JP2013122977A - 保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持装置10は、ウェハ20を保持して回転可能な保持台13と、保持台13を回転させることによって生じる遠心力によりダイシングフレーム22を把持する振り子と、ダイシングフレーム22よりも外側の位置からウェハ20の面方向とは異なる方向に突出するように設けられたガードピン12とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明に係る保持装置の一実施形態について、図1〜4を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図2は、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図3は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分上面図であり、図4は、ウェハをスピンさせた状態における、本発明の一実施形態に係る保持装置の構造の概略を示す部分断面図である。図2は、保持装置10を図1に示すA−A’線において切断した断面図であり、図4は、保持装置10を図3に示すB−B’線において切断した断面図である。
このような材料によりガードピン12を形成することによって、ダイシングテープ21からのダイシングフレーム22の離脱を防止するのに必要な剛性を付与することができ、かつ軽量であるため装置の重量化を防ぐことができる。
11 振り子
11a 軸支部
12 ガードピン(保護部)
13 保持台(保持部)
14 吸引部
20 ウェハ(基板)
21 ダイシングテープ
22 ダイシングフレーム
22a〜22d 切り取り部
23 接着剤層
24 サポートプレート
Claims (7)
- 外周に枠部を備えるとともに片面に基板が接着されている支持膜を保持する保持装置であって、
上記支持膜を介して上記基板を保持し、上記基板の面方向に垂直な直線を回転軸として回転可能な保持部と、
上記保持部に設けられ、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側に位置し、上記保持部を回転させることによって生じる遠心力により上記枠部を把持する振り子を備えた把持部と、
上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部よりも外側の位置から上記基板の面方向とは異なる方向に突出するように設けられた保護部と、
を備えていることを特徴とする保持装置。 - 上記保護部を4つ以上備え、それぞれ等間隔に設けたことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 上記保護部は、上記保持部において、上記基板が保持されたときに上記枠部に設けられた直線状の切り取り部に対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の保持装置。
- 上記保護部は、上記保持部において上記基板を保持したときに、上記枠部から0.2〜5mm離れた位置に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記保護部は、金属又は樹脂材料により形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記保護部は、柱形状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の保持装置。
- 上記保持部は、上記基板を上記支持膜が接着されている側の面から吸引する吸引部を備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の保持装置。
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