JP2013155715A - クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプ100は、ハウジング102と、クライオポンプ100を制御する電装制御部112と、外部のパージ用ガス源とハウジング102の内部との間の流路上に設けられたパージバルブ104と、外部のポンプとハウジング102の内部との間の流路上に設けられたラフバルブ106と、ハウジング102の内部と外部との間の流路上に設けられたベントバルブ108と、ハウジング102の内部の圧力を測定するためのピラニゲージ110と、を備える。電装制御部112は、パージバルブ104、ラフバルブ106、ベントバルブ108およびピラニゲージ110のそれぞれと配線で接続される。各配線には部材側のコネクタと電装制御部側のコネクタとが設けられている。部材側のコネクタは電装制御部側のコネクタと着脱可能に構成される。
【選択図】図1
Description
なお、クライオパネルを含むハウジング102内部の構成はよく知られたものが採用されてもよく、例えば特許文献1にその一例が記載されているので、ここでは詳述しない。
クライオポンプ100の作動に際しては、まずその作動前にラフバルブ106を通じてラフポンプでハウジング102の内部を動作開始圧力程度まで粗引きする。圧力はピラニゲージ110により測定される。その後クライオポンプ100を作動させる。電装制御部112による制御のもとで、冷凍機122の駆動により冷却ステージ(不図示)が冷却され、これらに熱的に接続されているバッフル128やクライオパネルも冷却される。
なお、クライオポンプ100の製造元のフィールドエンジニアがユーザサイトにおいて上記修理方法を実行してもよい。
Claims (5)
- クライオポンプのハウジングと、
クライオポンプを制御する電装制御部と、
外部のパージ用ガス源と前記ハウジングの内部との間の流路上に設けられたパージバルブと、
外部のポンプと前記ハウジングの内部との間の流路上に設けられたラフバルブと、
前記ハウジングの内部と外部との間の流路上に設けられたベントバルブと、
前記ハウジングの内部の圧力を測定するための圧力計と、を備え、
前記電装制御部は、前記パージバルブ、前記ラフバルブ、前記ベントバルブおよび前記圧力計のうちの少なくともひとつの部材と配線で接続され、
前記配線には前記部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとが設けられており、
前記部材側のコネクタは前記電装制御部側のコネクタと着脱可能に構成されることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとの結合が解除されたとき、前記部材は前記部材側のコネクタが前記部材に付随した状態で取り外し可能であることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記圧力計はピラニゲージであり、
前記電装制御部は前記ピラニゲージと前記配線で接続されることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - 請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプの故障を診断するステップと、
前記部材の故障が発見された場合、前記部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとの結合を解除するステップと、
前記部材側のコネクタが付随する前記部材を前記クライオポンプから取り外すステップと、
前記部材に対応する新たな部材を前記クライオポンプに取り付けるステップと、
前記新たな部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとを接続するステップと、を含むことを特徴とするクライオポンプの修理方法。 - クライオポンプを制御する電装制御部と、
前記電装制御部と配線で接続された部材と、を備え、
前記配線には前記部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとが設けられており、
前記部材側のコネクタは前記電装制御部側のコネクタと着脱可能に構成され、
前記部材側のコネクタと前記電装制御部側のコネクタとの結合が解除されたとき、前記部材は前記部材側のコネクタが前記部材に付随した状態で取り外し可能であることを特徴とするクライオポンプ。
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