JP2013098143A - イオン源電極のクリーニング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 引出し電極系10の相対向する二つの電極11、12間にクリーニングガス48を供給して当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つクリーニングガス源42等の手段と、両電極11、12間に直流電圧を印加してグロー放電80を発生させるグロー放電電源60とを備えている。かつ、所定時間内の電極11、12間の異常放電の発生回数Nを測定する異常放電測定器84と、それで測定した異常放電の発生回数Nを用いてグロー放電電源60の出力電流Ig を所定幅ずつ増減させる制御を行う電源制御器86とを備えている。
【選択図】 図2
Description
クリーニング時に、少なくとも前記相対向する二つの電極間にクリーニングガスを供給して、当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つ放電雰囲気形成手段と、
クリーニング時に、前記相対向する二つの電極間に直流電圧を印加して当該電極間に前記クリーニングガスのグロー放電を発生させるグロー放電電源と、
クリーニング時の前記グロー放電電源の出力電流または出力電圧の大きさを測定して、前記相対向する二つの電極間における異常放電を検出すると共に、所定時間内の当該異常放電の発生回数を測定する異常放電測定手段と、
前記異常放電測定手段で測定した前記所定時間内の異常放電の発生回数を用いて前記グロー放電電源の出力電流を制御するものであって、(a)クリーニング開始時は前記グロー放電電源の出力電流を所定の初期値に制御し、(b)前記異常放電の発生回数が所定の第1下限値よりも小さいときは前記グロー放電電源の出力電流を、所定の到達目標値を上限として、所定の第1増加幅だけ増加させ、(c)前記異常放電の発生回数が所定の上限値よりも大きいときは前記グロー放電電源の出力電流を、前記初期値を下限として、所定の減少幅だけ減少させ、(d)前記異常放電の発生回数が前記第1下限値以上かつ前記上限値以下のときは前記グロー放電電源の出力電流を維持する制御を行う電源制御手段とを備えている、ことを特徴としている。
10 引出し電極系
11 第1電極
12 第2電極
13 第3電極
14 第4電極
20 イオンビーム
30 真空排気装置
42 クリーニングガス源
48 クリーニングガス
60 グロー放電電源
80 グロー放電
84 異常放電測定器
86 電源制御器
Claims (5)
- イオン源の引出し電極系を構成する複数の電極の内の相対向する二つの電極を、当該イオン源からイオンビームを引き出していない時にクリーニングするクリーニング装置であって、
クリーニング時に、少なくとも前記相対向する二つの電極間にクリーニングガスを供給して、当該電極間のガス圧をグロー放電を発生させるガス圧に保つ放電雰囲気形成手段と、
クリーニング時に、前記相対向する二つの電極間に直流電圧を印加して当該電極間に前記クリーニングガスのグロー放電を発生させるグロー放電電源と、
クリーニング時の前記グロー放電電源の出力電流または出力電圧の大きさを測定して、前記相対向する二つの電極間における異常放電を検出すると共に、所定時間内の当該異常放電の発生回数を測定する異常放電測定手段と、
前記異常放電測定手段で測定した前記所定時間内の異常放電の発生回数を用いて前記グロー放電電源の出力電流を制御するものであって、(a)クリーニング開始時は前記グロー放電電源の出力電流を所定の初期値に制御し、(b)前記異常放電の発生回数が所定の第1下限値よりも小さいときは前記グロー放電電源の出力電流を、所定の到達目標値を上限として、所定の第1増加幅だけ増加させ、(c)前記異常放電の発生回数が所定の上限値よりも大きいときは前記グロー放電電源の出力電流を、前記初期値を下限として、所定の減少幅だけ減少させ、(d)前記異常放電の発生回数が前記第1下限値以上かつ前記上限値以下のときは前記グロー放電電源の出力電流を維持する制御を行う電源制御手段とを備えている、ことを特徴とするイオン源電極のクリーニング装置。 - 前記電源制御手段は、前記異常放電の発生回数が前記第1下限値より小さい第2下限値よりも小さいときに、前記グロー放電電源の出力電流を、前記到達目標値を上限として、かつ前記第1増加幅に優先させて、前記第1増加幅よりも大きい第2増加幅だけ増加させる制御を行う機能を更に有している請求項1記載のイオン源電極のクリーニング装置。
- 前記電源制御手段は、前記グロー放電電源の出力電流を前記第2増加幅だけ増加させる制御を行った結果、前記グロー放電電源の出力電流が前記到達目標値に到達したときに、クリーニングの終了を表すクリーニング終了信号を出力する機能を更に有している請求項2記載のイオン源電極のクリーニング装置。
- 前記引出し電極系は、イオンビーム引き出し方向の最上流側から下流側に向けて配置された第1電極および第2電極を少なくとも有しており、
前記相対向する二つの電極は、当該第1電極および第2電極である請求項1、2または3記載のイオン源電極のクリーニング装置。 - 前記引出し電極系は、イオンビーム引き出し方向の最上流側から下流側に向けて配置された第1電極、第2電極および第3電極を少なくとも有しており、
前記相対向する二つの電極は、当該第2電極および第3電極である請求項1、2または3記載のイオン源電極のクリーニング装置。
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