JP6250670B2 - イオン源およびイオン源をクリーニングする方法 - Google Patents
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Description
Claims (16)
- 処理モード中にプラズマを生成し、一面上に配置された引出開口部を有するイオン源チャンバと、
内部に配置された抑制電極開口部を有する抑制電極であり、前記引出開口部の最も近くに配置された抑制電極と、
内部に配置されたグランド電極開口部を有するグランド電極であり、前記抑制電極の最も近くに配置されたグランド電極と、
前記イオン源チャンバと連通し、前記処理モード中に第1の引出電圧及び第1の引出電流を供給し、クリーニングモード中に第2の引出電圧及び第2の引出電流を供給する引出電源と、
前記抑制電極と連通し、前記処理モード中に第1の抑制電圧及び第1の抑制電流を供給し、前記クリーニングモード中に第2の抑制電圧及び第2の抑制電流を供給する抑制電源と、を備え、
前記第2の引出電圧と前記第2の抑制電圧との間の差は、前記引出開口部と前記抑制電極との間で画定される容積内でプラズマを生成するのに十分であり、前記クリーニングモードにおいて、前記イオン源チャンバ内にプラズマが生成されない
イオン源。 - 処理モード中にプラズマを生成し、一面上に配置された引出開口部を有するイオン源チャンバと、
内部に配置された抑制電極開口部を有する抑制電極であり、前記引出開口部の最も近くに配置された抑制電極と、
内部に配置されたグランド電極開口部を有するグランド電極であり、前記抑制電極の最も近くに配置されたグランド電極と、
前記イオン源チャンバと連通し、前記処理モード中に第1の引出電圧及び第1の引出電流を供給し、クリーニングモード中に第2の引出電圧及び第2の引出電流を供給する引出電源と、
前記抑制電極と連通し、前記処理モード中に第1の抑制電圧及び第1の抑制電流を供給し、前記クリーニングモード中に第2の抑制電圧及び第2の抑制電流を供給する抑制電源と、
前記引出開口部及び前記グランド電極によって画定される容積内に前記プラズマを閉じ込める磁場を生成するソースマグネットと
を備え、
前記第2の引出電圧と前記第2の抑制電圧との間の差は、前記引出開口部と前記抑制電極との間で画定される容積内でプラズマを生成するのに十分である
イオン源。 - クリーナを含み、前記イオン源チャンバと連通する供給源と、前記クリーナの流量を調整する流量制御器と、を備え、前記流量制御器は前記容積内で前記プラズマを生成するのに十分な、前記クリーナの流量を作る
請求項1又は2に記載のイオン源。 - 前記第2の抑制電流及び前記第2の引出電流のうちの少なくとも1つは、1アンペアと5アンペアとの間である
請求項1から3のいずれか一項に記載のイオン源。 - 前記グランド電極に連通し、前記処理モード中に第1のグランド電極電圧及び第1のグランド電極電流を供給し、前記クリーニングモード中に第2のグランド電極電圧及び第2のグランド電極電流を供給するグランド電極電源をさらに備える
請求項1から4の何れか一項に記載のイオン源。 - 前記グランド電極は前記クリーニングモード中及び前記処理モード中に接地される
請求項5に記載のイオン源。 - 前記抑制電源は、処理用抑制電源と、クリーニング用抑制電源と、前記処理用抑制電源及び前記クリーニング用抑制電源のうちの1つをオペレーションモードに基づき前記抑制電極に結合するスイッチと、を備える
請求項1から6の何れか一項に記載のイオン源。 - 前記引出電源は、処理用引出電源と、クリーニング用引出電源と、前記処理用引出電源及び前記クリーニング用引出電源のうちの1つをオペレーションモードに基づき前記イオン源チャンバに結合するスイッチと、を備える
請求項1から7の何れか一項に記載のイオン源。 - イオン源をクリーニングする方法であって、前記イオン源は、引出開口部を有するイオン源チャンバ、グランド電極、及び前記イオン源チャンバと前記グランド電極との間に配置された抑制電極を備え、
前記イオン源チャンバの中にクリーナを流し込む段階と、
前記抑制電極と、前記イオン源チャンバ及び前記グランド電極の各々との間の電圧差が、前記引出開口部と前記グランド電極との間で画定される容積内で、前記流し込むクリーナからプラズマを生成するのに十分であるように、前記イオン源チャンバ、前記抑制電極、及び前記グランド電極の各々にそれぞれの電圧を印加する段階と、を備え、
前記プラズマの前記生成により、前記引出開口部、前記抑制電極、及び前記グランド電極のクリーニングが行われ、前記イオン源チャンバ内にプラズマが生成されない
方法。 - 前記抑制電極は、1Aと5Aとの間の電流で、400Vと1000Vとの間の電圧が供給され、前記イオン源チャンバ及び前記グランド電極は接地される
請求項9に記載の方法。 - 前記クリーナは、酸素、NF3、及びアルゴンとフッ素との混合物からなる群から選択される
請求項9または10に記載の方法。 - イオン源をクリーニングする方法であって、前記イオン源は、引出開口部を有するイオン源チャンバ、グランド電極、及び前記イオン源チャンバと前記グランド電極との間に配置された抑制電極を備え、
前記イオン源チャンバの中にクリーナを流し込む段階と、
前記抑制電極と、前記イオン源チャンバ及び前記グランド電極の各々との間の電圧差が、前記引出開口部と前記グランド電極との間で画定される容積内で、前記流し込むクリーナからプラズマを生成するのに十分であるように、前記イオン源チャンバ、前記抑制電極、及び前記グランド電極の各々にそれぞれの電圧を印加する段階と、を備え、
前記プラズマの前記生成により、前記引出開口部、前記抑制電極、及び前記グランド電極のクリーニングが行われ、
磁場を印加して、前記引出開口部と前記グランド電極との間で画定される前記容積内に前記プラズマを閉じ込める
方法。 - 処理モード中にプラズマを生成し、一面上に配置された引出開口部を有するイオン源チャンバと、
内部に配置された抑制電極開口部を有する抑制電極であり、前記引出開口部の最も近くに配置された抑制電極と、
内部に配置されたグランド電極開口部を有するグランド電極であり、前記抑制電極の最も近くに配置され、接地されたグランド電極と、
前記イオン源チャンバと連通し、第1のスイッチ及び処理用引出電源を備えて、前記処理モード中に第1の引出電圧及び第1の引出電流を供給する引出電源であり、前記第1のスイッチはクリーニングモード中に前記イオン源チャンバを接地させる引出電源と、
前記抑制電極と連通する抑制電源であり、前記処理モード中に第1の抑制電圧及び第1の抑制電流を供給する処理用抑制電源と、前記クリーニングモード中に第2の抑制電圧及び第2の抑制電流を供給するクリーニング用抑制電源と、前記処理用抑制電源と前記クリーニング用抑制電源とを選択する第2のスイッチと、を備える抑制電源と、
クリーナを含み、前記イオン源チャンバと連通する供給源と、
前記クリーナの流量を調整する流量制御器と、を備え、
前記流量制御器は前記クリーニングモード中に少なくとも10SCCMの前記クリーナの流量を作り、
前記クリーニング用抑制電源は、1Aと5Aとの間の電流で、400Vと1000Vとの間の電圧を前記抑制電極に供給して、前記抑制電極と前記イオン源チャンバとの間、及び前記抑制電極と前記グランド電極との間にプラズマが生成されるようにし、
クリーニングモードにおいて、前記イオン源チャンバ内にプラズマが生成されない
イオン源。 - 処理モード中にプラズマを生成し、一面上に配置された引出開口部を有するイオン源チャンバと、
内部に配置された抑制電極開口部を有する抑制電極であり、前記引出開口部の最も近くに配置された抑制電極と、
内部に配置されたグランド電極開口部を有するグランド電極であり、前記抑制電極の最も近くに配置され、接地されたグランド電極と、
前記イオン源チャンバと連通し、第1のスイッチ及び処理用引出電源を備えて、前記処理モード中に第1の引出電圧及び第1の引出電流を供給する引出電源であり、前記第1のスイッチはクリーニングモード中に前記イオン源チャンバを接地させる引出電源と、
前記抑制電極と連通する抑制電源であり、前記処理モード中に第1の抑制電圧及び第1の抑制電流を供給する処理用抑制電源と、前記クリーニングモード中に第2の抑制電圧及び第2の抑制電流を供給するクリーニング用抑制電源と、前記処理用抑制電源と前記クリーニング用抑制電源とを選択する第2のスイッチと、を備える抑制電源と、
クリーナを含み、前記イオン源チャンバと連通する供給源と、
前記クリーナの流量を調整する流量制御器と、を備え、
前記流量制御器は前記クリーニングモード中に少なくとも10SCCMの前記クリーナの流量を作り、
前記クリーニング用抑制電源は、1Aと5Aとの間の電流で、400Vと1000Vとの間の電圧を前記抑制電極に供給して、前記抑制電極と前記イオン源チャンバとの間、及び前記抑制電極と前記グランド電極との間にプラズマが生成されるようにし、
前記引出開口部及び前記グランド電極によって画定される容積内に前記プラズマを閉じ込める磁場を生成するソースマグネットをさらに備える
イオン源。 - 前記処理モードにおいてプラズマを生成すべく前記イオン源チャンバ内に配置されたフィラメント及び陰極と、コントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記第1のスイッチ及び前記第2のスイッチを作動させて前記イオン源のオペレーションモードを制御し、前記コントローラは、前記クリーニングモード中に前記フィラメント及び前記陰極を無効にする
請求項13または14に記載のイオン源。 - 前記クリーナは、酸素、NF3、及びアルゴンとフッ素との混合物からなる群から選択される
請求項13から15の何れか一項に記載のイオン源。
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