JP2013152930A - 電界放出源の放出パラメータの決定 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】引出し電圧による電流の変化を測定することによって、エミッタの状態を決定できる。異なる条件で放出された荷電粒子の比較的に単純な一連の測定によって、フィールド・ファクタβ関数を決定する。次いで、そのβ関数を使用して、放出の導出特性を決定することができる。それらの特性は、先行技術において、源を集束カラムから取り外し、専用の装置に取り付けることなしには決定することが困難であったものである。それらの関係は源構成によって決まり、エミッタ形状からは独立していることが分かった。そのため、エミッタの形状が時間の経過とともに変化するときにも、エミッタの形状を決定する必要なしに、また、β関数と比較的に単純な一連の測定との間の関係およびと他β関数の放出パラメータとの間の関係を再定義する必要なしに、放出特性を決定することができる。
【選択図】図2A
Description
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Bahr他、J.Appl.Phys.110(2011年)054322
704 電界放出電子源
706 真空室
708 角強度測定装置
710 電子カラム
712 2次粒子検出器
714 試料
716 ステージ
720 絞り
722 ファラデー・カップ
722 ディスプレイ
726 コントローラ
728 プロセッサ
730 記憶装置
Claims (27)
- 電界電子源の放出特性を決定する方法であって、
異なる複数の引出し電圧を使用して前記電界電子源から電子を逐次的に引き出すステップと、
前記複数の引出し電圧における電子電流を測定して、角強度I’と前記引出し電圧との間の関係を決定するステップと、
前記関係およびビーム・ジオメトリから、仕事関数およびフィールド・ファクタβを決定するステップであり、前記フィールド・ファクタβが、放出面における加えられた電界と前記引出し電圧との比に対応するステップと、
前記角強度および前記ビーム・ジオメトリから放出電流密度Jを決定するステップであり、Jが、エミッタの表面の位置で定義されるステップと、
前記フィールド・ファクタ、前記引出し電圧、前記仕事関数および源温度から固有放出エネルギー幅を決定するステップと、
前記ビーム・ジオメトリ、源温度および前記引出し電圧から固有仮想源サイズdv(int)を決定するステップと、
前記固有放出エネルギー幅および前記角強度から、補正された放出エネルギー幅を決定するステップと、
前記放出電流密度から、補正された仮想源サイズdvを決定するステップと、
前記角強度、前記補正された仮想源サイズおよび前記引出し電圧からビーム輝度を決定するステップと
を含む方法。 - ビーム輝度を決定するステップが、換算ビーム輝度を決定するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数の引出し電圧における電子電流を測定して、角強度I’と前記引出し電圧との間の関係を決定するステップが、既知の直径を有する絞りを通してファラデー・カップ内へ電子ビームを導くステップを含む、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記フィールド・ファクタβが、AにKBを乗じた積の形の関数として決定され、Kが比I’/Jの平方根であり、AおよびBが、源構成によって決定され、エミッタの状態から比較的に独立している、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記補正された仮想源サイズdvを決定するステップが、前記補正された仮想源サイズdvを、(DJ+1)に前記固有仮想源サイズdv(int)を乗じた積の形の関数として決定するステップを含み、Dが定数、Jが前記放出電流密度であり、dv(int)が、既知の式CK(kT/Vext)1/2によって見出され、Cが定数、Kが比I’/Jの平方根、kがボルツマン定数、Tがエミッタの温度、Vextが前記引出し電圧である、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記補正された仮想源サイズdvを決定するステップが、前記補正された仮想源サイズdvを、dv=(dv(int)2+dv(tra)2)1/2の形の関数として決定するステップを含み、dv(int)が前記固有仮想源サイズ、dv(tra)が、ビーム中のクーロン相互作用に起因する軌道欠陥を補正する仮想源サイズ・ブローデニング項であり、dv(tra)が、前記フィールド・ファクタβおよび前記放出電流密度の関数である、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記電流密度にKの2乗を乗じた積として前記角強度を計算するステップと、前記計算された角強度を前記測定された角強度と比較するステップとをさらに含む、請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 前記計算された角強度が前記測定された角強度から5%を超えて変化している場合に前記フィールド・ファクタを再計算するステップをさらに含む、請求項7に記載の方法。
- 源の放出特性に基づいて集束カラムの光学要素を調整するステップをさらに含む、請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 光学要素を調整するステップが、前記引出し電圧、サプレッサ電圧またはエミッタ温度を調整するステップを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記計算された放出エネルギー幅、前記計算された輝度または前記導き出された仮想源サイズに基づいてエミッタを外すステップをさらに含む、請求項1から10のいずれかに記載の方法。
- 電子ビーム・システム内で電界放出を使用する電子源の特性を、ビーム特性の測定値から決定する方法であって、
前記電界放出電子源に印加する引出し電圧を変化させ、異なる引出し電圧における前記放出の1つまたは複数の特性を測定するステップと、
前記引出し電圧と前記測定特性のうちの1つまたは複数の特性との間の関係を決定するステップと、
前記関係から、加えられた電界と前記引出し電圧との比に対応するフィールド・ファクタβを計算するステップであり、この計算が、AKXの形の式を含み、AおよびXが源ジオメトリの関数であり、エミッタの先端の状態から独立しているステップと、
前記フィールド・ファクタから、前記源の少なくとも1つの追加の導出特性を決定するステップと
を含む方法。 - 前記電子ビーム・システムの所望の動作特性を維持するために、前記源の前記追加の導出特性のうちの1つの特性の値に応じて前記電子ビーム・システムを変更するステップをさらに含む、請求項12に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの追加の導出特性が、ビーム内のクーロン相互作用に関して補正されている、請求項12または請求項13に記載の方法。
- 前記フィールド・ファクタから、少なくとも1つの追加の導出特性を決定するステップが、ビーム輝度、仮想源サイズまたは放出エネルギー幅を決定するステップを含む、請求項12から14のいずれかに記載の方法。
- 前記引出し電圧と前記測定特性のうちの1つまたは複数の特性との間の関係を決定するステップが、角強度と引出し電圧の間の関係を決定するステップを含む、請求項12から15のいずれかに記載の方法。
- 前記フィールド・ファクタから、前記源の少なくとも1つの追加の導出特性を決定するステップが、源ジオメトリの関数である因子であり、エミッタの状態から独立した因子を含む関係を使用して、固有仮想源サイズdv(int)を決定するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記固有仮想源サイズと、放出電流密度に第2の因子を乗じた積とから、クーロン相互作用に関して補正された仮想源サイズを決定するステップをさらに含み、前記第2の因子が、源ジオメトリの関数であり、エミッタの状態から独立している、請求項17に記載の方法。
- 前記フィールド・ファクタから、少なくとも1つの追加の導出特性を決定するステップが、放出エネルギー幅を決定するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 放出エネルギー幅を決定するステップが、補正されてない放出エネルギー幅と、補正因子とから、クーロン相互作用に関して補正された放出エネルギー幅を決定するステップを含み、前記補正因子が、源ジオメトリの関数である因子であり、エミッタの状態から独立している因子を前記角強度に乗じた積を含む、請求項19に記載の方法。
- 前記補正因子がI’のべき級数を含み、前記べき級数の係数が、源ジオメトリの関数であり、エミッタの状態から独立している、請求項20に記載の方法。
- 放出エネルギー幅を決定するステップが、補正されてない放出エネルギー幅と、補正因子とから、クーロン相互作用に関して補正された放出エネルギー幅を決定するステップを含み、前記補正因子が、放出電流密度と前記フィールド・ファクタのべき乗との積を含む、請求項19に記載の方法。
- 前記フィールド・ファクタから、少なくとも1つの追加の導出特性を決定するステップが、前記角強度、前記仮想源サイズおよび前記引出し電圧から、または温度および放出電流密度から、換算ビーム輝度を決定するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 換算ビーム輝度を決定するステップが、クーロン相互作用に関して補正された換算ビーム輝度を決定するステップを含む、請求項23に記載の方法。
- 前記補正された換算ビーム輝度が、補正されてない換算ビーム輝度の多項展開である、請求項24に記載の方法。
- 電界放出電子源と、
電子ビームの角強度を決定する測定装置と、
プロセッサと
を備え、前記プロセッサが、
放出面における加えられた電界と引出し電圧との比に対応するフィールド・ファクタβを決定し、
前記フィールド・ファクタ、前記引出し電圧、仕事関数および源温度から固有放出エネルギー幅を決定し、
ビーム・ジオメトリ、前記源温度および前記引出し電圧から固有仮想源サイズdv(int)を決定し、
前記固有放出エネルギー幅および前記角強度から、補正された放出エネルギー幅を決定し、
電流密度から、補正された仮想源サイズdvを決定し、
前記角強度、前記補正された仮想源サイズおよび前記引出し電圧からビーム輝度を決定する
電子ビーム装置。 - 放出面における加えられた電界と引出し電圧との比に対応するフィールド・ファクタβを決定し、
角強度と放出面における電流密度との比に対応する源領域レンズ因子を決定し、
前記フィールド・ファクタ、引出し電圧、仕事関数および源温度から固有放出エネルギー幅を決定し、
前記源領域レンズ因子、前記源温度および前記引出し電圧から固有仮想源サイズdv(int)を決定し、
前記固有エネルギー幅および前記角強度から、補正された放出エネルギー幅を決定し、
電流密度から、補正された仮想源サイズdvを決定し、
前記角強度、前記補正された仮想源サイズおよび前記引出し電圧からビーム輝度を決定する
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