JP2013113887A - Method and device for recycling glass plate for color filter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス板上に着色画素、ブラックマトリックス、オーバーコート、フォトスペーサー等が積層されたディスプレイ用カラーフィルタから、オーバーコート、フォトスペーサー、着色画素膜、ブラックマトリックス及び透明電極等を除去し、ガラス板を再生利用するためのカラーフィルタ用ガラス板再生方法に関する。 The present invention removes an overcoat, a photo spacer, a colored pixel film, a black matrix, a transparent electrode, and the like from a color filter for display in which a colored pixel, a black matrix, an overcoat, a photo spacer, etc. are laminated on a glass plate, The present invention relates to a method for regenerating a glass plate for a color filter for recycling the glass plate.
大型サイズ液晶ディスプレイ用カラーフィルタ(CF)を生産する際に、規格から外れた不良品が発生する。CFはガラス板の上に樹脂膜、導電膜などを形成することで形成されており、規格から外れた不良品は、ガラス板表面に積層されている膜を除去することで、再びガラス板として利用される。 When producing color filters (CF) for large size liquid crystal displays, defective products that are out of specification are generated. CF is formed by forming a resin film, a conductive film, etc. on the glass plate. Defective products that deviate from the standard can be removed as a glass plate again by removing the film laminated on the glass plate surface. Used.
カラーフィルタの積層膜を、ガラス基板を損傷することなく、容易に短時間で剥離し、再生する方法として、無機酸を含有する前処理液にて前処理する工程と、アルカリを含有する剥離液にて後処理する工程とからなるガラス基板上の画素の剥離方法が提案されている(特許文献1)。 As a method of easily peeling and regenerating the laminated film of the color filter in a short time without damaging the glass substrate, a step of pretreating with a pretreatment solution containing an inorganic acid, and a stripping solution containing an alkali A method for peeling a pixel on a glass substrate comprising a post-processing step is proposed (Patent Document 1).
カラーフィルタは、先ずガラス板上に樹脂膜(ネガ型)であるブラックマトリックスを形成する工程、同じく樹脂膜(ネガ型)である着色フォトレジストを塗布及び予備乾燥する工程、着色フォトレジストを乾燥、硬化するプリベーク工程、露光する工程、現像する工程、着色フォトレジストを硬化させる工程、金属酸化物導電膜形成、パターン化工程、樹脂膜(ポジ型)であるオーバーコート、フォトスペーサーを形成する工程からなる。 The color filter is a step of first forming a black matrix which is a resin film (negative type) on a glass plate, a step of applying and pre-drying a colored photoresist which is also a resin film (negative type), and drying the colored photoresist. From the pre-baking step for curing, the step of exposing, the step of developing, the step of curing the colored photoresist, the formation of the metal oxide conductive film, the patterning step, the overcoat that is a resin film (positive type), and the step of forming the photo spacer Become.
製造されるカラーフィルタには高い信頼性が必要であるが、前記のようにカラーフィルタ製造工程には多くの工程があり、その途中でゴミや樹脂カスなどの異物の付着・混入、ピンホール、パターン欠け等による欠陥が生じ、品質基準に満たない不良基板となって、歩留まりが低下している現状がある。また、近年の大画面液晶テレビの普及に伴うガラス基板の大型化により、例えば1mm以下の薄く、かつ一辺が1〜2m以上に達するガラス基板では、廃棄そのものに危険が伴う。 The color filter to be manufactured must have high reliability, but as described above, there are many steps in the color filter manufacturing process, and the adhering / mixing of foreign matters such as dust and resin residue, pinholes, There is a current situation in which a defect due to a pattern defect or the like occurs, resulting in a defective substrate that does not meet quality standards, and the yield is reduced. In addition, due to the increase in size of glass substrates accompanying the recent widespread use of large-screen liquid crystal televisions, for example, glass substrates that are as thin as 1 mm or less and that have one side of 1 to 2 m or more have a risk in disposal itself.
そこで、カラーフィルタ製造工程で品質基準を満足しないものが発生した場合は、傷つき等の不良がないガラス基板を再生し、製造工程に再投入・再使用可能なガラス基板再生方法が求められている。 Thus, when a color filter manufacturing process that does not satisfy quality standards occurs, there is a need for a glass substrate recycling method that regenerates a glass substrate that is free from defects such as scratches and that can be re-entered and reused in the manufacturing process. .
ガラス再生処理では、樹脂膜の除去を行う際に高濃度アルカリ(濃度10%以上)を使用して行っている。アルカリはガラス板の浸食作用があることから、高濃度アルカリ(濃度10%以上)を長時間使用することは、ガラス板の表面を浸食させることとなり、ガラス板の再生の不良の原因になっている。 In the glass regeneration treatment, high-concentration alkali (concentration of 10% or more) is used when removing the resin film. Since alkali has an erosion action on the glass plate, using a high concentration alkali (concentration of 10% or more) for a long time will cause the surface of the glass plate to be eroded, leading to defective glass plate regeneration. Yes.
CFのガラス板の再生処理において、樹脂膜の除去に必要となるアルカリ処理の強さは、樹脂膜を形成するのに用いる感光性樹脂(レジスト)の種類と露光処理の状態によって異なる。使用しているレジストの種類がネガ型の場合、露光処理を行った部分では、重合が起こり低濃度アルカリ溶液では剥離できなくなる。 In the CF glass plate regeneration treatment, the strength of the alkali treatment required for removing the resin film varies depending on the type of photosensitive resin (resist) used for forming the resin film and the state of the exposure treatment. When the type of resist used is negative, polymerization occurs in the exposed portion, and it cannot be removed with a low-concentration alkaline solution.
そのためネガ型レジストの非露光処理部分は、CF製造工程にて比較的弱いアルカリ処理で現像処理が可能だが、不良品となったCFの露光処理後の樹脂膜をガラス板再生処理で除去するには強力なアルカリ処理が必要となる。一方、ポジ型のレジストの場合、露光
処理を行った部分では感光剤の酸化が起こりアルカリに溶解性となる。
Therefore, the non-exposed portion of the negative resist can be developed with a relatively weak alkali treatment in the CF manufacturing process, but the resin film after the exposure treatment of the defective CF is removed by the glass plate regeneration treatment. Requires a strong alkali treatment. On the other hand, in the case of a positive resist, the photosensitive agent is oxidized and becomes soluble in alkali at the exposed portion.
そのためポジ型レジストの露光処理部分は、CF製造工程にて比較的弱いアルカリ処理で現像処理が可能だが、不良品となったCFの未露光処理の樹脂膜をガラス板再生処理で除去するには強力なアルカリ処理が必要となり、ガラス板の表面を浸食させてしまい、ガラス板を再使用することができなくなる。 For this reason, the exposed resist portion of the positive resist can be developed with a relatively weak alkali treatment in the CF manufacturing process, but in order to remove the defective CF unexposed resin film by the glass plate regeneration process. A strong alkali treatment is required, and the surface of the glass plate is eroded, making it impossible to reuse the glass plate.
無機酸やアルカリといった化学薬品は、ガラス素材に対してもラジカルに反応し、エッチング現象によりガラス表面の粗度等の表面状態を悪化させ、液晶ガラス基板として使用することが困難となる場合が多い。したがって結局は再生利用されずに廃棄されているのが現状であった。本発明は、ガラス板を侵食させたりして表面状カラーフィルタとがなく、不良となったカラーフィルターの積層材料を除去でき、処理費用が安価な、ガラス板の再生方法及び再生装置を提供することにある。 Chemicals such as inorganic acids and alkalis react with radicals even on glass materials, and surface conditions such as the roughness of the glass surface are deteriorated by the etching phenomenon, making it difficult to use as a liquid crystal glass substrate in many cases. . Therefore, in the end, it was discarded without being recycled. The present invention provides a glass plate regenerating method and a regenerating apparatus in which a laminated material of a color filter that is defective due to erosion of a glass plate is eliminated and a defective color filter can be removed, and the processing cost is low. There is.
上記の課題を解決するための手段として、請求項1に記載の発明は、不良となったカラーフィルタを、連続的に投入するカラーフィルタ用ガラス板再生工程内に、ポジ型の感光性材料からなる樹脂膜(ポジ型)を、光分解するための紫外線露光工程と、紫外線露光された前記樹脂膜(ポジ型)を、除去するアルカリ洗浄工程を有することを特徴とするカラーフィルタ用ガラス板再生方法である。 As means for solving the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is based on a positive photosensitive material in a color filter glass plate recycling step in which defective color filters are continuously fed. A glass plate for color filter, comprising: an ultraviolet exposure step for photodegrading a resin film (positive type) to be obtained; and an alkali cleaning step for removing the resin film (positive type) exposed to the ultraviolet ray Is the method.
また、請求項2に記載の発明は、前記アルカリ洗浄工程に用いられる低濃度アルカリ溶液の濃度が、10%未満のアルカリ溶液であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ用ガラス板再生方法である。 The invention according to claim 2 is the glass plate for a color filter according to claim 1, wherein the concentration of the low-concentration alkaline solution used in the alkali washing step is an alkaline solution of less than 10%. It is a playback method.
また、請求項3に記載の発明は、不良となったカラーフィルタを、連続的に投入するカラーフィルタ用ガラス板再生装置であり、
ポジ型の感光性材料からなる樹脂膜(ポジ型)に紫外線を照射する紫外線露光機と、
紫外線照射された前記樹脂膜(ポジ型)を除去する、濃度が10%未満のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機と、
導電膜を除去するためのエッチング機と、
樹脂膜(ネガ型)を除去する、濃度が10%以上のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機と、
水洗処理機とを、
具備したことを特徴とするカラーフィルタ用ガラス板再生装置である。
Further, the invention according to claim 3 is a glass plate regenerator for a color filter for continuously introducing defective color filters,
An ultraviolet exposure machine for irradiating ultraviolet rays onto a resin film (positive type) made of a positive photosensitive material;
An alkali washer that removes the resin film (positive type) irradiated with ultraviolet rays and ejects an alkaline solution having a concentration of less than 10%;
An etching machine for removing the conductive film;
An alkali washer that removes the resin film (negative type) and ejects an alkali solution having a concentration of 10% or more;
With water washing machine,
It is the glass plate reproduction | regeneration apparatus for color filters characterized by having.
また、請求項4に記載の発明は、前記濃度が10%未満のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機に、前記濃度が10%以上のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機とを接続し、
前記濃度が10%未満のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機に、濃度が10%以上のアルカリ溶液を導入するバルブを具備したことを特徴とする請求項3に記載のカラーフィルタ用ガラス板再生装置である。
Further, the invention according to claim 4 is connected to an alkali washer that ejects an alkali solution having a concentration of less than 10% and an alkali washer that ejects an alkali solution having a concentration of 10% or more,
The glass plate regenerator for a color filter according to claim 3, wherein a valve for introducing an alkali solution having a concentration of 10% or more is provided in an alkali washer that ejects the alkali solution having a concentration of less than 10%. It is.
本発明は、不良となったカラーフィルタの連続的に投入するカラーフィルタ用ガラス板再生工程内に紫外線露光工程を含めることにより、樹脂膜(ポジ型)4を除去するための剥離液として、低濃度(濃度10%未満)のアルカリを使用することを可能にし、ガラス表面の侵食を防ぎ不良を低減させ、低濃度アルカリの使用により、処理費用が低減される。 The present invention includes an ultraviolet exposure process in the glass filter regeneration process for continuously introducing defective color filters, and as a stripping solution for removing the resin film (positive type) 4, It is possible to use an alkali with a concentration (less than 10%), prevent erosion of the glass surface and reduce defects, and the use of a low concentration alkali reduces processing costs.
以下本発明を実施するための形態を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明のカラーフィルタ用ガラス板の再生方法を示している。カラーフィルタは、ガラス板1上に樹脂膜(ネガ型)2、金属酸化物導電膜3、樹脂膜(ポジ型)4からなる積層体である。本発明は、露光ランプ5により紫外線を照射すると、樹脂膜(ポジ型)4は光分解をして、樹脂膜成分の樹脂が短くなり、今まで、高濃度アルカリを用いないと溶解しなかった樹脂膜(ポジ型)4が、低濃度アルカリ溶液でも溶解するようになることを見出したことによる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a method for regenerating a glass plate for a color filter according to the present invention. The color filter is a laminate including a resin film (negative type) 2, a metal oxide conductive film 3, and a resin film (positive type) 4 on a glass plate 1. In the present invention, when the exposure lamp 5 irradiates ultraviolet rays, the resin film (positive type) 4 undergoes photolysis, and the resin of the resin film component becomes shorter, and until now, it did not dissolve unless a high concentration alkali was used. This is because it has been found that the resin film (positive type) 4 can be dissolved even in a low-concentration alkaline solution.
<紫外線露光処理>
露光ランプ: 紫外線ランプ(超高圧水銀ランプ)波長: 365nm、405nm、436nm
エネルギー: 200mW/cm2以上
露光量:100mJ/cm2以上、露光時間:0.5sec以上尚、露光時間は、エネルギーと露光時間との関係に依存するため、エネルギーが減れば露光時間は増える。
<UV exposure processing>
Exposure lamp: UV lamp (ultra-high pressure mercury lamp) Wavelength: 365 nm, 405 nm, 436 nm
Energy: 200 mW / cm 2 or more
Exposure amount: 100 mJ / cm 2 or more, exposure time: 0.5 sec or more Note that since the exposure time depends on the relationship between energy and exposure time, the exposure time increases as the energy decreases.
<樹脂膜(ポジ型)>
樹脂膜(ポジ型)4が使われている層としてはオーバーコート(Over Coat)(以下OC)/フォトスペーサー(Photo Spacer)(以下PS)層である。
<Resin film (positive type)>
The layer in which the resin film (positive type) 4 is used is an overcoat (hereinafter referred to as OC) / photo spacer (hereinafter referred to as PS) layer.
即ち、樹脂膜(ポジ型)4に限っては、アルカリ処理の前に、未露光処理部分の樹脂膜を露光処理することで、アルカリ溶解性の膜に変化させて、ガラス板再生処理でも比較的弱いアルカリ処理での除去が可能となる。この方法により、樹脂膜(ポジ型)4を使用したCFの不良品は比較的低濃度のアルカリ(濃度10%未満)を使用できるため、ガラス板再生処理費用を低減し、ガラス板表面の侵食を抑制することでガラス板再生不良を低減させることができる。 That is, for the resin film (positive type) 4 only, the resin film in the unexposed portion is exposed to an alkali treatment before the alkali treatment, so that the resin film is changed to an alkali-soluble film. It is possible to remove by weak alkali treatment. By this method, defective CF using resin film (positive type) 4 can use a relatively low concentration of alkali (concentration less than 10%), thus reducing the cost of glass plate regeneration and eroding the glass plate surface. It is possible to reduce glass plate regeneration failure by suppressing the above.
光照射されたカラーフィルタに、低濃度アルカリ溶液7をシャワー6から噴出させると、不良となったカラーフィルタの最上部の樹脂膜(ポジ型)4が、低濃度アルカリ溶液7に溶解し取り除かれる。 When the low-concentration alkaline solution 7 is ejected from the shower 6 onto the light-irradiated color filter, the uppermost resin film (positive type) 4 of the defective color filter is dissolved and removed in the low-concentration alkaline solution 7. .
<低濃度のアルカリ処理>
低濃度のアルカリ溶液: KOH5%未満、有機アミン5%未満温度: 45〜70℃流量: 150〜300L/min
有機アミンとしては、モノエタノールアミン、トリエタノールアミンが好適である。
<Low concentration alkali treatment>
Low concentration alkaline solution: less than 5% KOH, less than 5% organic amine Temperature: 45-70 ° C. Flow rate: 150-300 L / min
As the organic amine, monoethanolamine and triethanolamine are suitable.
続いてエッチング溶液8を同じくシャワー6から噴出させ、金属酸化導電膜3を溶解させて除去する。 Subsequently, the etching solution 8 is similarly ejected from the shower 6 to dissolve and remove the metal oxide conductive film 3.
<金属酸化導電膜>
ITO透明電極が好適であるが、この材料に限定するものではない。
<Metal oxide conductive film>
An ITO transparent electrode is preferred, but is not limited to this material.
<エッチング処理>
エッチング液: 塩化第2鉄90%以上、硝酸又は塩酸又はシュウ酸10%未満温度: 45〜70℃流量: 150〜300L/min
続いて高濃度アルカリ溶液9を、同じくシャワー6から噴出させ、樹脂膜(ネガ型)2を溶解させて除去し、最後に水10をシャワー6から噴出させ、樹脂や金属酸化物導電膜3の残渣や、エッチング溶液8やアルカリ溶液を取り除き、水切りを行い、乾燥して、ガラス板を再生する。
<Etching treatment>
Etching solution: Ferric chloride 90% or more, nitric acid, hydrochloric acid or oxalic acid less than 10% Temperature: 45-70 ° C. Flow rate: 150-300 L / min
Subsequently, the high-concentration alkaline solution 9 is similarly ejected from the shower 6, the resin film (negative type) 2 is dissolved and removed, and finally, water 10 is ejected from the shower 6, and the resin or metal oxide conductive film 3 is removed. The residue, the etching solution 8 and the alkaline solution are removed, drained and dried to regenerate the glass plate.
<樹脂膜(ネガ型)>
樹脂膜(ネガ型)2が使われている層としてはブラックマトリックス(以下BM)や着色画素(レッドR、グリーンG、ブルーB)(以下RGB)である。
<Resin film (negative type)>
The layer in which the resin film (negative type) 2 is used is a black matrix (hereinafter referred to as BM) or a colored pixel (red R, green G, blue B) (hereinafter referred to as RGB).
<高濃度のアルカリ処理>
高濃度のアルカリ溶液: KOH5%以上、有機アミン5%以上温度: 45〜70℃流量: 150〜300L/min
図2は本発明のカラーフィルタ用ガラス板再生方法のフローであり、樹脂膜(ポジ型)4を分解するための紫外線露光処理、分解した樹脂膜(ポジ型)4を除去する低濃度アルカリ処理、金属酸化物導電膜3を除去するエッチング処理、樹脂膜(ネガ型)2除去する高濃度アルカリ処理、カラス板の残渣等を洗い流す水洗処理からなる方法を示している。
<High concentration alkali treatment>
High concentration alkali solution: KOH 5% or more, organic amine 5% or more Temperature: 45-70 ° C. Flow rate: 150-300 L / min
FIG. 2 is a flowchart of the method for regenerating a glass plate for a color filter according to the present invention, an ultraviolet exposure process for decomposing the resin film (positive type) 4, and a low concentration alkali process for removing the decomposed resin film (positive type) 4 3 shows a method comprising etching treatment for removing the metal oxide conductive film 3, high-concentration alkali treatment for removing the resin film (negative type) 2, and water washing treatment for washing away the residue of the crow plate.
図3は従来から行われているカラーフィルタ用ガラス板再生方法を示している。不良となったカラーフィルタに、高濃度アルカリ溶液9を、シャワー6から噴出させ、最上層の樹脂膜(ポジ型)4を溶解させて除去し、続いてエッチング溶液8を同じくシャワー6から噴出させ、金属酸化物導電膜3を溶解させて除去する。 FIG. 3 shows a conventional method for regenerating a glass plate for a color filter. A highly concentrated alkaline solution 9 is ejected from the shower 6 to the defective color filter, the uppermost resin film (positive type) 4 is dissolved and removed, and then the etching solution 8 is also ejected from the shower 6. Then, the metal oxide conductive film 3 is dissolved and removed.
さらに、樹脂膜(ポジ型)4を溶解させた時に用いた高濃度アルカリ溶液9と同じ高濃度アルカリ溶液9を、同じくシャワー6から噴出させ、樹脂膜(ネガ型)2を溶解させて除去し、最後に水10をシャワー6から噴出させ、樹脂や金属酸化物導電膜3の残渣や、エッチング溶液8やアルカリ溶液を取り除き、水切りを行い、乾燥して、ガラス板を再生している。 Further, the same high-concentration alkaline solution 9 as the high-concentration alkaline solution 9 used when the resin film (positive type) 4 is dissolved is ejected from the shower 6 and the resin film (negative type) 2 is dissolved and removed. Finally, water 10 is ejected from the shower 6 to remove the residue of the resin and the metal oxide conductive film 3, the etching solution 8 and the alkaline solution, drain the water, and dry to regenerate the glass plate.
図4は従来より用いられているカラーフィルタ用ガラス板再生方法のフローであり、樹脂膜(ポジ型)4を除去する高濃度アルカリ処理、金属酸化物導電膜3を除去するエッチング処理、樹脂膜(ネガ型)2除去する高濃度アルカリ処理、カラス板の残渣等を洗い流す水洗処理からなっている。本発明のカラーフィルタ用ガラス板再生方法と違い、樹脂膜(ポジ型)4及び樹脂膜(ネガ型)2ともに高濃度アルカリ溶液9が用いられるため、高濃度のアルカリに触れる時間が長くなってしまう。 FIG. 4 is a flowchart of a conventionally used method for regenerating a glass plate for a color filter, which is a high concentration alkali treatment for removing the resin film (positive type) 4, an etching treatment for removing the metal oxide conductive film 3, and a resin film. (Negative type) 2 Consists of a high-concentration alkali treatment to be removed and a water washing treatment for washing away the residue of the crow board. Unlike the method for regenerating a glass plate for a color filter according to the present invention, both the resin film (positive type) 4 and the resin film (negative type) 2 use the high concentration alkaline solution 9, so that the time for touching the high concentration alkali becomes longer. End up.
アルカリにはガラス板を浸食する作用があり、長時間に渡り高濃度のアルカリに触れるとガラス表面の侵食が起こりやすく不良品が発生する。しかしながら、樹脂膜(ポジ型)
に紫外線を照射することにより、不良品の発生原因となる、高濃度のアルカリではなく、ガラス表面の侵食の心配のない低濃度アルカリで除去が可能となり、トータルとして、高濃度のアルカリを用いる処理の時間が短くなり、不良が低減される。
Alkali has the effect of eroding the glass plate, and if it is exposed to a high concentration of alkali for a long time, the glass surface tends to erode and a defective product is generated. However, resin film (positive type)
By irradiating with UV rays, it is possible to remove with low-concentration alkali that does not cause erosion of the glass surface, instead of high-concentration alkali that causes defective products. This shortens the time and reduces defects.
不良となったカラーフィルタは、不良となり外された工程により、熱履歴が異なる。カラーフィルタによっては、低濃度アルカリによる処理では、不十分、もしくは処理時間が長くなる場合があり、全てに対して適応可能ではない。依って、バルブ11を切替により従来通りの対応も可能である。 The defective color filter has a different thermal history depending on the process that has become defective and removed. Depending on the color filter, the treatment with a low concentration alkali may be insufficient or the treatment time may be long, and is not applicable to all. Therefore, it is possible to cope with the conventional manner by switching the valve 11.
高濃度アルカリは費用が高く、ガラス再生をする上で、費用の60〜80%を占めている。低濃度のアルカリを使用することが可能となり、薬品使用量が低減され、薬品費用、処理費用等10〜30%の費用削減になる。 High-concentration alkali is expensive and accounts for 60 to 80% of the cost for glass regeneration. It becomes possible to use a low-concentration alkali, the amount of chemicals used is reduced, and chemical costs, processing costs, etc. are reduced by 10 to 30%.
1・・・ガラス板
2・・・樹脂膜(ネガ型)
3・・・金属酸化物導電膜
4・・・樹脂膜(ポジ型)
5・・・露光ランプ
6・・・シャワー
7・・・低濃度アルカリ溶液
8・・・エッチング溶液
9・・・高濃度アルカリ溶液
10・・・水
11・・・バルブ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass plate 2 ... Resin film (negative type)
3 ... Metal oxide conductive film 4 ... Resin film (positive type)
5 ... exposure lamp 6 ... shower 7 ... low concentration alkaline solution 8 ... etching solution 9 ... high concentration alkaline solution 10 ... water 11 ... bulb
Claims (4)
ポジ型の感光性材料からなる樹脂膜(ポジ型)に紫外線を照射する紫外線露光機と、
紫外線照射された前記樹脂膜(ポジ型)を除去する、濃度が10%未満のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機と、
導電膜を除去するためのエッチング機と、
樹脂膜(ネガ型)を除去する、濃度が10%以上のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機と、
水洗処理機とを、
具備したことを特徴とするカラーフィルタ用ガラス板再生装置。 It is a glass plate regenerator for color filters that continuously introduce defective color filters,
An ultraviolet exposure machine for irradiating ultraviolet rays onto a resin film (positive type) made of a positive photosensitive material;
An alkali washer that removes the resin film (positive type) irradiated with ultraviolet rays and ejects an alkaline solution having a concentration of less than 10%;
An etching machine for removing the conductive film;
An alkali washer that removes the resin film (negative type) and ejects an alkali solution having a concentration of 10% or more;
With water washing machine,
A glass plate recycling apparatus for a color filter, comprising:
前記濃度が10%未満のアルカリ溶液を噴出させるアルカリ洗浄機に、濃度が10%以上のアルカリ溶液を導入するバルブを具備したことを特徴とする請求項3に記載のカラーフィルタ用ガラス板再生装置。 Connecting an alkali washer that ejects an alkali solution having a concentration of less than 10% to an alkali washer that ejects an alkali solution having a concentration of 10% or more;
The glass plate regenerator for a color filter according to claim 3, wherein a valve for introducing an alkali solution having a concentration of 10% or more is provided in an alkali washer that ejects the alkali solution having a concentration of less than 10%. .
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