JP2013076569A - 半導体回路の電流測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定電流から生じる磁束を検出する磁束検出装置と、磁束検出装置の出力電圧を電流波形に変換する積分装置と、電流波形を視覚化する電流波形観測装置とを有し、磁束検出装置10は、ベース基板の両面に導電パターンにより形成した一対の表裏対称な形状をした第1コイルC1と、測定配線を配置する位置に対して第1コイルC1と線対称に第2コイルC2を配置し、第1コイルC1および第2コイルC2のそれぞれの表の巻き終わりの導電パターンと裏の巻き始めの導電パターンの端部間、および第1コイルC1の巻き終わりの導電パターンの端部と第2コイルC2の巻き始めの導電パターンの端部間とを、それぞれベース基板を貫通するスルーホールにより接続した構造とした電流測定装置。
【選択図】 図4
Description
この構造により、コイル間の近接距離の調節幅の自由度を確保し、また、コイルを接続している配線により形成されるループによるインダクタンスの影響を最小限に抑えることができる。
2,3 カバーレイ
4 基板固定用ネジ穴
10 磁束検出装置
20 積分装置
21 積分回路
30 電流波形観測装置
31 ディジタルドループ補償システム
32 ディスプレイ
33 デジタイザー
40 パワー回路
41 ゲートドライブ回路
42 パワー半導体
43 抵抗
44 コンデンサ
45 直流電源
51 CTプローブ
61 半導体チップ
62 ボンディングワイヤ
P11A,P11B,P12A,P12B スルーホール
C1,C2 磁束検出コイル
W 配線
Claims (3)
- 測定電流から生じる磁束を検出する磁束検出装置と、
前記磁束検出装置の出力電圧を電流波形に変換する積分装置と、
前記積分装置によって変換された電流波形を視覚化する電流波形観測装置とを有し、
前記磁束検出装置は、回路基板の両面に導電パターンにより形成した一対の表裏対称な形状をした第1コイルと、かつ測定配線を配置する位置に対して前記第1コイルと線対称に第2コイルを配置し、前記第1コイルおよび前記第2コイルのそれぞれの表の巻き終わりの導電パターンと裏の巻き始めの導電パターンの端部間、および前記第1コイルの巻き終わりの導電パターンの端部と前記第2コイルの巻き始めの導電パターンの端部間とを、それぞれ前記回路基板を貫通するスルーホールにより接続した構造とした電流測定装置。 - 前記第1コイルの巻き終わりの導電パターンの端部と前記第2コイルの巻き始めの導電パターンの端部間とを前記回路基板の裏表間で接続しているスルーホールを、前記第1コイルおよび前記第2コイルの形成領域より外側の位置に配置した構造を有する請求項1記載の電流測定装置。
- 前記電流波形観測装置において、測定した電流波形にドループが発生していた場合に測定波形のディジタルデータを用いて、測定波形データからオフセット電圧の値を減算することによるオフセット除去処理、オフセット除去処理後の測定波形データの時間積分及び積分回路のフィードバックCR時定数による除算を行う積分処理、オフセット除去処理後の測定データに積分処理後の測定データを加える加算処理、加算処理後の測定波形データを電流波形の大きさと一致させるために定数倍する定数倍処理を経てドループ補償を行う手段を設けた請求項1または2に記載の電流測定装置。
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