JP2013142719A - 露光装置及び露光済み材製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る露光装置は、マイクロレンズアレイを介して露光用マスクに結像された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と、第2の位置合わせ用マークとを撮像し、撮像が終了すると、被露光材への露光を妨げないように所定の方向に移動する撮像部と、第1及び第2の位置合わせ用マークの位置情報に基づいて、被露光材と露光用マスクとを位置合わせする位置合わせ制御部と、撮像部の移動が完了する前に、光源からの露光光の照射を開始させる露光開始タイミング制御部とを備える。
【選択図】図1
Description
一例として、マイクロレンズアレイは、撮像部が撮像している間、被露光材に設けられた第1の位置合わせ用マークと露光用マスクに設けられた第2の位置合わせ用マークとの間において一方向に移動し、光源が露光光を照射している間、光源と共に、一方向の逆方向に移動するものである。
例えば、光源が移動しながら露光光を照射する露光ステップをさらに含む。
一例として、撮像ステップにおいて、被露光材に設けられた第1の位置合わせ用マークと露光用マスクに設けられた第2の位置合わせ用マークとの間をマイクロレンズアレイが一方向に移動し、露光ステップにおいて、マイクロレンズアレイは、光源と共に、一方向の逆方向に移動する。
以下、本発明の実施の形態を添付の図により説明する。図1に第1の実施形態に係る露光装置の側面図を示す。第1の実施形態に係る露光装置は、所定のマスクパターンを有する露光用マスクを介して被露光材を露光するものである。露光装置1は、被露光材2に露光光を照射する光源部3と、光源部3と被露光材2との間に保持される露光用マスク4と、被露光材2と露光用マスク4との間に配置されるマイクロレンズアレイ6を備えている。
撮像部10が撮像用所定位置に静止すると、図6(b)に示すように、マイクロレンズアレイ6が移動方向D1に移動すると共に、移動するマイクロレンズアレイ6を介して露光用マスク4に結像された第1の位置合わせ用マーク7の少なくとも一部と、露光用マスク4に設けられた第2の位置合わせ用マーク8を、撮像部10によって撮像する(図8,ステップ1)。この撮像は、図5を参照して前述したように、複数回実行される。撮像の間、被露光材2と露光用マスク4と撮像部10は、移動せずに所定位置に固定されている。
以上、本発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、第1の実施形態に係る露光装置1においては、複数の露光用領域21a〜21pに対して複数個の露光用マスク4を同時に配置しているが、これに限定されない。単一の露光用マスク4を用いてもよい。また、第1の実施形態に係る露光装置1においては、被露光材2に複数の露光用領域21a〜21pが形成されているが、これに限定されない。被露光材2に単一の露光用領域21を形成してもよい。
2 被露光材
3 光源部
4 露光用マスク
5 露光光
6 マイクロレンズアレイ
7 第1の位置合わせ用マーク
8 第2の位置合わせ用マーク
10 撮像部
12 画像認識部
16 位置合わせ制御部
18 露光開始タイミング制御部
Claims (8)
- 被露光材に露光光を照射する光源と、
前記光源と前記被露光材との間に保持される露光用マスクと、
前記被露光材と前記露光用マスクとの間に配置されるマイクロレンズアレイと、
前記被露光材に設けられた第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた第2の位置合わせ用マークとを用いて前記被露光材と前記露光用マスクとを位置合わせするために、前記マイクロレンズアレイを介して前記露光用マスクに結像された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と、前記第2の位置合わせ用マークとを撮像し、前記撮像が終了すると、前記被露光材への露光を妨げないように所定の方向に移動する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と第2の位置合わせ用マークとを認識する画像認識部と、
前記画像認識部によって認識された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と第2の位置合わせ用マークとの位置情報に基づいて、前記被露光材と前記露光用マスクとを位置合わせする位置合わせ制御部と、
前記撮像部の前記移動が完了する前に、前記光源からの前記露光光の照射を開始させる露光開始タイミング制御部と
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記光源は移動しながら前記露光光を照射するものであることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記マイクロレンズアレイは、前記撮像部が撮像している間、前記被露光材に設けられた前記第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた前記第2の位置合わせ用マークとの間において一方向に移動し、前記光源が前記露光光を照射している間、前記光源と共に、前記一方向の逆方向に移動するものであることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 前記マイクロレンズアレイは、前記撮像部が撮像している間、前記被露光材に設けられた前記第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた前記第2の位置合わせ用マークとの間において移動するものであり、
前記撮像部は、移動する前記マイクロレンズアレイを介して前記露光用マスクに結像した前記第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部を、前記第2の位置合わせ用マークと共に複数回又は連続的に撮像するものであり、
前記画像認識部は、前記複数回又は連続的に撮像した画像を重ね合わせて、前記第2の位置合わせ用マークに対する前記第1の位置合わせ用マークの位置を特定するための合成画像を生成するものであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の露光装置。 - 被露光材に露光光を照射する光源と、前記光源と前記被露光材との間に保持される露光用マスクと、前記被露光材と前記露光用マスクとの間に配置されるマイクロレンズアレイとを備える露光装置を用いて、露光済み材を製造する露光済み材製造方法であって、
前記被露光材に設けられた第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた第2の位置合わせ用マークとを用いて前記被露光材と前記露光用マスクとを位置合わせするために、前記マイクロレンズアレイを介して前記露光用マスクに結像された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と、前記露光用マスクの第2の位置合わせ用マークとを、撮像部が撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップによって撮像された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と第2の位置合わせ用マークとを画像認識部が認識する画像認識ステップと、
前記画像認識ステップによって認識された第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部と第2の位置合わせ用マークとの位置情報に基づいて、前記被露光材と前記露光用マスクとを、位置合わせ制御部が位置合わせする位置合わせステップと、
前記撮像ステップにおける前記撮像が終了した後に、前記被露光材への露光を妨げないように前記撮像部が所定の方向に移動する撮像部移動ステップと、
前記撮像部移動ステップにおける前記撮像部の前記移動が完了する前に、前記位置合わせステップによって位置合わせされた前記被露光材と前記露光用マスクに対して、露光開始タイミング制御部が前記光源からの前記露光光の照射を開始させる露光開始ステップと
を含むことを特徴とする露光済み材製造方法。 - 前記光源が移動しながら前記露光光を照射する露光ステップをさらに含むことを特徴とする請求項5記載の露光済み材製造方法。
- 前記撮像ステップにおいて、前記被露光材に設けられた前記第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた前記第2の位置合わせ用マークとの間を前記マイクロレンズアレイが一方向に移動し、
前記露光ステップにおいて、前記マイクロレンズアレイは、前記光源と共に、前記一方向の逆方向に移動することを特徴とする請求項6記載の露光済み材製造方法。 - 前記撮像ステップにおいて、前記被露光材に設けられた前記第1の位置合わせ用マークと前記露光用マスクに設けられた前記第2の位置合わせ用マークとの間を前記マイクロレンズアレイが移動し、移動する前記マイクロレンズアレイを介して前記露光用マスクに結像した前記第1の位置合わせ用マークの少なくとも一部を、前記第2の位置合わせ用マークと共に複数回又は連続的に前記撮像部が撮像し、
前記画像認識ステップにおいて、前記画像認識部が前記複数回又は連続的に撮像した画像を重ね合わせて、前記第2の位置合わせ用マークに対する前記第1の位置合わせ用マークの位置を特定するための合成画像を生成することを特徴とする請求項5から7のいずれか1項記載の露光済み材製造方法。
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