする。
本発明の製造方法により得られる導電性フィルムロール(conductive film roll)は、長尺状の導電性フィルムを巻き回すことで構成されている。
厚み100μm、長さ1000m、酸素透過率3900ml/m2・day・MPaのポリシクロオレフィンフィルム(日本ゼオン社製 商品名「ZEONOR」(登録商標)からなるフィルム基材の初期ロールをスパッタ装置内に入れた。このスパッタ装置のチャンバ内にアルゴンガスを封入し、0.4Paの低圧環境に調整した。上記初期ロールを巻き戻しながら、フィルム基材の一方の側に、厚み20nmのインジウムスズ酸化物層からなる第1透明導電体層と、厚み50nmの第1銅層とをスパッタ法により順次積層した。得られた第1積層体は、ロール状に巻き取って第1ロールとした。
第2ロールの保管時間を36時間としたこと以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
第1ロールの保管時間を24時間としたこと以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
第2ロールの保管時間を3時間としたこと以外は、実施例1と同様の方法で導電性フィルムロールを作製した。
X線光電子分光(X-ray Photoelectron Spectroscopy)分析装置(PHI社製 製品名「QuanteraSXM」)を用いて、酸化皮膜層の厚みと、酸化皮膜層に含有される酸化銅(I)の重量%とを測定した。
導電性フィルムロールから導電性フィルムを巻き戻して、ロール表面を観察することにより確認した。
透明導電体層及び銅層の厚みは、透過型電子顕微鏡(日立製作所製 H−7650)により断面観察して測定した。また、フィルム基材の厚みは、膜厚計(Peacock社製 デジタルダイアルゲージDG−205)を用いて測定した。
10 チャンバ
11 保持部
12 ガイドロール
13 成膜ロール
14 ターゲット材
15 ターゲット材
16 ガイドロール
17 保持部
18,19 処理室
20 初期ロール
21 ロール
30 導電性フィルムロール
31 導電性フィルム
32 フィルム基材
33 透明導電体層
34 銅層
35 透明導電体層
36 銅層
37 酸化皮膜層
Claims (5)
- フィルム基材の一方の側に、第1透明導電体層と第1銅層とをスパッタ法により順次積層し、得られた第1積層体をロール状に巻き取って第1ロールとする第1工程と、
前記第1ロールを大気中で30時間以上保管して、前記第1銅層の表面に、酸化銅(I)を含有する酸化皮膜層を形成する第2工程と、
前記第2ロールを巻き戻しながら、前記フィルム基材の他方の側に、第2透明導電体層と第2銅層とをスパッタ法により順次積層し、得られた第2積層体をロール状に巻き取って第2ロールとする第3工程とを含む、
ことを特徴とする、導電性フィルムロールの製造方法。 - 前記第2工程において、前記第1ロールを大気中で36時間〜180時間保管することを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルムロールの製造方法。
- 前記第2工程において、厚み1nm〜15nmの酸化皮膜層が形成されることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルムロールの製造方法。
- 前記酸化皮膜層は、酸化銅(I)を50重量%以上含有することを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルムロールの製造方法。
- 前記酸化皮膜層は、銅、酸化銅(I)、酸化銅(II)、炭酸銅及び水酸化銅を含む組成物からなることを特徴とする、請求項1記載の導電性フィルムロールの製造方法。
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