JP2013119877A5 - - Google Patents

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  1. 流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に着脱可能に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧・離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、
    ボディおよびシートホルダがいずれも金属製とされて、シートホルダのビッカース硬度は、ボディのビッカース硬度よりも小さくなされていることを特徴とするダイヤフラム弁。
  2. ボディのビッカース硬度がHv180〜Hv300であり、シートホルダのビッカース硬度がHv90〜Hv150であることを特徴とする請求項1のダイヤフラム弁。
  3. シートは、シートホルダおよびリテーナからなるダイヤフラム弁用シートホルダユニットに保持されて、ボディ内に配置されていることを特徴とする請求項1または2のダイヤフラム弁。
  4. リテーナは、略円筒状で、シートの外径にほぼ等しい内径を有している周壁と、周壁の下端部に設けられてシートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部とを有していることを特徴とする請求項3のダイヤフラム弁。
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