JP2013077388A - Organic electroluminescence device and manufacturing method therefor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic electroluminescence device and a manufacturing method therefor, capable of improving luminous efficiency by print forming an ink having a dissolved organic luminescent medium material on a pixel region sectioned by a barrier, and by forming an organic luminescent medium layer flat in the pixel region.SOLUTION: An organic electroluminescence device 10 includes: a substrate 11; grid-shaped barriers 13, 13' disposed on the substrate 11; a first electrode 12 formed in a region sectioned by the grid-shaped barriers 13, 13'; an organic luminescent medium layer 15 including an organic luminescent material and formed on the first electrode 12; and a second electrode 16 formed on the organic luminescent medium layer 15. A flattened barrier 14 is formed in the center portion of the region, sectioned by the grid-shaped barriers 13, 13', on the first electrode 12.

Description

本発明は、印刷法により形成された有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造に関するものである。   The present invention relates to an organic electroluminescence element formed by a printing method and its production.

近年、情報表示端末のディスプレイ用途として、大小の光学式表示装置が使用されるようになってきている。中でも、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「有機EL素子」とも表記する。)を用いた表示装置は、自発光型であるため応答速度が速く、消費電力が低いことから次世代のディスプレイとして注目されている。有機EL素子は有機発光材料を含む発光媒体層を、第一電極と第二電極で挟んだ単純な基本構造をしている。この電極間に電圧を印加し、一方の電極から注入されるホールと、他方の電極から注入される電子とが発光層内で再結合する際に生じる光を画像表示や光源として用いるというものである。   In recent years, large and small optical display devices have been used for display applications of information display terminals. Among them, a display device using an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as “organic EL element”) is a self-luminous type, and thus has a high response speed and low power consumption. ing. The organic EL element has a simple basic structure in which a light emitting medium layer containing an organic light emitting material is sandwiched between a first electrode and a second electrode. A voltage is applied between the electrodes, and the light generated when the holes injected from one electrode and the electrons injected from the other electrode recombine in the light emitting layer is used as an image display or light source. is there.

有機EL素子は、低分子発光媒体材料を蒸着法で形成する方式が一般的に用いられているが、低分子発光媒体層の積層数分だけ高価な蒸着装置を必要とするといった課題や、高精細化に伴い、基板大型化が困難であるといった課題がある。これらの課題を解決する手段として、低分子発光媒体材料や高分子発光媒体材料を有機溶媒に溶かしてインク化して、インクジェット法や凸版印刷法、ノズルコーティング法などの印刷法を用いて有機発光媒体層を形成する方式がある(特許文献1を参照)。   The organic EL element generally uses a method of forming a low molecular light emitting medium material by a vapor deposition method. However, there is a problem that an expensive vapor deposition apparatus is required as many as the number of low molecular light emitting medium layers stacked. With the refinement, there is a problem that it is difficult to increase the size of the substrate. As means for solving these problems, an organic light emitting medium is produced by dissolving a low molecular light emitting medium material or a polymer light emitting medium material in an organic solvent to form an ink, and using a printing method such as an inkjet method, a relief printing method, or a nozzle coating method. There is a method of forming a layer (see Patent Document 1).

印刷法を用いた有機EL素子は、大型基板でも高精細画素に対し、インクを均一量印刷形成することができるが、画素領域を区画する隔壁にインクが濡れあがる現象が生じるために、画素領域内の有機発光媒体層を平坦化することが困難であり、発光形状が円(あるいは楕円)状となりやすく、発光効率が低下したり色度が低下するといった課題がある。この課題を解決するために、隔壁を撥水化する手法が報告されている(特許文献2を参照)が、有機発光媒体層を複数層積層する場合には効果が得られないといった課題や、第二電極の密着性低下による膜剥がれが生じるといった課題がある。   An organic EL element using a printing method can print and form a uniform amount of ink on a high-definition pixel even on a large substrate. However, the phenomenon that the ink wets the partition walls that partition the pixel area occurs. It is difficult to flatten the organic light emitting medium layer, the light emission shape tends to be a circle (or an ellipse), and there is a problem that the light emission efficiency decreases and the chromaticity decreases. In order to solve this problem, a method of making the partition walls water-repellent has been reported (see Patent Document 2), but the problem that the effect cannot be obtained when a plurality of organic light emitting medium layers are laminated, There is a problem that film peeling occurs due to a decrease in adhesion of the second electrode.

特開2002−313561号公報JP 2002-31561 A 特開2011−96375号公報JP 2011-96375 A

本発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、隔壁により区画された画素領域に対して有機発光媒体材料を溶かしたインクを印刷形成し、画素領域内に有機発光媒体層を平坦に形成することで、発光効率を向上させることができる有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and prints ink in which an organic light emitting medium material is dissolved in a pixel region partitioned by a partition, and forms an organic light emitting medium layer flatly in the pixel region. Thus, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescence element capable of improving luminous efficiency and a method for manufacturing the same.

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、基板と、前記基板上に設けられた格子状隔壁と、前記格子状隔壁により区画された領域内に形成された第一電極と、前記第一電極上に形成された、有機発光材料を含む有機発光媒体層と、前記有機発光媒体層上に形成された第二電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記格子状隔壁により区画された領域内の中央部で、かつ前記第一電極上に平坦化隔壁を形成したことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子である。   One embodiment of the present invention made to solve the above problems is a substrate, a grid-like partition provided on the substrate, a first electrode formed in a region partitioned by the grid-like partition, In an organic electroluminescent element having an organic light emitting medium layer containing an organic light emitting material formed on the first electrode and a second electrode formed on the organic light emitting medium layer, the organic electroluminescent element is partitioned by the lattice-shaped partition walls. An organic electroluminescence element characterized in that a flattened partition wall is formed on the first electrode at the center in the region.

また、本発明の別の態様は、前記平坦化隔壁の高さは、前記格子状隔壁の高さの60%以上、80%以下の範囲内であることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記平坦化隔壁は、透明であることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記平坦化隔壁の幅は、10μm以下であることとしても良い。
In another aspect of the present invention, the height of the flattened partition wall may be in the range of 60% or more and 80% or less of the height of the grid-shaped partition wall.
In another aspect of the present invention, the flattened partition wall may be transparent.
In another embodiment of the present invention, the flattened partition wall may have a width of 10 μm or less.

また、本発明の別の態様は、前記格子状隔壁により区画された領域において、前記格子状隔壁の4辺から前記平坦化隔壁までの距離が均等になるように、一つ以上の前記平坦化隔壁が形成されていることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記格子状隔壁は、1段目の隔壁と前記1段目の隔壁上に形成された2段目の隔壁とを含む2段構成であることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁は、前記平坦化隔壁と同材料で形成されており、前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁と前記平坦化隔壁とは、同時に形成されることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記格子状隔壁の前記1段目の隔壁は、格子状であり、前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁は、ライン状隔壁であることとしても良い。
また、本発明の別の態様は、前記平坦化隔壁は、前記第二電極で被覆されていることとしても良い。
According to another aspect of the present invention, at least one of the planarizations is performed so that distances from four sides of the grid-shaped partition walls to the planarization partition walls are uniform in a region partitioned by the grid-shaped partition walls. A partition wall may be formed.
In another aspect of the present invention, the lattice-shaped partition may have a two-stage configuration including a first-stage partition and a second-stage partition formed on the first-stage partition. .
In another aspect of the present invention, the second-stage partition of the lattice-shaped partition is formed of the same material as the planarized partition, and the second-stage partition of the lattice-shaped partition and the flat The barrier ribs may be formed at the same time.
In another aspect of the present invention, the first-stage partition wall of the lattice-shaped partition wall may have a lattice shape, and the second-stage partition wall of the lattice-shaped partition wall may be a line-shaped partition wall. .
In another aspect of the present invention, the planarization partition may be covered with the second electrode.

また、本発明の別の態様は、基板上に第一電極を形成する工程と、前記第一電極の端部を覆うように格子状隔壁を形成する工程と、前記格子状隔壁により区画された領域内の中央部に平坦化隔壁を形成する工程と、凸部を備えるライン状凸版を用いた印刷法により、前記格子状隔壁により区画された領域内の前記第一電極上及び前記平坦化隔壁上に有機発光媒体層を形成する工程と、前記有機発光媒体層上に第二電極を形成する工程と、を含む有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、前記有機発光媒体層の形成に用いる前記ライン状凸版に備わる凸部の幅は、前記印刷方向に対して平行方向の前記格子状隔壁により区画された領域の幅と同じ幅であり、前記ライン状凸版は、前記平坦化隔壁に接触しないことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法である。
また、本発明の別の態様は、前記ライン状凸版を用いた印刷法により、前記有機発光媒体層を形成する工程の前に、前記格子状隔壁及び前記平坦化隔壁の表面を、プラズマ処理し、10nm以上、100nm以下の範囲内で削る工程を含むこととしても良い。
Further, another aspect of the present invention is defined by a step of forming a first electrode on a substrate, a step of forming a grid-like partition so as to cover an end of the first electrode, and the grid-like partition A step of forming a flattened partition wall at a central portion in the region and a printing method using a line-shaped relief plate having a convex portion, on the first electrode in the region partitioned by the grid-shaped partition wall and the flattened partition wall A method for manufacturing an organic electroluminescent element, comprising: forming an organic light emitting medium layer thereon; and forming a second electrode on the organic light emitting medium layer, and is used for forming the organic light emitting medium layer The width of the convex portion provided in the line-shaped relief is the same width as the width of the region partitioned by the grid-like partition in the direction parallel to the printing direction, and the line-like relief contacts the flattened partition. Yes, characterized by not It is a manufacturing method of the electroluminescent element.
In another aspect of the present invention, the surface of the lattice-shaped partition walls and the planarized partition walls is subjected to a plasma treatment before the step of forming the organic light emitting medium layer by a printing method using the line-shaped relief printing. A step of cutting within a range of 10 nm or more and 100 nm or less may be included.

本発明によれば、印刷法を用いた有機EL素子において、高精細の画素領域内に対し、平坦に有機発光媒体層を形成することができるため、発光効率に優れ、表示品位に優れた有機ELディスプレイを、大基板に安価に作製することができる。   According to the present invention, in an organic EL element using a printing method, an organic light-emitting medium layer can be formed flat in a high-definition pixel region, so that the organic EL element has excellent luminous efficiency and display quality. An EL display can be manufactured on a large substrate at low cost.

本発明の実施形態における有機エレクトロルミネッセンス素子10の断面構造の一例である。It is an example of the cross-sectional structure of the organic electroluminescent element 10 in embodiment of this invention. 本発明の実施形態における隔壁13の斜視図の一例である。It is an example of the perspective view of the partition 13 in embodiment of this invention. 凸版印刷を用いた平坦化隔壁14のない隔壁13へのインク20の転写図例である。It is an example of a transfer diagram of the ink 20 to the partition wall 13 without the flattened partition wall 14 using relief printing. 本発明の実施形態において、凸版印刷を用いた隔壁13へのインク20の転写図例である。In embodiment of this invention, it is an example of a transfer figure of the ink 20 to the partition 13 using relief printing. 本発明の実施形態における平坦化隔壁14の形状の一例である。It is an example of the shape of the planarization partition 14 in embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態を図に従って説明する。なお、以下の説明で参照する図面は、本発明の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の構成を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さ、寸法等は実際のものとは異なる。
図1〜3に示すように、本発明の実施形態に係る有機EL素子10は、基板11と、基板11上に設けられた隔壁13(または13’)と、隔壁13に区画された画素領域内に形成された有機発光媒体層15を具備し、前記隔壁13は少なくとも1段からなる格子状隔壁である(図示は2段の隔壁13及び13’)。また、有機発光媒体層15と隔壁13との下方には第一電極12が、そしてこれらの上方には第二電極16がそれぞれ設けられ、有機発光媒体層15を挟む構造となっている。また、本発明の実施形態に係る有機EL素子10の特徴である平坦化隔壁14は、格子状隔壁13により区画された画素領域のほぼ中央部に位置し、かつ第一電極12上に形成された構造である。また、図示はしていないが、有機発光媒体層15と第二電極16とは、大気中の水分や酸素により劣化しやすいため、ガラス材やバリア膜、バリアフィルムなどを用いた既知の封止方法により密閉封止する。以下、各構成層の詳細を説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The drawings referred to in the following description are for explaining the configuration of the organic electroluminescence element according to the embodiment of the present invention, and the sizes, thicknesses, dimensions, and the like of the respective parts shown in the drawings are actual. Is different.
As shown in FIGS. 1 to 3, the organic EL element 10 according to the embodiment of the present invention includes a substrate 11, a partition wall 13 (or 13 ′) provided on the substrate 11, and a pixel region partitioned by the partition wall 13. The organic light-emitting medium layer 15 formed therein is provided, and the partition wall 13 is a lattice-shaped partition wall having at least one stage (the two-stage partition walls 13 and 13 'are illustrated). A first electrode 12 is provided below the organic light emitting medium layer 15 and the partition wall 13, and a second electrode 16 is provided above the first electrode 12, so that the organic light emitting medium layer 15 is sandwiched therebetween. In addition, the planarization partition 14, which is a feature of the organic EL element 10 according to the embodiment of the present invention, is formed on the first electrode 12, located substantially in the center of the pixel region defined by the lattice-shaped partition 13. Structure. Although not shown, since the organic light emitting medium layer 15 and the second electrode 16 are easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere, a known sealing using a glass material, a barrier film, a barrier film, or the like. Seal and seal by the method. Hereinafter, details of each constituent layer will be described.

<基板>
基板11は本発明の実施形態に係る印刷体の支持体となるものである。基板11の材料としては絶縁性を有し寸法安定性に優れた基板であれば如何なる基板も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材や、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。光取出し面として、基板11側か封止側のどちらの面から行うかに応じて基材11の透光性を選択すれば良く、色も特に限定されるものではない。これらの材料からなる基板11は、有機EL素子10内への水分の侵入を避けるために、無機膜やフッ素樹脂層を形成して、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、有機発光媒体層15への水分の侵入を避けるために、基板11における含水率及びガス透過係数を小さくすることが好ましい。
<Board>
The board | substrate 11 becomes a support body of the printing body which concerns on embodiment of this invention. As the material of the substrate 11, any substrate can be used as long as it is an insulating material and excellent in dimensional stability. For example, plastic films and sheets such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc., or oxidation to these plastic films and sheets Metal oxides such as silicon and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride, metal oxynitrides such as silicon oxynitride, acrylic resins and epoxy resins Translucent base material with a single layer or laminated polymer resin film such as silicone resin or polyester resin, metal foil such as aluminum or stainless steel, sheet, plate, aluminum on the plastic film or sheet It can be used um, copper, nickel, stainless steel and metal film non-translucent substrate as a laminate of such. What is necessary is just to select the translucency of the base material 11 according to whether it performs from the surface of the board | substrate 11 side or a sealing side as a light extraction surface, and a color is not specifically limited, either. The substrate 11 made of these materials is preferably subjected to moisture-proofing treatment or hydrophobic treatment by forming an inorganic film or a fluororesin layer in order to avoid moisture intrusion into the organic EL element 10. In particular, in order to avoid intrusion of moisture into the organic light emitting medium layer 15, it is preferable to reduce the moisture content and gas permeability coefficient in the substrate 11.

また、有機EL素子10を形成する場合には、上記基板11として薄膜トランジスタ(以下、「TFT」とも表記する。)を形成したアクティブ駆動方式用基板を用いても良い。本発明の実施形態に係る印刷体をアクティブ駆動型有機EL素子とする場合には、TFT上に、平坦化層が形成してあるとともに、平坦化層上に有機EL素子10の下部電極(つまり、第一電極12)が設けられており、かつ、TFTと下部電極とが平坦化層に設けたコンタクトホールを介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子10との間で、優れた電気絶縁性を得ることができる。TFTや、その上方に構成される有機EL素子10は支持体で支持される。支持体としては機械的強度や、寸法安定性に優れていることが好ましく、具体的には先に基板11として述べた材料を用いることができる。支持体上に設ける薄膜トランジスタは、公知の薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層、ゲート絶縁膜及びゲート電極から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、ボトムゲート型、コプレーナ型等の公知の構造が挙げられる。   When the organic EL element 10 is formed, an active drive substrate on which a thin film transistor (hereinafter also referred to as “TFT”) is formed as the substrate 11 may be used. When the printed body according to the embodiment of the present invention is an active drive organic EL element, a planarization layer is formed on the TFT, and the lower electrode (that is, the organic EL element 10) (that is, the planar electrode) The first electrode 12) is provided, and the TFT and the lower electrode are preferably electrically connected via a contact hole provided in the planarization layer. With this configuration, excellent electrical insulation can be obtained between the TFT and the organic EL element 10. The TFT and the organic EL element 10 formed above the TFT are supported by a support. The support is preferably excellent in mechanical strength and dimensional stability. Specifically, the materials described above as the substrate 11 can be used. As the thin film transistor provided on the support, a known thin film transistor can be used. Specifically, a thin film transistor mainly including an active layer in which a source / drain region and a channel region are formed, a gate insulating film, and a gate electrode can be given. The structure of the thin film transistor is not particularly limited, and examples thereof include known structures such as a staggered type, an inverted staggered type, a top gate type, a bottom gate type, and a coplanar type.

活性層は、特に限定されるものではなく、例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコン、セレン化カドミウム等の無機半導体材料又はチオフエンオリゴマー、ポリ(p−フェリレンビニレン)等の有機半導体材料により形成することができる。これらの活性層は、例えば、アモルファスシリコンをプラズマCVD法により積層し、イオンドーピングする方法;SiHガスを用いてLPCVD法によりアモルファスシリコンを形成し、固相成長法によりアモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法;Siガスを用いてLPCVD法により、また、SiHガスを用いてPECVD法によりアモルファスシリコンを形成し、エキシマレーザー等のレーザーによりアニールし、アモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオンドーピング法によりイオンドーピングする方法(低温プロセス);減圧CVD法又はLPCVD法によりポリシリコンを積層し、1000℃以上で熱酸化してゲート絶縁膜を形成し、その上にnポリシリコンのゲート電極を形成し、その後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法(高温プロセス)等が挙げられる。 The active layer is not particularly limited, and examples thereof include inorganic semiconductor materials such as amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline silicon, cadmium selenide, thiophene oligomers, poly (p-ferylene vinylene), and the like. It can be formed of an organic semiconductor material. These active layers are formed by, for example, laminating amorphous silicon by plasma CVD, ion doping; forming amorphous silicon by LPCVD using SiH 4 gas, and crystallizing amorphous silicon by solid phase growth. After silicon is obtained, ion doping is performed by ion implantation; amorphous silicon is formed by LPCVD using Si 2 H 6 gas, or PECVD using SiH 4 gas, and a laser such as an excimer laser is used. After annealing and crystallizing amorphous silicon to obtain polysilicon, a method of ion doping by ion doping (low temperature process); polysilicon is deposited by low pressure CVD or LPCVD, and thermally oxidized at 1000 ° C. or higher Gate break Film is formed, a gate electrode of the n + polysilicon is formed thereon, then, a method of ion doping (high temperature process), and the like by an ion implantation method.

ゲート絶縁膜としては、ゲート絶縁膜として使用されている公知のものを用いることができ、例えば、PECVD法、LPCVD法等により形成されたSiO;ポリシリコン膜を熱酸化して得られるSiO等を用いることができる。ゲート電極としては、通常、ゲート電極として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属;チタン、タンタル、タングステン等の高融点金属;ポリシリコン;高融点金属のシリサイド;ポリサイド等が挙げられる。薄膜トランジスタは、シングルゲート構造、ダブルゲート構造、ゲート電極が3つ以上のマルチゲート構造であっても良い。また、LDD構造、オフセット構造を有していても良い。さらに、1つの画素中に2つ以上の薄膜トランジスタが配置されていても良い。 As the gate insulating film, a known one used as a gate insulating film can be used. For example, SiO 2 formed by PECVD method, LPCVD method, etc .; SiO 2 obtained by thermally oxidizing a polysilicon film Etc. can be used. As a gate electrode, what is normally used as a gate electrode can be used, for example, metals, such as aluminum and copper; refractory metals, such as titanium, tantalum, and tungsten; polysilicon; silicide of refractory metals; Polycide etc. are mentioned. The thin film transistor may have a single gate structure, a double gate structure, or a multi-gate structure having three or more gate electrodes. Moreover, you may have a LDD structure and an offset structure. Further, two or more thin film transistors may be arranged in one pixel.

本発明の実施形態に係る印刷体を有機EL素子10として形成する場合には、TFTが有機EL素子10のスイッチング素子として機能するように接続されている必要があり、トランジスタのドレイン電極と有機EL素子10の画素電極(つまり、第一電極12)とが電気的に接続されている。トップエミッション構造とする場合には画素電極は光を反射する金属を用いる必要があり、ボトムエミッション構造とする場合には画素電極は光を透過する材料を用いる必要がある。薄膜トランジスタとドレイン電極と有機EL素子10の画素電極との接続は、平坦化膜を貫通するコンタクトホール内に形成された接続配線を介して行われる。   In the case where the printed body according to the embodiment of the present invention is formed as the organic EL element 10, the TFT needs to be connected so as to function as a switching element of the organic EL element 10, and the drain electrode of the transistor and the organic EL The pixel electrode (that is, the first electrode 12) of the element 10 is electrically connected. In the case of the top emission structure, the pixel electrode needs to use a metal that reflects light. In the case of the bottom emission structure, the pixel electrode needs to use a material that transmits light. The thin film transistor, the drain electrode, and the pixel electrode of the organic EL element 10 are connected through a connection wiring formed in a contact hole that penetrates the planarization film.

平坦化膜の材料についてはSiO、スピンオンガラス、SiN(例えば、Si)、TaO(例えば、Ta)等の無機材料、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フォトレジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料等を用いることができる。これらの材料に合わせてスピンコーティング法、CVD法、蒸着法等を選択できる。必要に応じて、平坦化層として感光性樹脂を用いフォトリソグラフィーの手法により、あるいは一旦全面に平坦化層を形成後、下層の薄膜トランジスタに対応した位置にドライエッチング、ウェットエッチング等でコンタクトホールを形成する。コンタクトホールはその後導電性材料で埋めて平坦化層上層に形成される画素電極との導通を図る。平坦化層の厚みは下層のTFT、コンデンサ、配線等を覆うことができれば良く、厚みは数μm、例えば3μm程度あれば良い。 Regarding the material of the planarization film, inorganic materials such as SiO 2 , spin-on glass, SiN (eg, Si 3 N 4 ), TaO (eg, Ta 2 O 5 ), polyimide resin, acrylic resin, photoresist material, and black matrix material An organic material such as can be used. A spin coating method, a CVD method, a vapor deposition method, or the like can be selected in accordance with these materials. If necessary, contact holes are formed by dry etching, wet etching, etc. at a position corresponding to the lower layer thin film transistor by photolithography using a photosensitive resin as the planarizing layer, or once the planarizing layer is formed on the entire surface. To do. The contact hole is then filled with a conductive material to establish conduction with the pixel electrode formed in the upper layer of the planarization layer. The thickness of the planarization layer only needs to be able to cover the lower TFT, capacitor, wiring, and the like. The thickness may be several μm, for example, about 3 μm.

<第一電極>
基板11の上に第一電極12を成膜し、必要に応じてパターニングを行なう。第一電極12は格子状隔壁13(または13’)によって区画された領域130内にあり(図2を参照)、各画素に対応した画素電極となる。第一電極12の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。第一電極12を陽極とする場合にはITOなどの透明性と導電性を有しかつ仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、第一電極12の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設しても良い。
<First electrode>
A first electrode 12 is formed on the substrate 11 and patterned as necessary. The first electrode 12 is in the region 130 defined by the grid-like partition wall 13 (or 13 ′) (see FIG. 2), and serves as a pixel electrode corresponding to each pixel. Examples of the material of the first electrode 12 include metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, and zinc aluminum composite oxide, metal materials such as gold and platinum, and these metal oxides. Alternatively, a single layer or a laminate of fine particle dispersion films in which fine particles of a metal material are dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used. When the first electrode 12 is used as an anode, it is preferable to select a material having transparency and conductivity, such as ITO, and having a high work function. In the case of a so-called bottom emission structure in which light is extracted from below, it is necessary to select a light-transmitting material. If necessary, a metal material such as copper or aluminum may be provided as an auxiliary electrode in order to reduce the wiring resistance of the first electrode 12.

第一電極12の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。第一電極12のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。基板11としてTFTを形成した物を用いる場合は下層の画素に対応して導通を図ることができるように形成する。   As the formation method of the first electrode 12, depending on the material, dry film forming methods such as resistance heating vapor deposition method, electron beam vapor deposition method, reactive vapor deposition method, ion plating method, sputtering method, gravure printing method, screen A wet film forming method such as a printing method can be used. As a patterning method for the first electrode 12, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on the material and the film forming method. In the case where a substrate on which a TFT is formed is used as the substrate 11, the substrate 11 is formed so as to be conductive corresponding to the lower pixel.

<格子状隔壁>
本発明の実施形態に係る格子状隔壁13は画素領域130に対応した発光領域132を区画するように形成する。基体が第一電極12を備えている場合は第一電極12の端部を覆うように形成するのが好ましい。隔壁13は少なくとも1段からなる格子状の隔壁で、第一電極12が格子状に区画されれば良く(図2(a)を参照)、図2(b)に示すように1段目に格子状の隔壁13’を設けた後に、2段目にライン状の隔壁13を形成しても良い。このとき、有機機能性薄膜の印刷に用いる凸版上の凸部は、ライン状隔壁13と平行な直線状に形成される。
<Lattice-like partition wall>
The grid-like partition wall 13 according to the embodiment of the present invention is formed so as to partition the light emitting region 132 corresponding to the pixel region 130. When the substrate includes the first electrode 12, it is preferably formed so as to cover the end of the first electrode 12. The partition wall 13 is a grid-shaped partition wall composed of at least one stage, and it is sufficient that the first electrode 12 is partitioned in a grid pattern (see FIG. 2A). As shown in FIG. After providing the lattice-shaped partition wall 13 ′, the line-shaped partition wall 13 may be formed in the second stage. At this time, the convex portions on the relief plate used for printing the organic functional thin film are formed in a straight line parallel to the line-shaped partition walls 13.

格子状の隔壁13の形成方法としては、従来と同様、基体上に無機膜を一様に形成し、レジストでマスキングした後、ドライエッチングを行う方法や、基体上に感光性樹脂を積層し、フォトリソ法により所定のパターンとする方法が挙げられる。必要に応じて撥水剤を添加したり、プラズマやUVを照射して形成後にインク20に対する撥液性を付与することもできる。   As a method for forming the lattice-shaped partition wall 13, as in the past, an inorganic film is uniformly formed on a substrate, masked with a resist, and then dry etching, or a photosensitive resin is laminated on the substrate, The method of setting it as a predetermined pattern by the photolithography method is mentioned. If necessary, a water repellent can be added, or liquid or liquid repellency can be imparted to the ink 20 after formation by irradiation with plasma or UV.

隔壁13の好ましい高さは0.1μm〜10μmであるが、あまり高すぎると凸版印刷版19により画素領域130にインク20が転写されにくくなるため、5μm以下であることがこのましく、隣接画素で混色しないように1μm以上であることが好ましい。
隔壁13の好ましい幅は3μm〜50μm程度であるが、隔壁13の幅が大きくなりすぎると画素開口率が低下してしまい、また隔壁13の幅が小さすぎると、後述する平坦化隔壁14の形成領域が限定され、印刷版と接触し印刷不良の原因となるので、10μm以上であることが好ましい。
The preferable height of the partition wall 13 is 0.1 μm to 10 μm. However, if the height is too high, the ink 20 is difficult to be transferred to the pixel region 130 by the relief printing plate 19. In order to prevent color mixing, the thickness is preferably 1 μm or more.
The preferable width of the partition wall 13 is about 3 μm to 50 μm. However, if the width of the partition wall 13 becomes too large, the pixel aperture ratio decreases, and if the width of the partition wall 13 is too small, the formation of a flattened partition wall 14 described later is formed. The area is limited, and it is in contact with the printing plate and causes printing failure.

<平坦化隔壁>
本発明の実施形態に係る平坦化隔壁14は、格子状隔壁13により区画された画素領域130のほぼ中央部に形成され、第一電極12上に形成する。平坦化隔壁14を形成しない場合(図3を参照)、凸版印刷法により画素領域130内にインク20が印刷形成されると(図3(a)を参照)、このインク20は隔壁13に濡れ上がり乾燥するために、有機発光媒体層15の膜形状としては凹形状となり、例えば有機発光媒体層15の中央部の膜厚に対して膜厚差が10%以内の平坦化領域131は、画素領域130に対して50%になってしまう(図3(b)を参照)。すると、発光領域132は楕円形のような形状となり50%程度になってしまう(図3(c)を参照)。
<Flattened partition wall>
The flattened partition 14 according to the embodiment of the present invention is formed on the first electrode 12 at substantially the center of the pixel region 130 partitioned by the grid-shaped partitions 13. When the flattened partition wall 14 is not formed (see FIG. 3), when the ink 20 is printed and formed in the pixel region 130 by the relief printing method (see FIG. 3A), the ink 20 wets the partition wall 13. In order to rise and dry, the organic light emitting medium layer 15 has a concave film shape. For example, the flattened region 131 having a film thickness difference of 10% or less with respect to the film thickness of the central portion of the organic light emitting medium layer 15 It will be 50% with respect to the area | region 130 (refer FIG.3 (b)). Then, the light emitting region 132 is shaped like an ellipse and becomes about 50% (see FIG. 3C).

これに対して、平坦化隔壁14を形成した格子状隔壁基板を用いた場合(図4を参照)、凸版印刷法により画素領域130内にインク20が印刷形成されると(図4(a) を参照)、このインク20は格子状隔壁13には濡れあがるが、平坦化隔壁14は格子状隔壁13に比べて高さが低いために濡れ上がりの程度が小さく、またこの平坦化隔壁14の存在により格子状隔壁13への濡れ上がりの程度を減少させる効果があるため、例えば有機発光媒体層15の膜厚差が10%以内の平坦化領域131は、画素領域130に対して角部を除くほぼ全面とすることができ(図4(b) を参照)、発光領域132は画素領域130のほぼ全域とすることができる(図4(c) を参照)。   On the other hand, when the grid-like partition substrate having the planarized partition 14 is used (see FIG. 4), when the ink 20 is printed and formed in the pixel region 130 by the relief printing method (FIG. 4A). The ink 20 wets the grid-like partition walls 13, but the level of the flattened partition wall 14 is smaller than that of the grid-like partition wall 13, so that the degree of wetting is small. Since the presence has an effect of reducing the degree of wetting to the lattice-shaped partition wall 13, for example, the planarized region 131 in which the organic light emitting medium layer 15 has a film thickness difference of 10% or less has a corner with respect to the pixel region 130. The light emitting region 132 can be substantially the entire area of the pixel region 130 (see FIG. 4C).

平坦化隔壁14の形状は図5に例示するが、画素領域130内にあって、格子状隔壁13の4辺から平坦化隔壁14までの距離が均等であると、画素領域130全面にわたり有機発光媒体層15を平坦化することができるため好ましい。また、この平坦化隔壁14が形成された部分は発光できないため、画素領域130に対して平坦化隔壁14が占める割合を少なくしないと、有機発光媒体層15を平坦化した意味が無い。そのため、平坦化隔壁14の画素占有率は少なくとも30%以下、好ましくは15%以下であることが好ましい。さらには、平坦化隔壁14の材料として透明な材料を用いて、平坦化隔壁14の線幅を15μm以下、好ましくは10μm以下にすると、平坦化隔壁14の周辺部で発光した光が拡散し平坦化隔壁14が黒点として見えない。また、平坦化隔壁14の線幅は3μm以上とすることが好ましい。これは、平坦化隔壁14の線幅が3μmより細い場合には、フォトリソにより形成することができないためである。   The shape of the flattening partition wall 14 is illustrated in FIG. 5, but when the distance from the four sides of the grid-shaped partition wall 13 to the flattening partition wall 14 is uniform within the pixel region 130, organic light emission is performed over the entire pixel region 130. Since the medium layer 15 can be planarized, it is preferable. Further, since the portion where the flattened partition 14 is formed cannot emit light, it is meaningless to flatten the organic light emitting medium layer 15 unless the ratio of the flattened partition 14 to the pixel region 130 is reduced. Therefore, it is preferable that the pixel occupation ratio of the planarization partition 14 is at least 30% or less, preferably 15% or less. Furthermore, when a transparent material is used as the material of the planarization partition 14 and the line width of the planarization partition 14 is set to 15 μm or less, preferably 10 μm or less, light emitted from the periphery of the planarization partition 14 is diffused and flattened. The barrier rib 14 is not visible as a black spot. Further, the line width of the flattened partition wall 14 is preferably 3 μm or more. This is because if the line width of the planarization partition 14 is smaller than 3 μm, it cannot be formed by photolithography.

平坦化隔壁14の高さは画素開口幅により最適値があるが、格子状隔壁13の高さに対しておおむね60%〜80%程度にすると、平坦化領域131を広くすることができ好適である。平坦化隔壁14を格子状隔壁13よりも低くする方法としては、例えば格子状隔壁13と平坦化隔壁14の材料として感光性樹脂を用い、同時形成した後に、平坦化隔壁14を露光もしくは遮光する部分に半透過膜を用いることにより、格子状隔壁13との露光(遮光)量を変えても良い。また、格子状隔壁13を2段隔壁として、1段目の格子状隔壁13’として例えば窒化珪素などの無機膜を形成した後に、2段目の格子状隔壁13を形成すると同時に平坦化隔壁14を形成すれば、1段目の格子状隔壁13’の分高さを低くすることが容易にできる。
なお、この平坦化隔壁14の一部は、図1に示すように、後述する第二電極16で被覆されていても良い。平坦化隔壁14を被覆しないと、水分の浸入経路となり、有機発光層が劣化してしまう。
The height of the flattening partition wall 14 has an optimum value depending on the pixel opening width. However, if the height of the planar partitioning wall 13 is approximately 60% to 80% with respect to the height of the lattice-shaped partition wall 13, the planarizing region 131 can be widened, which is preferable. is there. As a method of lowering the flattened partition wall 14 than the lattice-shaped partition wall 13, for example, a photosensitive resin is used as a material for the lattice-shaped partition wall 13 and the flattened partition wall 14. By using a semi-transmissive film for the portion, the exposure (light-shielding) amount with respect to the grid-like partition wall 13 may be changed. In addition, after forming an inorganic film such as silicon nitride as the first-stage lattice-shaped partition wall 13 ′ after forming the second-stage lattice-shaped partition wall 13 as the first-stage lattice-shaped partition wall 13 ′, the planarized partition wall 14 is formed. By forming this, it is possible to easily reduce the height of the first-stage grid-like partition wall 13 '.
In addition, as shown in FIG. 1, a part of this planarization partition 14 may be coat | covered with the 2nd electrode 16 mentioned later. If the flattened partition wall 14 is not covered, it becomes a moisture infiltration path and the organic light emitting layer is deteriorated.

<有機発光媒体層>
次に、有機機能性薄膜として有機発光媒体層15を形成する。本発明の実施形態に係る有機発光媒体層15としては、有機発光材料を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔又は電子注入機能と正孔又は電子輸送機能を分けたり、正孔又は電子の輸送をプロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成することがより好ましい。なお、有機発光媒体層15は、全ての層が有機材料であることを意味するものではなく、少なくとも有機発光層を有し、その他機能層を無機材料に置き換えても良い。また、本発明中の有機発光層とは有機発光材料を含む層を指し、電荷輸送層とは正孔輸送層等それ以外の発光効率を上げるために形成されている層を指す。
<Organic luminescent medium layer>
Next, the organic light emitting medium layer 15 is formed as an organic functional thin film. The organic light emitting medium layer 15 according to the embodiment of the present invention can be formed of a single layer film or a multilayer film containing an organic light emitting material. Examples of the structure in the case of forming a multilayer film include a hole transport layer, an electron transporting light emitting layer or a hole transporting light emitting layer, a two-layer structure comprising an electron transport layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer, and an electron transport. A three-layer structure consisting of layers, and further, by separating a hole or electron injection function and a hole or electron transport function as required, or by inserting a layer that blocks the transport of holes or electrons, etc. More preferably, it is formed. The organic light emitting medium layer 15 does not mean that all the layers are organic materials, but may have at least an organic light emitting layer, and other functional layers may be replaced with inorganic materials. Further, the organic light emitting layer in the present invention refers to a layer containing an organic light emitting material, and the charge transport layer refers to a layer formed to increase other light emitting efficiency such as a hole transport layer.

正孔輸送層に用いられる正孔輸送材料としては、銅フタロシアニンやその誘導体、1,1−ビス(4−ジーp−トリアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニルーN,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニルー4,4’−ジアミンなどの芳香族アミンなどの低分子材料、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(以下、「PEDOT」とも表記する。)や、PEDOTとポリスチレンスルホン酸(以下、「PSS」とも表記する。)との混合物(以下、「PEDOT/PSS」とも表記する。)などの高分子材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、CuO、Mn、NiO、AgO、MoO、ZnO、TiO、Ta、MoO、WO、MoOなどの無機材料化合物などが挙げられる。 Examples of the hole transport material used for the hole transport layer include copper phthalocyanine and derivatives thereof, 1,1-bis (4-di-p-triaminophenyl) cyclohexane, N, N′-diphenyl-N, N′-bis ( Low molecular weight materials such as aromatic amines such as 3-methylphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'-diamine, polyaniline derivatives, polythiophene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (Hereinafter also referred to as “PEDOT”) and polymer materials such as a mixture of PEDOT and polystyrene sulfonic acid (hereinafter also referred to as “PSS”) (hereinafter also referred to as “PEDOT / PSS”). , polythiophene oligomer material, Cu 2 O, Mn 2 O 3, NiO, Ag 2 O, MoO 2, ZnO, TiO Ta 2 O 5, MoO 3, WO 3, MoO 3 and the like inorganic materials compounds such.

有機発光層に用いられる有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス〔8−(パラ−トシル)アミノキノリン〕亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料や、ポリフルオレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロなどの高分子材料や、これら高分子材料に前記低分子材料の分散または共重合した材料や、その他既存の高分子・低分子発光材料を用いることができる。   Organic light-emitting materials used for the organic light-emitting layer include 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolinolato) aluminum complex, tris. (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum complex, bis (8-quinolinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-) 8-quinolinolato) aluminum complex, bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) ) [4- (4-Cyanophenyl) phenoler ] Aluminum complex, tris (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, pentaphenylcyclopentadiene, poly -2,5-diheptyloxy-para-phenylene vinylene, coumarin phosphor, perylene phosphor, pyran phosphor, anthrone phosphor, porphyrin phosphor, quinacridone phosphor, N, N'-dialkyl Low molecular light emitting materials such as substituted quinacridone phosphors, naphthalimide phosphors, N, N′-diaryl substituted pyrrolopyrrole phosphors, phosphorescent emitters such as Ir complexes, polyfluorenes, polyparaphenylene vinylenes , Polythiophene, polyspiro and other polymer materials The materials and dispersed or copolymerization of low molecular weight material in the material, it is possible to use other existing polymer-low molecular luminescent material.

電子輸送層に用いられる電子輸送材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。形成には真空蒸着等を用いることができる。   As an electron transport material used for the electron transport layer, 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl) ) -1,3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used. For the formation, vacuum deposition or the like can be used.

有機発光媒体層15の膜厚は、単層または積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50nm〜150nmである。特に、有機EL素子10の正孔輸送材料は、基体や第一電極12の表面突起を覆う効果が大きく、50nm〜100nm程度厚い膜を成膜することがより好ましい。
有機発光媒体層15の形成方法としては、正孔輸送層及び電子輸送層はその材料に応じて、真空蒸着法や、スピンコート法、スプレーコート法、フレキソ法、グラビア法、マイクログラビア法、凸版印刷法、凹版オフセット法やインクジェット法、ノズルコート法などを用いることができるが、有機発光材料層の形成方法は凸版印刷法が特に好ましく、本発明の実施形態では有機発光媒体層15を構成する層のうち少なくとも1層を凸版印刷法によって形成する。凸版印刷法によって形成される層はカラー化に対応して色分けの必要があることから有機発光層が好ましい。この方法によれば各色発光材料の特性に対応して電荷輸送材料を変更する場合にも好ましく適応できる。有機発光媒体層15を構成する層全てを本発明の実施形態に係る印刷法で形成すれば製造工程を簡略化できる。
The film thickness of the organic light-emitting medium layer 15 is 1000 nm or less, preferably 50 nm to 150 nm, even when formed by a single layer or a stacked layer. In particular, the hole transport material of the organic EL element 10 has a large effect of covering the surface protrusions of the substrate and the first electrode 12, and it is more preferable to form a film having a thickness of about 50 nm to 100 nm.
As a method for forming the organic light emitting medium layer 15, the hole transport layer and the electron transport layer are formed by a vacuum deposition method, a spin coating method, a spray coating method, a flexo method, a gravure method, a micro gravure method, a letterpress, depending on the material. Although a printing method, an intaglio offset method, an ink jet method, a nozzle coating method, and the like can be used, a relief printing method is particularly preferable as a method for forming the organic light emitting material layer, and the organic light emitting medium layer 15 is configured in the embodiment of the present invention. At least one of the layers is formed by a relief printing method. The layer formed by the relief printing method is preferably an organic light emitting layer because it needs to be color-coded in accordance with colorization. This method can be preferably applied to the case where the charge transport material is changed in accordance with the characteristics of each color light emitting material. If all the layers constituting the organic light emitting medium layer 15 are formed by the printing method according to the embodiment of the present invention, the manufacturing process can be simplified.

有機発光媒体層15を構成する材料を溶液化する際には、形成方法に応じて、溶剤の蒸気圧、固形分比、粘度などを制御することが好ましい。溶剤としては、水、キシレン、アニソール、シクロヘキサノン、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、安息香酸メチル、安息香酸エチル、トルエン、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの単独溶媒でも、混合溶媒でも良い。また、塗工性向上のために、必要に応じて界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などの添加剤を適量混合することがより好ましい。塗布液の乾燥方法としては、発光特性に支障のない程度に溶剤を取り除ければ良く、加熱や減圧をしても良い。   When the material constituting the organic light emitting medium layer 15 is made into a solution, it is preferable to control the vapor pressure, solid content ratio, viscosity, and the like of the solvent according to the forming method. Solvents include water, xylene, anisole, cyclohexanone, mesitylene, tetralin, cyclohexylbenzene, methyl benzoate, ethyl benzoate, toluene, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, etc. These may be a single solvent or a mixed solvent. In order to improve coatability, it is more preferable to mix an appropriate amount of additives such as surfactants, antioxidants, viscosity modifiers and ultraviolet absorbers as necessary. As a method for drying the coating solution, the solvent may be removed to the extent that the light emission characteristics are not hindered, and heating or decompression may be performed.

<凸版印刷法>
本発明の実施形態で好ましく用いることができる印刷法である凸版印刷法について詳細に説明する。有機機能性薄膜の形成に用いることのできる凸版としては水現像タイプの樹脂凸版を用いることが好ましい。このような樹脂版を構成する水現像タイプの感光性樹脂としては、例えば親水性のポリマーと不飽和結合を含むモノマーいわゆる架橋性モノマー及び光重合開始剤を構成要素とするタイプが挙げられる。このタイプでは、親水性ポリマーとしてポリアミド、ポリビニルアルコール、セルロース誘導体等が用いられる。また、架橋性モノマーとしては、例えばビニル結合を有するメタクリレート類が挙げられ、光重合開始剤としては例えば芳香族カルボニル化合物が挙げられる。中でも、印刷適性の面からポリアミド系の水現像タイプの感光性樹脂が好適である。
<Letterpress printing method>
The relief printing method, which is a printing method that can be preferably used in the embodiment of the present invention, will be described in detail. As the relief plate that can be used for forming the organic functional thin film, a water development type resin relief plate is preferably used. Examples of the water-developable photosensitive resin constituting such a resin plate include a type having a hydrophilic polymer and a monomer containing an unsaturated bond, a so-called crosslinkable monomer and a photopolymerization initiator as constituent elements. In this type, polyamide, polyvinyl alcohol, cellulose derivatives and the like are used as hydrophilic polymers. Examples of the crosslinkable monomer include methacrylates having a vinyl bond, and examples of the photopolymerization initiator include aromatic carbonyl compounds. Among these, a polyamide-based water-developable photosensitive resin is preferable from the viewpoint of printability.

有機機能性薄膜の形成に用いる印刷機は、被印刷基板として平板に印刷する方式の凸版印刷機であれば使用可能であるが、例えば、インクタンクとインクチャンバーとアニロックスロールと、樹脂凸版を取り付けした版胴を有している。インクタンクには、溶剤で希釈された有機機能性インクが収容されており、インクチャンバーにはインクタンクより有機機能性インクが送り込まれるようになっている。アニロックスロールは、インクチャンバーのインク供給部及び版胴に接して回転するようになっている。   The printing press used to form the organic functional thin film can be any relief printing press that prints on a flat plate as the substrate to be printed. For example, an ink tank, an ink chamber, an anilox roll, and a resin relief printing plate are attached. Has a plate cylinder. The ink tank contains organic functional ink diluted with a solvent, and the organic functional ink is fed into the ink chamber from the ink tank. The anilox roll rotates in contact with the ink supply part of the ink chamber and the plate cylinder.

アニロックスロールの回転にともない、インクチャンバーから供給された有機機能性インクはアニロックスロール表面に均一に保持されたあと、版胴に取り付けされた樹脂凸版の凸部に均一な膜厚で転移する。さらに、被印刷基板は摺動可能な基板固定台(ステージ)上に固定され、版のパターンと基板のパターンの位置調整機構により、位置調整しながら印刷開始位置まで移動して、版胴の回転に合わせて樹脂凸版の凸部が基板に接しながらさらに移動し、基板の所定位置にパターニングしてインクを転移する。   With the rotation of the anilox roll, the organic functional ink supplied from the ink chamber is uniformly held on the surface of the anilox roll, and then transferred to the convex portion of the resin relief plate attached to the plate cylinder with a uniform film thickness. Further, the substrate to be printed is fixed on a slidable substrate fixing stage (stage), and moved to the printing start position while adjusting the position by the position adjustment mechanism of the plate pattern and the substrate pattern, and the plate cylinder is rotated. Accordingly, the convex portion of the resin relief printing plate further moves while being in contact with the substrate, and the ink is transferred by patterning to a predetermined position on the substrate.

<第二電極>
次に、第二電極16を形成する。具体的にはMg、Al、Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li、LiF、NaF、Ba、BaO等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCu、Agなどを積層して用いても良い。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等の金属1種以上と、安定なAg、Al、Cu等の金属元素との合金系を用いても良い。具体的にはMgAg、AlLi、CuLi等の合金が使用できる。また、トップエミッションにする場合には、上記金属層と、ITOやIZO、AZOなどの透明導電膜との積層膜を用いることが好ましい。
<Second electrode>
Next, the second electrode 16 is formed. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, LiF, NaF, Ba, BaO or the like is sandwiched about 1 nm at the interface contacting the light emitting medium, so that the stability and conductivity are improved. High Al, Cu, Ag, or the like may be laminated and used. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, Al Alternatively, an alloy system with a metal element such as Cu may be used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. In the case of top emission, it is preferable to use a laminated film of the metal layer and a transparent conductive film such as ITO, IZO, or AZO.

第二電極16の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。第二電極16の厚さに特に制限はないが、10nm〜1000nm程度が望ましい。また、第二電極16を透光性電極層として利用する場合、CaやLiなどの金属材料を用いる場合の膜厚は0.1nm〜10nm程度が望ましい。   As a method for forming the second electrode 16, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material. Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of the 2nd electrode 16, About 10 nm-about 1000 nm are desirable. Moreover, when using the 2nd electrode 16 as a translucent electrode layer, about 0.1 nm-10 nm are desirable for the film thickness in the case of using metal materials, such as Ca and Li.

<封止体>
有機EL素子10は大気中の水分や酸素によって、有機発光媒体層15や第二電極16が容易に劣化してしまうため、大気から遮断するための封止体を設ける必要がある。図示はしていないが、既知の封止法を用いることができる。たとえば、封止ガラスの周辺部に接着層でシールしても良く、アルミナ、窒化ケイ素などのバリア膜を形成しても良く、プラスチック基材の両面にSiOをCVD法で形成したバリアフィルムで被覆しても良い。
以上のように、本実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子10であれば、印刷法を用いて画素領域130に有機発光媒体層15を平坦に形成することができるので、発光素子の発光効率を向上させることができる。
以下、有機EL素子10の製造方法について簡単に説明する。
<Sealing body>
In the organic EL element 10, since the organic light emitting medium layer 15 and the second electrode 16 are easily deteriorated by moisture and oxygen in the atmosphere, it is necessary to provide a sealing body for shielding from the atmosphere. Although not shown, a known sealing method can be used. For example, it may be sealed with an adhesive layer on the periphery of the sealing glass, a barrier film such as alumina or silicon nitride may be formed, and a barrier film in which SiO x is formed on both sides of a plastic substrate by a CVD method. It may be covered.
As described above, with the organic electroluminescent element 10 according to the present embodiment, the organic light emitting medium layer 15 can be formed flat in the pixel region 130 by using a printing method, so that the light emission efficiency of the light emitting element is improved. Can be made.
Hereinafter, a method for manufacturing the organic EL element 10 will be briefly described.

<製造方法>
まず、基板11上に第一電極12を形成する。次に、第一電極12の端部を覆うように格子状隔壁13、13’を形成する。その後、格子状隔壁13、13’により区画された画素領域130内の中央部に平坦化隔壁14を形成する。
その後、凸部19を備えるライン状凸版を用いた印刷法により、格子状隔壁13、13’により区画された画素領域130内の第一電極12上及び平坦化隔壁14上に有機発光媒体層15を形成する。なお、有機発光媒体層15の形成の際に用いるライン状凸版に備わる凸部19の幅は、印刷の方向に対して平行方向の格子状隔壁13、13’により区画された画素領域130の幅と同じ幅である。また、印刷の際、ライン状凸版は、平坦化隔壁14に接触しない。
その後、有機発光媒体層15上に第二電極16を形成する。
以上の工程を経ることで、有機EL素子10を製造することができる。
また、有機発光媒体層15を形成する工程の前に、格子状隔壁13、13’及び平坦化隔壁14の表面を、プラズマ処理し、10nm以上100nm以下の範囲内で削る工程を含んでも良い。
<Manufacturing method>
First, the first electrode 12 is formed on the substrate 11. Next, grid-like partition walls 13 and 13 ′ are formed so as to cover the end portion of the first electrode 12. Thereafter, the flattened partition 14 is formed at the center in the pixel region 130 partitioned by the grid-shaped partitions 13 and 13 ′.
Thereafter, the organic light emitting medium layer 15 is formed on the first electrode 12 and the flattened partition wall 14 in the pixel region 130 defined by the grid-shaped partition walls 13 and 13 ′ by a printing method using a line-shaped relief plate having the protrusions 19. Form. Note that the width of the convex portion 19 provided in the line-shaped relief printing used for forming the organic light emitting medium layer 15 is the width of the pixel region 130 defined by the grid-like partition walls 13 and 13 ′ parallel to the printing direction. Is the same width as Further, during printing, the line-shaped relief does not contact the flattened partition wall 14.
Thereafter, the second electrode 16 is formed on the organic light emitting medium layer 15.
The organic EL element 10 can be manufactured through the above steps.
Further, before the step of forming the organic light emitting medium layer 15, a step of performing plasma treatment on the surfaces of the lattice-shaped partition walls 13, 13 ′ and the planarized partition wall 14 and scraping them within a range of 10 nm to 100 nm may be included.

以上のように、本実施形態に係る有機EL素子10の製造方法であれば、格子状隔壁13、13’により区画された画素領域130に対して有機発光媒体材料を溶かしたインク20を印刷形成し、画素領域130に有機発光媒体層15を平坦に形成することができるので、発光素子の発光効率を向上させることができる。
次に、本発明の一実施例を具体的に説明するが、本発明はこれに限るものではない。
As described above, in the manufacturing method of the organic EL element 10 according to the present embodiment, the ink 20 in which the organic light emitting medium material is dissolved is printed and formed in the pixel region 130 partitioned by the grid-like partition walls 13 and 13 ′. In addition, since the organic light emitting medium layer 15 can be formed flat in the pixel region 130, the light emission efficiency of the light emitting element can be improved.
Next, an embodiment of the present invention will be specifically described, but the present invention is not limited to this.

(実施例1)
基板11としてはガラス基板を用い、この上に第一電極12としてITO電極を150nmスパッタ形成した後にフォトリソ・エッチング法にてパターニングした。
次に、格子状隔壁13として、窒化珪素膜をCVD形成した膜(膜厚は0.5μm)をドライエッチングでパターン形成し格子状隔壁13’とし、その上に感光性ポリイミド樹脂をスリットコート法により1.5μmコーティング形成し、露光・現像工程により格子状隔壁13を形成した。
Example 1
A glass substrate was used as the substrate 11, and an ITO electrode was sputter-formed on the first electrode 12 as a first electrode 12 and then patterned by a photolithographic etching method.
Next, as a grid-like partition wall 13, a film formed by CVD of a silicon nitride film (having a thickness of 0.5 μm) is patterned by dry etching to form a grid-like partition wall 13 ′, and a photosensitive polyimide resin is formed thereon by a slit coating method. Then, a 1.5 μm coating was formed, and a grid-like partition wall 13 was formed by an exposure / development process.

感光性ポリイミド樹脂で格子状隔壁13を形成すると同時に、画素領域130のほぼ中央部に10μm幅の線状に平坦化隔壁14を1.5μm形成した。このとき格子状隔壁13の高さ(2.0μm)に対して平坦化隔壁14の高さ比は75%であった。
次に、格子状隔壁13により区画された領域である画素領域130に対して、線状の印刷版19を用いて、インク20の印刷形成を複数回行い、膜厚100nmの有機発光媒体層15を形成した。有機発光材料としてはポリフルオレン誘導体を用いた。
At the same time as forming the grid-like partition wall 13 with photosensitive polyimide resin, the planarization partition wall 14 having a width of 10 μm was formed in a substantially central portion of the pixel region 130 with a thickness of 1.5 μm. At this time, the height ratio of the flattened partition wall 14 to the height of the lattice-shaped partition wall 13 (2.0 μm) was 75%.
Next, printing of the ink 20 is performed a plurality of times using the linear printing plate 19 on the pixel region 130, which is a region partitioned by the lattice-shaped partition wall 13, and the organic light emitting medium layer 15 having a film thickness of 100 nm. Formed. A polyfluorene derivative was used as the organic light emitting material.

次に、有機発光媒体層15上に、第二電極16として蒸着法によりBaを5nm、Alを200nm、順次積層し、最後にキャップ封止した。
以上の工程を経て完成した有機エレクトロルミネッセンス素子10は、画素領域130に対して95%の領域で発光し、平坦化隔壁14も光の拡散により黒点として目視されず全面均一な画素として視認できた。これにより、格子状隔壁13を形成しなかった場合と同じ輝度半減寿命を達成することができた。また、60℃90%の環境下で1000hr保存したが、平坦化隔壁14を形成したことによるダークエリアは発生しなかった。
Next, 5 nm of Ba and 200 nm of Al were sequentially laminated on the organic light emitting medium layer 15 as a second electrode 16 by vapor deposition, and finally capped.
The organic electroluminescence device 10 completed through the above steps emits light in 95% of the pixel region 130, and the flattened partition wall 14 was not visually recognized as a black spot due to light diffusion, but could be visually recognized as a uniform pixel on the entire surface. . As a result, the same luminance half-life as when the grid-like partition wall 13 was not formed could be achieved. Further, although it was stored for 1000 hours in an environment of 60 ° C. and 90%, a dark area due to the formation of the flattened partition wall 14 did not occur.

(比較例1)
比較例1では、実施例1における格子状隔壁14を形成せずに有機EL素子を作製した。その結果、画素領域130に対して、50%の領域しか発光しなかった。これにより、比較例1に係る有機EL素子の輝度半減寿命は、格子状隔壁13を形成しなかった場合の輝度半減寿命に対し、3割程度の寿命になった。
(比較例2)
比較例2では、実施例1における窒化珪素からなる格子状隔壁13’を形成せずに、格子状隔壁13と同じ高さの平坦化隔壁14を形成した。その結果、格子状隔壁13と平坦化隔壁14との間の領域に対し、50%の領域しか発光しなかったので、平坦化隔壁14の部分も非発光領域となり、全体の画素領域130に対して40%程度の領域しか発光しなかった。これにより、比較例2に係る有機EL素子の輝度半減寿命は、格子状隔壁13を形成しなかった場合の輝度半減寿命に対して、1割程度の寿命となった。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, an organic EL element was produced without forming the grid-like partition walls 14 in Example 1. As a result, only 50% of the pixel region 130 emitted light. Thereby, the brightness | luminance half life of the organic EL element which concerns on the comparative example 1 became a lifetime about 30% with respect to the brightness | luminance half life when the grid | lattice-like partition 13 was not formed.
(Comparative Example 2)
In Comparative Example 2, the flattened partition 14 having the same height as the lattice-shaped partition wall 13 was formed without forming the lattice-shaped partition wall 13 ′ made of silicon nitride in Example 1. As a result, only 50% of the region between the lattice-shaped partition wall 13 and the flattened partition wall 14 emitted light, so that the flattened partition wall 14 also becomes a non-light emitting region, and the entire pixel region 130 is not illuminated. Only about 40% of the area emitted light. Thereby, the brightness | luminance half life of the organic EL element which concerns on the comparative example 2 became a lifetime of about 10% with respect to the brightness | luminance half life when the grid | lattice-like partition 13 was not formed.

(比較例3)
比較例3では、実施例1における窒化珪素からなる格子状隔壁13’の膜厚0.5μmに対し、2段目の格子状隔壁13と平坦化隔壁14の膜厚を0.5μmで形成し、格子状隔壁13(1.0μm)に対する平坦化隔壁14の膜厚比を50%とした。その結果、格子状隔壁13へのインク20の濡れ上がりを抑制する効果が薄く、平坦化隔壁14が黒点として目視されなかったが、画素領域130に対して、50%の領域しか発光せず、発光領域132の拡大に対して効果が得られなかった。これにより、比較例2に係る有機EL素子の輝度半減寿命は、格子状隔壁13を形成しなかった場合の輝度半減寿命に対し、3割程度の寿命になった。
(Comparative Example 3)
In Comparative Example 3, the film thickness of the grid-like partition wall 13 and the flattened partition wall 14 in the second stage is 0.5 μm compared to the film thickness of 0.5 μm of the grid-like partition wall 13 ′ made of silicon nitride in Example 1. The film thickness ratio of the flattened partition wall 14 to the lattice-shaped partition wall 13 (1.0 μm) was 50%. As a result, the effect of suppressing the wetting of the ink 20 onto the grid-like partition wall 13 is thin, and the flattened partition wall 14 was not visually observed as a black spot, but only 50% of the pixel region 130 emitted light, No effect was obtained for the enlargement of the light emitting region 132. As a result, the luminance half life of the organic EL element according to Comparative Example 2 was about 30% of the luminance half life when the lattice-shaped partition wall 13 was not formed.

10・・・有機EL素子
11・・・基板
12・・・第一電極
13(13’)・・・(格子状)隔壁
130・・・画素領域
131・・・平坦化領域
132・・・発光領域
14・・・平坦化隔壁
15・・・有機発光媒体層
16・・・第二電極
19・・・凸版の凸部
20・・・インク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Organic EL element 11 ... Board | substrate 12 ... 1st electrode 13 (13 ') ... (grid-like) partition 130 ... Pixel area | region 131 ... Planarization area | region 132 ... Light emission Area 14 ... Flattened partition wall 15 ... Organic light emitting medium layer 16 ... Second electrode 19 ... Convex part 20 ... Ink

Claims (11)

基板と、前記基板上に設けられた格子状隔壁と、前記格子状隔壁により区画された領域内に形成された第一電極と、前記第一電極上に形成された、有機発光材料を含む有機発光媒体層と、前記有機発光媒体層上に形成された第二電極とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、
前記格子状隔壁により区画された領域内の中央部で、かつ前記第一電極上に平坦化隔壁を形成したことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
An organic material including a substrate, a grid-like partition provided on the substrate, a first electrode formed in a region partitioned by the grid-like partition, and an organic light-emitting material formed on the first electrode In an organic electroluminescence device having a light emitting medium layer and a second electrode formed on the organic light emitting medium layer,
An organic electroluminescence element, wherein a flattened partition wall is formed on the first electrode at a central portion in a region partitioned by the lattice-shaped partition wall.
前記平坦化隔壁の高さは、前記格子状隔壁の高さの60%以上、80%以下の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   2. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein a height of the flattened partition wall is in a range of 60% to 80% of a height of the lattice-shaped partition wall. 前記平坦化隔壁は、透明であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the planarization partition is transparent. 前記平坦化隔壁の幅は、10μm以下であることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   4. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the flattened partition wall has a width of 10 μm or less. 5. 前記格子状隔壁により区画された領域において、前記格子状隔壁の4辺から前記平坦化隔壁までの距離が均等になるように、一つ以上の前記平坦化隔壁が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   In the region partitioned by the grid-shaped partition walls, one or more flattened partition walls are formed so that the distances from the four sides of the grid-shaped partition walls to the planarized partition walls are uniform. The organic electroluminescent element according to any one of claims 1 to 4. 前記格子状隔壁は、1段目の隔壁と前記1段目の隔壁上に形成された2段目の隔壁とを含む2段構成であることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   6. The structure according to claim 1, wherein the lattice-shaped partition wall has a two-stage configuration including a first-stage partition wall and a second-stage partition wall formed on the first-stage partition wall. The organic electroluminescent element according to claim 1. 前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁は、前記平坦化隔壁と同材料で形成されており、
前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁と前記平坦化隔壁とは、同時に形成されることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
The second-stage partition of the lattice-shaped partition is formed of the same material as the planarization partition,
The organic electroluminescence device according to claim 6, wherein the second-stage partition walls and the planarization partition walls of the lattice-shaped partition walls are formed simultaneously.
前記格子状隔壁の前記1段目の隔壁は、格子状であり、
前記格子状隔壁の前記2段目の隔壁は、ライン状隔壁であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
The first-stage partition of the lattice-shaped partition is lattice-shaped,
The organic electroluminescence device according to claim 6 or 7, wherein the second-stage partition walls of the lattice-shaped partition walls are line-shaped partition walls.
前記平坦化隔壁は、前記第二電極で被覆されていることを特徴とする請求項1から請求項8の何れか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。   The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 8, wherein the planarization partition is covered with the second electrode. 基板上に第一電極を形成する工程と、
前記第一電極の端部を覆うように格子状隔壁を形成する工程と、
前記格子状隔壁により区画された領域内の中央部に平坦化隔壁を形成する工程と、
凸部を備えるライン状凸版を用いた印刷法により、前記格子状隔壁により区画された領域内の前記第一電極上及び前記平坦化隔壁上に有機発光媒体層を形成する工程と、
前記有機発光媒体層上に第二電極を形成する工程と、を含む有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
前記有機発光媒体層の形成に用いる前記ライン状凸版に備わる凸部の幅は、前記印刷方向に対して平行方向の前記格子状隔壁により区画された領域の幅と同じ幅であり、
前記ライン状凸版は、前記平坦化隔壁に接触しないことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Forming a first electrode on the substrate;
Forming a grid-like partition so as to cover an end of the first electrode;
Forming a flattened partition wall at a central portion in a region defined by the lattice-shaped partition wall;
A step of forming an organic light emitting medium layer on the first electrode and the flattened partition wall in a region defined by the grid-shaped partition wall by a printing method using a line-shaped relief plate having a convex portion;
Forming a second electrode on the organic light emitting medium layer, and a method for producing an organic electroluminescent element comprising:
The width of the convex portion provided on the line-shaped relief printing plate used for forming the organic light emitting medium layer is the same width as the width of the region partitioned by the grid-like partition wall in the direction parallel to the printing direction,
The method of manufacturing an organic electroluminescence element, wherein the line-shaped relief does not contact the planarization partition.
前記ライン状凸版を用いた印刷法により、前記有機発光媒体層を形成する工程の前に、前記格子状隔壁及び前記平坦化隔壁の表面を、プラズマ処理し、10nm以上、100nm以下の範囲内で削る工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   Before the step of forming the organic light emitting medium layer by the printing method using the line-shaped relief printing, the surfaces of the grid-like partition walls and the planarized partition walls are plasma-treated within a range of 10 nm or more and 100 nm or less. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of Claim 10 including the process of shaving.
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