JP5663853B2 - Organic EL panel and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は、有機ELパネル及びその製造方法に関し、特に、有機薄膜のエレクトロルミネッセンス(以下、ELと略す)現象を利用した有機ELパネル及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an organic EL panel and a method for manufacturing the same, and more particularly to an organic EL panel utilizing an electroluminescence (hereinafter abbreviated as EL) phenomenon of an organic thin film and a method for manufacturing the same.

有機EL素子は、陽極としての電極と、陰極としての電極との間に、少なくともEL現象を呈する有機発光層を挟持してなる構造を有し、電極間に電圧が印加されると、有機発光層に正孔と電子が注入され、この正孔と電子とが有機発光層で再結合することにより、有機発光層が発光する自発光型の素子である。さらに、有機EL素子において、発光効率を増大させるなどの目的から、陽極と有機発光層との間に正孔注入層、正孔輸送層、又は、有機発光層と陰極との間に電子輸送層、電子注入層などが適宜選択して設けられている。そして、有機発光層とこれら正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層などを合わせて有機発光媒体層と呼ばれている。   An organic EL element has a structure in which an organic light emitting layer exhibiting at least an EL phenomenon is sandwiched between an electrode as an anode and an electrode as a cathode. When a voltage is applied between the electrodes, organic light emission occurs. Holes and electrons are injected into the layer, and the holes and electrons are recombined in the organic light emitting layer, whereby the organic light emitting layer emits light. Further, in the organic EL device, for the purpose of increasing the light emission efficiency, a hole injection layer, a hole transport layer, or an electron transport layer between the organic light emitting layer and the cathode is provided between the anode and the organic light emitting layer. An electron injection layer and the like are appropriately selected and provided. The organic light emitting layer and these hole injection layer, hole transport layer, electron transport layer, electron injection layer and the like are collectively called an organic light emitting medium layer.

有機発光層を形成する有機発光材料には、低分子材料と高分子材料とがある。一般に低分子材料は真空蒸着法などにより薄膜を形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほどパターニング精度が出にくいという問題がある。また真空中で成膜するためにスループットが悪いという問題がある。そこで、最近では高分子材料を溶剤に溶かして塗工液にし、これをウェットコーティング法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。高分子材料の塗液を用いてウェットコーティング法で有機発光層を含む有機発光媒体層を形成する場合の層構成は、陽極側から正孔輸送層及び有機発光層を積層する2層構成が一般的である。このとき、有機発光層はカラーパネル化するために赤(R)、緑(G)、青(B)のそれぞれの発光色をもつ有機発光材料を溶剤中に溶解または安定して分散してなる有機発光インキを用いて塗り分ける必要がある。   Organic light emitting materials for forming the organic light emitting layer include low molecular materials and high molecular materials. In general, a low molecular material is formed into a thin film by a vacuum deposition method or the like, and patterning is performed using a fine pattern mask at this time. However, this method has a problem that the patterning accuracy becomes difficult as the substrate becomes larger. In addition, since the film is formed in a vacuum, there is a problem that the throughput is poor. Therefore, recently, a method in which a polymer material is dissolved in a solvent to form a coating solution and a thin film is formed by a wet coating method has been tried. In the case of forming an organic light emitting medium layer including an organic light emitting layer by a wet coating method using a coating liquid of a polymer material, a two-layer structure in which a hole transport layer and an organic light emitting layer are laminated from the anode side is generally used. Is. At this time, the organic light emitting layer is formed by dissolving or stably dispersing organic light emitting materials having respective emission colors of red (R), green (G), and blue (B) in a solvent in order to form a color panel. It is necessary to paint with organic luminescent ink.

しかし、ウェットコーティング法で膜形成を行うと、各画素電極を絶縁するために設けられた隔壁の形状に沿って、厚膜化するため平坦性が悪くなってしまう。そのため、画素内での発光が不均一となり、1画素内のピーク輝度に対して画素内全輝度が低減する。そのため、発光効率や寿命に影響を与える問題があった。さらに、ある程度有機発光層の膜厚が厚くなると有機発光層の導電性が悪く、発光しない部分が生じるため、開口率を考える場合、画素内での非発光部も考慮しなければならない問題もあった。   However, when the film is formed by the wet coating method, the film becomes thicker along the shape of the partition provided to insulate each pixel electrode, resulting in poor flatness. For this reason, the light emission in the pixel is non-uniform, and the total luminance in the pixel is reduced with respect to the peak luminance in one pixel. Therefore, there is a problem that affects the light emission efficiency and the lifetime. Furthermore, when the thickness of the organic light emitting layer is increased to some extent, the conductivity of the organic light emitting layer is poor and a portion that does not emit light is generated. Therefore, when considering the aperture ratio, there is a problem that the non-light emitting portion in the pixel must also be considered. It was.

ウェットコーティング法を用いて有機発光材料を塗布する場合、インクジェット法によるパターン形成方法が特許文献1及び2に提案されている。特許文献1では、例えば、予め基板上にフォトリソグラフィ法などを用いて、撥インキ性のある材料でバンクを形成し、そこにインク液滴を着弾させることで、バンク形状に応じてインクがはじき、直線性のパターンが得られるという方法が開示されている。しかし、はじいたインクが画素内に戻るときに画素内部でインクが盛り上がり、画素内の有機発光層の膜厚にばらつきができてしまうという問題が残る。   In the case of applying an organic light emitting material using a wet coating method, Patent Documents 1 and 2 propose a pattern forming method using an ink jet method. In Patent Document 1, for example, a bank is formed in advance on a substrate with a material having ink repellency by using a photolithography method or the like, and ink droplets are landed on the bank, whereby the ink repels according to the shape of the bank. A method of obtaining a linear pattern is disclosed. However, when the repelled ink returns to the inside of the pixel, the ink swells inside the pixel, and there remains a problem that the film thickness of the organic light emitting layer in the pixel varies.

これに対し、特許文献2では、例えば、隔壁に親液性を有する第1絶縁層と第1絶縁層上に疎液性を有する第2絶縁層とを積層した構造を形成し、そこにインクジェット法を用いて有機発光層を形成することで、画素内の有機発光層の膜厚バラツキを抑制する方法が開示されている。しかし、第1電極と有機発光層の間に正孔輸送層または正孔注入層を形成する工程で、スパッタリング法または真空蒸着法等によりベタ成膜した場合、疎液性を有した第2絶縁層も覆ってしまうため、有機発光層の膜厚の不均一性を抑制する効果が失われてしまう問題がある。   On the other hand, in Patent Document 2, for example, a structure in which a first insulating layer having a lyophilic property on a partition and a second insulating layer having a lyophobic property is stacked on the first insulating layer is formed, and an inkjet is formed there. There is disclosed a method for suppressing variation in film thickness of an organic light emitting layer in a pixel by forming an organic light emitting layer using a method. However, in the step of forming a hole transport layer or a hole injection layer between the first electrode and the organic light emitting layer, when a solid film is formed by a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like, the second insulation having a lyophobic property Since the layer is also covered, there is a problem that the effect of suppressing the nonuniformity of the film thickness of the organic light emitting layer is lost.

ここで、従来の有機ELパネル400について、図4を参照して説明する。図4において、従来の有機ELパネル400は、TFT(Thin Film Transistor)基板401の一方の面に、形成すべき画素に対応してパターニングされた第1電極402と、第1電極402の周縁を囲むようにTFT基板401の一方の面に形成された隔壁403と、隔壁403で囲まれた第1電極402の上面及び隔壁403の上面に形成された無機または有機からなる正孔輸送層404と、正孔輸送層404の上面に形成された高分子からなる有機発光層405と、第1電極401と対向する有機発光層405の上面に形成された第2電極406とから構成されている。   Here, a conventional organic EL panel 400 will be described with reference to FIG. In FIG. 4, a conventional organic EL panel 400 includes a first electrode 402 patterned on one surface of a TFT (Thin Film Transistor) substrate 401 corresponding to a pixel to be formed, and a periphery of the first electrode 402. A partition 403 formed on one surface of the TFT substrate 401 so as to surround, and an upper surface of the first electrode 402 surrounded by the partition 403 and a hole transport layer 404 made of inorganic or organic formed on the upper surface of the partition 403, The organic light emitting layer 405 made of a polymer formed on the upper surface of the hole transport layer 404 and the second electrode 406 formed on the upper surface of the organic light emitting layer 405 facing the first electrode 401.

特開2002−305077号公報JP 2002-305077 A 特願2003−107840号公報Japanese Patent Application No. 2003-107840

このような従来の高分子型有機ELパネル400において、図4に示すように、ウェットコーティング法で有機発光層405を形成を行うと、各画素電極を絶縁するために設けられた隔壁403の形状に沿って、厚膜化するため平坦性が悪くなってしまう。そのため、画素内での発光が不均一となり、1画素内のピーク輝度に対して画素内全輝度が低減するため、発光効率や寿命に影響を与える問題があった。さらに、ある程度有機発光層の膜厚が厚くなると有機発光層の導電性が悪く、発光しない部分が生じるため、開口率を考える場合、画素内での非発光部も考慮しなければならない問題もあった。   In such a conventional polymer type organic EL panel 400, as shown in FIG. 4, when the organic light emitting layer 405 is formed by wet coating, the shape of the partition 403 provided to insulate each pixel electrode is formed. Accordingly, the flatness is deteriorated because the film is thickened. For this reason, the light emission in the pixel becomes non-uniform, and the total luminance in the pixel is reduced with respect to the peak luminance in one pixel, which has a problem of affecting the light emission efficiency and life. Furthermore, when the thickness of the organic light emitting layer is increased to some extent, the conductivity of the organic light emitting layer is poor and a portion that does not emit light is generated. Therefore, when considering the aperture ratio, there is a problem that the non-light emitting portion in the pixel must also be considered. It was.

本発明は、画素内での厚膜化を抑制でき、発光効率や寿命の低減を向上させ、かつ非発光領域を減らすことで開口率を向上できる有機ELパネル及びその製造方法を提供することである。   The present invention provides an organic EL panel that can suppress an increase in film thickness within a pixel, improve light emission efficiency and lifetime reduction, and improve an aperture ratio by reducing a non-light emitting region, and a method for manufacturing the same. is there.

本発明の請求項1に係る発明は、基板と、基板の一方の面に形成された画素に対応してパターニングされた第1電極と、第1電極の端部を被覆して形成された第1絶縁層及び第1絶縁層上に形成された第2絶縁層を含む隔壁と、第1電極及び隔壁上に形成された有機発光層と、有機発光層を覆うように形成された第2電極と、を備え、有機発光層を形成する際に、有機発光層の端部から第1電極の中心までの幅をそれぞれL1、L2(L1>L2)とし、L側の有機発光層の端部は第2絶縁層上にあり、第2絶縁層の幅をDとした場合、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲になるように形成されることを特徴とする有機ELパネルとしたものである。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a substrate, a first electrode patterned corresponding to a pixel formed on one surface of the substrate, and a first electrode formed so as to cover an end portion of the first electrode. A barrier including a first insulating layer and a second insulating layer formed on the first insulating layer, an organic light emitting layer formed on the first electrode and the barrier, and a second electrode formed to cover the organic light emitting layer When provided with, in forming the organic light-emitting layer, the edge of the width of the end portion of the organic light-emitting layer to the center of the first electrode respectively with L1, L2 (L1> L2) , L 1 side of the organic light-emitting layer The portion is on the second insulating layer, and is formed so that D / 4 ≦ | L1-L2 | <D / 2, where D is the width of the second insulating layer. This is an EL panel.

本発明の請求項に係る発明は、薄膜トランジスタを備える基板を準備し、基板の一方の面に画素に対応してパターニングして第1電極を形成し、第1電極の端部を被覆して第1絶縁層を形成し、第1絶縁層上に第2絶縁層を形成し、第1電極と第1絶縁層上に、有機発光層の端部から第1電極の中心までの幅をそれぞれL1、L2(L1>L2)とし、L2側の有機発光層の端部は第2絶縁層上にあり、第2絶縁層の幅をDとした場合、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲になるように有機発光層を凸版印刷法を用いて形成し、前記有機発光層を覆うように第2電極を形成することを特徴とする有機ELパネルの製造方法としたものである。 According to a first aspect of the present invention, a substrate including a thin film transistor is prepared, a first electrode is formed by patterning on one surface of the substrate corresponding to a pixel, and an end portion of the first electrode is covered. A first insulating layer is formed, a second insulating layer is formed on the first insulating layer, and the width from the end of the organic light emitting layer to the center of the first electrode is set on each of the first electrode and the first insulating layer. When L1 and L2 (L1> L2) and the end of the organic light emitting layer on the L2 side is on the second insulating layer and the width of the second insulating layer is D, D / 4 ≦ | L1−L2 | < A method for producing an organic EL panel, wherein an organic light emitting layer is formed using a relief printing method so as to be in a range of D / 2, and a second electrode is formed so as to cover the organic light emitting layer It is.

本発明の請求項に係る発明は、第2絶縁層の端部は第1絶縁層の端部より0.5μm以上後退していることを特徴とする請求項に記載の有機ELパネルの製造方法としたものである。 According to a second aspect of the present invention, in the organic EL panel according to the first aspect, the end portion of the second insulating layer recedes 0.5 μm or more from the end portion of the first insulating layer. This is a manufacturing method.

本発明の請求項に係る発明は、隔壁の高さが0.5μm以上2μmであることを特徴とする請求項又はに記載の有機ELパネルの製造方法としたものである。 The invention according to claim 3 of the present invention is the method for manufacturing an organic EL panel according to claim 1 or 2 , wherein the height of the partition wall is 0.5 μm or more and 2 μm.

本発明の請求項に係る発明は、第1電極と有機発光層との間に正孔輸送層又は正孔注入層を形成することを特徴とする請求項に記載の有機ELパネルの製造方法としたものである。 The invention according to claim 4 of the present invention, production of an organic EL panel according to claim 1, characterized in that to form the hole transport layer or a hole injection layer between the first electrode and the organic light-emitting layer It is a method.

本発明の請求項に係る発明は、第2電極と有機発光層との間に電子輸送層又は電子注入層を形成することを特徴とする請求項に記載の有機ELパネルの製造方法としたものである。 The invention according to claim 5 of the present invention is characterized in that an electron transport layer or an electron injection layer is formed between the second electrode and the organic light emitting layer, and the method for producing an organic EL panel according to claim 1 , It is a thing.

本発明によれば、画素内での厚膜化を抑制でき、発光効率や寿命の低減を向上させ、かつ非発光領域を減らすことで開口率を向上できる有機ELパネル及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an organic EL panel that can suppress an increase in film thickness within a pixel, improve a reduction in luminous efficiency and lifetime, and improve an aperture ratio by reducing a non-light emitting region, and a method for manufacturing the same. be able to.

本発明の実施の形態に係る有機ELパネルを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the organic electroluminescent panel which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るTFT付き基板を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the board | substrate with TFT which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る凸版印刷装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the relief printing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 従来の有機ELパネルを示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the conventional organic EL panel.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、説明する。なお、実施の形態間において、同一構成要素には同一符号を付けることにする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Note that the same components are denoted by the same reference numerals between the embodiments.

本発明の実施の形態に係る有機ELパネル(有機ELパネル)は、一例としてアクティブマトリクス駆動型有機ELパネルについて説明する。ただし、本発明の実施の形態においては、アクティブマトリクス駆動型有機ELパネルに限定されるものではなく、パッシブマトリクス駆動型有機ELパネルにも適用することができる。   As an example of the organic EL panel (organic EL panel) according to the embodiment of the present invention, an active matrix driving type organic EL panel will be described. However, the embodiment of the present invention is not limited to the active matrix driving type organic EL panel, but can be applied to a passive matrix driving type organic EL panel.

以下、本発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス駆動型有機ELパネル100について、図1を参照して説明する。図1に示すアクティブマトリクス駆動型有機ELパネル100は、薄膜トランジスタ(TFT)を備えた基板101と、画素ごとに設けられる薄膜トランジスタ及び第1電極102(陽極)と、第1電極102の端部を覆うように形成された第1絶縁層104と、第1絶縁層上104に積層された第2絶縁層105と、第1電極102の上方に形成された正孔輸送層106、正孔輸送層106の上方に形成された有機発光層107と、有機発光層107の上方に形成された第2電極108(陰極)とを備える。   Hereinafter, an active matrix driving type organic EL panel 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. An active matrix driving type organic EL panel 100 shown in FIG. 1 covers a substrate 101 provided with a thin film transistor (TFT), a thin film transistor and a first electrode 102 (anode) provided for each pixel, and an end of the first electrode 102. The first insulating layer 104 formed as described above, the second insulating layer 105 stacked on the first insulating layer 104, the hole transport layer 106 formed above the first electrode 102, and the hole transport layer 106. An organic light emitting layer 107 formed above the organic light emitting layer 107 and a second electrode 108 (cathode) formed above the organic light emitting layer 107.

本発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス駆動型有機ELパネル100に用いる基板(バックプレーン)101について図2を参照して説明する。本発明の実施の形態のアクティブマトリクス駆動型有機ELパネル100に用いる基板(バックプレーン)101には、図2に示すTFTと有機ELパネル100の第1電極102を設けている。このTFTのソース電極206と有機ELパネル100の第1電極102とを電気的に接続している。   A substrate (back plane) 101 used in the active matrix driving type organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. A substrate (back plane) 101 used in the active matrix driving type organic EL panel 100 of the embodiment of the present invention is provided with the TFT shown in FIG. 2 and the first electrode 102 of the organic EL panel 100. The source electrode 206 of the TFT and the first electrode 102 of the organic EL panel 100 are electrically connected.

基板(バックプレーン)101は、TFTや、その上方に構成されるアクティブマトリクス駆動型有機ELパネル100において、支持体202で支持する。支持体202としては機械的強度、絶縁性を有し寸法安定性に優れた支持体202であれば如何なる材料も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材や、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。光取出しをどちらの面から行うかに応じて支持体202の透光性を選択すればよい。これらの材料からなる支持体202は、有機ELパネル100内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、有機発光媒体層(正孔輸送層106及び有機発光層107)への水分の侵入を避けるために、支持体202における含水率及びガス透過係数を小さくすることが好ましい。   The substrate (backplane) 101 is supported by a support 202 in the TFT and the active matrix driving organic EL panel 100 formed above the TFT. As the support 202, any material can be used as long as the support 202 has mechanical strength and insulation and is excellent in dimensional stability. For example, plastic films and sheets such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc., or oxidation to these plastic films and sheets Metal oxides such as silicon and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride, metal oxynitrides such as silicon oxynitride, acrylic resins and epoxy resins Translucent base material with a single layer or laminated polymer resin film such as silicon resin or polyester resin, metal foil such as aluminum or stainless steel, sheet or plate, and aluminum film on the plastic film or sheet. It can be used beam, copper, nickel, stainless steel and metal film non-translucent substrate as a laminate of such. What is necessary is just to select the translucency of the support body 202 according to which surface light extraction is performed from. The support 202 made of these materials is subjected to moisture-proofing treatment or hydrophobic treatment by forming an inorganic film or applying a fluororesin in order to prevent moisture from entering the organic EL panel 100. Preferably there is. In particular, it is preferable to reduce the moisture content and gas permeability coefficient of the support 202 in order to prevent moisture from entering the organic light emitting medium layers (the hole transport layer 106 and the organic light emitting layer 107).

支持体202上に設ける薄膜トランジスタは、公知の構成を有する薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース電極領域206/ドレイン電極領域207、チャネル領域が形成される活性層203、ゲート絶縁膜204及びゲート電極205から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、コプレーナ型等が挙げられる。   As the thin film transistor provided over the support 202, a thin film transistor having a known structure can be used. Specifically, a thin film transistor mainly including a source electrode region 206 / drain electrode region 207, an active layer 203 in which a channel region is formed, a gate insulating film 204, and a gate electrode 205 can be given. The structure of the thin film transistor is not particularly limited, and examples thereof include a staggered type, an inverted staggered type, a top gate type, and a coplanar type.

活性層303は、特に限定されるものではなく、例えば、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶シリコン、セレン化カドミウム等の無機半導体材料又はチオフエンオリゴマー、ポリ(p−フェリレンビニレン)等の有機半導体材料により形成することができる。これらの活性層303は、例えば、アモルファスシリコンをプラズマCVD法により積層し、イオンドーピングする方法;SiHガスを用いてLPCVD法によりアモルファスシリコンを形成し、固相成長法によりアモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法;Siガスを用いてLPCVD法により、またSiHガスを用いてPECVD法によりアモルファスシリコンを形成し、エキシマレーザ等のレーザによりアニールし、アモルファスシリコンを結晶化してポリシリコンを得た後、イオンドーピング法によりイオンドーピングする方法(低温プロセス);減圧CVD法又はLPCVD法によりポリシリコンを積層し、1000℃以上で熱酸化してゲート絶縁膜204を形成し、その上にnポリシリコンのゲート電極205を形成し、その後、イオン打ち込み法によりイオンドーピングする方法(高温プロセス)等が挙げられる。 The active layer 303 is not particularly limited, and examples thereof include inorganic semiconductor materials such as amorphous silicon, polycrystalline silicon, microcrystalline silicon, cadmium selenide, thiophene oligomers, poly (p-ferylene vinylene), and the like. The organic semiconductor material can be used. These active layers 303 are formed by, for example, laminating amorphous silicon by plasma CVD and ion doping; forming amorphous silicon by LPCVD using SiH 4 gas, and crystallizing amorphous silicon by solid phase growth. After obtaining polysilicon, a method of ion doping by ion implantation; amorphous silicon is formed by LPCVD using Si 2 H 6 gas and PECVD using SiH 4 gas, and by a laser such as an excimer laser After annealing and crystallizing amorphous silicon to obtain polysilicon, a method of ion doping by ion doping (low temperature process); polysilicon is deposited by low pressure CVD or LPCVD, and thermally oxidized at 1000 ° C. or higher Gate break Forming a film 204, a gate electrode 205 of the n + polysilicon is formed thereon, then, a method of ion doping (high temperature process), and the like by an ion implantation method.

ゲート絶縁膜204としては、通常、ゲート絶縁膜204として使用されているものを用いることができ、例えば、PECVD法、LPCVD法等により形成されたSiO;ポリシリコン膜を熱酸化して得られるSiO等を用いることができる。 As the gate insulating film 204, a film normally used as the gate insulating film 204 can be used. For example, SiO 2 formed by PECVD method, LPCVD method or the like; obtained by thermally oxidizing a polysilicon film. SiO 2 or the like can be used.

ゲート電極205としては、通常、ゲート電極205として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属、チタン、タンタル、タングステン等の高融点金属、ポリシリコン、高融点金属のシリサイド、ポリサイド等が挙げられる。   As the gate electrode 205, those usually used as the gate electrode 205 can be used. For example, a metal such as aluminum or copper, a refractory metal such as titanium, tantalum, or tungsten, polysilicon, or a refractory metal. Examples thereof include silicide and polycide.

ソース電極206及びドレイン電極207としては、通常、ソース電極206及びドレイン電極207として使用されているものを用いることができ、例えば、アルミ、銅等の金属、チタン、タンタル、タングステン等を用いることができる。   As the source electrode 206 and the drain electrode 207, those normally used as the source electrode 206 and the drain electrode 207 can be used. For example, a metal such as aluminum or copper, titanium, tantalum, tungsten, or the like can be used. it can.

薄膜トランジスタは、シングルゲート構造、ダブルゲート構造、ゲート電極305が3つ以上のマルチゲート構造であってもよい。また、LDD構造、オフセット構造を有していてもよい。さらに、1つの画素中に2つ以上の薄膜トランジスタが配置されていてもよい。   The thin film transistor may have a single gate structure, a double gate structure, or a multi-gate structure having three or more gate electrodes 305. Moreover, you may have a LDD structure and an offset structure. Further, two or more thin film transistors may be arranged in one pixel.

本発明の実施の形態に係る有機ELパネル100は、薄膜トランジスタが有機ELパネル100のスイッチング素子として機能するように接続されている必要があり、薄膜トランジスタのソース電極206と有機ELパネル100の画素電極(第1電極102)が電気的に接続されている。   The organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention needs to be connected so that the thin film transistor functions as a switching element of the organic EL panel 100, and the source electrode 206 of the thin film transistor and the pixel electrode ( The first electrode 102) is electrically connected.

次に、薄膜トランジスタのソース電極206を電気的に接続する有機ELパネル100の第1電極102について説明する。基板101の上に第1電極102を成膜し、形成されるべき画素に応じてパターニングを行う。パターニングされた第1電極102は隔壁210によって区画され、各画素に対応した第1電極102となる。第1電極102の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。第1電極102を陽極とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、第1電極102の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。   Next, the first electrode 102 of the organic EL panel 100 that electrically connects the source electrode 206 of the thin film transistor will be described. The first electrode 102 is formed on the substrate 101, and patterning is performed according to the pixel to be formed. The patterned first electrode 102 is partitioned by a partition wall 210 and becomes the first electrode 102 corresponding to each pixel. Examples of the material of the first electrode 102 include metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide, and zinc aluminum composite oxide, metal materials such as gold and platinum, and these metal oxides. Alternatively, a single layer or a laminate of fine particle dispersion films in which fine particles of a metal material are dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used. When the first electrode 102 is used as an anode, it is preferable to select a material having a high work function such as ITO. In the case of a so-called bottom emission structure in which light is extracted from below, it is necessary to select a light-transmitting material. If necessary, in order to reduce the wiring resistance of the first electrode 102, a metal material such as copper or aluminum may be provided as an auxiliary electrode.

第1電極102の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。第1電極102のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィ法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。基板としてTFTを形成した物を用いる場合は下層の画素に対応して導通を図ることができるように形成する。   The first electrode 102 can be formed by a dry film forming method such as a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method, a gravure printing method, a screen depending on the material. A wet film forming method such as a printing method can be used. As a patterning method of the first electrode 102, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on a material and a film forming method. In the case of using a substrate on which a TFT is formed as a substrate, it is formed so that conduction can be achieved corresponding to a lower pixel.

次に、本発明の実施の形態に係る有機ELパネル100の隔壁103を形成する方法について説明する。本発明の実施の形態に係る有機ELパネル100の隔壁103は、画素(第1電極102)に対応した発光領域を区画するように形成する。この隔壁103は、第1電極102の端部を覆うように第1絶縁層104を形成し、この第1絶縁層104の端部から0.5μm以上後退するように第2絶縁層105を形成し、2段隔壁の形状とする。第1絶縁層104の端部から0.5μm以上後退するように第2絶縁層105を形成することで、第1絶縁層104及び第2絶縁層105上に形成する正孔輸送層106を平坦に形成することができる。   Next, a method for forming the partition wall 103 of the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention will be described. The partition 103 of the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention is formed so as to partition the light emitting region corresponding to the pixel (first electrode 102). In this partition wall 103, a first insulating layer 104 is formed so as to cover an end portion of the first electrode 102, and a second insulating layer 105 is formed so as to recede 0.5 μm or more from the end portion of the first insulating layer 104. And the shape of a two-stage partition wall. By forming the second insulating layer 105 so as to recede by 0.5 μm or more from the end portion of the first insulating layer 104, the hole transport layer 106 formed on the first insulating layer 104 and the second insulating layer 105 is flattened. Can be formed.

隔壁103の形成方法としては、従来と同様、基体上に無機膜を一様に形成し、レジストでマスキングした後、ドライエッチングを行う方法や、基体上に感光性樹脂を積層し、フォトリソグラフィ法により所定のパターンとする方法が挙げられる。本実施の形態に係る2段隔壁を形成する場合、第1絶縁層104に無機材料、第2絶縁層105に感光性樹脂を使用することで、異なるエッチング方法を用いて、第2絶縁層105を第1絶縁層104の端部から0.5μm以上後退させ、段差のある形状を形成させる。   As a method for forming the partition wall 103, as in the past, an inorganic film is uniformly formed on a substrate, masked with a resist, and then dry etching is performed, or a photosensitive resin is laminated on the substrate, and a photolithography method is used. The method of setting to a predetermined pattern is mentioned. In the case where the two-step partition wall according to this embodiment is formed, the second insulating layer 105 is formed using a different etching method by using an inorganic material for the first insulating layer 104 and a photosensitive resin for the second insulating layer 105. Is recessed from the end of the first insulating layer 104 by 0.5 μm or more to form a stepped shape.

隔壁103の好ましい高さは0.5μm以上2μm以下程度である。隔壁103の高さが2μmより高すぎると第2電極108の形成及び封止を妨げてしまい、0.5μmより低すぎると画素電極(第1電極102)の周縁を覆い切れない、あるいは有機発光層等の形成時に隣接する画素とショートしたり混色したりしてしまうからである。2段隔壁103の場合の高さは、第1絶縁層104は50nm以下、第2絶縁層105は0.5μm以上2μm以下程度とする。   A preferable height of the partition wall 103 is about 0.5 μm or more and 2 μm or less. When the height of the partition wall 103 is higher than 2 μm, the formation and sealing of the second electrode 108 is hindered. When the height is lower than 0.5 μm, the periphery of the pixel electrode (first electrode 102) cannot be covered, or organic light emission is performed. This is because when forming a layer or the like, the adjacent pixels are short-circuited or mixed in color. In the case of the two-step partition wall 103, the height of the first insulating layer 104 is 50 nm or less, and the height of the second insulating layer 105 is about 0.5 μm to 2 μm.

次に、本発明の実施の形態に係る有機ELパネル100の有機発光層等の有機発光媒体層の形成方法について説明する。上述した隔壁103を形成した後、正孔輸送層106を形成する。正孔輸送層106を形成する正孔輸送材料として有機材料を用いる場合、有機材料としては、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)などが挙げられる。これらの材料は溶媒に溶解または分散させ、スピンコータ等を用いた各種塗布方法や凸版印刷方法を用いて形成するる。また正孔輸送材料として無機材料を用いる場合、無機材料としては、CuO,Cr,Mn,FeOx(x〜0.1),NiO,CoO,Pr,AgO,MoO,Bi、ZnO,TiO,SnO,ThO,V,Nb,Ta,MoO,WO,MnOなどを用いて真空蒸着法により形成する。ただし材料はこれらに限定されるものではない。 Next, a method for forming an organic light emitting medium layer such as an organic light emitting layer of the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention will be described. After the partition wall 103 is formed, the hole transport layer 106 is formed. When an organic material is used as a hole transport material for forming the hole transport layer 106, examples of the organic material include polyaniline derivatives, polythiophene derivatives, polyvinylcarbazole (PVK) derivatives, poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT). ) And the like. These materials are dissolved or dispersed in a solvent, and are formed using various coating methods using a spin coater or the like and a relief printing method. In addition, when an inorganic material is used as the hole transport material, examples of the inorganic material include Cu 2 O, Cr 2 O 3 , Mn 2 O 3 , FeOx (x to 0.1), NiO, CoO, Pr 2 O 3 , Ag. 2 O, MoO 2, Bi 2 O 3, ZnO, TiO 2, SnO 2, ThO 2, V 2 O 5, Nb 2 O 5, Ta 2 O 5, MoO 3, WO 3, vacuum by using a MnO 2 It is formed by vapor deposition. However, the material is not limited to these.

正孔輸送層106の形成後にインターレイヤ層(図示せず)を形成しても良い。インターレイヤ層を形成する際に用いる材料として、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリアリーレン誘導体、アリールアミン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体などの、芳香族アミンを含むポリマーなどが挙げられる。これらの材料は溶媒に溶解または分散させ、スピンコータ等を用いた各種塗布方法や凸版印刷方法を用いて形成される。   An interlayer layer (not shown) may be formed after the hole transport layer 106 is formed. Polymers containing aromatic amines such as polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polyarylene derivatives having aromatic amines in the side chain or main chain, arylamine derivatives, triphenyldiamine derivatives, etc. as materials used in forming the interlayer layer Etc. These materials are dissolved or dispersed in a solvent, and are formed using various coating methods using a spin coater or the like and a relief printing method.

インターレイヤ層形成後、有機発光層207を形成する。有機発光層207は電流を流すことにより発光する層であり、有機発光層207を形成する有機発光材料は、例えばクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N‘−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系などの発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられる。   After forming the interlayer layer, the organic light emitting layer 207 is formed. The organic light emitting layer 207 is a layer that emits light when an electric current is passed. The organic light emitting material forming the organic light emitting layer 207 is, for example, a coumarin type, a perylene type, a pyran type, an anthrone type, a porphyrene type, a quinacridone type, N, N Dispersing luminescent dyes such as' -dialkyl-substituted quinacridone, naphthalimide, N, N'-diaryl-substituted pyrrolopyrrole, iridium complex in polymers such as polystyrene, polymethylmethacrylate, polyvinylcarbazole, , Polyarylene-based, polyarylene vinylene-based, and polyfluorene-based polymer materials.

これらの有機発光材料は溶媒に溶解または安定に分散させ有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどの単独またはこれらの混合溶媒が上げられる。中でもトルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶媒が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。   These organic light emitting materials are dissolved or stably dispersed in a solvent to form an organic light emitting ink. Examples of the solvent for dissolving or dispersing the organic light emitting material include toluene, xylene, acetone, anisole, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, or a mixed solvent thereof. Among them, aromatic organic solvents such as toluene, xylene, and anisole are preferable from the viewpoint of the solubility of the organic light emitting material. Moreover, surfactant, antioxidant, a viscosity modifier, a ultraviolet absorber, etc. may be added to organic luminescent ink as needed.

ここで、本発明の実施の形態では、第1電極102と有機発光層107との間に正孔輸送層106及びインターレイヤ層を形成したが、第1電極102と正孔輸送層106の間に正孔注入層を形成しても良い。これらの層構成は、使用する材料等に応じて適宜選択することが好ましい。   Here, in the embodiment of the present invention, the hole transport layer 106 and the interlayer layer are formed between the first electrode 102 and the organic light emitting layer 107, but between the first electrode 102 and the hole transport layer 106. In addition, a hole injection layer may be formed. These layer structures are preferably selected as appropriate according to the materials used.

次に、有機材料を用いる場合の正孔輸送層106、インターレイヤ層及び有機発光層107を形成する際に用いる本発明の実施の形態に係る凸版印刷装置300について図3を参照して説明する。図3は、有機発光材料からなる有機発光インキを、画素電極(第1電極102)、隔壁103、例えば無機材料からなる正孔輸送層が形成された被印刷基板307上にパターン印刷する際のもので、本製造装置はインクタンク301とインキチャンバ302とアニロックスロール303と凸版が設けられた版305がマウントされた版胴306を有している。インクタンク301には、溶剤で希釈された有機発光インキが収容されており、インキチャンバ302にはインクタンク301より有機発光インキが送り込まれるようになっている。アニロックスロール303はインキチャンバ302のインキ供給部に接して回転可能に指示されている。   Next, a relief printing apparatus 300 according to the embodiment of the present invention used when forming the hole transport layer 106, the interlayer, and the organic light emitting layer 107 when using an organic material will be described with reference to FIG. . FIG. 3 shows a case where an organic light emitting ink made of an organic light emitting material is subjected to pattern printing on a pixel substrate (first electrode 102), a partition 103, for example, a substrate to be printed 307 on which a hole transport layer made of an inorganic material is formed. The manufacturing apparatus includes an ink tank 301, an ink chamber 302, an anilox roll 303, and a plate cylinder 306 on which a plate 305 provided with a relief plate is mounted. The ink tank 301 contains an organic light emitting ink diluted with a solvent, and the organic light emitting ink is fed into the ink chamber 302 from the ink tank 301. The anilox roll 303 is instructed to rotate in contact with the ink supply unit of the ink chamber 302.

アニロックスロール303の回転に伴い、アニロックスロール303の表面に供給された有機発光インキのインキ層304は均一な膜厚に形成される。このインキ層304のインキはアニロックスロール303に近接して回転駆動される版胴306にマウントされた版305の凸部に転移し、平台308上に設置された被印刷基板307の画素部へパターン印刷される。   As the anilox roll 303 rotates, the ink layer 304 of the organic light-emitting ink supplied to the surface of the anilox roll 303 is formed with a uniform film thickness. The ink of the ink layer 304 is transferred to the convex portion of the plate 305 mounted on the plate cylinder 306 that is driven to rotate in the vicinity of the anilox roll 303, and the pattern is transferred to the pixel portion of the printing substrate 307 installed on the flat table 308. Printed.

本発明の実施の形態において、図1に示すように、印刷される有機発光層107の形成方法は、有機発光層107の端部から第1電極102の中心までの幅をそれぞれL1、L2(L1>L2)として、尚且つL2は第1電極102の中心から第2絶縁層105の端部までとし、第2絶縁層105の幅をDとした場合、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲になるように、版307の凸部の中心を画素中心位置からずらし印刷することで形成する。すなわち、ストライプ状の版を用いる場合、ストライプ方向と直交する方向に、画素の中心と版の中央とが一致する位置から|L1−L2|/2だけずらして印刷する。これにより、形成された有機発光層107の一方の端部で厚膜化を抑制でき、かつ非発光部分が低減するため開口率を向上できる。また、有機発光層107の一方の端部が薄膜形状になるため、ショートする恐れがあるが、2段隔壁の第1絶縁層104に有機発光層107の端部を形成することで解決できる。また、必要に応じて乾燥工程を経て被印刷基板307上に有機発光層107を形成する。   In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the method of forming the organic light emitting layer 107 to be printed is such that the width from the edge of the organic light emitting layer 107 to the center of the first electrode 102 is L1, L2 ( When L1> L2) and L2 is from the center of the first electrode 102 to the end of the second insulating layer 105, and the width of the second insulating layer 105 is D, D / 4 ≦ | L1-L2 | It is formed by shifting the center of the convex portion of the plate 307 from the pixel center position so as to be in the range of <D / 2. In other words, when a striped plate is used, printing is performed by shifting | L1-L2 | / 2 from the position where the center of the pixel and the center of the plate coincide with each other in the direction orthogonal to the stripe direction. Thereby, thickening can be suppressed at one end portion of the formed organic light emitting layer 107, and the non-light emitting portion is reduced, so that the aperture ratio can be improved. Further, since one end of the organic light emitting layer 107 has a thin film shape, there is a possibility of short-circuiting, but this can be solved by forming the end of the organic light emitting layer 107 in the first insulating layer 104 of the two-step partition wall. Moreover, the organic light emitting layer 107 is formed on the to-be-printed board | substrate 307 through a drying process as needed.

次に、第2電極108を形成する。第2電極108を陰極とする場合には有機発光層107への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を数nm挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層したりして用いてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。   Next, the second electrode 108 is formed. When the second electrode 108 is a cathode, a substance having a high electron injection efficiency into the organic light emitting layer 107 and a low work function is used. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by several nanometers at the interface in contact with the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. You may use it. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu or Cu may be used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used.

第2電極108の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。   As a method for forming the second electrode 108, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material.

有機ELパネル100としては電極間に発光材料を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光材料は大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまうため通常は外部と遮断するための封止体(図示せず)を設ける。封止体は例えば封止材上に樹脂層を設けて作製することができる。   The organic EL panel 100 can emit light by sandwiching a light emitting material between electrodes and passing an electric current. However, since the organic light emitting material is easily deteriorated by moisture or oxygen in the atmosphere, the organic EL panel is usually externally connected. A sealing body (not shown) for blocking is provided. The sealing body can be manufactured, for example, by providing a resin layer on a sealing material.

封止材としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、耐湿性フィルムなどを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m/day以下であることが好ましい。 The sealing material needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as alkali-free glass and alkali glass, quartz, and moisture resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.

樹脂層の材料の一例として、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン樹脂などからなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、2液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物などの熱可塑性接着性樹脂を挙げることができる。樹脂層を封止材の上に形成する方法の一例として、溶剤溶液法、押出ラミ法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法などを挙げることができる。必要に応じて吸湿性や吸酸素性を有する材料を含有させることもできる。封止材上に形成する樹脂層の厚みは、封止する有機ELパネルの大きさや形状により任意に決定されるが、5μm〜500μm程度が望ましい。なお、ここでは封止材上に樹脂層として形成したが直接有機ELパネル側に形成することもできる。   As an example of the material of the resin layer, a photo-curing adhesive resin, a thermosetting adhesive resin, a two-component curable adhesive resin, or an ethylene ethyl acrylate (EEA) made of epoxy resin, acrylic resin, silicon resin, or the like Examples thereof include acrylic resins such as polymers, vinyl resins such as ethylene vinyl acetate (EVA), thermoplastic resins such as polyamide and synthetic rubber, and thermoplastic adhesive resins such as acid-modified products of polyethylene and polypropylene. Examples of methods for forming a resin layer on a sealing material include solvent solution method, extrusion lamination method, melting / hot melt method, calendar method, nozzle coating method, screen printing method, vacuum laminating method, hot roll laminating method, etc. Can be mentioned. A material having a hygroscopic property or an oxygen absorbing property may be contained as necessary. Although the thickness of the resin layer formed on a sealing material is arbitrarily determined by the magnitude | size and shape of the organic electroluminescent panel to seal, about 5 micrometers-about 500 micrometers are desirable. In addition, although it formed as a resin layer on the sealing material here, it can also form directly in the organic EL panel side.

最後に、有機ELパネル100と封止体との貼り合わせを封止室で行う。封止体を、封止材と樹脂層の2層構造とし、樹脂層に熱可塑性樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着のみ行うことが好ましい。熱硬化型接着樹脂を使用した場合は、加熱したロールで圧着した後、さらに硬化温度で加熱硬化を行うことが好ましい。光硬化性接着樹脂を使用した場合は、ロールで圧着した後、さらに光を照射することで硬化を行うことができる。   Finally, the organic EL panel 100 and the sealing body are bonded together in a sealing chamber. When the sealing body has a two-layer structure of a sealing material and a resin layer, and a thermoplastic resin is used for the resin layer, it is preferable to perform only pressure bonding with a heated roll. When a thermosetting adhesive resin is used, it is preferable to perform heat curing at a curing temperature after pressure bonding with a heated roll. In the case where a photocurable adhesive resin is used, curing can be performed by further irradiating light after pressure bonding with a roll.

上述したように、本発明の実施の形態に係る有機ELパネル100は、有機発光層107を形成する際に、有機発光層107の端部から第1電極102の中心までの幅をそれぞれL1、L2(L1>L2)として、尚且つL2は第1電極102の中心から第2絶縁層105の端部までとし、第2絶縁層105の幅をDとした場合、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲になるようにすることで、画素内での厚膜化を抑制でき、発光効率や寿命の低減を向上させ、かつ非発光領域を減らすことで開口率を向上できる。なお、第一電極102の中央からずらす発光層の方向は、少なくとも一方向であるが、長辺と短辺を持つ長方形の画素形状の場合には、短辺方向に上述した範囲で発光層の位置と幅が規定されていることが好ましい。長辺方向にずらした場合よりも低減させることができる非発光面積が大きいからである。   As described above, when the organic EL panel 100 according to the embodiment of the present invention forms the organic light emitting layer 107, the width from the end of the organic light emitting layer 107 to the center of the first electrode 102 is set to L1, respectively. When L2 (L1> L2) and L2 are from the center of the first electrode 102 to the end of the second insulating layer 105, and the width of the second insulating layer 105 is D, D / 4 ≦ | L1− By making the range L2 | <D / 2, it is possible to suppress an increase in film thickness within the pixel, improve the light emission efficiency and lifetime, and improve the aperture ratio by reducing the non-light emitting region. . Note that the direction of the light emitting layer shifted from the center of the first electrode 102 is at least one direction, but in the case of a rectangular pixel shape having a long side and a short side, the light emitting layer is within the above-described range in the short side direction. The position and width are preferably defined. This is because the non-light emitting area that can be reduced is larger than that in the case of shifting in the long side direction.

次に、本発明の実施例について図1を参照して説明する。   Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

基板は支持体上に設けられたスイッチング素子として機能する薄膜トランジスタを備えたアクティブマトリックス基板を用いた。基板のサイズは200mm×200mmでその中に対角5インチのディスプレイが中央に設置されており、このアクティブマトリックス基板の上方に第1電極202を形成させた。形成方法としては、まず、スパッタリング法を用いてITO膜を厚さ100nmし、そのITO膜を、フォトリソグラフィ法と酸溶液によるエッチングで幅25μmとなるようにパターニングして、透明電極(画素電極)を構成し、画素数は320×240とした。   As the substrate, an active matrix substrate provided with a thin film transistor functioning as a switching element provided on a support was used. The size of the substrate was 200 mm × 200 mm, and a 5-inch diagonal display was installed in the center. The first electrode 202 was formed above the active matrix substrate. As a forming method, first, an ITO film is formed to a thickness of 100 nm by using a sputtering method, and the ITO film is patterned to have a width of 25 μm by etching using a photolithography method and an acid solution, thereby forming a transparent electrode (pixel electrode). The number of pixels was 320 × 240.

次に、アクティブマトリックス基板上に設けられた第1電極202を被覆し画素を区画するように2段隔壁を形成した。まず第1絶縁層104の形成は、アクティブマトリックス基板上に無機材料を真空蒸着法により厚さ30nmで一様に形成し、レジストでマスキングした後、第1電極102の端部を0.5μm被覆するようにドライエッチング法により第1電極102の間に幅40μmのラインパターンを形成した。第2絶縁層105の形成は、フォトレジスト材料を前面スピンコートし、厚さ2μmで形成した。塗布されたフォトレジスト材料に対してフォトリソグラフィ法により、第1絶縁層104の端部から0.5μm後退させて形成した。   Next, a two-stage partition was formed so as to cover the first electrode 202 provided on the active matrix substrate and partition the pixels. First, the first insulating layer 104 is formed by uniformly forming an inorganic material with a thickness of 30 nm on the active matrix substrate by a vacuum deposition method, masking it with a resist, and then covering the end portion of the first electrode 102 by 0.5 μm. As described above, a line pattern having a width of 40 μm was formed between the first electrodes 102 by dry etching. The second insulating layer 105 was formed by spin coating a photoresist material with a thickness of 2 μm. The applied photoresist material was formed to recede by 0.5 μm from the end of the first insulating layer 104 by photolithography.

次に、第1電極102と隔壁103の表面上に正孔輸送材料として、厚さ20nmの酸化モリブデン(MoOx)を、真空蒸着法により積層させた。蒸発源と基板の距離は300mm、角度0度の位置に設置した。   Next, molybdenum oxide (MoOx) having a thickness of 20 nm was stacked as a hole transport material on the surfaces of the first electrode 102 and the partition wall 103 by a vacuum evaporation method. The distance between the evaporation source and the substrate was set at a position of 300 mm and an angle of 0 degree.

次に、インターレイヤ材料であるポリビニルカルバゾール誘導体を濃度0.5%になるようにトルエンに溶解させたインキを用いて、上述した正孔輸送層106までを形成した基板を凸版印刷装置300にセッティングし、隔壁103に挟まれた第1電極102の真上にそのラインパターンに合わせてインターレイヤ層を凸版印刷法で印刷を行った。印刷、乾燥後のインターレイヤ層の膜厚は10nmとなった。   Next, using the ink in which the polyvinyl carbazole derivative, which is an interlayer material, is dissolved in toluene so as to have a concentration of 0.5%, the substrate on which the above-described hole transport layer 106 is formed is set in the relief printing apparatus 300. Then, the interlayer layer was printed by the relief printing method in accordance with the line pattern just above the first electrode 102 sandwiched between the partition walls 103. The film thickness of the interlayer layer after printing and drying was 10 nm.

次に、有機発光材料であるポリフェニレンピニレン誘導体を濃度1%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、上述したインターレイヤ層までを形成した基板を凸版印刷装置300にセッティングし、隔壁103とこの隔壁103に挟まれた第1電極102のラインパターンに合わせて、凸版印刷法により狙い膜厚を80nmとして印刷を行った。印刷する際に、有機発光インキが版胴306にマウントされた版305の凸部の中心を画素電極102の中心位置からずらすことで、画素電極102の中心から形成される有機発光層107の端部までを14.5μm(L1)と12.5μm(L2)の幅になるよう形成し、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲内にある形状となった。   Next, using an organic light emitting ink in which a polyphenylene pinylene derivative, which is an organic light emitting material, is dissolved in toluene so as to have a concentration of 1%, the substrate on which the above-described interlayer layer is formed is set in the relief printing apparatus 300, In accordance with the line pattern of the partition wall 103 and the first electrode 102 sandwiched between the partition walls 103, printing was performed with a target film thickness of 80 nm by a relief printing method. When printing, the center of the convex portion of the plate 305 on which the organic light emitting ink is mounted on the plate cylinder 306 is shifted from the center position of the pixel electrode 102, so that the edge of the organic light emitting layer 107 formed from the center of the pixel electrode 102 is obtained. Up to a portion having a width of 14.5 μm (L1) and 12.5 μm (L2), and a shape within a range of D / 4 ≦ | L1−L2 | <D / 2.

次に、第2電極108として真空蒸着法でBa膜をメタルマスクを用いて膜厚4nmに成膜した後、Al膜を真空蒸着法によりメタルマスクを用いて膜厚150nmに成膜した。そして、キャップ型封止ガラスと接着剤を発光領域をカバーするように載せ、約90℃で1時間接着剤を熱硬化して密閉封止し、アクティブマトリックス駆動型有機ELパネルを製作した。   Next, as a second electrode 108, a Ba film was formed to a thickness of 4 nm using a metal mask by a vacuum evaporation method, and then an Al film was formed to a thickness of 150 nm using a metal mask by a vacuum evaporation method. Then, a cap-type sealing glass and an adhesive were placed so as to cover the light emitting region, and the adhesive was thermally cured at about 90 ° C. for 1 hour to be hermetically sealed, thereby producing an active matrix driving type organic EL panel.

このようにして製作したアクティブマトリックス駆動型有機ELパネルは、形成された有機発光層107の一方の端部で厚膜化を抑制でき、かつ非発光部分が低減するため開口率を向上させ、尚且つ印加電圧を7Vとしたときに輝度が600cd/mとなり、発光効率も向上することができた。 The active matrix driving type organic EL panel manufactured in this way can suppress the increase in thickness at one end of the formed organic light emitting layer 107, and can improve the aperture ratio because the non-light emitting portion is reduced. When the applied voltage was 7 V, the luminance was 600 cd / m 2 and the luminous efficiency could be improved.

[比較例1]
実施例1に対して比較例1として、本発明に係る有機ELパネルには該当しない構成の有機ELパネルを作製した。この比較例は、実施例1で形成した有機発光層をD/4≦|L1−L2|<D/2の範囲内にある形状ではなく、有機発光層の両端部で隔壁に沿って厚膜化するように形成し、狙い膜厚は実施例1と同様に80nmで印刷した。有機発光層以外の形成工程は、実施例1と同一とした。従って、狙い厚膜に対して厚い膜の領域が拡がったため、本発明には該当しないアクティブマトリックス駆動型有機ELパネルを作製した。
[Comparative Example 1]
An organic EL panel having a configuration not corresponding to the organic EL panel according to the present invention was produced as Comparative Example 1 with respect to Example 1. In this comparative example, the organic light emitting layer formed in Example 1 does not have a shape within the range of D / 4 ≦ | L1−L2 | <D / 2, but is thick along the partition walls at both ends of the organic light emitting layer. In the same manner as in Example 1, the film thickness was printed at 80 nm. The formation process other than the organic light emitting layer was the same as in Example 1. Therefore, since the region of the thick film expanded with respect to the target thick film, an active matrix driving type organic EL panel not corresponding to the present invention was manufactured.

このようにして作製した比較例1のアクティブマトリックス駆動型有機ELパネルは、実施例1に対して非発光部が増加し、尚且つ印加電圧を7Vとしたときに輝度が300cd/mとなり、発光効率も低下してしまった。 The active matrix driving type organic EL panel of Comparative Example 1 manufactured in this way has a non-light emitting portion increased with respect to Example 1, and when the applied voltage is 7 V, the luminance is 300 cd / m 2 . Luminous efficiency has also decreased.

本実施例に係る有機ELパネルは、有機発光層をD/4≦|L1−L2|<D/2の範囲内に形成することで、画素内での厚膜を抑制でき、発光効率を向上できた。   In the organic EL panel according to this example, the organic light emitting layer is formed within the range of D / 4 ≦ | L1-L2 | <D / 2, so that the thick film in the pixel can be suppressed and the light emission efficiency is improved. did it.

201…TFT基板、202,301…第1電極、203、310…隔壁、204…第1絶縁層、205…第2絶縁層、206…正孔輸送層、207…有機発光層、208…第2電極、302…支持体、303…活性層、304…ゲート絶縁膜、305…ゲート電極、306…ソース電極、307…ドレイン電極、308…走査線、401…インクタンク、402…インキチャンバ、403…アニロックスロール、406…版胴、407…被印刷基盤。   201 ... TFT substrate, 202, 301 ... first electrode, 203, 310 ... partition, 204 ... first insulating layer, 205 ... second insulating layer, 206 ... hole transport layer, 207 ... organic light emitting layer, 208 ... second Electrode 302... Support 303 303 Active layer 304 Gate insulating film 305 Gate electrode 306 Source electrode 307 Drain electrode 308 Scan line 401 Ink tank 402 Ink chamber 403 Anilox roll, 406... Plate cylinder, 407.

Claims (5)

薄膜トランジスタを備える基板を準備し、
前記基板の一方の面に画素に対応してパターニングして第1電極を形成し、
前記第1電極の端部を被覆して第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層上に第2絶縁層を形成し、
前記第1電極と前記第1絶縁層上に、有機発光層の端部から前記第1電極の中心までの幅をそれぞれL1、L2(L1>L2)とし、L2側の前記有機発光層の端部は前記第1絶縁層上にあり、前記第2絶縁層の幅をDとした場合、D/4≦|L1−L2|<D/2の範囲になるように有機発光層を凸版印刷法を用いて形成し、
前記有機発光層を覆うように第2電極を形成することを特徴とする有機ELパネルの製造方法。
Preparing a substrate with thin film transistors;
A first electrode is formed by patterning on one surface of the substrate corresponding to the pixels,
Covering the end of the first electrode to form a first insulating layer;
Forming a second insulating layer on the first insulating layer;
On the first electrode and the first insulating layer, the width from the end of the organic light emitting layer to the center of the first electrode is L1 and L2 (L1> L2), respectively, and the end of the organic light emitting layer on the L2 side The portion is on the first insulating layer , and when the width of the second insulating layer is D, the organic light-emitting layer is formed by letterpress printing so that D / 4 ≦ | L1-L2 | <D / 2. Formed using
A method of manufacturing an organic EL panel, wherein the second electrode is formed so as to cover the organic light emitting layer.
前記第2絶縁層の端部は前記第1絶縁層の端部より0.5μm以上後退していることを特徴とする請求項1に記載の有機ELパネルの製造方法。   2. The method of manufacturing an organic EL panel according to claim 1, wherein an end portion of the second insulating layer recedes 0.5 μm or more from an end portion of the first insulating layer. 前記隔壁の高さが0.5μm以上2μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機ELパネルの製造方法。   3. The method of manufacturing an organic EL panel according to claim 1, wherein a height of the partition wall is 0.5 μm or more and 2 μm. 前記第1電極と前記有機発光層との間に正孔輸送層又は正孔注入層を形成することを特徴とする請求項1に記載の有機ELパネルの製造方法。   The method for producing an organic EL panel according to claim 1, wherein a hole transport layer or a hole injection layer is formed between the first electrode and the organic light emitting layer. 前記第2電極と前記有機発光層との間に電子輸送層又は電子注入層を形成することを特徴とする請求項1に記載の有機ELパネルの製造方法。   The method for producing an organic EL panel according to claim 1, wherein an electron transport layer or an electron injection layer is formed between the second electrode and the organic light emitting layer.
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