JP2013112418A - 減圧装置および減圧シール装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 チャンバー内を減圧した場合に、チャンバー内の圧力変動を防止して、チャンバー内を一定の圧力に維持することが可能な減圧装置および減圧シール装置を提供する。
【解決手段】 チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２とにより構成されるチャンバー内を減圧するための減圧機構は、メインバルブＭＶを備える第１排気路７４と、スロー排気バルブＢＶ１を備える第２排気路７５と、スロー排気バルブＢＶ２を備える第３排気路７６を備える。第２排気路７５には、ニードルバルブＮＶ１が配設されており、第３排気路７６にはニードルバルブＮＶ２が配設されている。第１、第２、第３排気路７４、７５、７６は、互いにそのコンダクタンスが異なっている。
【選択図】 図１

Description

この発明は、減圧装置および減圧シール装置に関する。

例えば、減圧ヒートシール装置は、減圧されたチャンバー内において、被包装物を収納した包装袋の開口部を閉止することにより、被包装物を包装袋によりシールする構成を有する。このような減圧ヒートシール装置は、弁操作によりチャンバーと真空ポンプ等の減圧手段とを連通することによりチャンバー内を真空とした後、このチャンバー内においてその内部に被包装物を収納した包装袋の開口部付近を一対のヒートシール部材により挟持して溶着することにより、被包装物を包装袋により減圧シールする構成を有する（特許文献１参照）。

特開２００７−２２６１４号公報

被包装物として、例えば、揮発性溶剤を含有する物品を使用した場合には、被包装物から排出されるアウトガスの影響で、チャンバー内を、一定の減圧された圧力下に維持することが困難となり、チャンバー内の圧力が変動することになる。チャンバー内の圧力が変動した場合には、減圧シール後の包装袋内の圧力を所定の圧力とすることができないという問題が生ずる。このようなチャンバー内の圧力変動により処理を均一に実行し得ないという問題は、減圧シール装置のみならず、一般的な減圧装置全体に影響を与える問題となっている。

このため、チャンバーと真空ポンプ等の減圧手段との連通路にオリフィスを変更可能な調整部材を配設し、チャンバー内の圧力変動に対応させてオリフィスを変化させることにより、チャンバー内の圧力を一定に維持することも考えられる。しかしながら、このような構成を採用した場合には、被包装物から発生するアウトガスによる圧力変動に対するレスポンスの遅れにより、チャンバー内の圧力変動にオーバーシュートが生じ、チャンバー内の圧力変動を完全に防止し圧力を完全に制御することは困難となる。

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、チャンバー内を減圧した場合に、チャンバー内の圧力変動を防止して、チャンバー内を一定の圧力に維持することが可能な減圧装置および減圧シール装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、チャンバー内を所定の圧力まで減圧する減圧装置において、排気手段と、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する、互いにコンダクタンスが異なる複数の排気路と、前記複数の排気路に各々配設された複数の開閉弁と、前記チャンバー内の圧力を計測する圧力計と、前記圧力計により計測したチャンバー内の圧力に基づいて、前記複数の開閉弁を選択的に開閉する制御部とを備えたことを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記複数の排気路は、開閉弁を有する第１排気路と、開閉弁と流量調整弁とを有する第２排気路とを備える。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記開閉弁と流量調整弁とを有する第３排気路をさらに備える。

請求項４に記載の発明は、減圧されたチャンバー内において、被包装物を収納した包装袋の開口部を閉止することにより、前記被包装物を前記包装袋によりシールする減圧シール装置に使用される請求項１から請求項３のいずれかに記載の減圧装置である。

請求項５に記載の発明は、減圧されたチャンバー内において、被包装物を収納した包装袋の開口部を閉止することにより、前記被包装物を前記包装袋によりシールする減圧シール装置において、排気手段と、開閉弁を有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第１排気路と、開閉弁と流量調整弁とを有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第２排気路と、開閉弁と流量調整弁とを有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第３排気路と、前記チャンバー内の圧力を計測する圧力計と、前記圧力計により計測したチャンバー内の圧力に基づいて、前記第１、第２、第３排気路における開閉弁を選択的に開閉する制御部とを備えたことを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、包装袋の開口部を熱により溶着して閉止する。

請求項１に記載の発明によれば、チャンバー内の圧力変動を防止して、チャンバー内を一定の圧力に維持することが可能となる。

請求項２に記載の発明によれば、流量調整弁を使用して第２排気路のコンダクタンスを変更することにより、排気量を制御してチャンバー内の圧力を一定に維持することが可能となる。

請求項３に記載の発明によれば、第２、第３排気路に配設された流量調整弁を利用して排気量を多様に調整することにより、チャンバー内の圧力をさらに精度よく維持することが可能となる。

請求項４および請求項５に記載の発明によれば、被包装物から排出されるアウトガスの量にかかわらず、チャンバー内の圧力変動を防止して、チャンバー内を一定の圧力に維持することが可能となる。このため、減圧シール後の包装袋内の圧力を所定の圧力とすることが可能となる。

請求項６に記載の発明によれば、減圧ヒートシール後の包装袋内の圧力を所定の圧力とすることが可能となる。

この発明に係る減圧ヒートシール装置の概要図である。 この発明に係る減圧ヒートシール装置の制御系を示すブロック図である。 移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す平面図である。 移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す平断面図である。 図４のＺ−Ｚ断面矢視図である。 移動機構の側面図である。 図４のＹ−Ｙ断面矢視図である。 移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す斜視図である。 移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す斜視図である。 ユニバーサルジョイント６１付近を拡大して示す模式図である。 第１カムフォロワ４２および第２カムフォロワ４３と、第１溝部４１ａおよび第２溝部４１ｂとの配置関係を示す模式図である。 この発明に係る減圧ヒートシール装置によるヒートシール動作を示す説明図である。 この発明に係る減圧ヒートシール装置によるヒートシール動作を示す説明図である。 この発明に係る減圧ヒートシール装置によるヒートシール動作を示す説明図である。 この発明に係る減圧ヒートシール装置による減圧動作を示すフローチャートである。 この発明に係る減圧ヒートシール装置による減圧動作を示すフローチャートである。 この発明に係る減圧ヒートシール装置による減圧動作を示すフローチャートである。 この発明に係る減圧ヒートシール装置による減圧動作を示すフローチャートである。

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る減圧シール装置としての減圧ヒートシール装置の概要図である。

この減圧ヒートシール装置は、減圧されたチャンバー内において、図示を省略した被包装物を収納した包装袋Ｃの開口部を閉止することにより、被包装物を包装袋Ｃによりシールするためのものである。ここで包装袋Ｃは、ラミネートセル等と呼称されるものであり、その三方が閉止し、一方が開放された袋状の形状を有する。なお、ここで示す包装袋の形状は一例であり、筒状など被包装物を包装できるものであれば良い。

この減圧ヒートシール装置は、図１左側の側面に開口部を有するチャンバー本体１１と、チャンバー蓋体１２とを、パッキング１４を介して当接させることにより、減圧可能なチャンバーが構成される構造を有する。チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内には、各々シーズヒータ３３を備えた一対のヒートシール部材３１と、各々、水冷、空冷などの冷却媒体循環路３４を備えた一対の冷却部材３２とが配設されている。

一対のヒートシール部材３１は、エアシリンダ２４の駆動により、後述するように、それらの間に包装袋Ｃを挟持して溶着させる挟持位置と、包装袋Ｃから離隔した待機位置との間を往復移動する。同様に、一対の冷却部材３２は、エアシリンダ２６の駆動により、それらの間に包装袋Ｃを挟持して冷却する挟持位置と、包装袋Ｃから離隔した待機位置との間を往復移動する。

チャンバー蓋体１２には、支持部材１５が、ガイド部材１９を介して昇降可能に配設されている。この支持部材１５には、スクリューナット１６が付設されており、このスクリューナット１６は、モータ１８の駆動により回転するスクリュー軸１７と螺合している。このため、支持部材１５は、モータ１８の駆動により昇降可能となっている。そして、この支持部材１５上には、包装袋Ｃを挟持して成形するための一対のプレスプレート２１が設置されている。これらのプレスプレート２１は、クランプレバー２２を操作することにより、包装袋Ｃを挟持して成形する挟持位置と、包装袋Ｃを開放する解放位置の間を移動する構成となっている。プレスプレート２１の形状は、特開２００１−３９４０８号公報に示されるような整形板でも良いし、特開平１１−４９１１３号公報のような複数段に分割されたものでも良い。

また、チャンバー蓋体１２は、ガイド部材２８の作用により、チャンバー本体１１に対して、図１における左右方向にスライド可能に構成されている。このチャンバー蓋体１２は、オペレータがハンドル１３を操作することにより、一対のプレスプレート２１や支持部材１５およびその昇降機構とともに、一対のプレスプレート２１等がチャンバー本体１１内に配置される減圧位置と、一対のプレスプレート等がチャンバー本体１１の外部に配置される準備位置との間を移動する構成となっている。

チャンバー本体１１には、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２とにより構成されるチャンバー内の圧力を測定するための真空計７１と、このチャンバー内の圧力が大気圧となったことを確認するためのブルドン管７２と、このチャンバー内を減圧する減圧機構とが接続されている。

チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２とにより構成されるチャンバー内を減圧するための減圧機構は、メインバルブＭＶを備える第１排気路７４と、スロー排気バルブＢＶ１を備える第２排気路７５と、スロー排気バルブＢＶ２を備える第３排気路７６を備える。これらのメインバルブＭＶおよびスロー排気バルブＢＶ１、ＢＶ２は、電磁開閉弁より構成される。また、第２排気路７５には、ニードルバルブＮＶ１が配設されており、第３排気路７６にはニードルバルブＮＶ２が配設されている。第１、第２、第３排気路７４、７５、７６の一端は、一方の端部がチャンバー本体１１に連結され、他方の端部がチャンバーベントバルブＶＶを介して大気中に連通する共通管路７７と接続されている。一方、第１、第２、第３排気路７４、７５、７６の他端は、スクロール型ポンプ等の真空ポンプ７８と連通する共通管路７３と接続されている。この共通管路７３には、ポンプリークバルブＰＬＶが配設されている。

図２は、この発明に係る減圧ヒートシール装置の制御系を示すブロック図である。

この発明に係る減圧ヒートシール装置は、装置全体を制御する制御部８０を備える。この制御部８０は、上述したヒートシール部材３１を移動させるためのエアシリンダ２４と、冷却部材３２を移動させるためのエアシリンダ２６と、支持部材１５を昇降させるためのモータ１８とに接続されている。また、この制御部８０は、チャンバー本体１１に接続された真空計７１と、真空ポンプ７８とに接続されている。さらに、この制御部８０は、減圧機構を構成するメインバルブＭＶと、スロー排気バルブＢＶ１と、スロー排気バルブＢＶ２と、チャンバーベントバルブＶＶと、ポンプリークバルブＰＬＶとに接続されている。メインバルブＭＶと、スロー排気バルブＢＶ１と、スロー排気バルブＢＶ２と、チャンバーベントバルブＶＶと、ポンプリークバルブＰＬＶとは、制御部８０からの指令信号により開閉動作を実行する。

次に、上述した一対のヒートシール部材３１を挟持位置と待機位置との間で往復移動させるための移動機構等の構成について説明する。図３は、一対のヒートシール部材３１を移動させる移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す平面図であり、図４は、その平断面図である。図５は、図４のＺ−Ｚ断面矢視図である。図６は、移動機構の側面図であり、図７は、図４のＹ−Ｙ断面矢視図である。さらに、図８および図９は、移動機構をエアシリンダ２４等とともに示す斜視図である。なお、図３から図８は、一対のヒートシール部材３１が待機位置にある状態を示しており、図９は、一対のヒートシール部材３１が挟持位置にある状態を示している。

一対のヒートシール部材３１を挟持位置と待機位置との間で往復移動させるための移動機構は、各ヒートシール部材３１に連結されてそれらを移動させるための、略同一の構成を有する部材が、互いに対向配置された対をなす構成を有する。各移動機構は、シール部材３１の軸心方向（図３から図５における左右方向）に延びる第１溝部４１ａと、第１溝部４１ａと直交する方向に延びる第２溝部４１ｂとが、各々一対形成された案内カム４１を備える。第１溝部４１ａと第２溝部４２ｂとは、互いに連結されている。この案内カム４１は、装置本体に固定されている。

また、各移動機構は、一対の第１溝部４１ａと係合する一対の第１カムフォロワ４２と、一対の第２溝部４１ｂに係合する一対の第２カムフォロワ４３と、これらの第１カムフォロワ４２と第２カムフォロワ４３とを連結する連結部４４とを備えたリンク部材を有する。図４に示すように、第１カムフォロワ４２は、ヒートシール部材３１の軸心方向に往復移動可能な移動部材５１と、第１連結軸５２を介して連結されている。また、第２カムフォロワ４３は、ヒートシール部材３１を支持する支持部材５５と、第２連結軸５３を介して連結されている。

ここで、一対の移動機構のうち、一方の移動機構（図４において上側に示す移動機構）においては、ヒートシール部材３１は支持部材５５に直接支持されている。これに対して、一対の移動機構のうちの他方の移動機構（図４において下側に示す移動機構）においては、ヒートシール部材３１は、図１０に示すように、ユニバーサルジョイント６１を介して、支持部材５５に支持されている。ユニバーサルジョイント（ｕｎｉｖｅｒｓａｌ ｊｏｉｎｔ）６１は、自在継手とも呼称されるものであり、支持部材５５に対するヒートシール部材３１の角度位置を、一定の範囲で任意に変更し得るものである。このため、一対のヒートシール部材３１の平行度が完全に保たれていない場合においても、挟持位置において一対のヒートシール部材３１の全面を互いに当接させることが可能となる。

図３および図６に示すように、各ヒートシール部材３１は、そこに形成された溝部にその先端部が侵入する略コの字状の受け部材５６により支持されており、この受け部材５６は、連結部材５７等を介して移動部材５１と連結されている。この時、一対の移動機構のうちのユニバーサルジョイント６１が付設された移動機構（図４において下側に示す移動機構）においては、受け部材５６はヒートシール部材３１を移動可能な状態で支持している。このため、このヒートシール部材３１は、上述したユニバーサルジョイント６１の作用による移動が可能となっている。

なお、図３、図４、図８および図９に示すように、各ヒートシール部材３１における互いに対向する面以外の面は、ヒートシール部材３１からの放熱を軽減するために、断面が略コの字状の熱カバー５８により覆われている。

各移動機構における移動部材５１は、連結部材５４により互いに連結されている。そして、この連結部材５４は、ヒートシール部材３１の軸心方向に往復移動するエアシリンダ２４のシリンダロッド２５の先端に固定されている。このため、各移動機構における移動部材５１は、エアシリンダ２４の駆動により、ヒートシール部材３１の軸心方向に互いに同期して往復移動する。

以上のような構成を有する移動機構においては、図８に示すように一対のヒートシール部材３１が互いに離隔した待機位置にある状態から、エアシリンダ２４の駆動により連結部材５４を図８における矢印と逆方向に移動させた場合には、これに伴って、各移動機構における移動部材５１がヒートシール部材３１の軸心方向に移動する。この移動に伴って、移動部材５１と軸５２により連結された第１カムフォロワ４２が案内カム４１における第１溝部４１ａに沿って、ヒートシール部材３１の軸心方向に移動する。この第１カムフォロワ４２に移動に伴って、第１カムフォロワ４２と連結部４４により連結された第２カムフォロワ４３が、案内カム４１における第２溝部４１ｂに沿って、ヒートシール部材３１の軸心方向と直交する方向に移動する。これにより、一対のヒートシール部材３１は、図９に示すように、それらのヒートシール部材３１が互いに包装袋Ｃを介して当接する挟持位置に移動することになる。

このとき、この移動機構においては、一対のヒートシール部材３１が待機位置から挟持位置に移動するときに、第１カムフォロワ４２の移動距離が第２カムフォロワ４３の移動距離より大きくなるように、シール部材の軸心に対する連結部４４の配置角度を設定していることから、エアシリンダ２４による移動部材５１に対する押圧力以上の力で、一対のヒートシール部材３１を移動させることが可能となる。

この点について詳細に説明する。図１１は、第１カムフォロワ４２および第２カムフォロワ４３と、第１溝部４１ａおよび第２溝部４１ｂとの配置関係を示す模式図である。

この図に示すように、第１カムフォロワ４２と第２カムフォロワ４３との軸心を結ぶ線、すなわち、連結部４４の軸心と、ヒートシール部材３１との軸心がなす角度θは、４５度より大きい角度に設定されている。そして、第１溝部４１ａと第２に溝部４１ｂとは、互いに直交する方向を向いている。このため、第１カムフォロワ４２のヒートシール部材３１の軸心方向の移動距離は、第２カムフォロワ４３のヒートシール部材３１の軸心と直交する方向の移動距離より大きくなる。従って、エアシリンダ２４による移動部材５１への押圧力（すなわち、第１カムフォロワ３２に対する押圧力）より大きな力で第２カムフォロワ４３（すなわち、ヒートシール部材３１）がヒートシール部材３１の軸心と直交する方向に押圧されることになる。

このような構成を採用した場合においては、エアシリンダ２４による移動部材５１への押圧力より大きな力で、包装袋Ｃをヒートシール部材３１により挟持することができる。このため、小さな押圧力のエアシリンダ２４を使用した場合においても、包装袋Ｃを強い力で挟持することができ、確実にシールを行うことが可能となる。

上述した実施形態においては、第１溝部４１ａと第２に溝部４１ｂとが互いに直交する方向を向く場合について説明したが、必ずしも直交する方向を向く必要はない。但し、第１溝部４１ａと第２に溝部４１ｂとが互いに直交する方向から所定の角度だけ傾斜した場合には、一対のヒートシール部材３１は、これらのヒートシール部材３１の軸心と直交する方向に対して、上記傾斜角度に対応した角度だけ傾斜した状態で互いに近接し、あるいは、離間する方向に移動することになる。

なお、一対の冷却部材３２を、エアシリンダ２６の駆動により、それらの間に包装袋Ｃを挟持して冷却する挟持位置と、包装袋Ｃから離隔した待機位置との間を往復移動するための移動機構も、上述した一対のヒートシール部材３１の移動機構と同様の構成を有する。

次に、上述した減圧ヒートシール装置により被包装物を包装袋Ｃによりシールするヒートシール動作について説明する。図１２から図１４は、この発明に係る減圧ヒートシール装置によるヒートシール動作を示す説明図である。

ヒートシールを行う場合には、最初に、オペレータがハンドル１３を操作することにより、チャンバー蓋体１２を一対のプレスプレート２１や支持部材１５等とともに、チャンバー本体１１から引き出す。この状態においては、図１２（ａ）に示すように、一対のプレスプレート２１は、互いに離隔する解放位置に配置されている。この状態において、一対のプレスプレート２１間に、その内部に被包装物を収納した包装袋Ｃを設置する。この包装袋Ｃは、その下端部を位置決めピン２３により支持される。

この状態において、オペレータが図１に示すクランプレバー２２を操作することにより、一対のプレスプレート２１を挟持位置に移動させる。これにより、これらのプレスプレート２１により包装袋Ｃが挟持されて成形される。この状態においては、包装袋Ｃの開口部は、開放されている。そして、再度オペレータがハンドル１３を操作することにより、チャンバー蓋体１２を一対のプレスプレート２１や包装袋Ｃ等とともに、チャンバー本体１１内に収納する。この状態においては、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２によりチャンバーが構成される。

この状態において、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内を、チャンバー本体１１に接続される減圧機構により減圧する。この時の減圧機構による減圧動作については、後程、詳細に説明する。

チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバーの内部が予め設定された真空圧まで減圧された後、一定の時間が経過すれば、包装袋Ｃのシールを行う。この場合には、図１および図２に示すモータ１８の駆動によりスクリュー軸１７を回転させて支持部材１５を上昇させることにより、図１３(ａ)に示すように、包装袋Ｃを一対のプレスプレート２１および位置決めピン２３とともに上昇させる。そして、エアシリンダ２４の駆動により、一対のヒートシール部材３１を挟持位置に移動さる。これにより、被包装物を収納した包装袋Ｃの開口部を溶着させて閉止することにより、被包装物を包装袋Ｃによりシールする。

この時には、一対のヒートシール部材３１が互いに近接する方向に移動して包装袋Ｃをシールすることから、包装袋Ｃを一対のヒートシール部材３１による移動ストロークの中央部にセンタリングした状態で挟持することができる。このため、シールの精度を向上させることが可能となる。このとき、ユニバーサルジョイント６１の作用により、一対のヒートシール部材３１の平行度が完全に保たれていない場合においても、挟持位置において一対のヒートシール部材３１の全面を互いに当接されることが可能となり、包装袋Ｃを確実にシールすることが可能となる。そして、一対のヒートシール部材３１を移動させるためのエアシリンダ２４がヒートシール部材３１の軸心方向に配置されていることから、オペレータが包装袋Ｃを一対のプレスプレート２１間にセットするために、プレスプレート２１にアクセスする場合に、エアシリンダ２４等のヒートシール部材３１の移動機構が障害となることはない。

シールが完了すれば、一対のヒートシール部材３１を解放位置に移動させる。しかる後、次に、モータ１８の駆動によりスクリュー軸１７を回転させて支持部材１５を下降させることにより、図１３(ｂ)に示すように、包装袋Ｃにおける溶着部分が一対の冷却部材３２と対向する高さ位置まで、包装袋Ｃを一対のプレスプレート２１および位置決めピン２３とともに下降させる。そして、エアシリンダ２６の駆動により、一対の冷却部材３２を挟持位置に移動さる。これにより、包装袋Ｃにおける溶着部分が冷却される。

冷却が完了すれば、一対の冷却部材３２を解放位置に移動させる。そして、図１４(ａ)に示すように、モータ１８の駆動によりスクリュー軸１７を回転させて支持部材１５をさらに下降させることにより、包装袋Ｃを初期位置まで復帰させる。また、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内を大気圧に復帰させる。なお、チャンバー内が大気圧に復帰したか否かは、図１に示す真空計７１の測定値に基づいて判断することができる。

包装袋Ｃを初期位置まで復帰するとともに、チャンバー内が大気圧まで復帰すれば、オペレータが再度ハンドル１３を操作することにより、チャンバー蓋体１２を一対のプレスプレート２１や包装袋Ｃ等とともに、チャンバー本体１１から引き出す。そして、オペレータが再度クランプレバー２２を操作することにより、図１４(ｂ)に示すように、一対のプレスプレート２１を挟持位置から開放位置に移動させる。しかる後、ヒートシールの完了した包装袋Ｃを一対のプレスプレート２１の間から取り出して、作業を終了する。

次に、上述した減圧ヒートシール時に、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内を減圧機構により減圧する、この発明の特徴部分である減圧動作について説明する。図１５から図１８は、この発明に係る減圧ヒートシール装置による減圧動作を示すフローチャートである。なお、以下に述べる減圧動作は、制御部８０がメインバルブＭＶ、スロー排気バルブＢＶ１およびスロー排気バルブＢＶ２等を開閉制御することにより実行される。

減圧動作を開始する前には、第２排気路７５のニードルバルブＮＶ１の開度と第２排気路７６のニードルバルブＮＶ２の開度とが予め調整されることにより、第１排気路７４と、第２排気路７５と、第３排気路７６とのコンダクタンスが、互いに異なる値に設定されている。ここで、コンダクタンスとは、管路内を気体が流れているとき、その流れ易さを表す係数である。このコンダクタンスは、管路内を気体が流れるときの抵抗値の逆数となる。ニードルバルブＮＶ１およびＮＶ２を調整することにより、各管路におけるオリフィスを変化させた場合には、その管路のコンダクタンスが変更され、排気速度が変化する。この実施形態においては、第１排気路７４のコンダクタンスは第２排気路７５のコンダクタンスより大きく、また、第２排気路７５のコンダクタンスは第３排気路７６のコンダクタンスより大きくなるように、ニードルバルブＮＶ１およびＮＶ２が予め調整されている。

また、減圧動作を開始する前には、減圧時におけるチャンバー内の設定圧力Ｐと、チャンバー内を許容変動値ΔＰと、圧力変動値ΔＰ１、ΔＰ２，ΔＰ３とを設定しておく。ここで、チャンバー内の圧力変動がプラスマイナスΔＰの範囲内になるように制御する場合には、許容変動値がΔＰとなる。ここでΔＰは、例えば、１ｋＰａ（キロパスカル）未満となる値である。また、圧力変動値ΔＰ１、ΔＰ２，ΔＰ３は、ΔＰ１よりΔＰ２が大きく、また、ΔＰ２よりΔＰ３が大きくなる値であり、例えば、ΔＰ１＋ΔＰ２＋ΔＰ３が１ｋＰａ（キロパスカル）未満となる値である。

減圧動作を開始するときには、最初に、チャンバーベントバルブＶＶと、メインバルブＭＶと、スロー排気バルブＢＶ１、ＶＢ２を閉止する（ステップＳ１）。そして、真空ポンプ７８が作動中であるか否かを確認する（ステップＳ２）。真空ポンプ７８が作動中でない場合には、真空ポンプ７８を作動するとともに（ステップＳ３）、ポンプリークバルブＰＬＶを閉止する（ステップＳ４）。

次に、スロー排気バルブＢＶ１に対する設定圧力値が設定されているか否かを確認する（ステップＳ５）。スロー排気バルブＢＶ１に対する設定圧力値が設定されている場合には、スロー排気バルブＢＶ１を開放する。そして、図１に示す真空計７１の測定値に基づいてチャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力がスロー排気バルブＢＶ１に対する設定圧力値に達した場合には（ステップＳ７）、スロー排気バルブＢＶ１を閉止する（ステップＳ８）。なお、スロー排気バルブＢＶ１に対する設定圧力値が設定されていない場合には、ステップＳ６からステップＳ８はスキップされる。

次に、スロー排気バルブＢＶ２に対する設定圧力値が設定されているか否かを確認する（ステップＳ９）。スロー排気バルブＢＶ２に対する設定圧力値が設定されている場合には、スロー排気バルブＢＶ２を開放する。そして、図１に示す真空計７１の測定値に基づいてチャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力がスロー排気バルブＢＶ２に対する設定圧力値に達した場合には（ステップＳ１１）、スロー排気バルブＢＶ２を閉止する（ステップＳ１２）。なお、スロー排気バルブＢＶ２に対する設定圧力値が設定されていない場合には、ステップＳ１０からステップＳ１２はスキップされる。

次に、メインバルブＭＶに対する設定圧力値が設定されているか否かを確認する（ステップＳ１３）。メインバルブＭＶに対する設定圧力値が設定されている場合には、メインバルブＭＶを開放する。そして、図１に示す真空計７１の測定値に基づいてチャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力がメインバルブＭＶに対する設定圧力値に達した場合には（ステップＳ１５）、スロー排気バルブＭＶを閉止する（ステップＳ１６）。なお、メインバルブＭＶに対する設定圧力値が設定されていない場合には、ステップＳ１３からステップＳ１５はスキップされる。

なお、メインバルブＭＶに対する設定圧力は、一般的に、減圧時におけるチャンバー内の設定圧力Ｐと一致させている。このため、この状態においては、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力は設定圧力Ｐとなる。しかしながら、この状態において包装袋Ｃ内の被包装物からアウトガスが発生した場合には、チャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力が変動することになる。

このため、図２に示す制御部８０は、真空計７１によるチャンバー内の圧力の測定値を常に監視している。そして、チャンバー内の圧力変動が圧力変動値ΔＰ１以下である場合には（ステップＳ１７）、そのままの状態を維持している。一方、包装袋Ｃ内の被包装物からアウトガスが発生することにより、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ１を越えた場合には（ステップＳ１７）、スロー排気バルブＢＶ１を開放する（ステップＳ１８）。この状態で、チャンバー内の圧力値がＰ−ΔＰ以下とならない場合には（ステップＳ１９）、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ２以下であるか否かを判断する（ステップＳ２１）。そして、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ２以下である場合には、この状態を維持し、チャンバー内の圧力値がＰ−ΔＰ以下となった場合には（ステップＳ１９）、スロー排気バルブＢＶ１を閉止して（ステップＳ２０）、ステップＳ１７に戻る。

一方、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ２を越えた場合には（ステップＳ２１）、スロー排気バルブＢＶ１を閉止するとともに（ステップＳ２２）、スロー排気バルブＢＶ２を開放する（ステップＳ２３）。この状態で、チャンバー内の圧力値がＰ−ΔＰ以下とならない場合には（ステップＳ２４）、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ３以下であるか否かを判断する（ステップＳ２６）。そして、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ３以下である場合には、この状態を維持し、チャンバー内の圧力値がＰ−ΔＰ以下となった場合には（ステップＳ２４）、スロー排気バルブＢＶ２を閉止して（ステップＳ２５）、ステップＳ１７に戻る。

一方、チャンバー内の圧力値がＰ＋ΔＰ３を越えた場合には（ステップＳ２６）、スロー排気バルブＢＶ２を閉止するとともに（ステップＳ２７）、メインバルブＭＶを開放する（ステップＳ２８）。そして、チャンバー内の圧力がＰ−ΔＰとなるまでこの状態を維持し、チャンバー内の圧力がＰ−ΔＰとなれば（ステップＳ２９）、メインバルブＭＶを閉止して（ステップＳ３０）、ステップＳ１７に戻る。

このように、上述した減圧機構によれば、被包装物から放出されるアウトガスによってチャンバー本体１１とチャンバー蓋体１２により構成されるチャンバー内の圧力が変動した場合においても、アウトガスの量による圧力の変動量に対応して、互いにコンダクタンスが異なる複数の排気路７４、７５、７６から選択的に排気を行うことにより、チャンバー内の圧力変動を防止して、チャンバー内を一定の圧力に維持することが可能となる。このとき、チャンバー内の圧力変動に対応させてオリフィスを変化させる構成を採用した場合のように、被包装物から発生するアウトガスによる圧力変動に対するレスポンスの遅れにより、チャンバー内の圧力変動にオーバーシュートが生じることを有効に防止することが可能となる。

この時、上述したように、チャンバーと真空ポンプ等の減圧手段との連通路にオリフィスを変更可能な流量調整弁などの調整部材を配設し、チャンバー内の圧力変動に対応させてオリフィスを変化させることにより、チャンバー内の圧力を一定に維持する構成を採用した場合には、圧力調整のための動作が遅くなりレスポンスが遅れることになる。しかしながら、この発明に係る減圧機構によれば、予めコンダクタンスを異ならせた複数の排気路７４、７５、７６を複数の開閉弁（メインバルブＭＶ、スロー排気バルブＢＶ１、ＢＶ２）により開閉することで選択的に排気を行う構成であることから、圧力調整のレスポンスを迅速なものとして、チャンバー内の圧力を一定に維持することが可能となる。

なお、上述した実施形態においては、互いにコンダクタンスが異なる排気路として、三個の排気路（第１排気路７４、第２排気路７５および第３排気路７６）を使用しているが、互いにコンダクタンスが異なる排気路の数は二個であってもよく、また、四個以上であってもよい。

１１ チャンバー本体
１２ チャンバー蓋体
１３ ハンドル
１４ パッキング
１５ 支持部材
１６ スクリューナット
１７ スクリュー軸
１８ モータ
２１ プレスプレート
２２ クランプレバー
２４ エアシリンダ
２５ シリンダロッド
２６ エアシリンダ
２８ ガイド部材
３１ ヒートシール部材
３２ 冷却部材
３３ シーズヒータ
３４ 冷却媒体循環路
７１ 真空計
７２ ブルドン管
７４ 第１排気路
７５ 第２排気路
７６ 第３排気路
７８ 真空ポンプ
８０ 制御部
Ｃ 包装袋
ＭＶ メインバルブ
ＢＶ１ スロー排気バルブ
ＢＶ２ スロー排気バルブ
ＮＶ１ ニードルバルブ
ＮＶ２ ニードルバルブ

Claims (6)

1. チャンバー内を所定の圧力まで減圧する減圧装置において、
   排気手段と、
   前記チャンバーと前記排気手段とを接続する、互いにコンダクタンスが異なる複数の排気路と、
   前記複数の排気路に各々配設された複数の開閉弁と、
   前記チャンバー内の圧力を計測する圧力計と、
   前記圧力計により計測したチャンバー内の圧力に基づいて、前記複数の開閉弁を選択的に開閉する制御部と、
   を備えたことを特徴とする減圧装置。
2. 請求項１に記載の減圧装置において、
   前記複数の排気路は、開閉弁を有する第１排気路と、開閉弁と流量調整弁とを有する第２排気路とを備える減圧装置。
3. 請求項２に記載の減圧装置において、
   前記開閉弁と流量調整弁とを有する第３排気路をさらに備える減圧装置。
4. 減圧されたチャンバー内において、被包装物を収納した包装袋の開口部を閉止することにより、前記被包装物を前記包装袋によりシールする減圧シール装置に使用される請求項１から請求項３のいずれかに記載の減圧装置。
5. 減圧されたチャンバー内において、被包装物を収納した包装袋の開口部を閉止することにより、前記被包装物を前記包装袋によりシールする減圧シール装置において、
   排気手段と、
   開閉弁を有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第１排気路と、
   開閉弁と流量調整弁とを有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第２排気路と、
   開閉弁と流量調整弁とを有し、前記チャンバーと前記排気手段とを接続する第３排気路と、
   前記チャンバー内の圧力を計測する圧力計と、
   前記圧力計により計測したチャンバー内の圧力に基づいて、前記第１、第２、第３排気路における開閉弁を選択的に開閉する制御部と、
   を備えたことを特徴とする減圧シール装置。
6. 請求項５に記載の減圧装置において、
   包装袋の開口部を熱により溶着して閉止する減圧シール装置。
   

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