JP2013151070A - 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】別途駆動源を設ける必要がなく、簡単に圧力室内の液体を攪拌することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル29に連通する圧力室23に液体を充填し、当該圧力室23内の液体に圧力変動を付与することによりノズル29から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド2であって、圧力室23の底部は、底部材17、および、該底部材の圧力室23側の面に積層された可撓性を有する振動板16により構成され、底部材17における圧力室23に対応する部分に、圧力室23とは反対側に窪んだ空部30が形成され、振動板16は、空部30の開口部を圧力室23側から被覆し、空部30と圧力室23を連通させる穴27が形成された。
【選択図】図3
【解決手段】ノズル29に連通する圧力室23に液体を充填し、当該圧力室23内の液体に圧力変動を付与することによりノズル29から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド2であって、圧力室23の底部は、底部材17、および、該底部材の圧力室23側の面に積層された可撓性を有する振動板16により構成され、底部材17における圧力室23に対応する部分に、圧力室23とは反対側に窪んだ空部30が形成され、振動板16は、空部30の開口部を圧力室23側から被覆し、空部30と圧力室23を連通させる穴27が形成された。
【選択図】図3
Description
本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射ヘッド、および、その液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置に関し、特に、顔料等の固形分を含む液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関するものである。
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
上記のような液体噴射ヘッドに用いられる液体の中には、溶媒中に粒子(固形分)を含有したものがある。例えば、色素として顔料を用い、この顔料をインク溶媒内に分散させた顔料分散系のインク(以下、顔料インクという)がある。この顔料インクは、長期間に亘って放置されると顔料が沈降(沈殿)してしまうという問題を有している。特に金属系の顔料は沈降しやすい。そして、顔料が沈降すると、吐出した液滴内の顔料濃度がばらつく虞があるだけでなく、ノズルを目詰まりさせる虞がある。
このような問題を解決すべく、記録ヘッド内に循環流路を設け、圧力室内のインクを循環させたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。これにより、沈降した顔料を攪拌することが出来る。
しかしながら、上記のような記録ヘッドでは記録ヘッド内に循環流路を設けているため、構造が複雑であった。また、インクを循環させる駆動源を別途用意する必要があった。このため、記録ヘッドの製造の観点からコストアップや装置の大型化につながっていた。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、別途駆動源を設ける必要がなく、簡単に圧力室内の液体を攪拌することができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通する圧力室に液体を充填し、当該圧力室内の液体に圧力変動を付与することにより前記ノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室の底部は、底部材、および、該底部材の圧力室側の面に積層された可撓性を有する振動板により構成され、
前記底部材における前記圧力室に対応する部分に、前記圧力室とは反対側に窪んだ空部が形成され、
前記振動板は、前記空部の開口部を圧力室側から被覆し、
前記空部と前記圧力室を連通させる穴が形成されたことを特徴とする。
前記圧力室の底部は、底部材、および、該底部材の圧力室側の面に積層された可撓性を有する振動板により構成され、
前記底部材における前記圧力室に対応する部分に、前記圧力室とは反対側に窪んだ空部が形成され、
前記振動板は、前記空部の開口部を圧力室側から被覆し、
前記空部と前記圧力室を連通させる穴が形成されたことを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドによれば、圧力室内の液体の圧力変動により、底部の振動板が変動すると共に、振動板の穴を介して空部と圧力室との間で液体が移動するため、圧力室内の液体を攪拌することができ、別途駆動源を設けることなく顔料等の沈降を防止することができる。また、顔料等が底部に沈降していた場合でも、沈降した顔料等を攪拌することができる。
上記構成において、前記液体は、成分の一部として固形分を含み、
前記穴の開口径が前記固形分の大きさよりも小さく設定されたことが望ましい。
前記穴の開口径が前記固形分の大きさよりも小さく設定されたことが望ましい。
この構成によれば、空部内に顔料等が沈降することを防止できる。
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置1(以下、プリンター)を例に挙げて説明する。
図1はプリンター1の構成を示す斜視図である。このプリンター1は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド2(以下、記録ヘッド)が取り付けられると共に、内部に液体状のインクを貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるキャリッジ4を備えている。このキャリッジ4の後部には、キャリッジ4を記録紙5(記録媒体および着弾対象の一種)の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構6を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド2の下方には、間隔を空けてプラテン7を備えている。このプラテン7上には、プリンター1の後方に備えた搬送機構8によって、記録紙5が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構6の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ4の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー10によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス(位置情報の一種)をプリンター1の制御部に送信する。
また、キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ4の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド2のノズル面(ノズルプレート:図3参照)を封止するキャッピング部材11と、ノズル面を払拭するためのワイパー部材12とが配置されている。そして、プリンター1は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ4が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ4が戻る復動時との双方向で記録紙5上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
次に記録ヘッド2について説明する。
図2は、本実施形態の記録ヘッド2の構成を示す分解斜視図であり、図3(a)は、記録ヘッド2の要部断面図、図3(b)は、A−A線断面図である。本実施形態における記録ヘッド2は、流路形成基板15、下側振動板16、ノズルプレート17、上側振動板18、圧電素子20、及び、保護基板21等を積層して構成されている。
図2は、本実施形態の記録ヘッド2の構成を示す分解斜視図であり、図3(a)は、記録ヘッド2の要部断面図、図3(b)は、A−A線断面図である。本実施形態における記録ヘッド2は、流路形成基板15、下側振動板16、ノズルプレート17、上側振動板18、圧電素子20、及び、保護基板21等を積層して構成されている。
流路形成基板15は、本実施形態ではシリコン単結晶基板からなり、複数の圧力室23がその幅方向(ノズル列方向)に並設されている。各圧力室23は、板厚方向に貫通したノズル列に直交する方向に長尺な空部である。この圧力室23の上部は上側振動板18によって封止される一方、圧力室23の下部(底部)は、下側振動板16を介在させた状態でノズルプレート17によって封止される(何れも後述する。)。そして、この圧力室23の容積は、後述する圧電素子20の駆動により上側振動板18が変形することで増減される。
また、流路形成基板15の圧力室23の長手方向外側の領域には連通部24が形成されている。この連通部24は、圧力室23毎に設けられたインク供給路25を介して各圧力室23と連通されている。インク供給路25は、圧力室23よりも狭い幅で形成されており、連通部24から圧力室23に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、連通部24は、後述する保護基板21の共通室36と連通して各圧力室23の共通のインク室となるリザーバー26の一部を構成する。
流路形成基板15の下側には、圧力室23の底部を構成する下側振動板16(本発明における振動板に相当)、および、ノズルプレート17(本発明における底部材に相当)が、この順に積層されて接合されている。下側振動板16は、可撓性を有する薄手のシート材(膜材)であり、本実施形態では、例えば、厚さが約1.0μmの二酸化シリコン(SiO2)により形成されている。この下側振動板16は、ノズルプレート17の圧力室23側の全面に積層され、ノズルプレート17の空部30(後述)の開口部を圧力室23側から封止(被覆)している。なお、下側振動板16の形成範囲に関し、ノズルプレート17の全面には限られず、ノズルプレート17の圧力室23側の面の少なくとも一部(圧力室23に対応する部分)に設けられていれば良い。
また、図3に示すように、下側振動板16において、ノズルプレート17の空部30と圧力室23を連通させる液体噴射孔27(本発明における穴に相当)が形成されている。本実施形態の液体噴射孔27は、円形の開口形状を有する貫通孔である。この液体噴射孔27は、圧力室23内において当該圧力室23の長手方向(ノズル列に直交する方向)に沿って複数列状に形成されている。本実施形態においては、この液体噴射孔27の列が、ノズル列方向に沿って2列ずつ各圧力室23に形成されている。さらに、下側振動板16のノズル29(後述)に対応する部分には、連通孔28が開設されている。この連通孔28を介して圧力室23とノズル29とが連通されている。なお、本実施形態では、圧力室23内のインクの圧力が変動した際に、当該液体噴射孔27を通じたインクの移動を生じさせつつ下側振動板16が可撓変形できるように、液体噴射孔27の流路抵抗が十分に高くなるように設計されている。また、液体噴射孔27の形状に関し、例示したものには限られず、少なくとも空部30に対向する部分のうち液体噴射孔27以外の部分の下側振動板16が可撓変形できれば、液体噴射孔27はどのような形状でもよい。
ノズルプレート17は、厚さが例えば、0.1〜1mm程度のシリコン単結晶基板やステンレス鋼等などからなり、各圧力室23に対応したノズル29が開設されている。各ノズル29は、それぞれ圧力室23のインク供給路25とは反対側の端部に連通する。また、図3(a)に示すように、ノズルプレート17には、下側振動板16側の面における各圧力室23に対応する部分の一部に、圧力室23とは反対側に窪んだ空部30が形成されている。本実施形態の空部30は、図3(b)に示すように、インク供給路25とノズル29との間において、平面視で圧力室23の長手方向に沿った長方形状(すなわち、直方体状の凹部)に形成されている。そして、この空部30の開口部を封止する下側振動板16により変形部31が構成されている。
また、空部30は、圧力室23内の液体の圧力変動に応じて下側振動板16が変動(変形)し得る形状、寸法(容積)に設計されている。そして、圧力室23内の液体の圧力変動に応じて下側振動板16が変動する。なお、変形部31による顔料の攪拌については、後述する。また、ノズル29および空部30は、例えば、ノズルプレート17をシリコン単結晶基板で作製する場合には、エッチングにより形成され、ノズルプレート17をステンレス鋼で作成する場合には、プレス加工により形成される。
流路形成基板15の上側には、上側振動板18が形成されている。本実施形態の上側振動板18は、例えば、厚さが例えば約1.0μmの二酸化シリコン(SiO2)からなる弾性膜32と、この弾性膜32上に積層された厚さが例えば、約0.4μmの酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜33と、から構成されている。また、この絶縁体膜33上には、圧電素子20が各圧力室23に対応して複数設けられている。本実施形態における圧電素子20は撓み振動モードの振動子であり、駆動電極と共通電極とによって圧電体を挟んで構成されている(図示を省略)。そして、圧電素子20の駆動電極に駆動信号が印加されると、駆動電極と共通電極との間には電位差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体に付与され、圧電体が付与された電場の強さに応じて変形する。
また、流路形成基板15上の圧電素子20側の面には、圧電素子20に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持部35を有する保護基板21が、上側振動板18を挟んで接合されている。圧電素子20は、この圧電素子保持部35内に収容されるため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。さらに、図2に示すように、保護基板21には、流路形成基板15の連通部24に対応する領域に共通室36が設けられている。この共通室36は、保護基板21を厚さ方向に貫通して圧力室23の並設方向に沿って設けられており、上述したように流路形成基板15の連通部24と連通されて各圧力室23の共通のインク室となるリザーバー26を構成している。
さらに、保護基板21上には、封止膜37及び固定板38とからなるコンプライアンス基板39が接合されている。封止膜37は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイドフィルム)からなり、この封止膜37によって共通室36の一方面が封止されている。また、固定板38は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼等)で形成される。この固定板38のリザーバー26に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された固定板開口部40となっているため、リザーバー26の一方面は可撓性を有する封止膜37のみで封止されている。
そして、上記構成の記録ヘッド2では、インクカートリッジ3からのインクを図示しないインク導入路から取り込み、リザーバー26からノズル29に至るまで内部をインクで満たす。この状態で、図示しないプリンタコントローラー側からの駆動信号の供給により、圧力室23に対応する圧電素子20を駆動させる。これにより、各圧力室23内のインクの圧力が変動し、この圧力変動を制御することで、ノズル29からインク滴が噴射(吐出)される。
ここで、図4に示すように、圧電素子20の駆動により圧力室23の上側振動板18が振動すると、この振動が伝播して下側振動板16も振動する。これにより、圧力室23内のインクに乱流を発生させることができ、圧力室23内の顔料P(例えば、白色の顔料として用いられる二酸化チタン(TiO2)、光輝性顔料として用いられるアルミニウム等の金属から成る金属片など)を攪拌することができる。また、圧力室23の底部に顔料Pが堆積していた場合であっても、下側振動板16の振動により攪拌することができる。
また、上記した下側振動板16の振動に伴って、液体噴射孔27を介して圧力室23と空部30との間でインクが移動する。すなわち、圧力室23と空部30との間でインクの流れが生じる。このインクの流れによって、圧力室23内をより攪拌することができる。例えば、図4の矢印のように、液体噴射孔27を介して空部30側から圧力室23側に向けて吹き上げるようなインクの流れが生じる。この流れによって、圧力室23および空部30の底部に沈降した顔料Pを巻き上げることができる。
このように、圧力室23内のインクの圧力変動により、底部の下側振動板16が変動すると共に、下側振動板16の液体噴射孔27を介して空部30と圧力室23との間でインクが移動するため、圧力室23内のインクを攪拌することができ、別途駆動源を設けることなく顔料等の沈降を防止することができる。また、顔料等が底部に沈降していた場合でも、沈降した顔料等を攪拌することができる。なお、この攪拌のために行う振動は、ノズル29からインクが吐出されない程度の振動である。
ところで、上記した液体噴射孔27の開口径(開口寸法)は、インクに含まれる顔料等の固形分の大きさ、例えば粒子径よりも小さく設定されたことが望ましい。このようにすれば、空部30内に顔料等が沈降することを防止できる。例えば、長期間に亘って駆動されない場合において空部30内に顔料等が沈降することによる、下側振動板16の変形が阻害されることを防止できる。
また、本発明は、上記した各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、変形部31は、平面視で圧力室23の長手方向に沿った長方形状(直方体状の凹部)に形成したが、これには限らず、任意の形状にすることができる。また、1つの圧力室内に複数の変形部を設けることもできる。
さらに、上記実施形態では、圧力発生手段として、所謂撓み振動型の圧電素子20を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。また、圧力発生手段としては圧電素子には限らず、圧力室内に気泡を発生させる発熱素子や静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種圧力発生手段を用いる場合にも本発明を適用することができる。
そして、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射装置の液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等に用いられる液体噴射ヘッドにも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからR(Red)・G(Green)・B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
1…プリンター,2…記録ヘッド,15…流路形成基板,16…下側振動板,17…ノズルプレート,18…上側振動板,20…圧電素子,21…保護基板,23…圧力室,24…連通部,25…インク供給路,26…リザーバー,27…液体噴射孔,28…連通孔,29…ノズル,30…空部,31…変形部,32…弾性膜,33…絶縁体膜,35…圧電素子保持部,36…共通室,37…封止膜,38…固定板,39…コンプライアンス基板,40…固定板開口部
Claims (3)
- ノズルに連通する圧力室に液体を充填し、当該圧力室内の液体に圧力変動を付与することにより前記ノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッドであって、
前記圧力室の底部は、底部材、および、該底部材の圧力室側の面に積層された可撓性を有する振動板により構成され、
前記底部材における前記圧力室に対応する部分に、前記圧力室とは反対側に窪んだ空部が形成され、
前記振動板は、前記空部の開口部を圧力室側から被覆し、
前記空部と前記圧力室を連通させる穴が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記液体は、成分の一部として固形分を含み、
前記穴の開口径が前記固形分の大きさよりも小さく設定されたことを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
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Cited By (2)
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JP2013176853A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射ヘッドの駆動方法 |
WO2016121849A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | コニカミノルタ株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびインクジェットプリンタ |
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