JP2013124402A - Aluminum foil for electrolytic capacitor, and method for producing the same - Google Patents

Aluminum foil for electrolytic capacitor, and method for producing the same Download PDF

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JP2013124402A JP2011274523A JP2011274523A JP2013124402A JP 2013124402 A JP2013124402 A JP 2013124402A JP 2011274523 A JP2011274523 A JP 2011274523A JP 2011274523 A JP2011274523 A JP 2011274523A JP 2013124402 A JP2013124402 A JP 2013124402A
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Masaya Endo
昌也 遠藤
Akira Yoshii
章 吉井
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MA Aluminum Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an aluminum foil for electrolytic capacitors, in which etching pits can be formed with high density and high uniform dispersibility to thereby improve capacitance, and to provide a method for producing the same.SOLUTION: An aluminum alloy slab is prepared which contains 5-30 ppm of Si, 5-30 ppm of Fe, 30-70 ppm of Cu, 0.8-2.0 ppm of Pb, 1-10 ppm of Cr, 15-40 ppm in total of one or more of Mn, Zn, Ga, Sn, and In, 1-10 ppm in total of one or more of Zr, Ti, and V, and 1-10 ppm of REM, with the balance being Al and inevitable impurities. The aluminum alloy slab is subjected to homogenization treatment at 550°C or more for 4 hours or more, followed by hot rolling, and thereafter subjected to cold rolling. After the completion of cold rolling, the cold rolled alloy sheet is subjected to final annealing at 500-580°C for 4 hours or more in an inert gas, a reducing gas, or a mixed gas atmosphere.

Description

この発明は、電解コンデンサの電極に用いられる電解コンデンサ用アルミニウム箔およびその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an electrolytic capacitor aluminum foil used for an electrode of an electrolytic capacitor and a method of manufacturing the same.

電解コンデンサ用アルミニウム箔のうち、中高圧用箔は直流電解を行いピット状の穴を表層に無数に開け、表面積を拡大(粗面化)して使用されている。エッチングピットを均一に発生させるため、冷間圧延後に最終焼鈍を行って立方体方位占有率が95%以上の箔が用いられている。
エッチングピットの密度の向上には、各種元素の添加および該添加元素の含有比率の調整が重要であり、添加元素について様々な提案がされている(例えば特許文献1参照)。
Among aluminum foils for electrolytic capacitors, medium- and high-pressure foils are used with direct current electrolysis and numerous pit-shaped holes formed on the surface layer to enlarge (roughen) the surface area. In order to uniformly generate etching pits, a foil having a cube orientation occupation ratio of 95% or more by performing final annealing after cold rolling is used.
In order to improve the density of the etching pits, it is important to add various elements and adjust the content ratio of the additive elements, and various proposals have been made on the additive elements (see, for example, Patent Document 1).

特開2009−249668号公報JP 2009-249668 A

しかしながら、エッチングピットの密度を向上することができたとしても、その分布が不均一であっては、エッチングピット同士の合体が生じ、表面積が低下する。その結果、電解コンデンサとした際の静電容量が低下する。
静電容量を向上するためには、エッチングピットの密度を上げるだけではなく、エッチングピットの分散を均一にすることが必要である。
However, even if the density of etching pits can be improved, if the distribution is non-uniform, coalescence of etching pits occurs and the surface area decreases. As a result, the electrostatic capacity of the electrolytic capacitor is reduced.
In order to improve the electrostatic capacity, it is necessary not only to increase the density of etching pits but also to make the distribution of etching pits uniform.

本発明は、上記事情を背景としてなされたものであり、エッチングピットを高い密度で均一に分散させて形成することができ、その結果、静電容量を向上させることができる電解コンデンサ用アルミニウム箔およびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made against the background of the above circumstances, and can be formed by uniformly dispersing etching pits at a high density, and as a result, an aluminum foil for electrolytic capacitors that can improve capacitance, and It aims at providing the manufacturing method.

本発明の電解コンデンサ用アルミニウム箔のうち、第1の本発明は、質量比で、Si:5〜30ppm、Fe:5〜30ppm、Cu:30〜70ppm、Pb:0.8〜2.0ppm、Cr:1〜10ppm、Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上を合計で15〜40ppm、Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上を合計で1〜10ppm、REM:1〜10ppmを含有し、残部がAlと不可避不純物からなる組成を有することを特徴とする。   Among the aluminum foils for electrolytic capacitors of the present invention, the first present invention is, by mass ratio, Si: 5 to 30 ppm, Fe: 5 to 30 ppm, Cu: 30 to 70 ppm, Pb: 0.8 to 2.0 ppm, Cr: 1 to 10 ppm, one or more of Mn, Zn, Ga, Sn, and In in total 15 to 40 ppm, one or more of Zr, Ti, and V in total of 1 to 10 ppm, REM: It contains 1 to 10 ppm, and the balance has a composition consisting of Al and inevitable impurities.

第2の本発明の電解コンデンサ用アルミニウム箔の製造方法は、質量比で、Si:5〜30ppm、Fe:5〜30ppm、Cu:30〜70ppm、Pb:0.8〜2.0ppm、Cr:1〜10ppm、Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上を合計で15〜40ppm、Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上を合計で1〜10ppm、REM:1〜10ppmを含有し、残部がAlと不可避不純物からなる組成を有するアルミニウム合金スラブを、550℃以上、4時間以上で均質化処理した後、熱間圧延を実施し、該熱間圧延後、冷間圧延を実施し、該冷間圧延終了後に不活性ガスまたは還元性ガスもしくはこれらの混合ガス雰囲気中で500〜580℃、4時間以上の最終焼鈍を実施することを特徴とする。   The manufacturing method of the aluminum foil for electrolytic capacitors of 2nd this invention is mass ratio, Si: 5-30ppm, Fe: 5-30ppm, Cu: 30-70ppm, Pb: 0.8-2.0ppm, Cr: 1 to 10 ppm, one or more of Mn, Zn, Ga, Sn and In in total 15 to 40 ppm, one or more of Zr, Ti and V in total 1 to 10 ppm, REM: 1 to 2 An aluminum alloy slab containing 10 ppm and the balance being composed of Al and inevitable impurities is homogenized at 550 ° C. or more for 4 hours or more, then hot-rolled, and after the hot rolling, Rolling is performed, and after the cold rolling is completed, final annealing is performed at 500 to 580 ° C. for 4 hours or more in an atmosphere of an inert gas, a reducing gas, or a mixed gas thereof.

以下に、本発明で規定する電解コンデンサ用アルミニウム箔の組成、製造条件などの限定理由を説明する。なお、以下で説明する成分含有量は、いずれも質量比で示されている。   Below, the reasons for limitation such as the composition and production conditions of the aluminum foil for electrolytic capacitors defined in the present invention will be described. In addition, all component content demonstrated below is shown by mass ratio.

Si:5〜30ppm
Fe:5〜30ppm
Si、Feが5ppm未満の場合、純度が高く精製コストが増加するため、工業的には望ましくない。一方、Si、Feが30ppm超の場合、立方晶率が低下し、また、箔の過剰溶解により静電容量が低下するため好ましくない。このため、Siの含有量およびFeの含有量を上記範囲に定める。いずれの含有量も望ましくは下限8ppm、上限15ppmである。
Si: 5 to 30 ppm
Fe: 5 to 30 ppm
When Si and Fe are less than 5 ppm, the purity is high and the purification cost increases, which is not desirable industrially. On the other hand, when Si and Fe are more than 30 ppm, the cubic crystal ratio is decreased, and the capacitance is decreased due to excessive dissolution of the foil. For this reason, the content of Si and the content of Fe are set to the above ranges. Any content is desirably a lower limit of 8 ppm and an upper limit of 15 ppm.

Cu:30〜70ppm
Cuは、アルミニウム箔の溶解性の向上およびエッチングピットの密度の向上に効果がある。30ppm未満の場合、両効果が十分に発揮されないため好ましくない。一方、70ppm超の場合、最終焼鈍による立方晶率が低下し、また、電解コンデンサにおいて漏れ電流が増大してスパークのおそれが高まるため好ましくない。このため、Cuの含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限40ppm、上限60ppmである。
Cu: 30 to 70 ppm
Cu is effective in improving the solubility of the aluminum foil and the density of etching pits. If it is less than 30 ppm, both effects are not sufficiently exhibited, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 70 ppm, the cubic crystal ratio due to the final annealing decreases, and the leakage current increases in the electrolytic capacitor, which increases the risk of sparking. For this reason, the Cu content is set within the above range. Desirably, the lower limit is 40 ppm and the upper limit is 60 ppm.

Pb:0.8〜2.0ppm
Pbはアルミニウム箔の表面の溶解性の向上および表面酸化皮膜の脆化によるエッチングピットの分散性の向上に効果がある。0.8ppm未満の場合、両効果が十分に発揮されず、特にエッチングピットの分散性が低下するため、エッチングピットの合体が生じ、静電容量が低下する。一方、2.0ppm超の場合、箔表面の溶解性が過剰となって表面の崩落が生じる結果、静電容量が低下するため好ましくない。このため、Pbの含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限1.2ppm、上限1.6ppmである。
Pb: 0.8 to 2.0 ppm
Pb is effective in improving the solubility of the surface of the aluminum foil and improving dispersibility of etching pits due to embrittlement of the surface oxide film. If it is less than 0.8 ppm, both effects are not sufficiently exhibited, and particularly the dispersibility of the etching pits is reduced, so that the etching pits are coalesced and the electrostatic capacity is reduced. On the other hand, if it exceeds 2.0 ppm, the solubility of the foil surface becomes excessive and the surface collapses, resulting in a decrease in capacitance, which is not preferable. For this reason, the content of Pb is set within the above range. Desirably, the lower limit is 1.2 ppm and the upper limit is 1.6 ppm.

Cr:1〜10ppm
Crはアルミニウム箔のバルクの溶解性の向上に効果がある。1ppm未満の場合、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。一方、10ppm超の場合、局部的に箔の過剰溶解が発生して静電容量が低下するため好ましくない。このため、Crの含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限2ppm、上限6ppmである。
Cr: 1-10ppm
Cr is effective in improving the bulk solubility of the aluminum foil. If it is less than 1 ppm, the effect is not sufficiently exhibited, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 10 ppm, excessive dissolution of the foil locally occurs and the capacitance decreases, which is not preferable. For this reason, the Cr content is set within the above range. Desirably, the lower limit is 2 ppm and the upper limit is 6 ppm.

Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上合計で15〜40ppm
Mn、Zn、Ga、Sn、Inはいずれもアルミニウム箔のマトリックスの電位を低下させて箔内部の溶解性を向上する効果を有する元素であり、これらのうちの一種または二種以上を含有させる。ただし、合計含有量が15ppm未満の場合、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。一方、合計含有量が40ppm超の場合、マトリックスの過剰溶解が発生して静電容量が低下するため好ましくない。このため、合計含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限20ppm、上限30ppmである。
15 to 40 ppm in total of one or more of Mn, Zn, Ga, Sn, and In
Mn, Zn, Ga, Sn, and In are all elements that have the effect of reducing the potential of the aluminum foil matrix and improving the solubility inside the foil, and contain one or more of these. However, when the total content is less than 15 ppm, the effect is not sufficiently exhibited, which is not preferable. On the other hand, if the total content exceeds 40 ppm, excessive dissolution of the matrix occurs and the capacitance decreases, which is not preferable. For this reason, the total content is set within the above range. Desirably, the lower limit is 20 ppm and the upper limit is 30 ppm.

Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上合計で1〜10ppm
Zr、Ti、Vはいずれもアルミニウム箔のバルクの溶解性の向上に効果がある元素であり、これらのうちの一種または二種以上を含有させる。ただし、合計含有量が1ppm未満の場合、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。一方、合計含有量が10ppm超の場合、箔の過剰溶解が発生して静電容量が低下するため好ましくない。このため、合計含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限2ppm、上限6ppmである。
1 to 10 ppm in total of one or more of Zr, Ti and V
Zr, Ti, and V are all elements that are effective in improving the bulk solubility of the aluminum foil, and contain one or more of these. However, when the total content is less than 1 ppm, the effect is not sufficiently exhibited, which is not preferable. On the other hand, if the total content exceeds 10 ppm, excessive dissolution of the foil occurs and the electrostatic capacity decreases, such being undesirable. For this reason, the total content is set within the above range. Desirably, the lower limit is 2 ppm and the upper limit is 6 ppm.

REM:1〜10ppm
REMはFeの析出を促進し、バルクのアルミニウム純度を上げることで立方晶率を高める元素である。なお、REMは、La、Ce、Pr、Nd、等の単独、または二種以上の混合でもよく、さらにミッシュメタルの形態で添加されるものであってもよい。複数の希土類元素からなる場合、上記含有量は複数元素の合計量を意味している。ただし、1ppm未満の場合、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。一方、10ppm超の場合、Feの析出が過剰となって結晶粒が異常成長し易くなる結果、立方晶率が低下するため好ましくない。このため、REMの含有量を上記範囲に定める。望ましくは下限2ppm、上限6ppmである。
REM: 1-10ppm
REM is an element that promotes the precipitation of Fe and increases the bulk aluminum purity to increase the cubic rate. Note that REM may be La, Ce, Pr, Nd, or the like alone, or a mixture of two or more thereof, and may be added in the form of misch metal. In the case of a plurality of rare earth elements, the above content means the total amount of the plurality of elements. However, when it is less than 1 ppm, the effect is not sufficiently exhibited, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 10 ppm, the precipitation of Fe becomes excessive and the crystal grains tend to grow abnormally, resulting in a decrease in the cubic crystal ratio. For this reason, the content of REM is determined within the above range. Desirably, the lower limit is 2 ppm and the upper limit is 6 ppm.

アルミニウム純度:99.9%以上
本発明としては、アルミニウム箔のアルミニウム純度が限定されるものではないが、アルミニウム純度99.9%以上が望ましい。アルミニウム純度が99.9%未満の場合、立方晶率が低下するため望ましくない。不可避不純物としては地金特有の成分が含まれる。三層地金、偏析地金を用いようとも、Si、Fe、Cu、Pb、Cr、Mn、Zn、Ga、Sn、In、Zr、Ti、V、REMを調整後のアルミニウム純度として99.9%以上が確保されれば問題はない。
Aluminum purity: 99.9% or more In the present invention, the aluminum purity of the aluminum foil is not limited, but aluminum purity of 99.9% or more is desirable. If the aluminum purity is less than 99.9%, the cubic rate decreases, which is not desirable. Inevitable impurities include components specific to bullion. Even if three-layer metal or segregated metal is used, Si, Fe, Cu, Pb, Cr, Mn, Zn, Ga, Sn, In, Zr, Ti, V, and REM are adjusted to 99.9 as the purity of aluminum. If more than% is secured, there is no problem.

アルミニウム箔の厚さ:100μm以上130μm未満
本発明では、アルミニウム箔の厚さが特に限定されるものではないが、厚さ100μm以上、130μm未満が望ましい。箔厚が100μm未満の場合、立方晶率が低下し好ましくない。一方、箔厚が130μm以上の場合、粗大晶が発生し局部的な特性が低下する。さらに望ましくは下限110μm、上限120μmである。
Thickness of aluminum foil: 100 μm or more and less than 130 μm In the present invention, the thickness of the aluminum foil is not particularly limited, but a thickness of 100 μm or more and less than 130 μm is desirable. When the foil thickness is less than 100 μm, the cubic crystal ratio is lowered, which is not preferable. On the other hand, when the foil thickness is 130 μm or more, coarse crystals are generated and local characteristics are deteriorated. More desirably, the lower limit is 110 μm and the upper limit is 120 μm.

アルミニウム箔表面の酸化皮膜の厚さ:20〜100Å
後述する焼鈍後の表面酸化皮膜は20〜100Åに制御するのが望ましい。20Å未満の場合、箔の耐食性が低下し、焼鈍された箔の保存性が悪くなり、表面酸化等の異常原因となる。一方、100Åを超える場合、エッチングの際、均一性が低下し、容量低下原因となる。このため、焼鈍後の表面酸化皮膜厚さは上記範囲とするのが望ましい。より望ましくは下限40Å、上限60Åである。
Thickness of the oxide film on the surface of the aluminum foil: 20 to 100 mm
It is desirable to control the surface oxide film after annealing described later to 20 to 100%. When the thickness is less than 20%, the corrosion resistance of the foil is lowered, the storage stability of the annealed foil is deteriorated, and abnormal causes such as surface oxidation are caused. On the other hand, when the thickness exceeds 100%, uniformity is reduced during etching, which causes a reduction in capacity. For this reason, it is desirable that the surface oxide film thickness after annealing be in the above range. More desirably, the lower limit is 40 mm and the upper limit is 60 mm.

均質化処理:550℃以上、4時間以上
均質化処理により、アルミニウム合金スラブの成分および組織の均一化を図ることができ、アルミニウム箔とした後、エッチングの際などに各元素による効果を均一に発揮させることができる。処理温度が550℃未満の場合、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。なお、処理温度は600℃以下であることが望ましい。これは、600℃を超えると、溶融のおそれがあり、また、コストが増加するためである。また、処理時間が4時間未満の場合も、その効果が十分に発揮されないため好ましくない。なお、処理時間は、24時間以下であることが望ましい。これは、24時間超の場合、時間の効果が小さく、生産性が低下するためである。
Homogenization treatment: 550 ° C or more, 4 hours or more Homogenization treatment can homogenize the components and structure of the aluminum alloy slab, and after making the aluminum foil, the effect of each element is made uniform during etching, etc. It can be demonstrated. When the processing temperature is less than 550 ° C., the effect is not sufficiently exhibited, which is not preferable. The treatment temperature is desirably 600 ° C. or lower. This is because if it exceeds 600 ° C., there is a risk of melting and the cost increases. Further, the treatment time of less than 4 hours is not preferable because the effect is not sufficiently exhibited. The processing time is desirably 24 hours or less. This is because when the time exceeds 24 hours, the time effect is small and the productivity is lowered.

熱間圧延、冷間圧延
均質化処理後には熱間圧延が実施され、該熱間圧延後には冷間圧延が実施される。これら圧延はいずれも常法により実施することができ、また、圧延条件も特定の条件に限定されるものではない。
なお、アルミニウム箔を製造する冷間圧延工程の中途に中間焼鈍を行って最終焼鈍時の立方晶の生成を促進させることができる。但し、中間焼鈍温度が200℃未満または中間焼鈍時間が2時間未満であると、立方晶の生成が不十分の為、最終焼鈍後の立方晶率が低下する。一方、中間焼鈍温度が280℃を超え、または中間焼鈍時間が10時間を超えると立方晶以外の結晶粒が生成するため、最終焼鈍後の立方晶率が低下する。これらの点から、中間焼鈍を行う場合、200〜280℃、2〜10時間の条件で行うのが望ましい。
Hot rolling and cold rolling Hot rolling is performed after the homogenization treatment, and cold rolling is performed after the hot rolling. Any of these rolling can be carried out by a conventional method, and the rolling conditions are not limited to specific conditions.
In addition, intermediate | middle annealing can be performed in the middle of the cold rolling process which manufactures aluminum foil, and the production | generation of the cubic crystal at the time of final annealing can be accelerated | stimulated. However, if the intermediate annealing temperature is less than 200 ° C. or the intermediate annealing time is less than 2 hours, the formation of cubic crystals is insufficient, and the cubic crystal ratio after the final annealing is lowered. On the other hand, when the intermediate annealing temperature exceeds 280 ° C. or the intermediate annealing time exceeds 10 hours, crystal grains other than cubic crystals are generated, and the cubic crystal ratio after the final annealing is lowered. From these points, when performing the intermediate annealing, it is desirable to perform it at 200 to 280 ° C. for 2 to 10 hours.

最終焼鈍雰囲気
最終焼鈍などを実施する焼鈍雰囲気としては、不活性ガスまたは還元性ガスもしくはこれらの混合ガス雰囲気が用いられる。この理由は次のとおりである。
焼鈍速度、酸化皮膜厚さを適切な範囲とするためには、焼鈍時の雰囲気を適切に選定する必要がある。
真空焼鈍では、焼鈍時の熱伝導が著しく悪くなるため、昇温速度が低下する。更に、箔表層の酸化皮膜が薄くなるため好ましくない。大気焼鈍の場合、箔表層の酸化皮膜が厚くなり、エッチング性が低下するため好ましくない。Ar、N等不活性ガス雰囲気の場合、露点、酸素分圧を制御することで、適度な酸化皮膜を形成することができるが、焼鈍速度を所定範囲とするためには、焼鈍するアルミニウム箔の形状、数量等検討する必要がある。工業的に、コイル状のアルミ箔をTon単位で焼鈍を行う場合、水素ガスで行うことが望ましい。熱伝導率が高いため、十分な焼鈍速度が得られると共に、還元性雰囲気であるため、酸化皮膜の成長も抑制できるためである。しかし、還元性ガスにおいても適切な条件を選定することで、焼鈍速度、酸化皮膜厚さの目標は達成できるため、排除するものではない。雰囲気は、還元性ガスと不活性ガスとが混合されたものであってもよい。真空焼鈍、大気焼鈍では、焼鈍速度、酸化皮膜厚さの目標を達成することはできない。
Final annealing atmosphere As the annealing atmosphere for performing the final annealing, an inert gas, a reducing gas, or a mixed gas atmosphere thereof is used. The reason for this is as follows.
In order to set the annealing rate and the oxide film thickness within appropriate ranges, it is necessary to appropriately select the atmosphere during annealing.
In vacuum annealing, the heat conduction during annealing is significantly deteriorated, so that the rate of temperature rise is reduced. Furthermore, since the oxide film on the foil surface layer becomes thin, it is not preferable. In the case of atmospheric annealing, the oxide film on the foil surface layer becomes thick and the etching property is lowered, which is not preferable. In the case of an inert gas atmosphere such as Ar and N 2 , an appropriate oxide film can be formed by controlling the dew point and the oxygen partial pressure, but in order to set the annealing rate within a predetermined range, the aluminum foil to be annealed It is necessary to consider the shape, quantity, etc. Industrially, when annealing a coiled aluminum foil in units of Ton, it is desirable to perform with hydrogen gas. This is because the thermal conductivity is high, so that a sufficient annealing rate can be obtained, and since it is a reducing atmosphere, the growth of the oxide film can also be suppressed. However, by selecting appropriate conditions for the reducing gas, the targets of the annealing rate and the oxide film thickness can be achieved, and thus are not excluded. The atmosphere may be a mixture of a reducing gas and an inert gas. In vacuum annealing and atmospheric annealing, the target of annealing speed and oxide film thickness cannot be achieved.

最終焼鈍:500〜580℃、4時間以上
冷間圧延後には、最終焼鈍が実施される。最終焼鈍は、添加元素をアルミニウム箔の表面に濃縮し、箔表面の析出状態を制御するためのものである。最終焼鈍温度が500℃未満の場合、添加元素の表面への濃縮が不十分であるため好ましくない。一方、580℃を超える場合、添加元素が表面に過剰に濃縮される結果、エッチングピットの起点が過剰となってエッチングピットの合体が生じ、静電容量が低下するため好ましくない。また、最終焼鈍時間が4時間未満の場合も、添加元素の表面への濃縮が不十分であるため好ましくない。なお、最終焼鈍時間は、24時間以下であることが望ましい。これは、24時間を越えての処理は効果が小さく、また、生産性が低下するためである。
Final annealing: 500 to 580 ° C., 4 hours or longer After the cold rolling, final annealing is performed. The final annealing is for concentrating additive elements on the surface of the aluminum foil and controlling the deposition state on the surface of the foil. When the final annealing temperature is less than 500 ° C., the concentration of the additive element on the surface is insufficient, which is not preferable. On the other hand, when the temperature exceeds 580 ° C., the additive elements are excessively concentrated on the surface. As a result, the starting points of the etching pits become excessive, and the coalescence of the etching pits occurs, resulting in a decrease in capacitance. Also, the case where the final annealing time is less than 4 hours is not preferable because the concentration of the additive element on the surface is insufficient. The final annealing time is desirably 24 hours or less. This is because the treatment over 24 hours is less effective and the productivity is lowered.

以上説明したように、本発明によれば、質量比で、Si:5〜30ppm、Fe:5〜30ppm、Cu:30〜70ppm、Pb:0.8〜2.0ppm、Cr:1〜10ppm、Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上を合計で15〜40ppm、Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上を合計で1〜10ppm、REM:1〜10ppmを含有し、残部がAlと不可避不純物からなる組成を有するアルミニウム合金スラブを、550℃以上、4時間以上で均質化処理した後、熱間圧延を実施し、該熱間圧延後、冷間圧延を実施し、該冷間圧延終了後に不活性ガスまたは還元性ガスもしくはこれらの混合ガス雰囲気中で500〜580℃、4時間以上の最終焼鈍を実施するので、エッチングに際し、エッチングピットを高い密度かつ高い均一分散性で形成することができ、静電容量を向上することができる。   As explained above, according to the present invention, by mass ratio, Si: 5 to 30 ppm, Fe: 5 to 30 ppm, Cu: 30 to 70 ppm, Pb: 0.8 to 2.0 ppm, Cr: 1 to 10 ppm, One type or two or more of Mn, Zn, Ga, Sn, and In are included in a total of 15 to 40 ppm, one or two or more of Zr, Ti, and V are included in a total of 1 to 10 ppm, and REM: 1 to 10 ppm. The aluminum alloy slab having a composition composed of Al and inevitable impurities in the balance is homogenized at 550 ° C. or more for 4 hours or more, then hot-rolled, and after the hot rolling, cold-rolled. After the cold rolling, the final annealing is performed at 500 to 580 ° C. for 4 hours or more in an atmosphere of an inert gas, a reducing gas, or a mixed gas thereof. Can be formed with high density and high uniform dispersibility, it is possible to improve the electrostatic capacity.

以下に、本発明の一実施形態を説明する。
本発明の組成を有するように調製され、好適には99.95%以上のアルミニウム純度を有するアルミニウム合金は、常法により得ることができ、本発明としては特にその製造方法が限定されるものではない。例えば、半連続鋳造によって得たスラブや連続鋳造により得られるアルミニウム材を用いるものであってもよい。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.
An aluminum alloy prepared to have the composition of the present invention and preferably having an aluminum purity of 99.95% or more can be obtained by a conventional method, and the production method of the present invention is not particularly limited. Absent. For example, a slab obtained by semi-continuous casting or an aluminum material obtained by continuous casting may be used.

アルミニウム合金スラブを用いる場合、550℃以上、4時間以上で均質化処理を施し、その後、熱間圧延を実施する。この熱間圧延または連続鋳造圧延によって、例えば厚さ2〜10mmのアルミニウム板材を得る。   When using an aluminum alloy slab, homogenization is performed at 550 ° C. or more for 4 hours or more, and then hot rolling is performed. For example, an aluminum plate having a thickness of 2 to 10 mm is obtained by this hot rolling or continuous casting rolling.

次いで、上記アルミニウム板材に対して冷間圧延を実施し、例えば厚さ0.10〜0.13mmのアルミニウム合金箔を得る。なお、冷間圧延途中または冷間圧延終了後に適宜脱脂を加えてもよく、また、冷間圧延の途中で、適宜、例えば200〜280℃、2〜10時間の中間焼鈍を加えてもよい。   Next, the aluminum plate material is cold-rolled to obtain, for example, an aluminum alloy foil having a thickness of 0.10 to 0.13 mm. In addition, you may add degreasing suitably in the middle of cold rolling or after completion | finish of cold rolling, and you may add intermediate annealing of 200-280 degreeC and 2 to 10 hours suitably, for example in the middle of cold rolling.

冷間圧延後、最終焼鈍を実施する。
最終焼鈍の条件は、前記した添加元素を濃縮するために重要であり、Hなどを用いた還元性雰囲気または、Ar、N等の不活性雰囲気もしくはこれらの混合ガス雰囲気中で、500〜580℃で4時間以上加熱することで平均厚さで例えば20〜100Åの酸化皮膜を有するアルミニウム合金箔を得る。
還元性雰囲気では、Hなどの還元性ガスに不活性ガスや微量の酸素などを混合した混合ガスを用いることも可能である。立方晶率は95%以上とするのが好ましい。上記焼鈍によって前記添加元素が表層部に濃縮する。なお、焼鈍を真空下で行うと、表面に酸化皮膜が適切に形成されずエッチング時に良好なエッチングが困難になる。
After cold rolling, final annealing is performed.
The conditions for the final annealing are important for concentrating the above-described additive elements, and in a reducing atmosphere using H 2 or the like, an inert atmosphere such as Ar or N 2, or a mixed gas atmosphere thereof, 500 to By heating at 580 ° C. for 4 hours or longer, an aluminum alloy foil having an oxide film with an average thickness of, for example, 20 to 100 mm is obtained.
In a reducing atmosphere, it is possible to use a mixed gas obtained by mixing a reducing gas such as H 2 with an inert gas or a small amount of oxygen. The cubic rate is preferably 95% or more. The said additional element concentrates on a surface layer part by the said annealing. When annealing is performed under vacuum, an oxide film is not properly formed on the surface, and good etching becomes difficult during etching.

上記各工程を経て得られたアルミニウム箔には、その後、エッチング処理がなされる。該エッチング処理は、例えば塩酸を主体とする電解液を用いた電解エッチングにより行うことができる。なお、本発明としては、電解液の種別が特に限定されるものではない。
エッチング処理は、表層部除去工程と、エッチングピット発生工程と、エッチングピット孔径拡大工程とにより行うことができる。表層部除去工程は、酸化皮膜を含む表層部を溶解することによって除去する。表層部除去後は、アルミニウム箔表面にエッチングピットを発生させるエッチングピット発生工程を行う。エッチングピット発生工程後に、エッチングピット孔径拡大工程を行う。この箔を化成処理し、必要な耐電圧を得た後、常法により電解コンデンサに電極として組み込むことにより静電容量の高いコンデンサが得られる。
なお、本発明のアルミニウム箔は、中高圧電解コンデンサの陽極として使用するのが好適である。
The aluminum foil obtained through the above steps is then subjected to an etching process. The etching treatment can be performed, for example, by electrolytic etching using an electrolytic solution mainly composed of hydrochloric acid. In the present invention, the type of the electrolytic solution is not particularly limited.
The etching process can be performed by a surface layer portion removing process, an etching pit generating process, and an etching pit hole diameter expanding process. The surface layer portion removing step is performed by dissolving the surface layer portion including the oxide film. After the surface layer portion is removed, an etching pit generation step for generating etching pits on the aluminum foil surface is performed. After the etching pit generation process, an etching pit hole diameter expanding process is performed. This foil is subjected to a chemical conversion treatment to obtain a necessary withstand voltage, and then a capacitor having a high capacitance is obtained by incorporating it as an electrode in an electrolytic capacitor by a conventional method.
In addition, it is suitable to use the aluminum foil of this invention as an anode of a medium-high voltage electrolytic capacitor.

以下に、本発明の実施例を説明する。
4N純度のアルミニウム地金を用い、表1の成分(その他:不可避不純物+99.9%以上のAl)に調整した後、半連続鋳造法によりアルミニウムスラブを作製した。なお、成分中のREMとして、(La:20wt%、Ce:50wt%、Pr:5wt%、Nd:25wt%)の組成を有するミッシュメタルを用いた。
上記アルミニウムスラブに対し、表2に示す条件で均質化処理を行った後、熱間圧延を実施して厚さ10mmのアルミニウム板材を得た。その後、アルミニウム板材に対して厚さ145μmとなるまで冷間圧延を実施した。続いて、260℃、4時間の中間焼鈍を実施した後、120μmの箔厚となるまで冷間圧延を実施してアルミニウム箔を得た。
得られたアルミニウム箔に対して表2に示す条件で最終焼鈍を実施した。最終焼鈍の実施後、アルミニウム箔に対してエッチング処理を行った。
Examples of the present invention will be described below.
A 4N purity aluminum ingot was used and adjusted to the components shown in Table 1 (others: inevitable impurities + 99.9% or more Al), and then an aluminum slab was produced by a semi-continuous casting method. In addition, as the REM in the component, a misch metal having a composition of (La: 20 wt%, Ce: 50 wt%, Pr: 5 wt%, Nd: 25 wt%) was used.
The aluminum slab was homogenized under the conditions shown in Table 2, and then hot rolled to obtain an aluminum plate having a thickness of 10 mm. Thereafter, cold rolling was performed on the aluminum plate until the thickness became 145 μm. Subsequently, after performing intermediate annealing at 260 ° C. for 4 hours, cold rolling was performed until a foil thickness of 120 μm was obtained to obtain an aluminum foil.
Final annealing was performed on the obtained aluminum foil under the conditions shown in Table 2. After the final annealing, the aluminum foil was etched.

エッチング処理は、次のように段階的に行った。
まず、前処理として、アルミニウム箔を80℃の1M塩酸+3M硫酸の溶液中に30秒間浸漬した。続いて、1段目の電解エッチングとして、前処理後のアルミニウム箔を80℃の1M塩酸+3M硫酸の溶液中に浸漬して500mA/cmの直流電流を120秒間印加した。続いて、2段目の電解エッチングとして、1段目の電解エッチング後のアルミニウム箔を80℃の1M塩酸+3M硫酸の溶液中に浸漬して50mA/cmの直流電流を600秒間印加した。なお、前処理は上記表層部除去工程に相当し、1段目の電解エッチングは上記エッチングピット発生工程に相当し、2段目の電解エッチングは上記エッチングピット孔径拡大工程に相当する。
The etching process was performed stepwise as follows.
First, as pretreatment, the aluminum foil was immersed in a solution of 1M hydrochloric acid + 3M sulfuric acid at 80 ° C. for 30 seconds. Subsequently, as the first-stage electrolytic etching, the pretreated aluminum foil was immersed in a solution of 1M hydrochloric acid + 3M sulfuric acid at 80 ° C., and a direct current of 500 mA / cm 2 was applied for 120 seconds. Subsequently, as the second-stage electrolytic etching, the aluminum foil after the first-stage electrolytic etching was immersed in a solution of 1 M hydrochloric acid + 3 M sulfuric acid at 80 ° C., and a direct current of 50 mA / cm 2 was applied for 600 seconds. The pretreatment corresponds to the surface layer removal step, the first-stage electrolytic etching corresponds to the etching pit generation step, and the second-stage electrolytic etching corresponds to the etching pit hole diameter expanding step.

上記エッチング処理後のアルミニウム箔に対して、85℃の100g/Lホウ酸溶液中にて270Vの化成を行い、静電容量を測定した。なお、静電容量は、実施例No.1の供試材における静電容量を100として、相対評価によって示した。
また、得られた供試材について、ESCA(X線光電子分析装置)によって酸化皮膜の厚さを測定した。
静電容量および酸化皮膜の厚さの測定結果を表2に示す。
The aluminum foil after the etching treatment was formed at 270 V in a 100 g / L boric acid solution at 85 ° C., and the capacitance was measured. In addition, electrostatic capacitance is Example No. It was shown by relative evaluation with the electrostatic capacity of 1 specimen as 100.
Moreover, about the obtained test material, the thickness of the oxide film was measured by ESCA (X-ray photoelectron analyzer).
Table 2 shows the measurement results of the capacitance and the thickness of the oxide film.

表2に示す静電容量の測定結果から明らかなように、実施例では、高い静電容量が得られている。一方、本発明の成分または製造条件を外れる比較例では、いずれも十分な静電容量が得られなかった。   As is clear from the measurement results of the capacitance shown in Table 2, in the examples, a high capacitance is obtained. On the other hand, none of the comparative examples deviating from the components or the production conditions of the present invention provided sufficient capacitance.

Figure 2013124402
Figure 2013124402

Figure 2013124402
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Claims (2)

質量比で、Si:5〜30ppm、Fe:5〜30ppm、Cu:30〜70ppm、Pb:0.8〜2.0ppm、Cr:1〜10ppm、Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上を合計で15〜40ppm、Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上を合計で1〜10ppm、REM:1〜10ppmを含有し、残部がAlと不可避不純物からなる組成を有することを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔。   By mass ratio, Si: 5 to 30 ppm, Fe: 5 to 30 ppm, Cu: 30 to 70 ppm, Pb: 0.8 to 2.0 ppm, Cr: 1 to 10 ppm, Mn, Zn, Ga, Sn, In Or it contains 15 to 40 ppm in total, one or two or more of Zr, Ti, and V in total, 1 to 10 ppm in total, and REM: 1 to 10 ppm, with the balance being composed of Al and inevitable impurities. The aluminum foil for electrolytic capacitors characterized by the above-mentioned. 質量比で、Si:5〜30ppm、Fe:5〜30ppm、Cu:30〜70ppm、Pb:0.8〜2.0ppm、Cr:1〜10ppm、Mn、Zn、Ga、Sn、Inのうち一種または二種以上を合計で15〜40ppm、Zr、Ti、Vのうち一種または二種以上を合計で1〜10ppm、REM:1〜10ppmを含有し、残部がAlと不可避不純物からなる組成を有するアルミニウム合金スラブを、550℃以上、4時間以上で均質化処理した後、熱間圧延を実施し、該熱間圧延後、冷間圧延を実施し、該冷間圧延終了後に不活性ガスまたは還元性ガスもしくはこれらの混合ガス雰囲気中で500〜580℃4時間以上の最終焼鈍を実施することを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔の製造方法。   By mass ratio, Si: 5 to 30 ppm, Fe: 5 to 30 ppm, Cu: 30 to 70 ppm, Pb: 0.8 to 2.0 ppm, Cr: 1 to 10 ppm, Mn, Zn, Ga, Sn, In Or it contains 15 to 40 ppm in total, one or two or more of Zr, Ti, and V in total, 1 to 10 ppm in total, and REM: 1 to 10 ppm, with the balance being composed of Al and inevitable impurities. The aluminum alloy slab is homogenized at 550 ° C. or more for 4 hours or more, then hot-rolled, and after the hot rolling, cold-rolled, and after the end of the cold rolling, an inert gas or reduced A method for producing an aluminum foil for an electrolytic capacitor, comprising performing a final annealing at 500 to 580 ° C. for 4 hours or more in an atmosphere of a reactive gas or a mixed gas thereof.
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