JP2013122294A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 従来のアクチュエータでは、移動体２を往復移動させるためのモータ６およびボールねじ機構の他に、シールベルトを張設するためのプーリを設けているので、アクチュエータが必要以上に大きくなるという問題があった。
【解決手段】 複数の軸間に張設され、正逆方向に回転されるタイミングベルト６と、タイミングベルト６の内側で、タイミングベルト６の進行方向に配した摺動ガイド１０と、摺動ガイド１０上を往復直線摺動する摺動体と、タイミングベルト６を摺動体との間で挟持する支持体７と、タイミングベルト６の外周囲に張設されたシールベルト５と、タイミングベルト６と摺動ガイド１０と摺動体と支持体７とシールベルト５からなる駆動手段を内包し、タイミングベルト６の進行方向に支持体が突出するスリット９を有するハウジング２と、を備え、スリット９は、シールベルト５により閉鎖されたものである。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体部品などの精密部品の製造や検査等を行うクリーンルーム内で使用されるリニアアクチュエータに関する。

従来より、半導体部品などの精密部品の製造や検査等を行うクリーンルーム内で使用され、塵埃の侵入や散出を防止するための構造をしたアクチュエータが知られている。

この種のアクチュエータＣとして、２個の直動案内装置(２本のガイドレール１０４)が配設され、２個の直動案内装置に１つの移動体１０２が設けられているとともに、移動体１０２の位置決め機構として、ボールねじ機構を適用しているものがあった。このボールねじ機構は、２本のガイドレール１０４の間に、当該ガイドレール１０４の延出方向に沿って平行に延出したねじ軸１２２と、送りねじとしてのボールナット(図示しない)とを備えており、ねじ軸１２２が駆動装置(例えば、モータ)１０６によって回転する。モータ１０６によりねじ軸１２２が回転されると、このときの回転運動が複数のボールに伝達され、これら複数のボールが螺旋状転動空間に沿って循環することにより、ボールナットをねじ軸１２２に沿って往復運動させることができる。これにより、ボールナットに固定された移動体１０２をスライダ１０８を介してガイドレール１０４に沿って往復移動させることができるとともに、モータ１０６を停止することで移動体１０２を所定の位置で停止させることができる。

また、アクチュエータＣには、スリット１１２による開口を塞ぐ可動式のシールベルト１１６が設けられている。このシールベルト１１６は、移動体１０２の移動方向(図７の左右方向)の両端部に上下２個ずつ合計４個のプーリ１１４が軸受(図示しない)を介して回転可能に設けられ、プーリ１１４と移動体１０２との間に架けてスリット１１２による開口を塞ぐものである（例えば、特許文献１参照）。ここで、図７（ａ）は従来のアクチュエータ全体を示す縦断面図であり、図７(ｂ)は図７(ａ)のＤ−Ｄ線に沿う断面図であり、図７(ｃ)は図７(ａ)のＥ−Ｅ線に沿う断面図であり、図７(ｄ)は図７(ａ)のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。

特開２００７−２７０８８１号公報（背景技術）

しかしなから、従来のアクチュエータでは、ガイドレール１０４に沿って移動体１０２を往復移動させるためのモータ１０６およびボールねじ機構の他に、スリット１１２による開口を塞ぐシールベルト１１６を張設するために移動体１０２の移動方向の両端部に上下２ずつ合計４個のプーリ１１４を設けているので、移動体の移動距離を確保するために、アクチュエータ全体が必要以上に大きくなるという問題があった。

本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、リニアアクチュエータ内部の構成を簡略化し、搬送効率を向上させることができるリニアアクチュエータを提供することを目的とする。

上記課題を解決し上記目的を達成するために、本発明のうち第１の態様に係るものは、 複数の軸間に張設され、正逆方向に回転されるタイミングベルトと、タイミングベルトの内側で、タイミングベルトの進行方向に配した摺動ガイドと、タイムングベルトにより摺動ガイド上を往復直線摺動する摺動体と、タイミングベルトを摺動体との間で挟持する支持体と、タイミングベルトの外周囲に張設され、タイミングベルトとともに回転するシールベルトと、タイミングベルトと摺動ガイドと摺動体と支持体とシールベルトからなる駆動手段を内包し、タイミングベルトの進行方向に支持体が突出するスリットを有するハウジングと、を有し、スリットは、シールベルトにより閉鎖され、支持体は、スリットから突出し、その先端にハンド部を備えたものである。

本発明によれば、シールベルトをタイミングベルトの外周囲に張設し、タイミングベルトとともに回転するようにしているので、ハウジング内部の構成を簡略化できるとともに、全体的に省スペース化を図ることができる。これにより、摺動体の移動と連動して移動するハンド部の移動距離も従来より長く設定でき、搬送効率を向上させることができる。

本発明のうち第２の態様に係るものは、第１の態様に係るリニアアクチュエータであって、シールベルトとタイミングベルトは、一体的に結合して設けられたものである。

本発明によれば、シールベルトとタイミングベルトとが一体的に結合して設けられているので、シールベルトとタイミングベルトがずれることなく、シールベルトによりハウジングのスリットを確実に閉鎖させることができる。

本発明のうち第３の態様に係るものは、第１または第２の態様に係るリニアアクチュエータであって、ハウジングは、駆動手段を２組対称にして内包し、対向する面にそれぞれの駆動手段の支持体が突出するスリットを有し、支持体の先端に設けられたハンド部は、ハウジングのスリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配されたものである。

本発明によれば、ハウジングの対向する面に形成されているスリットから突出させたハンド部をスリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配しているので、リニアアクチュエータの現状の高さで、またはリニアアクチュエータの高さを変更するのみで、ハンド部が半導体部品の収納容器に接触することなく、一方のハンド部で半導体部品を取りながら、他方のハンド部でも半導体部品を取ることができる。これにより、半導体部品の搬送効率を向上させることができる

本発明によれば、シールベルトをタイミングベルトの外周囲に張設し、タイミングベルトとともに回転するようにしているので、リニアアクチュエータ内部のスペースを有効に利用でき、搬送効率を向上させることができる。

本発明の一実施形態におけるリニアアクチュエータの斜視図である。 同リニアアクチュエータの内部構造を示す図である。 （ａ）同リニアアクチュエータの上面図である。 （ｂ）同リニアアクチュエータの側面一部断面図である。 図３（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図である。 図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面を示す図である。 図４のＣ−Ｃ断面を示す図である。 (ａ) 従来のアクチュエータ全体を示す縦断面図である。 (ｂ) 図７(ａ)のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。 (ｃ) 図７(ａ)のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。 (ｄ) 図７(ａ)のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。

以下、本発明のリニアアクチュエータの一実施形態について図面を参照にしながら説明する。図１は本発明の一実施形態におけるリニアアクチュエータの斜視図であり、図２は同リニアアクチュエータの内部構造を示す図であり、図３（ａ）は同リニアアクチュエータの上面図であり、図３（ｂ）は同リニアアクチュエータの側面一部断面図であり、図４は図３（ａ）のＡ−Ａ断面を示す図であり、図５は図３（ｂ）のＢ−Ｂ断面を示す図であり、図６は図４のＣ−Ｃ断面を示す図である。

図１、図２に示すように、リニアアクチュエータ１は、主として、ハウジング２と、摺動体３（左摺動体３ａ、右摺動体３ｂ）と、移動体４（左移動体４ａ、右移動体４ｂ）と、シールベルト５（左シールベルト５ａ、右シールベルト５ｂ）と、タイミングベルト６（左タイミングベルト６ａ、右タイミングベルト６ｂ）と、支持体７（左支持体７ａ、右支持体７ｂ）とを備えている。ここで、左摺動体３ａ、左移動体４ａ、左シールベルト５ａ、左タイミングベルト６ａ、左支持体７ａは、それぞれハウジング２の左側に設けられた摺動体３、移動体４、シールベルト５、タイミングベルト６、支持体７であり、また、右摺動体３ｂ、右移動体４ｂ、右シールベルト５ｂ、右タイミングベルト６ｂ、右支持体７ｂは、それぞれハウジング２の右側に設けられた摺動体３、移動体４、シールベルト５、タイミングベルト６、支持体７である。なお、本実施形態では、ハウジング２の左側に設けられた部材とハウジング２の右側に設けられた部材はそれぞれ左右対称の同一部材であるので、以下では、両者を併せて摺動体３、移動体４、シールベルト５、タイミングベルト６、支持体７として説明する（その他の部材も同様）。また、本実施形態では、摺動体３と移動体４とシールベルト５とタイミングベルト６と支持体７をそれぞれ２組左右対称に設けたが、これに限らず、摺動体３と移動体４とシールベルト５とタイミングベルト６を一組のみ設けたものであってもよい。

ハウジング２は、内部が空洞で四角柱形状であり、左右の側面８（左側面８ａ、右側面８ｂ）に外部に開いたタイミングベルト６の進行方向に長く延びるスリット９（左スリット９ａ、右スリット９ｂ）が形成されている。ハウジング２の内部には、摺動体３を案内するための凸状の摺動ガイド１０（左摺動ガイド１０ａ、右摺動ガイド１０ｂ）が左右に設置されている（図４、図５参照）。

摺動体３は、下部に凹部が形成され、その凹部が凸状の摺動ガイド１０に嵌合されて、ハウジング２に設けられたスリット９に沿ってタイミングベルト６の進行方向に摺動するものである。このように、摺動体３は、摺動ガイド１０に案内されながらスリット９に沿ってタイミングベルト６の進行方向に摺動する。移動体４は、摺動体３の上部で摺動体３と一体的に結合されている。そして、移動体４は、摺動体３が摺動することにより摺動体３と一体的に移動する。

タイミングベルト６は、移動体４を移動させるベルトである、このタイミングベルト６は、２つのプーリ１１（前方プーリ１１Ａ（左前方プーリ１１Ａａ、右前方プーリ１１Ａｂ）、後方プーリ１１Ｂ（左後方プーリ１１Ｂａ、右後方プーリ１１Ｂｂ））を介してハウジング２内に軸間方向可動に張設されている。すなわち、タイミングベルト６は、前方プーリ１１Ａと後方プーリ１１Ｂをそれぞれ軸として２軸間に張設され、この２軸間において正逆方向に回転することができる。この２個のプーリ１１のうち、前方プーリ１１Ａは駆動モータ１３（左駆動モータ１３ａ、右駆動モータ１３ｂ）により駆動される駆動プーリであり、後方プーリ１１Ｂは駆動モータにより駆動されない従動プーリである。また、このタイミングベルト６は、プーリ１１の側面の中間付近の小径プーリ部１１Ｘに嵌合して張設されている（図３（ｂ）参照）。このタイミングベルト６の内側面にはタイミングベルト歯部１６（左タイミングベルト歯部１６ａ、右タイミングベルト歯部１６ｂ）が設けられ、タイミングベルト歯部１６はプーリ１１の小径プーリ部１１Ｘの側面に設けられた小径プーリ部歯部（図示略）と噛み合うように構成されている。そして、この駆動モータ１３が駆動することにより前方プーリ１１Ａが回転し、その回転に伴ってタイミングベルト６も回転する。ここで、駆動モータ１３は、ハウジング２の外部からボルト(図示略)で取り付けられ、前方プーリ１１Ａは駆動モータ１３の回転軸を中心として回転する。また、後方プーリ１１Ｂは、ハウジング２の外部から取り付けられたプーリ回転支軸１２（左プーリ回転支軸１２ａ、右プーリ回転支軸１２ｂ）を中心として回転する。このように、駆動モータ１３が駆動することにより、タイミングベルト６と結合されている移動体４が摺動体３とともに摺動ガイド１０上を往復直線摺動する。ここで、移動体４のタイミングベルト６と接触する面には移動体歯部１９（移動体歯部１９ａ、移動体歯部１９ｂ）が形成され、その移動体歯部１９にタイミングベルト歯部１６が噛み合うことにより、移動体４はタイミングベルト６と一体になって移動することができる（図６参照）。なお、本実施形態では、前方プーリ１１Ａを駆動プーリとし、後方プーリ１１Ｂを従動プーリとしたが、これに限らず、いずれもプーリ１１も駆動プーリとしてもよい。また、本実施形態では、２個のプーリ１１を用いてタイミングベルト６を張設したが、これに限らず、前方プーリ１１Ａと後方プーリ１１Ｂの間に他のプーリを設け、３個以上のプーリ１１を用いてタイミングベルト６を張設させてもよい。ここで、摺動ガイド１０は、タイミングベルト６の内側で、前方プーリ１１Ａと後方プーリ１１Ｂの間、すなわち、プーリ１１の長手側の軸間方向（タイミングベルト６の進行方向）に配されている。

シールベルト５は、帯状形状をしており、移動体４とともに移動しながらハウジング２のスリット９を閉鎖するものである。ここで、ハウジング２のスリット９を閉鎖するとは、スリット９をシールベルト５で塞ぎ、ハウジング２の内部からスリット９を介しハウジング２の外部にゴミや塵埃などが出ないようにしていることを意味し、スリット９とシールベルト５の間にハウジング２の内部からスリット９を介しハウジング２の外部にゴミや塵埃などが出ない程度の隙間が存在する場合も含まれる。このシールベルト５は、タイミングベルト６の外周囲に沿って、２個のプーリ１１（前方プーリ１１Ａ、後方プーリ１１Ｂ）を軸として張設されている。具体的には、シールベルト５は、タイムングベルト６の外側面に結合して設けられ、タイミングベルト６が張設されているプーリ１１の小径プーリ部１１Ｘと一体になったプーリ１１の上下プーリ部１１Ｙを介して張設されている。このように、シールベルト５は、タイミングベルト６とともに回転することができる。なお、本実施形態では、シールベルト５とタイミングベルト６を一体的に結合して設けたが、これに限らず、タイミングベルト６をシールベルト５と別体にして、タイミングベルト６をシールベルト５の内側面に沿って設けてもよい。また、本実施形態では、小径プーリ部１１Ｘと一体の上下プーリ部１１Ｙからプーリ１１を構成したが、これに限らず、小径プーリ部１１Ｘと別体の上下プーリ部１１Ｙを組み立ててプーリ１１を構成してもよい。

支持体７は、タイミングベルト６とシールベルト５を介して移動体４とビス１７により結合している（図６参照）。すなわち、支持体７には支持体ビス取付孔（図示略）が設けられ、またシールベルト５にはシールベルトビス取付孔（図示略）が設けられている。そして、タイミングベルト６を移動体４のタイミングベルト取付穴１８（タイミングベルト取付穴１８ａ、タイミングベルト取付穴１８ｂ）に装着した後、ビス１７を支持体７の支持体ビス取付孔（図示略）およびシールベルト５のシールベルトビス取付孔（図示略）に挿入して支持体７と移動体４を結合することにより、支持体７とシールベルト５とタイミングベルト６と移動体４が固定される。これにより、移動体４の移動に伴って、支持体７およびシールベルト５も可動することになる。支持体７は、ハウジング２のスリット９から突出してハウジング２の上部に延び、ハウジング２の上部には半導体部品などの精密部品を載せるためのハンド部１４（左ハンド部１４ａ、右ハンド部１４ｂ）が形成されている。この支持体７の左ハンド部１４ａと右ハンド部１４ｂは、ハウジング２の上面上で、左ハンド部１４ａが右ハンド部１４ｂの下方に所望の間隔をあけて、左ハンド部１４ａと右ハンド部１４ｂの進行方向の中心位置が同一になるように配置されている。ここで、所望の間隔とは、ハンド部１４に載せる物（たとえば、半導体部品）の高さより高い間隔である。このようにすることにより、下部のハンド部１４に半導体部品を載せた状態で、上部のハンド部１４を自由に移動させることができる。なお、本実施形態では、左ハンド部１４ａを右ハンド部１４ｂの下部に配置させたが、これに限らず、右ハンド部１４ｂを左ハンド部１４ａの下部に配置させてもよい。このように、ハウジング２は、タイミングベルト６と摺動ガイド１０と摺動体３と支持体７とシールベルト５からなる駆動手段を２組対称に内包して構成されている。

ハウジング２の前方側面２ａと後方側面２ｃには排圧機構（図示略）が設けられている。この排圧機構は、ハウジング２の前方側面２ａと後方側面２ｃに設けられた排圧口と、その排圧口に接続された排圧チューブと、排圧チューブを介しハウジング２内の内気を吸引するポンプから構成されている。この排圧機構により、ハウジング２内の内気が吸引され、ハウジング２の内部が減圧されて負圧状態に保たれる。また、排圧機構（図示略）は、ハウジング２の前方側面２ａと後方側面２ｃに設けられた排圧口と、その排圧口全体を覆う塵埃などを通さないフィルターから構成するものであってもよい。この排圧機構によっても、ハウジング２の内部の塵埃などをハウジング２の外部に出すことなく、ハウジング２の内気をハウジング２の外部に排気することができる。なお、本実施形態では、ハウジング２の前方側面２ａと後方側面２ｃに排圧機構（図示略）を設けたが、これに限らず、ハウジング２の壁面であれば他の壁面に排圧機構を設けたものであってもよい。

リニアアクチュエータ１の下部には、回転昇降支軸１５が設けられている。この回転昇降支軸１５により、リニアアクチュエータ１を上下方向に昇降させることができるとともに回転させることができる。

次に、本発明の一実施形態におけるリニアアクチュエータの動作、作用について説明する。リニアアクチュエータ１は、操作スイッチ（図示略）が操作されることにより、あらかじめ作成されたプログラムに従い作動するが、ここでは、リニアアクチュエータ１の基本動作について説明する。

まず、操作スイッチ（図示略）が操作されることにより、所定のプログラムに従って、支持体７のハンド部１４が半導体部品の収納容器内の半導体部品に向かって移動する。具体的には、回転昇降支軸１５によりリニアアクチュエータ１を昇降回転させて、支持体７のハンド部１４を移動させようとする半導体部品の方向に向ける。そして、駆動モータ１３によりプーリ１１を回転させ、プーリ１１に張設されているタイミングベルト６により移動体４を摺動体３および支持体７とともに半導体部品の方向に前進移動させる。このようにして、支持体７のハンド部１４を移動させようとする半導体部品の下部に移動させることができる。そして、支持体７のハンド部１４を半導体部品の下部に移動させた後は、回転昇降支軸１５によりリニアアクチュエータ１を上昇させ、それに伴ってハンド部１４が上昇することにより、ハンド部１４上に半導体部品を保持することができる。なお、このように支持体７が前進した場合でも、シールベルト５が移動体４とともに移動するので、ハウジング２のスリット９はシールベルト５により閉鎖されている状態を維持することができる。

次に、半導体部品を載せた支持体７のハンド部１４をハウジング２の上部に後退させる。具体的には、駆動モータ１３を上述と逆回転させることにより、支持体７を後退移動させて、半導体部品が載せられているハンド部１４をハウジング２の上部に移動させる。このようにして、支持体７のハンド部１４に載せられた半導体部品をハウジング２の上部に移動させることができる。なお、このように支持体７が後退させた場合でも、シールベルト５が移動体４とともに移動するので、ハウジング２のスリット９はシールベルト５により閉鎖されている状態を維持することができる。

次に、支持体７のハンド部１４に載せられている半導体部品を他の場所に移動させる。具体的には、回転昇降支軸１５によりリニアアクチュエータ１を回転昇降させて、支持体７のハンド部１４を半導体部品の移動場所の方向に向ける。そして、駆動モータ１３によりプーリ１１を回転させ、プーリ１１に張設されているタイミングベルト６により移動体４を摺動体３および支持体７とともに半導体部品の移動場所に前進移動させる。そして、支持体７のハンド部１４上の半導体部品を他の場所まで前進移動させた後は、他の場所において、回転昇降支軸１５によりリニアアクチュエータ１を降下させ、それに伴ってハンド部１４が降下することにより、他の場所に半導体部品が降ろすことができる。その後、支持体７のハンド部１４を後退させる。このように、半導体部品が移動可能になり半導体部品を他の場所に移動させることができる。

また、本実施形態のリニアアクチュエータ１は、左支持体７ａの左ハンド部１４ａに半導体部品を載せている状態で、右駆動モータ１３ｂにより右プーリ１１ｂを回転させ、半導体部品の収納容器内の半導体部品を右ハンド部１４ｂに載せることもできる。また、ハンド部１４の上下方向に間隔と半導体部品の収納容器の半導体部品の上下方向の間隔が同じ、若しくは正数倍の比例の関係である場合は、左支持体７ａの左ハンド部１４ａと右支持体７ｂの右ハンド部１４ｂを同時に前進させることにより、半導体部品の収納容器内の別々の半導体部品を左ハンド部１４ａ上および右ハンド部１４ｂ上に同時に載せることもできる。このように、ハンド部１４をハウジング２のある面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配しているので、リニアアクチュエータ１の現状の高さで、またはリニアアクチュエータ１の高さを変更するのみで、ハンド部１４が半導体部品の収納容器に接触することなく、一方のハンド部１４で半導体部品を取りながら、他方のハンド部１４でも半導体部品を取ることができる。これにより、左ハンド部１４ａおよび右ハンド部１４ｂがそれぞれ独立して作業することができるので、半導体部品の搬送効率を向上させることができる。

今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

以下、本発明の変形例について説明する。
（１） 本実施形態では、摺動体３と移動体４を別々の構成として説明したが、これに限らず、摺動体３と移動体４とを一体として摺動体とみなしてもよい。この場合、摺動体はタイミングベルト６により摺動ガイド１０上を往復直線摺動し、また摺動体はタイミングベルト６を支持体７との間で挟持している。

（２） 本実施形態では、半導体部品をハンド部１４に載せると説明したが、これに限らず、半導体部品をハンド部１４により把持するようにしてもよい。この場合のハンド部１４は、半導体部品を把持する把持手段（図示略）を有するものである。

（３） 本実施形態では、支持体７のハンド部１４はハウジング２の上部に配置させたものであったが、これに限らず、ハウジング２の対向する面にスリット９を形成し、支持体７のハンド部１４をスリット９が形成された面と異なる面（たとえば、ハウジング２の下面）上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配するようにしてもよい。

（４） 本実施形態では、シールベルト５を支持体７と移動体４の間に挟んで結合させたが、これに限らず、シールベルト５を支持体７と移動体４の間に挟まず、シールベルト５と移動体４とをビスにより固定し、支持体７と移動体４とを他のビスにより固定してもよい。ここで、ビスに代えてボルトを用いて固定してもよい（本実施形態でも同様）。また、シールベルト５を固定する際に、シールベルト５を移動体４内で分離させて固定してもよい。

１ リニアアクチュエータ
２ ハウジング
３ 摺動体
４ 移動体
５ シールベルト
６ タイミングベルト
７ 支持体
８ 側面
９ スリット
１０ 摺動ガイド
１１ プーリ
１２ プーリ回転支軸
１３ 駆動モータ
１４ ハンド部
１５ 回転昇降支軸
１６ タイミングベルト歯部
１７ ビス
１８ タイミングベルト取付穴
１９ 移動体歯部

Claims (3)

1. 複数の軸間に張設され、正逆方向に回転されるタイミングベルトと、
   該タイミングベルトの内側で、前記タイミングベルトの進行方向に配した摺動ガイドと、
   前記タイムングベルトにより前記摺動ガイド上を往復直線摺動する摺動体と、
   前記タイミングベルトを前記摺動体との間で挟持する支持体と、
   前記タイミングベルトの外周囲に張設され、前記タイミングベルトとともに回転するシールベルトと、
   前記タイミングベルトと前記摺動ガイドと前記摺動体と前記支持体と前記シールベルトからなる駆動手段を内包し、前記タイミングベルトの進行方向に前記支持体が突出するスリットを有するハウジングと、を有し、
   前記スリットは、前記シールベルトにより閉鎖され、
   前記支持体は、前記スリットから突出し、その先端にハンド部を備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 前記シールベルトと前記タイミングベルトは、一体的に結合して設けられたことを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
3. 前記ハウジングは、前記駆動手段を２組対称にして内包し、対向する面にそれぞれの駆動手段の前記支持体が突出するスリットを有し、
   前記支持体の先端に設けられた前記ハンド部は、前記ハウジングの前記スリットが形成された面と異なる面上で、上下方向に所望の間隔をあけ、進行方向の中心位置が同一で重畳して配されたことを特徴とする請求項１または請求項２記載のリニアアクチュエータ。
   
   
   
   
   

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