JP2013069678A - Particle for insulation coating, insulation coating conductive particle, anisotropic conductive material and connection structure - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide particles for insulation coating which allows for highly reliable conductive interconnection of the electrodes of a circuit member disposed to face each other, and are useful for obtaining an anisotropic conductive material capable of reliably preventing conduction between adjoining electrodes insulation of which must be ensured, and to provide insulation conductive particles including the same.SOLUTION: The particles for insulation coating for forming insulation coating conductive particles by coating base material particles composed of a metal having conductive surface includes a core shell structure having core particles and a shell layer. The core particles contains an organic polymer, and the shell layer contains a silicon based compound having at least one kind of unit selected from a group consisting of an SiOunit, an RSiOunit and an RSiOunit. The R represents at least one kind selected from a group consisting of an alkyl radical of 1-4C, an aromatic group of 6-24C, a vinyl group, and a γ-(meta) acryloxy propyl group.

Description

本発明は、絶縁被覆用粒子、絶縁被覆導電粒子、異方導電材料及び接続構造体に関する。   The present invention relates to an insulating coating particle, an insulating coating conductive particle, an anisotropic conductive material, and a connection structure.

基材粒子の表面の一部を樹脂で被覆することにより、基材粒子に耐熱性、耐磨耗性、絶縁性、導電性、撥水性、接着性、分散性、光沢、着色等の性能を付与することが可能であることが知られている。そのように被覆された粒子は、種々の充填剤又は改質剤としてフィルム、粘着剤、接着剤、塗料等に用いられている。   By covering a part of the surface of the base particle with resin, the base particle has performance such as heat resistance, abrasion resistance, insulation, conductivity, water repellency, adhesiveness, dispersibility, gloss, and coloring. It is known that it can be granted. The particles so coated are used as various fillers or modifiers in films, pressure-sensitive adhesives, adhesives, paints and the like.

被覆粒子の一つとして、金属表面を有した導電粒子の表面を絶縁性の樹脂で被覆した絶縁被覆導電粒子が知られている。そして、絶縁被覆導電粒子を接着剤中に分散させて作製した異方導電フィルム及び異方導電接着剤にあっては、被覆に用いた絶縁樹脂により隣接する導電粒子間の導通を防ぐことが可能となるため、接続信頼性の向上が期待されている。   As one of the coated particles, insulating coated conductive particles in which the surfaces of conductive particles having a metal surface are coated with an insulating resin are known. And in anisotropic conductive film and anisotropic conductive adhesive prepared by dispersing insulating coated conductive particles in adhesive, it is possible to prevent conduction between adjacent conductive particles by insulating resin used for coating Therefore, improvement of connection reliability is expected.

このような絶縁被覆導電粒子としては、例えば、特許文献1には、ハイブリダイゼーションにより導電粒子の表面に絶縁層を形成させた絶縁被覆導電粒子が開示されている。また、例えば、特許文献2には、導電粒子よりも粒径が小さく、かつ、導電粒子と電荷の符号が異なる絶縁被覆用粒子を用いて、導電粒子の表面を被覆した絶縁被覆導電粒子が開示されている。絶縁被覆用粒子で導電粒子の表面を被覆する場合、主にポリマ粒子又はシリカ粒子が用いられている。 As such insulating coated conductive particles, for example, Patent Document 1 discloses insulating coated conductive particles in which an insulating layer is formed on the surface of the conductive particles by hybridization. Further, for example, Patent Document 2 discloses insulating coated conductive particles in which the surface of conductive particles is coated with particles for insulating coating having a particle size smaller than that of the conductive particles and having a different charge sign from the conductive particles. Has been. When the surface of the conductive particles is coated with the insulating coating particles, polymer particles or silica particles are mainly used.

また、特許文献3には中空粒子により絶縁被覆された粒子が開示されている。さらに、特許文献4にはコアシェル粒子により被覆された被覆導電粒子が開示されている。   Patent Document 3 discloses particles that are insulation-coated with hollow particles. Furthermore, Patent Document 4 discloses coated conductive particles coated with core-shell particles.

特開平7−105716号公報JP-A-7-105716 特開2003−26813号公報JP 2003-26813 A 特開2005−203319号公報JP 2005-203319 A 特開2005−149764号公報JP-A-2005-149774

ポリマ粒子を絶縁被覆用粒子として用いた場合、粒子表面に結合性官能基を有している場合においても、樹脂混練時に溶剤中において粒子表面が溶解し、導電粒子表面から絶縁被覆用粒子が剥離し易いため、絶縁信頼性が低下し易くなる。また、ポリマ粒子は、耐熱性が低く、熱膨張係数が大きいため、接続信頼性に劣る傾向がある。   When polymer particles are used as insulating coating particles, even if they have a binding functional group on the particle surface, the particle surface dissolves in the solvent during resin kneading, and the insulating coating particles peel off from the conductive particle surface. Therefore, the insulation reliability is likely to be lowered. In addition, polymer particles tend to be inferior in connection reliability because of low heat resistance and a large coefficient of thermal expansion.

一方、シリカ粒子を絶縁被覆用粒子として用いた場合、高弾性となり、変形が起き難いため絶縁性が良好である。また、シリカ粒子は、耐溶剤性が高いという特徴を有している。しかし、異方導電フィルムとして低圧実装する際には、導通性が低くなる傾向がある。シリカ粒子の代替材料としてシリコーン粒子が考えられるが、粒径の単分散性に課題があるため、採用されていない。   On the other hand, when silica particles are used as the insulating coating particles, they have high elasticity and are not easily deformed, so that the insulating properties are good. Silica particles are characterized by high solvent resistance. However, when low-pressure mounting is performed as an anisotropic conductive film, conductivity tends to be low. Silicone particles can be considered as an alternative material for silica particles, but they have not been adopted due to the problem of monodispersity in particle size.

また、特許文献3の絶縁被覆された粒子は、粒子中に気泡が残存することによる導通阻害が起こり易い上に、溶剤、その他樹脂に配合される化合物を吸収するため、硬化阻害を起こすことがある。   In addition, the insulation-coated particles of Patent Document 3 tend to inhibit conduction due to bubbles remaining in the particles, and also absorb the solvent and other compounds blended in the resin, and thus cause curing inhibition. is there.

また、特許文献4の被覆導電粒子に用いられる絶縁被覆用粒子はポリマ粒子であるため、上記ポリマ粒子と同様に、耐溶剤性が低く、被覆導電粒子を異方導電フィルムとして実装する際に剥離し、絶縁性が低くなる傾向がある。   Further, since the insulating coating particles used for the coated conductive particles of Patent Document 4 are polymer particles, similarly to the above polymer particles, the solvent resistance is low, and peeling is performed when the coated conductive particles are mounted as an anisotropic conductive film. However, the insulation tends to be low.

本発明は、上記事情に鑑み、対向配置された回路部材の電極同士を高い信頼性で導電接続できるとともに、絶縁性を確保すべき隣接する電極間の導電を確実に防止できる異方導電材料を得るのに有用な絶縁被覆用粒子及びこれを備える絶縁被覆導電粒子を提供することを目的とする。また、本発明は、上記絶縁被覆導電粒子を含む異方導電材料及びこれを用いて回路部材同士が接続された接続構造体を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, the present invention provides an anisotropic conductive material that can electrically connect electrodes of circuit members arranged opposite to each other with high reliability and can reliably prevent conduction between adjacent electrodes that should ensure insulation. It is an object of the present invention to provide insulating coating particles useful for obtaining and insulating coated conductive particles including the same. Another object of the present invention is to provide an anisotropic conductive material containing the insulating coated conductive particles and a connection structure in which circuit members are connected using the anisotropic conductive material.

本発明は、上記課題を解決するための手段として、基材粒子を被覆する粒子として、有機高分子を含有するコア粒子及びシリコーン系化合物を含有するシェル層を有する構造を備える絶縁被覆用粒子が有用であることを見出した。   As a means for solving the above problems, the present invention provides an insulating coating particle comprising a structure having a core particle containing an organic polymer and a shell layer containing a silicone compound as a particle covering a base particle. I found it useful.

すなわち本発明は、表面が導電性を有する金属からなる基材粒子を被覆して絶縁被覆導電粒子を形成するための絶縁被覆用粒子であって、コア粒子及びシェル層を有するコアシェル構造を備え、コア粒子が有機高分子を含み、シェル層がSiO4/2単位、RSiO3/2単位及びRSiO2/2単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の単位を有するシリコーン系化合物を含む、絶縁被覆用粒子を提供する。ここで、Rは、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数6〜24の芳香族基、ビニル基、及び、γ−(メタ)アクリロキシプロピル基からなる群より選ばれる少なくとも1種を示す。本明細書において「シリコーン系化合物」とは、シリコーン及びシリカを包含する名称であるものとする。 That is, the present invention is an insulating coating particle for forming insulating coated conductive particles by coating base particles made of a metal having a conductive surface, and has a core-shell structure having a core particle and a shell layer, The core particle includes an organic polymer, and the shell layer includes a silicone compound having at least one unit selected from the group consisting of SiO 4/2 units, RSiO 3/2 units, and R 2 SiO 2/2 units. Insulating coating particles are provided. Here, R represents at least one selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 24 carbon atoms, a vinyl group, and a γ- (meth) acryloxypropyl group. . In the present specification, the “silicone compound” is a name including silicone and silica.

この絶縁被覆用粒子は、導電粒子の表面被覆に用いることができる。これによれば、対向配置された回路部材の電極同士を高い信頼性で導電接続できるとともに、絶縁性を確保すべき隣接する電極間の導電を確実に防止できる異方導電材料を得るのに有用である。また、シェル層としてシリカ膜又はシリコーン膜を形成させることにより、耐溶剤性及び耐熱性を付与することができる。   The particles for insulating coating can be used for surface coating of conductive particles. According to this, it is useful for obtaining an anisotropic conductive material that can electrically connect the electrodes of the circuit members arranged opposite to each other with high reliability and can reliably prevent conduction between adjacent electrodes that should ensure insulation. It is. Moreover, solvent resistance and heat resistance can be provided by forming a silica film or a silicone film as a shell layer.

シェル層としてシリカ膜を形成した場合、低圧実装時においてもシェル層が割れるため、導通性が良好となる。また、実装時に圧縮される方向とは別の方向に対しては見かけ上弾性を示すため、高い絶縁性が得られる。さらに、シリカは表面処理が可能であるため、後述するバインダー樹脂に合わせて粒子の分散性を改良することができる。   When a silica film is formed as the shell layer, the shell layer is broken even at the time of low-pressure mounting, so that the conductivity is good. Moreover, since it is apparently elastic in a direction different from the direction compressed during mounting, high insulation can be obtained. Furthermore, since silica can be surface-treated, the dispersibility of the particles can be improved in accordance with the binder resin described later.

シェル層としてシリコーン膜を形成した場合、絶縁被覆用粒子が低圧縮時にも容易に変形するため、導通性が良好となる。また、シリコーンの特性により、絶縁被覆導電粒子の樹脂への分散性が向上し、吸湿性も低減することが可能となる。   When a silicone film is formed as the shell layer, the insulating coating particles are easily deformed even at low compression, so that the conductivity is good. Further, due to the characteristics of silicone, the dispersibility of the insulating coated conductive particles in the resin can be improved, and the hygroscopicity can be reduced.

シェル層は、基材粒子に対する結合性を有する官能基を有することが好ましい。シェル層が結合性官能基を有することにより、当該絶縁被覆用粒子が基材粒子へ均一に共有結合を形成することが可能となる上、シェル層と基材粒子との密着性が向上する。   The shell layer preferably has a functional group having a binding property to the base particles. When the shell layer has a binding functional group, the insulating coating particles can uniformly form a covalent bond to the base particle, and the adhesion between the shell layer and the base particle is improved.

ここで、上記「基材粒子に対する結合性を有する官能基」が、エポキシ基又はグリシジル基であると、当該絶縁被覆用粒子がアミノ基等を付与した基材粒子に対して容易に共有結合を形成することが可能となるため好ましい。   Here, when the above-mentioned “functional group having a binding property to the base particle” is an epoxy group or a glycidyl group, the insulating coating particle can be easily covalently bonded to the base particle to which an amino group or the like is added. This is preferable because it can be formed.

また、シェル層は、エポキシ基又はグリシジル基を有するシリコーンオリゴマーによって処理されたものであることが好ましい。エポキシ基又はグリシジル基を有するシリコーンオリゴマーを用いてシェル層を表面処理することにより、基材粒子への吸着容易性及び密着性を向上させることが可能である。このような表面処理は、シェル層が表面官能基を有していない場合において特に好ましい。   Moreover, it is preferable that a shell layer is processed by the silicone oligomer which has an epoxy group or a glycidyl group. By subjecting the shell layer to surface treatment using a silicone oligomer having an epoxy group or a glycidyl group, it is possible to improve the ease of adsorption and adhesion to the substrate particles. Such surface treatment is particularly preferable when the shell layer does not have a surface functional group.

また、シェル層の厚みは1〜150nmであることが好ましい。この場合、本発明の絶縁被覆用粒子で被覆した絶縁被覆導電粒子を用いて接続した回路間の導通抵抗がより良好となる。   Moreover, it is preferable that the thickness of a shell layer is 1-150 nm. In this case, the conduction resistance between the circuits connected using the insulating coated conductive particles coated with the insulating coating particles of the present invention becomes better.

また、本発明の絶縁被覆用粒子は、シェル層がSiO4/2単位のみを有するシリコーン系化合物で構成され、シェル層の厚みが1〜50nmとすることができる。この場合、コア粒子の特性を生かすことができる。 Moreover, the particle | grains for insulation coating of this invention are comprised by the silicone type compound in which a shell layer has only SiO4 / 2 unit, and the thickness of a shell layer can be 1-50 nm. In this case, the characteristics of the core particle can be utilized.

また、本発明の絶縁被覆用粒子は、平均粒径が1μm以下であり、かつ、粒径の変動係数(C.V.)が10%以下であることが好ましい。平均粒子径が1μm以下であることにより、本発明の絶縁被覆用粒子で被覆した絶縁被覆導電粒子を用いて調製した異方導電材料の圧着時において、導通性と絶縁性とを両立することが可能となる。また、導電粒子の粒径の変動係数(C.V.)を10%以下にすることにより、絶縁特性の再現性を向上することが可能となる。   The insulating coating particles of the present invention preferably have an average particle size of 1 μm or less and a particle size variation coefficient (CV) of 10% or less. When the average particle diameter is 1 μm or less, both conductivity and insulation can be achieved at the time of pressure bonding of the anisotropically conductive material prepared using the insulating coated conductive particles coated with the insulating coating particles of the present invention. It becomes possible. In addition, by setting the coefficient of variation (CV) of the particle size of the conductive particles to 10% or less, it becomes possible to improve the reproducibility of the insulating characteristics.

また、本発明の絶縁被覆用粒子は、吸湿率が5質量%以下であることが好ましい。これにより、イオンマイグレーション等によるショート発生を抑制することが可能となる。   The insulating coating particles of the present invention preferably have a moisture absorption rate of 5% by mass or less. As a result, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit due to ion migration or the like.

また、本発明の絶縁被覆用粒子は、溶出アンモニウムイオン濃度が100ppm以下であることが好ましい。これにより、本発明の絶縁被覆用粒子で被覆した絶縁被覆導電粒子を用いて調製した異方導電材料に硬化阻害が起こることを抑制することが可能となる。   Moreover, it is preferable that the particle | grains for insulation coating of this invention are 100 ppm or less in elution ammonium ion concentration. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of curing inhibition in the anisotropic conductive material prepared using the insulating coated conductive particles coated with the insulating coating particles of the present invention.

また、シェル層は、3級アミン又はスルホン酸化合物を触媒とする反応により形成されたものであることが好ましい。   The shell layer is preferably formed by a reaction using a tertiary amine or a sulfonic acid compound as a catalyst.

また、コア粒子の表面がアミノ基又はカルボキシル基を有することが好ましい。これによれば、シェル層の形成時に、加水分解したシラノール基が水素結合することによりコア粒子表面にシェル層を形成し易くなる。   Moreover, it is preferable that the surface of a core particle has an amino group or a carboxyl group. According to this, when the shell layer is formed, the hydrolyzed silanol group is hydrogen-bonded so that the shell layer is easily formed on the core particle surface.

また、コア粒子は、双イオン性の官能基を有することが好ましい。これによれば、対イオンの溶出を防止することが可能となる。   The core particles preferably have a zwitterionic functional group. According to this, it becomes possible to prevent elution of a counter ion.

本発明はまた、上記絶縁被覆用粒子と、絶縁被覆用粒子によって表面の少なくとも一部が被覆された基材粒子とを備える絶縁被覆導電粒子を提供する。本発明は更に、絶縁性のバインダー樹脂と、絶縁性のバインダー樹脂中に分散した上記絶縁被覆導電粒子とを備える異方導電材料を提供する。このような絶縁被覆導電粒子又は異方導電材料によれば、対向配置された回路部材の電極同士を高い信頼性で導電接続できるとともに、絶縁性を確保すべき隣接する電極間の導電を充分に防止できる。   The present invention also provides insulating coated conductive particles comprising the above insulating coating particles and substrate particles having at least a part of the surface coated with the insulating coating particles. The present invention further provides an anisotropic conductive material comprising an insulating binder resin and the insulating coated conductive particles dispersed in the insulating binder resin. According to such insulating coated conductive particles or anisotropic conductive material, the electrodes of the circuit members arranged opposite to each other can be conductively connected with high reliability, and sufficient conduction between adjacent electrodes that should ensure insulation is achieved. Can be prevented.

本発明はまた、対向配置された一対の回路部材と、上記異方導電材料の硬化物からなり、一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように当該回路部材同士を接着する接続部と、を備える接続構造体を提供する。この接続構造体は、接続部が本発明の異方導電材料の硬化物からなるため、回路部材の電極同士を高い信頼性で導電接続できるとともに、絶縁性を確保すべき隣接する電極間の導電を充分に防止できる。   The present invention also includes a pair of circuit members arranged opposite to each other and a cured product of the anisotropic conductive material, and the circuit electrodes interposed between the pair of circuit members are electrically connected to each other. A connection structure including a connection portion that bonds the circuit members together is provided. In this connection structure, since the connection part is made of the cured material of the anisotropic conductive material of the present invention, the electrodes of the circuit members can be conductively connected to each other with high reliability and the conductivity between adjacent electrodes that should ensure insulation. Can be sufficiently prevented.

本発明によれば、対向配置された回路部材の電極同士を高い信頼性で導電接続できるとともに、絶縁性を確保すべき隣接する電極間の導電を確実に防止できる異方導電材料を得るのに有用な絶縁被覆用粒子及びこれを備える絶縁被覆導電粒子を提供することができる。また、本発明は、上記絶縁被覆導電粒子を含む異方導電材料及びこれを用いて回路部材同士が接続された接続構造体を提供することができる。すなわち、本発明によれば、基板間の導通抵抗、絶縁信頼性及び接続信頼性が良好となる導電接続を行うことができるとともに、隣接する粒子間でのリークを防止することができる。   According to the present invention, it is possible to obtain an anisotropic conductive material that can electrically connect electrodes of circuit members arranged opposite to each other with high reliability and can reliably prevent conduction between adjacent electrodes that should ensure insulation. Useful insulating coating particles and insulating coating conductive particles including the same can be provided. In addition, the present invention can provide an anisotropic conductive material including the insulating coated conductive particles and a connection structure in which circuit members are connected using the anisotropic conductive material. That is, according to the present invention, it is possible to perform conductive connection with good conduction resistance between substrates, insulation reliability and connection reliability, and to prevent leakage between adjacent particles.

絶縁被覆導電粒子の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of insulation coating electrically-conductive particle. 異方導電材料の一実施形態を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically one Embodiment of an anisotropic electrically-conductive material. 回路電極同士が接続された接続構造体の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the connection structure in which circuit electrodes were connected. 接続構造体の製造方法の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the manufacturing method of a connection structure.

本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。図1に示されるように、本実施形態の絶縁被覆用粒子1は、基材粒子2の表面を被覆して絶縁被覆導電粒子10を構成するものである。以下、それぞれの構成について説明する。   Preferred embodiments of the present invention will be described in detail. As shown in FIG. 1, the insulating coating particles 1 of the present embodiment constitute the insulating coated conductive particles 10 by coating the surfaces of the base particles 2. Hereinafter, each configuration will be described.

<絶縁被覆用粒子>
[コアシェル構造]
図1に示されるように、絶縁被覆用粒子1は、コア粒子1aと、コア粒子1aの表面に形成されたシェル層1bとから構成されたコアシェル構造を備える。コア粒子1a及びシェル層1bの材料としては、コア粒子1aは有機高分子を含み、シェル層1bはシリコーン系化合物を含む。上記コア粒子1a及びシェル層1bを構成する材料の種類を適宜選択することで絶縁被覆用粒子1の熱的特性を調整することができるため、粒子が変形し易くなり、基板間の圧着を行う際に導通性が良好となる。また、上記コア粒子1a及びシェル層1bの材料は、必要に応じて、熱特性、光学特性、力学特性等に基づいて異なる組み合わせを適宜選択することができる。
<Insulation coating particles>
[Core shell structure]
As shown in FIG. 1, the insulating coating particle 1 has a core-shell structure composed of a core particle 1a and a shell layer 1b formed on the surface of the core particle 1a. As materials for the core particle 1a and the shell layer 1b, the core particle 1a includes an organic polymer, and the shell layer 1b includes a silicone compound. Since the thermal characteristics of the insulating coating particles 1 can be adjusted by appropriately selecting the types of materials constituting the core particles 1a and the shell layer 1b, the particles are easily deformed, and pressure bonding between the substrates is performed. In this case, the conductivity is good. In addition, the materials of the core particle 1a and the shell layer 1b can be appropriately selected from different combinations based on thermal characteristics, optical characteristics, mechanical characteristics, and the like as necessary.

[コア粒子]
コア粒子は有機高分子からなる絶縁性粒子である。有機高分子としては絶縁性を有するものであれば特に限定されず、例えば、後述する基材粒子に用いられる樹脂を用いることもできる。
[Core particles]
The core particle is an insulating particle made of an organic polymer. The organic polymer is not particularly limited as long as it has insulating properties. For example, a resin used for base material particles described later can also be used.

コア粒子の製造において使用可能な重合性モノマとしては、下記のような非架橋性モノマ及び架橋性モノマが挙げられる。   Examples of the polymerizable monomer that can be used in the production of the core particles include the following non-crosslinkable monomers and crosslinkable monomers.

非架橋性モノマとして具体的には、i)スチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、α−メチルスチレン、o−エチルスチレン、m−エチルスチレン、p−エチルスチレン、2,4−ジメチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p−t−ブチルスチレン、p−n−ヘキシルスチレン、p−n−オクチルスチレン、p−n−ノニルスチレン、p−n−デシルスチレン、p−n−ドデシルスチレン、p−メトキシスチレン、p−フェニルスチレン、p−クロロスチレン、3,4−ジクロロスチレン等のスチレン類、(ii)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸n−オクチル、アクリル酸ドデシル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸2−クロロエチル、アクリル酸フェニル、α−クロロアクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸n−オクチル、メタクリル酸ドデシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸ステアリル等の(メタ)アクリル酸エステル類、(iii)酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、安息香酸ビニル、酪酸ビニル等のビニルエステル類、(iv)N−ビニルピロール、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルインドール、N−ビニルピロリドン等のN−ビニル化合物、(v)フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、アクリル酸トリフルオロエチル、アクリル酸テトラフルオロプロピル等のフッ化アルキル基含有(メタ)アクリル酸エステル類、及び、(vi)ブタジエン、イソプレン等の共役ジエン類が挙げられる。   Specific examples of non-crosslinkable monomers include i) styrene, o-methyl styrene, m-methyl styrene, p-methyl styrene, α-methyl styrene, o-ethyl styrene, m-ethyl styrene, p-ethyl styrene, 2 , 4-dimethylstyrene, pn-butylstyrene, pt-butylstyrene, pn-hexylstyrene, pn-octylstyrene, pn-nonylstyrene, pn-decylstyrene, p- Styrenes such as n-dodecylstyrene, p-methoxystyrene, p-phenylstyrene, p-chlorostyrene, 3,4-dichlorostyrene, (ii) methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, n-acrylate Butyl, isobutyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-octyl acrylate , Dodecyl acrylate, lauryl acrylate, stearyl acrylate, 2-chloroethyl acrylate, phenyl acrylate, methyl α-chloroacrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, methacryl (Meth) acrylic acid esters such as isobutyl acid, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, n-octyl methacrylate, dodecyl methacrylate, lauryl methacrylate, stearyl methacrylate, (iii) vinyl acetate, vinyl propionate, Vinyl esters such as vinyl benzoate and vinyl butyrate, (iv) N-vinyl compounds such as N-vinyl pyrrole, N-vinyl carbazole, N-vinyl indole, N-vinyl pyrrolidone, (v) vinyl fluoride, fluorinated Bi Fluorinated alkyl group-containing (meth) acrylates such as redene, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, trifluoroethyl acrylate, tetrafluoropropyl acrylate, and (vi) conjugated dienes such as butadiene and isoprene Can be mentioned.

架橋性モノマの具体例として、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジビニルナフタレン等のジビニル化合物;(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート等の(ポリ)アルキレングリコール系ジ(メタ)アクリレート;1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,12−ドデカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ブチルエチルプロパンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,7−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−メチル−1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート等のアルカンジオール系ジ(メタ)アクリレート;ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルエタンジ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルエタントリ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルプロパントリアクリレート、ジアリルフタレート及びその異性体、並びにトリアリルイソシアヌレート及びその誘導体が挙げられる。   Specific examples of crosslinkable monomers include divinyl compounds such as divinylbenzene, divinylbiphenyl, divinylnaphthalene; (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, (poly) tetramethylene glycol di (Poly) alkylene glycol-based di (meth) acrylates such as (meth) acrylate; 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,8-octanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di ( (Meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, 1,12-dodecanediol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2,4-diethyl- 1,5-pentanediol di (me ) Alkanediol di-types such as acrylate, butylethylpropanediol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,7-octanediol di (meth) acrylate, 2-methyl-1,8-octanediol di (meth) acrylate (Meth) acrylate; neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxy Cyclohexanedimethanol di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate, propoxylated ethoxylated bisphenol Di- (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethylethane di (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethylethanetri (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethyl Examples include propane triacrylate, diallyl phthalate and isomers thereof, and triallyl isocyanurate and derivatives thereof.

さらにシリル基を有するモノマも架橋性モノマとして用いることができ、具体的にはγ―メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ―アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ―メタクリロキシプロピルビス(トリメトキシ)メチルシラン、11―メタクリロキシウンデカメチレントリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、4―ビニルテトラメチレントリメトキシシラン、8―ビニルオクタメチレントリメトキシシラン、3―トリメトキシシリルプロピルビニルエーテル、ビニルトリアセトキシシラン、p―トリメトキシシリルスチレン、p―トリエトキシシリルスチレン、p―トリメトキシシリル−α―メチルスチレン、p―トリエトキシシリル−α―メチルスチレン、γ―アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン及びN−β(N−ビニルベンジルアミノエチル−γ―アミノプロピル)トリメトキシシラン・塩酸塩が挙げられる。   Monomers having a silyl group can also be used as crosslinkable monomers, specifically, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacrylate. Roxypropylmethyldiethoxysilane, γ-acryloxypropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropylbis (trimethoxy) methylsilane, 11-methacryloxyundecamethylenetrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 4-vinyltetramethylenetrimethoxy Silane, 8-vinyloctamethylenetrimethoxysilane, 3-trimethoxysilylpropyl vinyl ether, vinyltriacetoxysilane, p-trimethoxysilylstyrene, p-triethoxysilane Styrene, p-trimethoxysilyl-α-methylstyrene, p-triethoxysilyl-α-methylstyrene, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane and N-β (N-vinylbenzylaminoethyl-γ -Aminopropyl) trimethoxysilane hydrochloride.

上記モノマは、1種又は2種以上混合使用されてもよい。   The said monomer may be used 1 type or in mixture of 2 or more types.

コア粒子の製造方法は、従来公知の方法を用いることができ特に限定されないが、例えば、乳化重合法、転相乳化重合、ソープフリー乳化重合法、マイクロサスペンジョン重合法、ミニエマルション重合法、分散重合法等の公知の方法を使用することができる。中でも、粒径の制御が容易であり工業生産にも適する点から、乳化重合法又はソープフリー乳化重合法により製造することが好ましい。また、上記コア粒子は市販されているものを用いることもできる。   The method for producing the core particles can be a conventionally known method and is not particularly limited. For example, the emulsion polymerization method, phase inversion emulsion polymerization, soap-free emulsion polymerization method, microsuspension polymerization method, miniemulsion polymerization method, dispersion weight Known methods such as legal methods can be used. Especially, it is preferable to manufacture by an emulsion polymerization method or a soap-free emulsion polymerization method from the point which control of a particle size is easy and it is suitable also for industrial production. Moreover, the said core particle can also use what is marketed.

コア粒子の製造において、反応溶液中における重合性モノマの含有量は、全反応溶液中1〜50質量%とすることが好ましく、より好ましくは2〜30質量%、さらに好ましくは3〜20質量%、最も好ましくは3〜15質量%である。架橋球状ポリマ微粒子を製造する場合は、従来法のように、反応系中のモノマ量を多くしても粒子の凝集物が極端に増大することはないが、原料モノマの含有量が、50質量%以下であると、粒子を単分散化した状態で高収率で得ることが容易になる。一方、原料モノマの含有量が1質量%以上であると、反応が完結するまでに長時間を要せず、また工業的観点から、実用的である。   In the production of the core particles, the content of the polymerizable monomer in the reaction solution is preferably 1 to 50% by mass, more preferably 2 to 30% by mass, and further preferably 3 to 20% by mass in the total reaction solution. Most preferably, it is 3 to 15% by mass. In the case of producing crosslinked spherical polymer fine particles, the amount of monomer aggregates in the reaction system does not increase drastically as in the conventional method, but the content of the raw material monomer is 50 mass. % Or less, it becomes easy to obtain the particles in a high yield in a monodispersed state. On the other hand, when the content of the raw material monomer is 1% by mass or more, it does not take a long time until the reaction is completed, and it is practical from an industrial viewpoint.

重合時の反応温度は、使用する溶媒の種類によっても変わるものであり、一概には規定できないが、通常、10〜200℃程度であり、好ましくは30〜130℃、より好ましくは40〜90℃である。また、反応時間は、目的とする反応がほぼ完結するのに要する時間であれば特に限定されるものではなく、モノマ種及びその配合量、官能基の種類、溶液の粘度及び濃度、目的の粒径等に大きく左右される。例えば、反応温度が40〜90℃の場合の反応時間は、1〜72時間が好ましく、2〜24時間がより好ましい。   The reaction temperature at the time of polymerization varies depending on the type of solvent to be used and cannot be generally defined, but is usually about 10 to 200 ° C, preferably 30 to 130 ° C, more preferably 40 to 90 ° C. It is. The reaction time is not particularly limited as long as it is a time required for the target reaction to be almost completed. The monomer species and the amount of the monomer species, the type of functional group, the viscosity and concentration of the solution, the target particle It depends greatly on the diameter. For example, the reaction time when the reaction temperature is 40 to 90 ° C. is preferably 1 to 72 hours, and more preferably 2 to 24 hours.

コア粒子は表面にカルボキシル基、アミノ基、又は両者を有することによって、その周囲にシェル層を形成し易くなる。これは、静電相互作用及び水素結合によりコア粒子に加水分解されたシリコーン化合物が吸着し易くなるためである。この点において、双イオン性の官能基を有することが特に好ましい。コア粒子に対してこれらの官能基を導入するには、カルボキシル基又はアミノ基を含有するモノマ又は開始剤を使用することが好ましい。また、粒子の分散性を改善するためにはスルホン酸基を含有する官能基を導入することが好ましい。   Since the core particle has a carboxyl group, an amino group, or both on the surface, it becomes easy to form a shell layer around the core particle. This is because the silicone compound hydrolyzed to the core particles by electrostatic interaction and hydrogen bonding is easily adsorbed. In this respect, it is particularly preferable to have a zwitterionic functional group. In order to introduce these functional groups into the core particle, it is preferable to use a monomer or initiator containing a carboxyl group or an amino group. In order to improve the dispersibility of the particles, it is preferable to introduce a functional group containing a sulfonic acid group.

上記カルボキシル基を有するモノマとして、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等の不飽和カルボン酸、イタコン酸モノブチル等のイタコン酸モノC1〜8アルキルエステル;マレイン酸モノブチル等のマレイン酸モノC1〜8アルキルエステル、ビニル安息香酸等のビニル基含有芳香族カルボン酸等の各種カルボキシル基含有単量体及びこれらの塩が挙げられる。なお、これらの化合物は、1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができ、中和によりNa等の対イオンを有していてもよい。   Specific examples of the monomer having a carboxyl group include unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid, and itaconic acid monoC1 such as monobutyl itaconic acid. -8 alkyl esters; maleic acid mono-C1-8 alkyl esters such as monobutyl maleate; various carboxyl group-containing monomers such as vinyl group-containing aromatic carboxylic acids such as vinyl benzoic acid; and salts thereof. In addition, these compounds can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types, and may have counter ions, such as Na, by neutralization.

上記アミノ基を有するモノマとして、具体的には、アクリル酸アミノエチル、アクリル酸−N−プロピルアミノエチル、(メタ)アクリル酸−N−エチルアミノプロピル、(メタ)アクリル酸−N−フェニルアミノエチル、(メタ)アクリル酸−N−シクロヘキシルアミノエチル等のアミノ基含有(メタ)アクリル酸アルキルエステル誘導体、アリルアミン、N−メチルアリルアミン等のアリルアミン系誘導体、p−アミノスチレン等のアミノ基含有スチレン誘導体、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン等のトリアジン誘導体、メタクリル酸ジメチルアミノエチルの1,3−プロパンスルトン付加物等が挙げられる。これらの中でも1級又は2級アミノ基を有する化合物が好ましい。なお、これらの化合物は、1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Specific examples of the monomer having an amino group include aminoethyl acrylate, acrylic acid-N-propylaminoethyl, (meth) acrylic acid-N-ethylaminopropyl, and (meth) acrylic acid-N-phenylaminoethyl. Amino group-containing (meth) acrylic acid alkyl ester derivatives such as (meth) acrylic acid-N-cyclohexylaminoethyl, allylamine derivatives such as allylamine and N-methylallylamine, amino group-containing styrene derivatives such as p-aminostyrene, Examples include triazine derivatives such as 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine, 1,3-propane sultone adducts of dimethylaminoethyl methacrylate, and the like. Of these, compounds having a primary or secondary amino group are preferred. In addition, these compounds can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、4級アンモニウム塩を使用することもでる。第4級アンモニウム(塩)基を有するモノマとして、具体的には、C1〜12アルキルクロライド、ジアルキル硫酸、ジアルキルカーボネート、ベンジルクロライド等の4級化剤により、3級アミンを4級化したものが挙げられる。具体例としては、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルトリメチルアンモニウムクロライド、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルトリメチルアンモニウムブロマイド、(メタ)アクリロイルオキシエチルトリエチルアンモニウムクロライド、(メタ)アクリロイルオキシエチルジメチルベンジルアンモニウムクロライド、(メタ)アクリロイルオキシエチルメチルモルホリノアンモニウムクロライド等のアルキル(メタ)アクリレート系第4級アンモニウム塩、(メタ)アクリロイルアミノエチルトリメチルアンモニウムクロライド、(メタ)アクリロイルアミノエチルトリメチルアンモニウムブロマイド、(メタ)アクリロイルアミノエチルトリエチルアンモニウムクロライド、(メタ)アクリロイルアミノエチルジメチルベンジルアンモニウムクロライド等のアルキル(メタ)アクリルアミド系第4級アンモニウム塩、ジメチルジアリルアンモニウムメチルサルフェート、トリメチルビニルフェニルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウム(メタ)アクリレート、トリメチルベンジルアンモニウム(メタ)アクリレート、2−(メタクリロイルオキシ)エチルトリメチルアンモニウムジメチルホスフェート等が挙げられる。   It is also possible to use quaternary ammonium salts. Specific examples of monomers having a quaternary ammonium (salt) group include those obtained by quaternizing a tertiary amine with a quaternizing agent such as C1-12 alkyl chloride, dialkyl sulfuric acid, dialkyl carbonate, benzyl chloride. Can be mentioned. Specific examples include 2- (meth) acryloyloxyethyltrimethylammonium chloride, 2- (meth) acryloyloxyethyltrimethylammonium bromide, (meth) acryloyloxyethyltriethylammonium chloride, (meth) acryloyloxyethyldimethylbenzylammonium chloride, Alkyl (meth) acrylate quaternary ammonium salts such as (meth) acryloyloxyethylmethylmorpholino ammonium chloride, (meth) acryloylaminoethyltrimethylammonium chloride, (meth) acryloylaminoethyltrimethylammonium bromide, (meth) acryloylaminoethyl Triethylammonium chloride, (meth) acryloylaminoethyldimethylbenzyl Alkyl (meth) acrylamide quaternary ammonium salts such as ammonium chloride, dimethyldiallylammonium methylsulfate, trimethylvinylphenylammonium chloride, tetrabutylammonium (meth) acrylate, trimethylbenzylammonium (meth) acrylate, 2- (methacryloyloxy) Examples include ethyl trimethyl ammonium dimethyl phosphate.

また、双イオン性モノマとして、スルホベタイン又はカルボベタイン基を有するアクリレートを使用することができ、具体的にはスルホベタインメタ(ア)クリレート、スルホベタインアクリルアミド、スルホベタインビニル化合物、スルホベタインエポキシド、カルボキシベタインアクリレート、カルボキシベタインアクリルアミド、カルボキシベタインビニル化合物、カルボキシベタインエポキシド等が挙げられる。   Further, as zwitterionic monomers, acrylates having a sulfobetaine or carbobetaine group can be used. Specifically, sulfobetaine methacrylate (a) acrylate, sulfobetaine acrylamide, sulfobetaine vinyl compound, sulfobetaine epoxide, carboxy Examples include betaine acrylate, carboxybetaine acrylamide, carboxybetaine vinyl compound, and carboxybetaine epoxide.

スルホン酸基を含有する官能基を導入するためのスルホン酸基含有モノマを使用することができる。例えば、エチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸等のアルケンスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸等の芳香族スルホン酸、C1〜10アルキル(メタ)アリルスルホコハク酸エステル、スルホプロピル(メタ)アクリレート等のスルホC2〜6アルキル(メタ)アクリレート、メチルビニルスルホネート,2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロピルスルホン酸、2−(メタ)アクリロイルアミノ−2,2−ジメチルエタンスルホン酸、3−(メタ)アクリロイルオキシエタンスルホン酸、3−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロパンスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、3−(メタ)アクリルアミド−2−ヒドロキシプロパンスルホン酸等のスルホン酸基含有不飽和エステル及びこれらの塩が挙げられる。   A sulfonic acid group-containing monomer for introducing a functional group containing a sulfonic acid group can be used. For example, ethylene sulfonic acid, vinyl sulfonic acid, alkene sulfonic acid such as (meth) allyl sulfonic acid, aromatic sulfonic acid such as styrene sulfonic acid and α-methyl styrene sulfonic acid, C1-10 alkyl (meth) allyl sulfo succinic acid ester , Sulfo C2-6 alkyl (meth) acrylate such as sulfopropyl (meth) acrylate, methyl vinyl sulfonate, 2-hydroxy-3- (meth) acryloxypropyl sulfonic acid, 2- (meth) acryloylamino-2,2- Dimethylethanesulfonic acid, 3- (meth) acryloyloxyethanesulfonic acid, 3- (meth) acryloyloxy-2-hydroxypropanesulfonic acid, 2- (meth) acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, 3- (meth) Acrylamide-2-hydroxy Sulfonic acid group-containing unsaturated esters and salts thereof such as sulfonic acid.

これらのモノマは、1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのモノマは単分散性を向上する上でも、0.1mol%〜5mol%で使用することが好ましく、0.1mol%〜2.5mol%で使用することがより好ましく、0.1〜1モル%で使用することが更に好ましい。   These monomers can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. These monomers are preferably used in an amount of 0.1 mol% to 5 mol%, more preferably 0.1 mol% to 2.5 mol%, and more preferably 0.1 to 1 mol in order to improve monodispersibility. More preferably, it is used in%.

このほか、以下のような開始剤も使用することができる。例えば、2’−アゾビス{2−[N−(2−カルボキシエチル)アミジノプロパン、2,2’−アゾビス[2−(フェニルアミジノ)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−545、和光純薬製)、2,2’−アゾビス{2−[N−(4−クロロフェニル)アミジノ]プロパン}ジヒドロクロリド(VA−546、和光純薬製)、2,2’−アゾビス{2−[N−(4−ヒドロキシフェニル)アミジノ]プロパン}ジヒドロクロリド(VA−548、和光純薬製)、2,2’−アゾビス[2−(N−ベンジルアミジノ)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−552、和光純薬製)、2,2’−アゾビス[2−(N−アリルアミジノ)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−553、和光純薬製)、2,2’−アゾビス(2−アミジノプロパン)ジヒドロクロリド(V−50、和光純薬製)、2,2’−アゾビス{2−[N−(4−ヒドロキシエチル)アミジノ]プロパン}ジヒドロクロリド(VA−558、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(5−メチル−2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−041、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−044、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(4,5,6,7−テトラヒドロ−1H−1,3−ジアゼピン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−054、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(3,4,5,6−テトラヒドロピリミジン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−058、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(5−ヒドロキシ−3,4,5,6−テトラヒドロピリミジン−2−イル)プロパン]ジヒドロクロリド(VA−059、和光純薬製)、2,2−アゾビス{2−[1−(2−ヒドロキシエチル)−2−イミダゾリン−2−イル]プロパン}ジヒドロクロリド(VA−060、和光純薬製)、2,2−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン](VA−061、和光純薬製)、2,2’−アゾビス[N−(2−カルボキシエチル)−2−メチルプロピオンアミジン](VA−057、和光純薬製)、ペルオキソ二硫酸カリウム(和光純薬製)及びペルオキソ二硫酸アンモニウム(和光純薬製)が挙げられる。これらは1種単独で、又は2種類以上組み合わせて使用することができる。また、粒子活性水素基又は親水性官能基を有する重合性モノマを使用しない場合は、上記開始剤中で活性水素基又は親水性官能基を有する化合物を使用することが粒子の分散性を向上する上で好ましい。ラジカル重合開始剤を用いる場合、その配合量は、通常、重合性モノマに対して、0.01〜1mol%である。コア粒子を従来のラジカル重合法で作製することにより、最終的に得られる絶縁被覆用粒子の単分散性を向上させることができる。高分子分散剤又は界面活性剤をコア粒子に吸着させることによりアミノ基又はカルボキシル基を付与してもよい。   In addition, the following initiators can also be used. For example, 2′-azobis {2- [N- (2-carboxyethyl) amidinopropane, 2,2′-azobis [2- (phenylamidino) propane] dihydrochloride (VA-545, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2 , 2′-azobis {2- [N- (4-chlorophenyl) amidino] propane} dihydrochloride (VA-546, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2′-azobis {2- [N- (4-hydroxyphenyl) ) Amidino] propane} dihydrochloride (VA-548, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2′-azobis [2- (N-benzylamidino) propane] dihydrochloride (VA-552, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2, 2'-azobis [2- (N-allylamidino) propane] dihydrochloride (VA-553, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2'-azobis (2-amidinopropane) di Drochloride (V-50, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2′-azobis {2- [N- (4-hydroxyethyl) amidino] propane} dihydrochloride (VA-558, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2 -Azobis [2- (5-methyl-2-imidazolin-2-yl) propane] dihydrochloride (VA-041, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) Propane] dihydrochloride (VA-044, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2-azobis [2- (4,5,6,7-tetrahydro-1H-1,3-diazepin-2-yl) propane] dihydrochloride (VA-054, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2-azobis [2- (3,4,5,6-tetrahydropyrimidin-2-yl) propane] dihydrochloride (VA-058, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2 2-azobis [2- (5-hydroxy-3,4,5,6-tetrahydropyrimidin-2-yl) propane] dihydrochloride (VA-059, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2-azobis {2- [ 1- (2-hydroxyethyl) -2-imidazolin-2-yl] propane} dihydrochloride (VA-060, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2-azobis [2- (2-imidazolin-2-yl) propane ] (VA-061, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), 2,2′-azobis [N- (2-carboxyethyl) -2-methylpropionamidine] (VA-057, manufactured by Wako Pure Chemical Industries), potassium peroxodisulfate ( Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) and ammonium peroxodisulfate (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.). These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Further, when a polymerizable monomer having a particle active hydrogen group or a hydrophilic functional group is not used, it is possible to improve the dispersibility of the particles by using a compound having an active hydrogen group or a hydrophilic functional group in the initiator. Preferred above. When using a radical polymerization initiator, the compounding quantity is 0.01-1 mol% normally with respect to a polymerizable monomer. By producing the core particles by a conventional radical polymerization method, the monodispersity of the finally obtained insulating coating particles can be improved. An amino group or a carboxyl group may be imparted by adsorbing a polymer dispersant or a surfactant to the core particles.

コア粒子の分散性を向上するために乳化剤を併用することができる。本実施形態では、アニオン系乳化剤又はノニオン系乳化剤が好適に使用される。アニオン系乳化剤の具体例としては、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ラウリルスルホン酸ナトリウム、オレイン酸カリウム等が挙げられるが、特にドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムが好適に用いられる。ノニオン系乳化剤の具体例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル等が挙げられる。   An emulsifier can be used in combination to improve the dispersibility of the core particles. In the present embodiment, an anionic emulsifier or a nonionic emulsifier is preferably used. Specific examples of the anionic emulsifier include sodium alkylbenzene sulfonate, sodium lauryl sulfonate, potassium oleate and the like, and sodium dodecylbenzene sulfonate is particularly preferably used. Specific examples of the nonionic emulsifier include polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, and the like.

コア粒子のガラス転移温度(Tg)は、用いる重合性モノマを選択することにより、また、Tgの異なる2種以上の重合性モノマを共重合させることにより任意に調整可能である。例えば、Tg又は軟化点温度が単独で60℃以下となる重合性モノマとしては、イソブチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート等が挙げられる。また、Tgが60℃以上のスチレン、メタクリル酸メチル等と、Tgが60℃未満のブチルアクリレート、ドデシルメタクリレート等とを適当な比率で共重合させることによりTgを60℃以下にすることができる。また、Tgが80℃以上の樹脂としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、メチルメタクリレート、t−ブチルメタクリレート等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。また、コア粒子の溶剤への溶出を防止するために、非架橋性モノマに対する架橋性モノマの量は5mol%未満であることが好ましい。   The glass transition temperature (Tg) of the core particles can be arbitrarily adjusted by selecting a polymerizable monomer to be used or by copolymerizing two or more polymerizable monomers having different Tg. For example, isobutyl methacrylate, glycidyl methacrylate, etc. are mentioned as a polymerizable monomer which Tg or softening point temperature becomes 60 degrees C or less independently. Moreover, Tg can be 60 degrees C or less by copolymerizing styrene, methyl methacrylate, etc. whose Tg is 60 degreeC or more, and butyl acrylate, dodecyl methacrylate, etc. whose Tg is less than 60 degreeC. Examples of the resin having a Tg of 80 ° C. or higher include styrene, α-methylstyrene, methyl methacrylate, t-butyl methacrylate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. In order to prevent elution of the core particles into the solvent, the amount of the crosslinkable monomer relative to the non-crosslinkable monomer is preferably less than 5 mol%.

[シェル層]
シェル層はシリコーン系化合物からなり、SiO4/2単位、RSiO3/2単位及びRSiO2/2単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の単位を有する。複数のRは各々同じであっても異なっていてもよい。
[Shell layer]
The shell layer is made of a silicone compound and has at least one unit selected from the group consisting of SiO 4/2 units, RSiO 3/2 units, and R 2 SiO 2/2 units. A plurality of R may be the same or different.

SiO4/2単位、RSiO3/2単位及びRSiO2/2単位は、下記式で表すことができる。

Figure 2013069678
The SiO 4/2 unit, RSiO 3/2 unit and R 2 SiO 2/2 unit can be represented by the following formulae.
Figure 2013069678

シリコーン系化合物中のSiO4/2単位の原料としては、例えば、四塩化ケイ素、テトラアルコキシシラン、水ガラス及び金属ケイ酸塩からなる群より選択される1種又は2種以上が挙げられる。テトラアルコキシシランの具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、及びそれらの縮合物が挙げられる。これらは1種又は2種以上を組み合わせて適宜使用できる。 Examples of the raw material of the SiO 4/2 unit in the silicone compound include one or more selected from the group consisting of silicon tetrachloride, tetraalkoxysilane, water glass, and metal silicate. Specific examples of the tetraalkoxysilane include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, and condensates thereof. These can be used as appropriate by combining one kind or two or more kinds.

シリコーン系化合物中のRSiO3/2単位中のRは、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数6〜24の芳香族基、ビニル基、及び、γ−(メタ)アクリロキシプロピル基からなる群より選ばれる少なくとも1種である。基材によっては、Rに少量のビニル基、γ−(メタ)アクリロキシプロピル基又はSH基を有する有機基と、多量のアルキル基又は芳香族基とを選択する場合もありうる。RSiO3/2単位の原料としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリプロポキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリプロポキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができ、これらは1種又は2種以上を組み合わせて適宜使用できる。 R in the RSiO 3/2 unit in the silicone compound is composed of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 24 carbon atoms, a vinyl group, and a γ- (meth) acryloxypropyl group. It is at least one selected from the group. Depending on the substrate, an organic group having a small amount of vinyl group, γ- (meth) acryloxypropyl group or SH group for R, and a large amount of alkyl group or aromatic group may be selected. Examples of raw materials for RSiO 3/2 units include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, ethyltripropoxysilane, phenyltrimethoxysilane, and phenyltriethoxy. Examples include silane, phenyltripropoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane, and the like. One or a combination of two or more can be used as appropriate.

シリコーン系化合物中のRSiO2/2単位(Rは、RSiO3/2単位中のRと同様の群から選択されうる)の原料としては、例えば、ジメチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、エチルフェニルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、エチルフェニルジエトキシシラン等、ヘキサメチルシクロトリシロキサン(D3)、オクタメチルシクロテトラシロキサン(D4)、デカメチルシクロペンタシロキサン(D5)、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン(D6)、トリメチルトリフェニルシクロトリシロキサン等の環状化合物のほかに、直鎖状あるいは分岐状のオルガノシロキサン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルメチルジメトキシシラン等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を組み合わせて適宜使用できる。 Examples of raw materials for R 2 SiO 2/2 units (R may be selected from the same group as R in RSiO 3/2 units) in the silicone compound include, for example, dimethyldimethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, methylphenyl Dimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, methylphenyldiethoxysilane, diethyldimethoxysilane, ethylphenyldimethoxysilane, diethyldiethoxysilane, ethylphenyldiethoxysilane, hexamethylcyclotrisiloxane (D3), octa In addition to cyclic compounds such as methylcyclotetrasiloxane (D4), decamethylcyclopentasiloxane (D5), dodecamethylcyclohexasiloxane (D6), trimethyltriphenylcyclotrisiloxane, etc. Or branched organosiloxane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, vinylmethyldimethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropylmethyldimethoxysilane, and the like. These can be used as appropriate by combining one kind or two or more kinds.

本実施形態において、粒子に柔軟性を持たせたい場合等にRSiO2/2単位を少量混入することができる。絶縁被覆用粒子におけるシリコーン系化合物中のRSiO2/2単位の割合は、シリコーン系化合物の総量を基準として50モル%以下であることが好ましく、10モル%以下であることがより好ましい。RSiO2/2単位の割合が50モル%以下であると最終粒子が柔軟になり過ぎず、形状保持性が向上する。なお、シリコーン系化合物中のRSiO2/2単位の割合の下限値は0モル%である。 In the present embodiment, a small amount of R 2 SiO 2/2 units can be mixed when the particles are desired to have flexibility. The ratio of R 2 SiO 2/2 units in the silicone compound in the insulating coating particles is preferably 50 mol% or less, more preferably 10 mol% or less, based on the total amount of the silicone compound. When the ratio of R 2 SiO 2/2 units is 50 mol% or less, the final particles are not too flexible, and shape retention is improved. The lower limit of the ratio of R 2 SiO 2/2 units in the silicone compound is 0 mol%.

シリコーン系化合物としては、本実施形態の効果を損なわない範囲でRSiO1/2単位を少量使用することができる。シリコーン系化合物中のRSiO1/2単位の割合は50モル%以下であることが好ましく、1モル%以下であることがより好ましい。RSiO1/2単位の割合が5モル%以下であると最終のシリコーン系微粒子の耐熱性がより優れる。なお、シリコーン系化合物中のRSiO1/2単位の割合の下限値は0モル%である。 As the silicone compound, a small amount of R 3 SiO 1/2 unit can be used as long as the effects of the present embodiment are not impaired. The ratio of R 3 SiO 1/2 units in the silicone compound is preferably 50 mol% or less, and more preferably 1 mol% or less. When the ratio of R 3 SiO 1/2 units is 5 mol% or less, the heat resistance of the final silicone fine particles is more excellent. The lower limit of the proportion of R 3 SiO 1/2 units of silicone compound is 0 mol%.

[絶縁被覆用粒子の製造方法]
絶縁被覆用粒子は、例えば、シェル層がシリコーンの場合、コア粒子とシェル形成触媒を含む溶媒に対し、SiO4/2単位の原料、RSiO3/2単位の原料、及びRSiO2/2単位の原料と、水との混合物をラインミキサー又はホモジナイザーで乳化した乳化液を一括あるいは連続的に追加することにより、シリコーンで被覆された絶縁被覆用粒子を得ることができる。時間的には長くなるがラテックス状粒子の安定性及び粒子径分布を重視する場合は、連続追加を採用することが好ましい。乳化液を追加する前に酸触媒を添加して、直ちに加水分解と縮合反応とが進む条件で連続追加を行うと、絶縁被覆用粒子は時間とともに大きく成長し、通常のシード重合のように、狭い粒子径分布を示すものを得ることができる。また、30分ないし1時間の比較的短い時間の連続追加を行うと、比較的良い生産性と狭い粒子径分布を両立することもできる。
[Method for producing insulating coating particles]
For example, when the shell layer is made of silicone, the insulating coating particles are made of a raw material of SiO 4/2 units, a raw material of RSiO 3/2 units, and R 2 SiO 2/2 with respect to a solvent containing core particles and a shell-forming catalyst. By adding an emulsion obtained by emulsifying a mixture of unit raw materials and water with a line mixer or a homogenizer at once or continuously, particles for insulating coating coated with silicone can be obtained. Although it becomes longer in time, it is preferable to employ continuous addition when importance is attached to the stability and particle size distribution of latex particles. If an acid catalyst is added before adding the emulsion and continuous addition is performed under conditions where hydrolysis and condensation proceed immediately, the insulating coating particles grow greatly over time, and as in normal seed polymerization, What shows a narrow particle size distribution can be obtained. In addition, when continuous addition is performed for a relatively short time of 30 minutes to 1 hour, both relatively good productivity and a narrow particle size distribution can be achieved.

シェル層がシリカである絶縁被覆用粒子は、例えば、コア粒子とシェル形成触媒とを含む溶媒に対し、SiO4/2単位の原料と水/アルコール又はアルコールの均一液とを一括あるいは連続的に追加することにより製造することができる。 Insulating coating particles having a shell layer of silica, for example, a raw material of SiO 4/2 units and water / alcohol or a uniform liquid of alcohol in a batch or continuously with respect to a solvent containing core particles and a shell-forming catalyst. It can be manufactured by adding.

また、本実施形態の絶縁被覆用粒子を後述のように異方導電材料として用いる場合は、上記絶縁被覆用粒子の粒径の好ましい下限は10nm、上限は1μmであり、より好ましい下限は30nm、上限は500nmである。粒径が5nm以上であると、隣接する被覆導電粒子間の距離が電子のホッピング距離より大きくなり、リークが起こり難くなり、1000nm以下であると、圧着する際に必要な圧力及び熱を低減できる。   When the insulating coating particles of the present embodiment are used as an anisotropic conductive material as described later, the preferred lower limit of the particle size of the insulating coating particles is 10 nm, the upper limit is 1 μm, and the more preferred lower limit is 30 nm. The upper limit is 500 nm. When the particle size is 5 nm or more, the distance between adjacent coated conductive particles becomes larger than the electron hopping distance, and leakage is less likely to occur. When the particle size is 1000 nm or less, the pressure and heat required for pressure bonding can be reduced. .

なお、大きな絶縁被覆用粒子により被覆された隙間に小さな粒子が入り込み、被覆密度を向上できるため、粒径の異なる2種以上の絶縁被覆用粒子を併用してもよい。この際、小さな絶縁被覆用粒子の粒径は大きな粒子の粒子径の1/2以下であることが好ましく、また、小さな粒子の数は大きな粒子の数の1/4以下であることが好ましい。   Note that two or more kinds of insulating coating particles having different particle diameters may be used in combination because small particles can enter the gap covered with the large insulating coating particles and improve the coating density. At this time, the particle size of the small insulating coating particles is preferably ½ or less of the particle size of the large particles, and the number of small particles is preferably ¼ or less of the number of large particles.

[結合性を有する官能基]
本実施形態の被覆導電粒子において、シェル層は、基材粒子に対する結合性を有する官能基を介して上記基材粒子の表面を部分的に被覆していることが好ましい。この場合、上記絶縁被覆用粒子は、上記基材粒子に化学結合されることとなり、ファンデルワールス力又は静電気力のみによる結合に比べて結合力が強く、絶縁被覆用粒子で被覆した導電粒子(絶縁被覆導電粒子)が異方導電材料に用いられる場合、バインダー樹脂等に混練する際に絶縁被覆用粒子が剥がれ落ちたり、隣接する絶縁被覆導電粒子との接触により絶縁被覆用粒子が剥がれ落ちてリークが起こったりするのを防ぐことができる。また、この化学結合は基材粒子と絶縁被覆用粒子との間にのみ形成され、絶縁被覆用粒子同士が結合することはないので、基材粒子は単層の絶縁被覆用粒子で被覆されることとなる。このことから、基材粒子及び絶縁被覆用粒子として粒径の揃ったものを用いれば、容易に絶縁被覆導電粒子の粒径を均一なものとすることができる。
[Functional group having bonding properties]
In the coated conductive particles of the present embodiment, it is preferable that the shell layer partially covers the surface of the base particle through a functional group having a binding property to the base particle. In this case, the insulating coating particles are chemically bonded to the substrate particles, and have a stronger binding force than bonds by van der Waals force or electrostatic force alone, and conductive particles coated with insulating coating particles ( When insulating coating conductive particles) are used for anisotropic conductive materials, the insulating coating particles peel off when kneaded into a binder resin or the like, or the insulating coating particles peel off due to contact with adjacent insulating coating conductive particles. Leakage can be prevented. Further, since this chemical bond is formed only between the base material particles and the insulating coating particles and the insulating coating particles do not bind to each other, the base material particles are coated with a single layer of insulating coating particles. It will be. For this reason, if particles having a uniform particle size are used as the base particle and the insulating coating particle, the particle size of the insulating coated conductive particle can be easily made uniform.

上記官能基としては共有結合可能な基であれば特に限定されず、シラノール基、カルボキシル基、アミノ基、アンモニウム基、水酸基、カルボニル基、チオール基、スルホン酸基、スルホニウム基、エポキシ基、グリシジル基等が挙げられ、エポキシ基又はグリシジル基を有することが反応性の速さの観点から好ましい。上記官能基は、シェル形成時に上記官能基を有するシラン化合物を混ぜておくこと、又は、界面活性剤又は高分子分散剤でシェル層の表面を処理することにより付与することができる。また、導電粒子への吸着性を向上させる観点から、上記官能基を有するシラン化合物をオリゴマ化したもの(シリコーンオリゴマー)でシェル層の表面を処理することが好ましい。   The functional group is not particularly limited as long as it is a group that can be covalently bonded. Silanol group, carboxyl group, amino group, ammonium group, hydroxyl group, carbonyl group, thiol group, sulfonic acid group, sulfonium group, epoxy group, glycidyl group It is preferable from the viewpoint of the speed of reactivity that it has an epoxy group or a glycidyl group. The functional group can be imparted by mixing the silane compound having the functional group at the time of shell formation or by treating the surface of the shell layer with a surfactant or a polymer dispersant. Further, from the viewpoint of improving the adsorptivity to the conductive particles, it is preferable to treat the surface of the shell layer with an oligomer (silicone oligomer) obtained by oligomerizing the silane compound having the functional group.

[シェル形成触媒]
シェル形成触媒とは、シリコンアルコキシドのゾルゲル反応に用いる触媒のことであり、酸又はアルカリが用いられる。酸触媒は、例えば、脂肪族スルホン酸、脂肪族置換ベンゼンスルホン酸、脂肪族置換ナフタレンスルホン酸等のスルホン酸類、及び硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸類が挙げられる。これらの中では、オルガノシロキサンの乳化安定性に優れる観点から、脂肪族置換ベンゼンスルホン酸が好ましく、n−ドデシルベンゼンスルホン酸が特に好ましい。アルカリ触媒としては、具体的には、メチルアミン、エーテルアミン、エチルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、N,N−ジイソプロピルエチルアミン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、キヌクリジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン(DABCO)、ピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、エチレンジアミン、テトラメチルエチレンジアミン(TMEDA)、ヘキサメチレンジアミン、アニリン、カテコールアミン、フェネチルアミン、1,8−ビス(ジメチルアミノ)ナフタレン(プロトンスポンジ)、アミノ酸、アマンタジン、スペルミジン、スペルミン等が挙げられる。特に3級アミノ基を有する化合物を使用することが好ましく、特にトリエチルアミンを使用することが好ましい。
[Shell-forming catalyst]
A shell formation catalyst is a catalyst used for the sol-gel reaction of silicon alkoxide, and an acid or an alkali is used. Examples of the acid catalyst include sulfonic acids such as aliphatic sulfonic acid, aliphatic substituted benzenesulfonic acid, and aliphatic substituted naphthalenesulfonic acid, and mineral acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid, and nitric acid. Among these, aliphatic substituted benzenesulfonic acid is preferable and n-dodecylbenzenesulfonic acid is particularly preferable from the viewpoint of excellent emulsion stability of the organosiloxane. Specific examples of the alkali catalyst include methylamine, etheramine, ethylamine, trimethylamine, triethylamine, triethanolamine, N, N-diisopropylethylamine, piperidine, piperazine, morpholine, quinuclidine, 1,4-diazabicyclo [2.2. .2] Octane (DABCO), pyridine, 4-dimethylaminopyridine, ethylenediamine, tetramethylethylenediamine (TMEDA), hexamethylenediamine, aniline, catecholamine, phenethylamine, 1,8-bis (dimethylamino) naphthalene (proton sponge), Amino acids, amantadine, spermidine, spermine and the like can be mentioned. In particular, it is preferable to use a compound having a tertiary amino group, and it is particularly preferable to use triethylamine.

[平均粒径、粒径の変動係数(C.V.)及びシェル層の厚さ]
絶縁被覆用粒子の平均粒径は、走査型電子顕微鏡(SEM)にて粒径を100個観察した平均値である。絶縁被覆用粒子の平均粒径は、基材粒子の粒径及び目的とする絶縁被覆導電粒子の用途によっても異なるが、1μm以下であることが好ましい。それにより、基材粒子の物性が、絶縁被覆用粒子の物性によって支配され難く、基材粒子を用いる効果が得られ易くなる。より好ましくは、絶縁被覆用粒子の粒子径の下限は10nm、上限は1μmである。
[Average particle diameter, coefficient of variation of particle diameter (C.V.) and shell layer thickness]
The average particle diameter of the insulating coating particles is an average value obtained by observing 100 particle diameters with a scanning electron microscope (SEM). The average particle size of the insulating coating particles varies depending on the particle size of the substrate particles and the intended use of the insulating coating conductive particles, but is preferably 1 μm or less. Thereby, the physical properties of the base particles are hardly controlled by the physical properties of the insulating coating particles, and the effect of using the base particles can be easily obtained. More preferably, the lower limit of the particle diameter of the insulating coating particles is 10 nm, and the upper limit is 1 μm.

粒径の変動係数(C.V.)は以下の式(1)を用いて算出される。
C.V.={(粒径の標準偏差)/(平均粒径)}×100(%) ・・・(1)
C.V.は10%以下であることが特性の向上に好ましく、より好ましくは7%以下、最も好ましくは5%以下である。C.V.が10%以下であると、得られる絶縁被覆導電粒子の大きさが均一となり、絶縁被覆導電粒子が異方導電材料に用いられる場合に、基板間で圧着する際に均一に圧力がかかり易くなり、導電接続を向上することができる。
The coefficient of variation (CV) of the particle size is calculated using the following formula (1).
C. V. = {(Standard deviation of particle size) / (Average particle size)} × 100 (%) (1)
C. V. Is preferably 10% or less for improving the characteristics, more preferably 7% or less, and most preferably 5% or less. C. V. Is 10% or less, the size of the insulating coated conductive particles obtained is uniform, and when the insulating coated conductive particles are used for anisotropic conductive materials, it is easy to apply a uniform pressure when crimping between the substrates. The conductive connection can be improved.

絶縁被覆用粒子において、コア粒子の粒径及びシェル層の厚さとしては特に限定されないが、好ましくはシェル層の厚さがコア粒子の粒径の1/100以上、より好ましくは1/50以上である。また、シェル層がSiO4/2単位のみで構成される場合、シェル層の厚みは1〜50nmであることが好ましい。50nm以下であると、絶縁被覆用粒子の物性がシェル層の物性に支配され難く、絶縁被覆用粒子が変形し易くなり、基材粒子表面が露出し易くなるため、基板間の導電接続を行う場合に電極間の導通不良を起こし難くなる。 In the insulating coating particles, the particle diameter of the core particles and the thickness of the shell layer are not particularly limited, but the thickness of the shell layer is preferably 1/100 or more, more preferably 1/50 or more of the particle diameter of the core particles. It is. Moreover, when a shell layer is comprised only by SiO4 / 2 unit, it is preferable that the thickness of a shell layer is 1-50 nm. When the thickness is 50 nm or less, the physical properties of the insulating coating particles are not easily controlled by the physical properties of the shell layer, the insulating coating particles are easily deformed, and the surface of the base particle is easily exposed. In this case, it becomes difficult to cause poor conduction between the electrodes.

[溶出アンモニウムイオン濃度]
絶縁被覆用粒子からアンモニウムイオンが溶出する場合、絶縁被覆導電粒子を用いて作製した異方導電材料中の硬化剤が失活し、硬化阻害が発生することがある。よって、絶縁被覆用粒子から溶出するアンモニウムイオンの濃度は150ppm以下であることが好ましく、100ppm以下であることがより好ましい。溶出アンモニウムイオン濃度は例えば、乾燥後の絶縁被覆用粒子0.5gをイオン交換水25gに分散させ、耐圧容器中100℃で12時間放置した後、イオンクロマトグラフィーにより測定することができる。
[Eluted ammonium ion concentration]
When ammonium ions are eluted from the insulating coating particles, the curing agent in the anisotropic conductive material produced using the insulating coating conductive particles may be deactivated, and curing inhibition may occur. Therefore, the concentration of ammonium ions eluted from the insulating coating particles is preferably 150 ppm or less, and more preferably 100 ppm or less. The elution ammonium ion concentration can be measured, for example, by ion chromatography after dispersing 0.5 g of the dried insulating coating particles in 25 g of ion-exchanged water and leaving them in a pressure vessel at 100 ° C. for 12 hours.

[吸湿率]
絶縁被覆用粒子の吸湿率は、5質量%以下であることが好ましい。吸湿率が5質量%以下であると、イオンマイグレーション等によるショート発生を抑制することが可能となる。吸湿率は、例えば、重量を測定した絶縁被覆用粒子を高温高湿度試験槽(温度60℃、湿度90%)に18時間放置した後、再度粒子重量を測定することにより算出することができる。
[Hygroscopic rate]
The moisture absorption rate of the insulating coating particles is preferably 5% by mass or less. When the moisture absorption is 5% by mass or less, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit due to ion migration or the like. The moisture absorption rate can be calculated, for example, by allowing the insulating coating particles whose weights have been measured to stand in a high-temperature and high-humidity test tank (temperature 60 ° C., humidity 90%) for 18 hours, and then measuring the particle weight again.

<基材粒子>
基材粒子は、その表面が導電性を有する金属からなり、導電粒子として機能するものである。この場合、図1に示されるように、基材粒子2は後述する無機化合物又は有機化合物からなる球状芯材粒子2aの表面に導電性を有する金属の層2bが形成されたものでもよく、導電性を有する金属のみからなる金属粒子であってもよい。中でも、有機化合物からなる球状芯材粒子の表面に導電性の金属層が形成されたものは、基板間を導電接続する際の圧着時に変形して接合面積を増やすことができることから、接続安定性の点で好ましい。
<Base material particles>
The base particle is made of a metal having a conductive surface and functions as a conductive particle. In this case, as shown in FIG. 1, the base particle 2 may be one in which a conductive metal layer 2 b is formed on the surface of a spherical core particle 2 a made of an inorganic compound or an organic compound, which will be described later. The metal particle which consists only of a metal which has property may be sufficient. Among them, those in which a conductive metal layer is formed on the surface of spherical core particles made of an organic compound can be deformed at the time of pressure bonding when conductively connecting between substrates, so that the bonding area can be increased. This is preferable.

上記導電性を有する金属としては特に限定されず、例えば、金、銀、銅、白金、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、パラジウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム、カドミウム等の金属、及び、ITO、ハンダ等の金属化合物からなるものが挙げられる。   The conductive metal is not particularly limited. For example, gold, silver, copper, platinum, zinc, iron, tin, lead, aluminum, palladium, cobalt, indium, nickel, chromium, titanium, antimony, bismuth, germanium. And a metal compound such as cadmium and a metal compound such as ITO or solder.

上記導電性を有する金属からなる金属層が有機化合物からなる球状芯材粒子の表面に形成されている場合、上記金属層は、単層構造であってもよく、複数の層からなる積層構造であってもよい。積層構造からなる場合には、最外層は金、パラジウム又はニッケルからなることが好ましい。最外層はパラジウム又は金からなるものにすることにより、耐食性が高く接触抵抗も小さいので、得られる被覆粒子は更に優れたものとなる。   When the metal layer made of the conductive metal is formed on the surface of the spherical core particles made of an organic compound, the metal layer may have a single layer structure or a laminated structure made up of a plurality of layers. There may be. In the case of a laminated structure, the outermost layer is preferably made of gold, palladium or nickel. When the outermost layer is made of palladium or gold, since the corrosion resistance is high and the contact resistance is small, the obtained coated particles are further improved.

上記有機化合物からなる球状芯材粒子の表面に導電性の金属層を形成する方法としては特に限定されず、例えば、物理的な金属蒸着法、化学的な無電解メッキ法等の公知の方法が挙げられるが、工程の簡便さから無電解メッキ法が好適である。無電解メッキ法で形成できる金属層としては、例えば、金、銀、銅、プラチナ、パラジウム、ニッケル、ロジウム、ルテニウム、コバルト、錫及びこれらの合金が挙げられるが、本実施形態の基材粒子としては、均一な被覆を高密度で形成できることから金属層の一部又は全部が無電解ニッケルメッキによって形成されたものであることが好ましい。   The method for forming the conductive metal layer on the surface of the spherical core particles made of the organic compound is not particularly limited. For example, a known method such as physical metal vapor deposition or chemical electroless plating may be used. The electroless plating method is preferable because of the simplicity of the process. Examples of the metal layer that can be formed by the electroless plating method include gold, silver, copper, platinum, palladium, nickel, rhodium, ruthenium, cobalt, tin, and alloys thereof. Since a uniform coating can be formed at a high density, it is preferable that a part or all of the metal layer is formed by electroless nickel plating.

上記金属層の最外層に金層を形成する方法としては特に限定されず、例えば、無電解メッキ、置換メッキ、電気メッキ、スパッタリング等の既知の方法が挙げられる。   The method for forming the gold layer on the outermost layer of the metal layer is not particularly limited, and examples thereof include known methods such as electroless plating, displacement plating, electroplating, and sputtering.

上記金属層の厚みとしては特に限定されないが、好ましい下限は0.005μm、好ましい上限は2μmである。金属層の厚みが0.005μm未満であると、導電層としての充分な効果が得られないことがあり、2μmを超えると、得られる絶縁被覆導電粒子の比重が高くなりすぎたり、有機化合物からなる球状芯材粒子の硬さがもはや充分変形できる硬度ではなくなったりすることがある。金属層の厚みのより好ましい下限は0.01μm、より好ましい上限は1μmである。   Although it does not specifically limit as thickness of the said metal layer, A preferable minimum is 0.005 micrometer and a preferable upper limit is 2 micrometers. When the thickness of the metal layer is less than 0.005 μm, a sufficient effect as the conductive layer may not be obtained. When the thickness exceeds 2 μm, the specific gravity of the obtained insulating coated conductive particles becomes too high, or from the organic compound In some cases, the hardness of the resulting spherical core particle is no longer sufficiently deformable. A more preferable lower limit of the thickness of the metal layer is 0.01 μm, and a more preferable upper limit is 1 μm.

また、上記金属層の最外層を金又はパラジウム層とする場合には、金又はパラジウム層の厚みの好ましい下限は0.001μm、好ましい上限は0.5μmである。金又はパラジウム層の厚みが0.001μm未満であると、均一に金属層を被覆することが困難になり耐食性や接触抵抗値の向上効果が期待できないことがあり、0.5μmを超えると、その効果の割には高価となる。金又はパラジウム層の厚みのより好ましい下限は0.01μm、より好ましい上限は0.3μmである。   Moreover, when making the outermost layer of the said metal layer into a gold | metal | money or palladium layer, the minimum with the preferable thickness of a gold | metal | money or palladium layer is 0.001 micrometer, and a preferable upper limit is 0.5 micrometer. If the thickness of the gold or palladium layer is less than 0.001 μm, it may be difficult to uniformly coat the metal layer, and the effect of improving the corrosion resistance or contact resistance value may not be expected. It is expensive for the effect. The more preferable lower limit of the thickness of the gold or palladium layer is 0.01 μm, and the more preferable upper limit is 0.3 μm.

上記基材粒子が球状芯材粒子の表面に上記導電性を有する金属の層が形成されている場合、上記球状芯材粒子としては特に限定されず、例えば、均一な組成からなる粒子、複数の原料が層状に構成された多層構造の粒子等が挙げられる。中でも、基材粒子に機械的特性、電気的特性等の種々の特性を付与したい場合には、多層構造の粒子が好適である。   When the base metal particles are formed with the conductive metal layer on the surface of the spherical core particles, the spherical core particles are not particularly limited, for example, particles having a uniform composition, a plurality of particles Examples thereof include particles having a multilayer structure in which the raw material is formed in a layer form. In particular, when it is desired to impart various properties such as mechanical properties and electrical properties to the substrate particles, particles having a multilayer structure are suitable.

上記球状芯材粒子を構成する材料としては特に限定されず、公知のシリカ等の無機化合物、有機化合物等が挙げられる。中でも、絶縁被覆導電粒子が異方導電材料に用いられる場合、基板間を導電接続する際の圧着時に変形して基材粒子表面と電極との接合面積を増やすことができ、接続安定性に優れることから、有機化合物が好ましい。   It does not specifically limit as a material which comprises the said spherical core material particle, Well-known inorganic compounds, such as a silica, an organic compound, etc. are mentioned. In particular, when insulating coated conductive particles are used for anisotropic conductive materials, the bonding area between the surface of the base particle and the electrode can be increased by deformation during pressure bonding when conductively connecting between the substrates, and the connection stability is excellent. Therefore, an organic compound is preferable.

上記有機化合物としては特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン等のポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート等のアクリル樹脂、ポリアルキレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、フェノールホルムアルデヒド樹脂等のフェノール樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂等のメラミン樹脂、ベンゾグアナミンホルムアルデヒド樹脂等のベンゾグアナミン樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、(不)飽和ポリエステル樹脂、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリスルホン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン等からなるものが挙げられる。中でも、エチレン性不飽和基を有する種々の重合性モノマを1種又は2種以上重合させてなる樹脂を用いてなるものは、好適な硬さを得易いことから好ましい。   The organic compound is not particularly limited. For example, polyolefins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene, polypropylene, polyisobutylene, and polybutadiene, acrylic resins such as polymethyl methacrylate and polymethyl acrylate, polyester resins such as polyalkylene terephthalate, and phenol formaldehyde. Phenol resins such as resins, melamine resins such as melamine formaldehyde resins, benzoguanamine resins such as benzoguanamine formaldehyde resins, urea formaldehyde resins, epoxy resins, (unsaturated) polyester resins, polyphenylene oxide, polyacetals, polysulfones, polycarbonates, polyamides, polyimides, polyamides Imide, polyetheretherketone, polyethersulfone, etc. Ranaru thing, and the like. Especially, what uses the resin which superposes | polymerizes 1 type (s) or 2 or more types of various polymerizable monomers which have an ethylenically unsaturated group is preferable from being easy to obtain suitable hardness.

非架橋性モノマとして具体的には、i)スチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、α−メチルスチレン、o−エチルスチレン、m−エチルスチレン、p−エチルスチレン、2,4−ジメチルスチレン、p−n−ブチルスチレン、p−t−ブチルスチレン、p−n−ヘキシルスチレン、p−n−オクチルスチレン、p−n−ノニルスチレン、p−n−デシルスチレン、p−n−ドデシルスチレン、p−メトキシスチレン、p−フェニルスチレン、p−クロロスチレン、3,4−ジクロロスチレン等のスチレン類、(ii)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸n−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸n−オクチル、アクリル酸ドデシル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸2−クロロエチル、アクリル酸フェニル、α−クロロアクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸n−オクチル、メタクリル酸ドデシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸ステアリル等の(メタ)アクリル酸エステル類、(iii)酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、安息香酸ビニル、酪酸ビニル等のビニルエステル類、(iv)N−ビニルピロール、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルインドール、N−ビニルピロリドン等のN−ビニル化合物、(v)フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、アクリル酸トリフルオロエチル、アクリル酸テトラフルオロプロピル等のフッ化アルキル基含有(メタ)アクリル酸エステル類、及び、(vi)ブタジエン、イソプレン等の共役ジエン類が挙げられる。   Specific examples of non-crosslinkable monomers include i) styrene, o-methyl styrene, m-methyl styrene, p-methyl styrene, α-methyl styrene, o-ethyl styrene, m-ethyl styrene, p-ethyl styrene, 2 , 4-dimethylstyrene, pn-butylstyrene, pt-butylstyrene, pn-hexylstyrene, pn-octylstyrene, pn-nonylstyrene, pn-decylstyrene, p- Styrenes such as n-dodecylstyrene, p-methoxystyrene, p-phenylstyrene, p-chlorostyrene, 3,4-dichlorostyrene, (ii) methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, n-acrylate Butyl, isobutyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, n-octyl acrylate , Dodecyl acrylate, lauryl acrylate, stearyl acrylate, 2-chloroethyl acrylate, phenyl acrylate, methyl α-chloroacrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, methacryl (Meth) acrylic acid esters such as isobutyl acid, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, n-octyl methacrylate, dodecyl methacrylate, lauryl methacrylate, stearyl methacrylate, (iii) vinyl acetate, vinyl propionate, Vinyl esters such as vinyl benzoate and vinyl butyrate, (iv) N-vinyl compounds such as N-vinyl pyrrole, N-vinyl carbazole, N-vinyl indole, N-vinyl pyrrolidone, (v) vinyl fluoride, fluorinated Bi Fluorinated alkyl group-containing (meth) acrylates such as redene, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, trifluoroethyl acrylate, tetrafluoropropyl acrylate, and (vi) conjugated dienes such as butadiene and isoprene Can be mentioned.

架橋性モノマの具体例として、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、ジビニルナフタレン等のジビニル化合物;(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート等の(ポリ)アルキレングリコール系ジ(メタ)アクリレート;1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、1,12−ドデカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ブチルエチルプロパンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,7−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−メチル−1,8−オクタンジオールジ(メタ)アクリレート等のアルカンジオール系ジ(メタ)アクリレート;ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルエタンジ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルエタントリ(メタ)アクリレート、1,1,1−トリスヒドロキシメチルプロパントリアクリレート、ジアリルフタレート及びその異性体、並びに、トリアリルイソシアヌレート及びその誘導体が挙げられる。   Specific examples of crosslinkable monomers include divinyl compounds such as divinylbenzene, divinylbiphenyl, divinylnaphthalene; (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, (poly) tetramethylene glycol di (Poly) alkylene glycol-based di (meth) acrylates such as (meth) acrylate; 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,8-octanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di ( (Meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, 1,12-dodecanediol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2,4-diethyl- 1,5-pentanediol di (me ) Alkanediol di-types such as acrylate, butylethylpropanediol di (meth) acrylate, 3-methyl-1,7-octanediol di (meth) acrylate, 2-methyl-1,8-octanediol di (meth) acrylate (Meth) acrylate; neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxy Cyclohexanedimethanol di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, tricyclodecane dimethanol di (meth) acrylate, propoxylated ethoxylated bisphenol Di- (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethylethane di (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethylethanetri (meth) acrylate, 1,1,1-trishydroxymethyl Examples include propane triacrylate, diallyl phthalate and isomers thereof, and triallyl isocyanurate and derivatives thereof.

上記モノマ及び他の重合性モノマは、1種又は2種以上混合使用されてもよい。このような球状芯材粒子の製造方法としては、従来公知の方法を用いることができ特に限定されないが、例えば、エマルジョン重合法、転相乳化重合、懸濁重合法、分散重合法、シード重合法、ソープフリー析出重合法等が挙げられる。中でも粒径の制御性に優れるシード重合法が好適である。また、上記球状芯材粒子は、市販されているものを用いることもできる。   The above monomers and other polymerizable monomers may be used alone or in combination. As a method for producing such spherical core particles, conventionally known methods can be used and are not particularly limited. For example, emulsion polymerization, phase inversion emulsion polymerization, suspension polymerization, dispersion polymerization, seed polymerization And a soap-free precipitation polymerization method. Among these, a seed polymerization method having excellent particle size controllability is preferable. Moreover, what is marketed can also be used for the said spherical core material particle.

<絶縁被覆導電粒子>
本実施形態の絶縁被覆導電粒子は、上記基材粒子の表面が上記絶縁被覆用粒子で被覆されてなるものである。ここで、絶縁被覆用粒子は、その表面積の20%以下が上記基材粒子の表面と接触していることが好ましい。接触する表面積が20%以下であると、上記絶縁被覆用粒子の変形が小さく、得られる被覆導電粒子の大きさがより均一となり、また、シェル層が破壊され難くコアシェル構造を維持し易くなる傾向がある。なお、下限については特に限定されず、絶縁被覆用粒子と基材粒子とが、例えば鎖長の長いポリマにより結ばれている場合には、実質的に0%であってもよい。
<Insulation coated conductive particles>
The insulating coated conductive particles of this embodiment are obtained by coating the surface of the substrate particles with the insulating coating particles. Here, it is preferable that 20% or less of the surface area of the insulating coating particles is in contact with the surface of the substrate particles. When the surface area to be contacted is 20% or less, the deformation of the particles for insulating coating is small, the size of the coated conductive particles obtained is more uniform, and the shell layer is less likely to be broken and the core-shell structure tends to be maintained. There is. The lower limit is not particularly limited, and may be substantially 0% when the insulating coating particles and the base particles are bound by, for example, a polymer having a long chain length.

本実施形態の絶縁被覆導電粒子は、上記基材粒子の表面積の5%以上が上記絶縁被覆用粒子により被覆されていることが好ましい。被覆された表面積が5%以上であると、絶縁被覆導電粒子の絶縁性を確保し易くなる。また、絶縁被覆導電粒子が異方導電材料に用いられる場合、絶縁被覆用粒子の被覆率の好ましい下限は5%であり、好ましい上限は60%である。被覆率が5%以上であると、隣接粒子間で基材粒子の金属表面が接触して横方向のリークが起こるのを効率的に防止でき、60%以下であると、充分な導通性を確保し易くなる。なお、上記基材粒子表面の絶縁被覆用粒子による被覆率は、絶縁被覆用粒子の添加量(濃度)、基材粒子表面に導入する官能基の量(密度)、反応溶媒の種類等によって制御可能である。   In the insulating coated conductive particles of this embodiment, it is preferable that 5% or more of the surface area of the substrate particles is coated with the insulating coating particles. When the coated surface area is 5% or more, it becomes easy to ensure insulation of the insulating coated conductive particles. Further, when the insulating coating conductive particles are used for the anisotropic conductive material, the preferable lower limit of the coverage of the insulating coating particles is 5%, and the preferable upper limit is 60%. When the coverage is 5% or more, it is possible to efficiently prevent the lateral leakage from occurring due to contact between the metal surfaces of the base particles between adjacent particles, and when the coverage is 60% or less, sufficient conductivity is obtained. It becomes easy to secure. The coverage with the insulating coating particles on the surface of the substrate particles is controlled by the amount (concentration) of the insulating coating particles added, the amount of functional groups introduced to the surface of the substrate particles (density), the type of reaction solvent, and the like. Is possible.

上記基材粒子表面の絶縁被覆用粒子による被覆率は以下の式(2)により算出される値である。
被覆率(%)={(基材粒子表面の絶縁被覆用粒子で覆われている部分の面積)/(基材粒子の全表面積)}×100 ・・・(2)
The coverage with the insulating coating particles on the surface of the substrate particles is a value calculated by the following equation (2).
Covering rate (%) = {(Area of the portion covered with insulating coating particles on the surface of the base particle) / (Total surface area of the base particle)} × 100 (2)

絶縁被覆導電粒子は、乾式のハイブリダイゼーション又は湿式のヘテロ凝集によって作製することができる。被覆率及び粒子間距離制御の観点から、湿式のヘテロ凝集を用いることが好ましい。湿式のヘテロ凝集を利用する方法としては、粒子同士の共有結合又は静電引力を使用する方法が用いられる。絶縁被覆用粒子の脱落防止のために、共有結合を利用することが好ましい。被覆率は、導電粒子と絶縁被覆用粒子の割合を適宜調整することにより調整することができる。また、共有結合の形成が遅い場合、溶媒を加熱することにより共有結合の形成を促進することが可能である。   The insulating coated conductive particles can be produced by dry hybridization or wet heteroaggregation. From the viewpoint of coverage and interparticle distance control, wet heteroaggregation is preferably used. As a method utilizing wet heteroaggregation, a method using a covalent bond between particles or electrostatic attraction is used. In order to prevent the particles for insulating coating from falling off, it is preferable to use a covalent bond. The coverage can be adjusted by appropriately adjusting the ratio of the conductive particles and the insulating coating particles. In addition, when the formation of the covalent bond is slow, the formation of the covalent bond can be promoted by heating the solvent.

具体的には、グリシジル基又はエポキシ基を導入した絶縁被覆用粒子(以下、場合に「子粒子」ともいう。)と、アミノ基を付与した導電粒子とを混合することにより化学結合を形成し、絶縁被覆導電粒子を作製することが可能となる。   Specifically, the insulating coating particles into which glycidyl groups or epoxy groups are introduced (hereinafter also referred to as “child particles”) and conductive particles to which amino groups have been added are mixed to form a chemical bond. Insulating coated conductive particles can be produced.

金又はパラジウムからなる金属層を有する導電粒子にアミノ基を導入する方法としては以下のような方法がある。金又はパラジウムに対して配位結合を形成するメルカプト基、スルフィド基又はジスルフィド基と、水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基とを有する化合物を用いて金属層表面を処理することにより、表面に水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基及びアルコキシカルボニル基から選ばれる官能基を導入できる。用いられる化合物としては、例えば、メルカプト酢酸、2−メルカプトエタノール、メルカプト酢酸メチル、メルカプトコハク酸、チオグリセリン及びシステインが挙げられる。   Examples of a method for introducing an amino group into conductive particles having a metal layer made of gold or palladium include the following methods. By treating the surface of the metal layer with a compound having a mercapto group, sulfide group or disulfide group that forms a coordinate bond to gold or palladium and a hydroxyl group, carboxyl group, alkoxy group or alkoxycarbonyl group, the surface A functional group selected from a hydroxyl group, a carboxyl group, an alkoxy group and an alkoxycarbonyl group can be introduced. Examples of the compound used include mercaptoacetic acid, 2-mercaptoethanol, methyl mercaptoacetate, mercaptosuccinic acid, thioglycerin and cysteine.

金属層表面を上記化合物で処理する方法としては特に限定されないが、メタノール又はエタノール等の有機溶媒中にメルカプト酢酸等の化合物を10〜100mmol/L程度の濃度で分散し、その中に金属表面を有する導電粒子を分散させる方法がある。   The method of treating the surface of the metal layer with the above compound is not particularly limited, but a compound such as mercaptoacetic acid is dispersed in an organic solvent such as methanol or ethanol at a concentration of about 10 to 100 mmol / L, and the metal surface is dispersed therein. There is a method of dispersing the conductive particles.

水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基及びアルコキシカルボニル基のような官能基を表面に有する粒子の表面電位(ゼータ電位)は、pHが中性領域であるとき、通常マイナスである。一方、水酸基を有する無機酸化物粒子の表面電位も通常マイナスである。表面電位がマイナスの粒子の表面を、表面電位がマイナスの粒子で充分に被覆することは難しい場合が多いが、これらの間に高分子電解質層を設けることにより、効率的に絶縁被覆用粒子を導電粒子に付着させることができる。また、高分子電解質層を設けることにより導電粒子の表面に絶縁被覆用粒子を欠陥なく均一に被覆することができることから、回路電極間隔が狭ピッチでも絶縁性が確保され、電気的に接続する電極間では接続抵抗が低くなるという効果がより一層顕著に奏される。   The surface potential (zeta potential) of particles having functional groups such as a hydroxyl group, a carboxyl group, an alkoxy group and an alkoxycarbonyl group on the surface is usually negative when the pH is in a neutral region. On the other hand, the surface potential of inorganic oxide particles having a hydroxyl group is usually negative. In many cases, it is difficult to sufficiently cover the surface of particles having a negative surface potential with particles having a negative surface potential. However, by providing a polymer electrolyte layer between them, the particles for insulating coating can be efficiently formed. It can be attached to conductive particles. In addition, by providing the polymer electrolyte layer, the surface of the conductive particles can be uniformly coated with the insulating coating particles without defects, so that the insulating property is ensured even when the circuit electrode interval is narrow and the electrodes are electrically connected. The effect of lowering the connection resistance is even more pronounced.

高分子電解質層を形成する高分子電解質としては、水溶液中で電離し、荷電を有する官能基を主鎖又は側鎖に持つ高分子を用いることができ、中でもポリカチオンが好ましい。ポリカチオンとしては、一般に、ポリアミン等のように正荷電を帯びることのできる官能基を有するもの、例えば、ポリエチレンイミン(PEI)、ポリアリルアミン塩酸塩(PAH)、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロリド(PDDA)、ポリビニルピリジン(PVP)、ポリリジン、ポリアクリルアミド及びそれらを少なくとも1種以上を含む共重合体を用いることができる。中でもポリエチレンイミンは電荷密度が高く、結合力が強い。   As the polymer electrolyte that forms the polymer electrolyte layer, a polymer that is ionized in an aqueous solution and has a charged functional group in the main chain or side chain can be used, and among them, a polycation is preferable. Polycations generally have a positively charged functional group such as polyamine, such as polyethyleneimine (PEI), polyallylamine hydrochloride (PAH), polydiallyldimethylammonium chloride (PDDA), Polyvinylpyridine (PVP), polylysine, polyacrylamide, and a copolymer containing at least one of them can be used. Among them, polyethyleneimine has a high charge density and a strong binding force.

[絶縁被覆導電粒子のシリコーンオリゴマー処理]
絶縁被覆用粒子がその表面にシラノール基を有する場合、シランカップリング剤又はシランカップリング剤をオリゴマ化したシリコーンオリゴマーにより処理することによって、後述する絶縁被覆導電粒子の絶縁信頼性を向上することができる。また、粒子表面への反応のし易さから、上記シランカップリング剤をシリコーンオリゴマー化して使用することが好ましい。シリコーンオリゴマーは、縮合反応により予め3次元架橋されていることが好ましい。また、シリコーンオリゴマーは、疎水性基と、シリカ等の無機材料と反応する官能基とを有していることが好ましい。
[Silicone oligomer treatment of insulating coated conductive particles]
When the insulating coating particle has a silanol group on its surface, the insulating reliability of the insulating coated conductive particle described later can be improved by treating with a silane coupling agent or a silicone oligomer obtained by oligomerizing the silane coupling agent. it can. Moreover, it is preferable to use the said silane coupling agent after making it a silicone oligomer from the ease of reaction to the particle | grain surface. The silicone oligomer is preferably three-dimensionally crosslinked in advance by a condensation reaction. The silicone oligomer preferably has a hydrophobic group and a functional group that reacts with an inorganic material such as silica.

シリコーンオリゴマーは、一般に、下記各化学式で表される構造を有するシロキサン単位から構成される。   Silicone oligomers are generally composed of siloxane units having structures represented by the following chemical formulas.

Figure 2013069678
Figure 2013069678

式中、R及びRはそれぞれ独立に疎水性基を示す。R及びRは、メチル基及びエチル基のような炭素数1又は2のアルキル基、フェニル基等の炭素数6〜12のアリール基、又は、ビニル基であることが好ましい。R及びRはそれぞれ独立にメチル基又はフェニル基であることがより好ましい。なお、R及びRは互いに同一でも異なっていてもよい。 In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrophobic group. R 1 and R 2 are preferably an alkyl group having 1 or 2 carbon atoms such as a methyl group and an ethyl group, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms such as a phenyl group, or a vinyl group. More preferably, R 1 and R 2 are each independently a methyl group or a phenyl group. R 1 and R 2 may be the same as or different from each other.

シリコーンオリゴマーの重合度は、通常3以上であり、好ましくは5以上、より好ましくは6以上、更に好ましくは10以上である。また、シリコーンオリゴマーの重合度は、通常90以下であり、好ましくは80以下、より好ましくは70以下、更に好ましくは50以下である。重合度が大きくなると、表面処理の際に処理むらが起こり難くなり、信頼性を向上することができる。また、重合度が小さいと充分な厚みでシリコーンオリゴマーが付着し易くなる傾向がある。   The degree of polymerization of the silicone oligomer is usually 3 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and still more preferably 10 or more. Moreover, the polymerization degree of a silicone oligomer is 90 or less normally, Preferably it is 80 or less, More preferably, it is 70 or less, More preferably, it is 50 or less. When the degree of polymerization is increased, unevenness of treatment is less likely to occur during surface treatment, and reliability can be improved. Further, when the degree of polymerization is small, the silicone oligomer tends to adhere with a sufficient thickness.

シリコーンオリゴマーの重合度は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定によって求められる標準ポリスチレン換算の重量平均分子量に基づいて以下の式(3)により算出される。
重合度=重量平均分子量/シロキサン単位の分子量 ・・・(3)
なお、シリコーンオリゴマー中に複数種のシロキサン単位が含まれる場合、それらの平均値によって重合度が計算される。
The degree of polymerization of the silicone oligomer is calculated by the following formula (3) based on the weight average molecular weight in terms of standard polystyrene determined by gel permeation chromatography (GPC) measurement.
Degree of polymerization = weight average molecular weight / molecular weight of siloxane unit (3)
In addition, when several types of siloxane units are contained in a silicone oligomer, a polymerization degree is calculated by those average values.

3次元架橋されたシリコーンオリゴマーは、一般に、RSiO3/2で表される3官能性のシロキサン単位、及びSiO4/2で表される4官能性のシロキサン単位のうち少なくとも一方を含むことが好ましい。例えば、シリコーンオリゴマーは、RSiO2/2で表される2官能性のシロキサン単位及びSiO4/2で表される4官能性のシロキサン単位を含んでいてもよいし、RSiO2/2で表される2官能性のシロキサン単位及びRSiO3/2で表される3官能性のシロキサン単位を含んでいてもよい。 The three-dimensionally crosslinked silicone oligomer generally contains at least one of a trifunctional siloxane unit represented by R 1 SiO 3/2 and a tetrafunctional siloxane unit represented by SiO 4/2. Is preferred. For example, the silicone oligomer may contain a bifunctional siloxane unit represented by R 2 SiO 2/2 and a tetrafunctional siloxane unit represented by SiO 4/2 , or R 2 SiO 2 / A bifunctional siloxane unit represented by 2 and a trifunctional siloxane unit represented by R 1 SiO 3/2 may be included.

シロキサンオリゴマーは、全シロキサン単位を基準として、4官能性のシロキサン単位を15モル%以上含むことが好ましく、20〜60モル%含むことがより好ましい。   The siloxane oligomer preferably contains 15 mol% or more of tetrafunctional siloxane units based on the total siloxane units, and more preferably contains 20 to 60 mol%.

シリコーンオリゴマーは、例えば、所望のシロキサン単位に対応するクロロ又はアルコキシシランを、水の存在下、酸触媒を用いて縮合させる方法により合成することができる。縮合反応は、シリコーンオリゴマーをサブミクロン重合体粒子に付着させる前にゲル状態とならない程度に行う。このためには、反応温度、反応時間、オリゴマーの組成比、触媒の種類及び量を変えて調整する。触媒としては、酢酸、塩酸、マレイン酸、リン酸等が好ましく用いられる。   The silicone oligomer can be synthesized, for example, by a method in which chloro or alkoxysilane corresponding to a desired siloxane unit is condensed using an acid catalyst in the presence of water. The condensation reaction is performed to such an extent that the silicone oligomer does not become a gel state before being attached to the submicron polymer particles. For this purpose, the reaction temperature, the reaction time, the composition ratio of the oligomer, the type and amount of the catalyst are changed and adjusted. As the catalyst, acetic acid, hydrochloric acid, maleic acid, phosphoric acid and the like are preferably used.

シリコーンオリゴマーは、サブミクロン重合体粒子に付着するとともに、その一部が導電粒子にも付着している場合が多い。絶縁被覆導電粒子全体におけるシリコーンオリゴマーの付着量は、サブミクロン重合体粒子の質量を基準として好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.05〜5.00質量%である。この付着量が0.01質量%以上であると界面接着性向上の効果を得易い傾向があり、10質量%以下であると耐熱性の低下を防ぐことができる。   In many cases, the silicone oligomer adheres to the submicron polymer particles and a part thereof also adheres to the conductive particles. The adhesion amount of the silicone oligomer in the whole insulating coated conductive particles is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 5.00% by mass based on the mass of the submicron polymer particles. If this adhesion amount is 0.01% by mass or more, it tends to be easy to obtain the effect of improving the interfacial adhesion, and if it is 10% by mass or less, it is possible to prevent a decrease in heat resistance.

このような絶縁被覆導電粒子は、半導体素子等の小型電機部品を基板に電気的に接続したり、基板同士を電気的に接続したりするためのいわゆる異方導電材料として用いることができる。   Such insulating coated conductive particles can be used as a so-called anisotropic conductive material for electrically connecting small electrical parts such as semiconductor elements to substrates or electrically connecting substrates.

<異方導電材料>
絶縁被覆導電粒子を絶縁性のバインダー樹脂中に分散させることによって、接着剤組成物を調製することができる。そして、この接着剤組成物は、異方導電材料(回路接続材料)として使用することができる。異方導電材料は、フィルム状に成形して異方導電フィルムとして使用してもよい。図2に示す異方導電フィルム50は、絶縁性のバインダー樹脂20に絶縁被覆導電粒子10を分散させた接着剤組成物を、フィルム状に成形したものである。
<Anisotropic conductive material>
An adhesive composition can be prepared by dispersing the insulating coated conductive particles in an insulating binder resin. And this adhesive composition can be used as an anisotropic conductive material (circuit connection material). The anisotropic conductive material may be formed into a film and used as an anisotropic conductive film. An anisotropic conductive film 50 shown in FIG. 2 is obtained by forming an adhesive composition in which insulating coated conductive particles 10 are dispersed in an insulating binder resin 20 into a film shape.

<接続構造体>
図3に示す接続構造体100は、相互に対向する第1の回路部材30及び第2の回路部材40を備えており、第1の回路部材30と第2の回路部材40との間には、これらを接続する接続部50aが設けられている。
<Connection structure>
The connection structure 100 shown in FIG. 3 includes a first circuit member 30 and a second circuit member 40 that face each other, and the connection between the first circuit member 30 and the second circuit member 40. A connecting portion 50a for connecting them is provided.

第1の回路部材30は、回路基板(第1の回路基板)31と、回路基板31の主面31a上に形成される回路電極(第1の回路電極)32とを備える。第2の回路部材40は、回路基板(第2の回路基板)41と、回路基板41の主面41a上に形成される回路電極(第2の回路電極)42とを備える。   The first circuit member 30 includes a circuit board (first circuit board) 31 and a circuit electrode (first circuit electrode) 32 formed on the main surface 31 a of the circuit board 31. The second circuit member 40 includes a circuit board (second circuit board) 41 and a circuit electrode (second circuit electrode) 42 formed on the main surface 41 a of the circuit board 41.

回路部材の具体例としては、ICチップ(半導体チップ)、抵抗体チップ、コンデンサチップ、ドライバーIC等のチップ部品及びリジット型のパッケージ基板が挙げられる。これらの回路部材は、回路電極を備えており、多数の回路電極を備えているものが一般的である。上記回路部材が接続される、もう一方の回路部材としては、金属配線を有するフレキシブルテープ基板、フレキシブルプリント配線板、インジウム錫酸化物(ITO)が蒸着されたガラス基板等の配線基板が挙げられる。異方導電フィルム50を用いることにより、これらの回路部材同士を効率的かつ高い接続信頼性をもって接続することができる。したがって、異方導電フィルム50は、微細な接続端子(回路電極)を多数備えるチップ部品の配線基板上へのCOG実装及びCOF実装に好適である。   Specific examples of the circuit member include chip parts such as an IC chip (semiconductor chip), a resistor chip, a capacitor chip, and a driver IC, and a rigid package substrate. These circuit members are provided with circuit electrodes, and generally have many circuit electrodes. Examples of the other circuit member to which the circuit member is connected include a flexible tape substrate having metal wiring, a flexible printed wiring board, and a wiring substrate such as a glass substrate on which indium tin oxide (ITO) is deposited. By using the anisotropic conductive film 50, these circuit members can be connected efficiently and with high connection reliability. Therefore, the anisotropic conductive film 50 is suitable for COG mounting and COF mounting on a wiring board of a chip component having many fine connection terminals (circuit electrodes).

接続部50aは回路接続材料に含まれる絶縁性のバインダー樹脂の硬化物20aと、これに分散している絶縁被覆導電粒子10とを備える。そして、接続構造体100においては、対向する回路電極32と回路電極42とが、絶縁被覆導電粒子10を介して電気的に接続されている。より具体的には、図3に示すとおり、絶縁被覆導電粒子10にあっては、絶縁被覆用粒子1が圧縮により変形し、回路電極32及び42の双方に直接接触している。他方、図示横方向において、基材粒子2間に絶縁被覆用粒子1が介在することで絶縁性が維持される。従って、異方導電フィルム50を用いれば、10μmレベルの狭ピッチでの絶縁信頼性を向上させることが可能となる。   The connection portion 50a includes a cured product 20a of an insulating binder resin contained in the circuit connection material, and the insulating coated conductive particles 10 dispersed therein. And in the connection structure 100, the circuit electrode 32 and the circuit electrode 42 which oppose are electrically connected through the insulation coating electrically-conductive particle 10. FIG. More specifically, as shown in FIG. 3, in the insulating coated conductive particles 10, the insulating coating particles 1 are deformed by compression and are in direct contact with both the circuit electrodes 32 and 42. On the other hand, in the illustrated horizontal direction, the insulating property is maintained by interposing the insulating coating particles 1 between the substrate particles 2. Therefore, if the anisotropic conductive film 50 is used, it is possible to improve the insulation reliability at a narrow pitch of 10 μm level.

絶縁性のバインダー樹脂20としては、熱反応性樹脂と硬化剤の混合物が用いられ、具体的には、エポキシ樹脂と潜在性硬化剤との混合物が好ましい。   As the insulating binder resin 20, a mixture of a thermally reactive resin and a curing agent is used, and specifically, a mixture of an epoxy resin and a latent curing agent is preferable.

エポキシ樹脂としては、エピクロルヒドリンとビスフェノールA、F、AD等とから誘導されるビスフェノール型エポキシ樹脂、エピクロルヒドリンとフェノールノボラック又はクレゾールノボラックとから誘導されるエポキシノボラック樹脂、ナフタレン環を含んだ骨格を有するナフタレン系エポキシ樹脂、グリシジルアミン、グリシジルエーテル、ビフェニル、脂環式等の1分子内に2個以上のグリシジル基を有する各種のエポキシ化合物等を単独に又は2種以上を混合して用いることが可能である。   Epoxy resins include bisphenol-type epoxy resins derived from epichlorohydrin and bisphenol A, F, AD, etc., epoxy novolac resins derived from epichlorohydrin and phenol novolac or cresol novolac, and naphthalene-based compounds having a skeleton containing a naphthalene ring Various epoxy compounds having two or more glycidyl groups in one molecule such as epoxy resin, glycidylamine, glycidyl ether, biphenyl, and alicyclic can be used alone or in admixture of two or more. .

これらのエポキシ樹脂は、不純物イオン(Na、Cl等)、加水分解性塩素等を300ppm以下に低減した高純度品を用いることが好ましい。これによりエレクトロマイグレーションを防止し易くなる。 These epoxy resins are preferably high-purity products in which impurity ions (Na + , Cl −, etc.), hydrolyzable chlorine and the like are reduced to 300 ppm or less. This makes it easier to prevent electromigration.

潜在性硬化剤としては、イミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ポリアミンの塩、ジシアンジアミド等が挙げられる。この他、接着剤には、ラジカル反応性樹脂と有機過酸化物との混合物、又は、紫外線等のエネルギー線硬化性樹脂が用いられる。   Examples of the latent curing agent include imidazole series, hydrazide series, boron trifluoride-amine complex, sulfonium salt, amine imide, polyamine salt, dicyandiamide, and the like. In addition, for the adhesive, a mixture of a radical reactive resin and an organic peroxide or an energy ray curable resin such as ultraviolet rays is used.

絶縁性のバインダー樹脂20には、接着後の応力を低減するため、又は接着性を向上するために、ブタジエンゴム、アクリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、シリコーンゴム等を混合することができる。   Insulating binder resin 20 can be mixed with butadiene rubber, acrylic rubber, styrene-butadiene rubber, silicone rubber, or the like in order to reduce stress after adhesion or to improve adhesion.

接着剤組成物をフィルム状にするためには、当該組成物に、フィルム形成性を有するフェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂等の熱可塑性樹脂を配合することが効果的である。これらのフィルム形成性高分子は、反応性樹脂の硬化時の応力緩和にも効果がある。特に、フィルム形成性高分子が、水酸基等の官能基を有する場合、接着性が向上するため好ましい。フィルムの形成は、エポキシ樹脂、アクリルゴム、潜在性硬化剤、及びフィルム形成性高分子からなる接着組成物を、有機溶剤に溶解又は分散させることにより、液状化して、剥離性基材(セパレータフィルム)上に塗布し、硬化剤の活性温度以下で溶剤を除去することにより行われる。このとき用いる有機溶剤としては、材料の溶解性を向上させる点において、芳香族炭化水素系と含酸素系との混合溶剤が好ましい。   In order to make the adhesive composition into a film, it is effective to add a thermoplastic resin such as a phenoxy resin, a polyester resin, or a polyamide resin having film-forming properties to the composition. These film-forming polymers are also effective in stress relaxation when the reactive resin is cured. In particular, when the film-forming polymer has a functional group such as a hydroxyl group, the adhesiveness is improved, which is preferable. The film is formed by dissolving or dispersing an adhesive composition composed of an epoxy resin, acrylic rubber, a latent curing agent, and a film-forming polymer in an organic solvent to form a peelable substrate (separator film). ) And then removing the solvent below the activation temperature of the curing agent. The organic solvent used at this time is preferably a mixed solvent of an aromatic hydrocarbon type and an oxygen-containing type in terms of improving the solubility of the material.

異方導電フィルム50の厚さは、絶縁被覆導電粒子の粒径及び接着剤組成物の特性を考慮して相対的に決定されるが、1〜100μmであることが好ましい。厚さが1μm未満では充分な接着性が得られず、100μmを超えると導電性を得るために多量の絶縁被覆導電粒子を必要とするために現実的ではない。こうした理由から、厚さは3〜50μmであることがより好ましい。   The thickness of the anisotropic conductive film 50 is relatively determined in consideration of the particle diameter of the insulating coated conductive particles and the properties of the adhesive composition, but is preferably 1 to 100 μm. If the thickness is less than 1 μm, sufficient adhesiveness cannot be obtained, and if it exceeds 100 μm, a large amount of insulating coated conductive particles are required to obtain conductivity, which is not realistic. For these reasons, the thickness is more preferably 3 to 50 μm.

<接続構造体の製造方法>
図4は、異方導電材料を用いて上記接続構造体を製造する工程を概略断面図により示す工程図である。本実施形態では、異方導電材料を熱硬化させて接続構造体を製造する。
<Method for manufacturing connection structure>
FIG. 4 is a process diagram schematically illustrating a process of manufacturing the connection structure using an anisotropic conductive material. In the present embodiment, the anisotropic conductive material is thermally cured to manufacture the connection structure.

先ず、上述した第1の回路部材30と、異方導電フィルム50を用意する。異方導電フィルム50は、上記のように絶縁被覆導電粒子10を含有する接着剤組成物からなる。   First, the first circuit member 30 and the anisotropic conductive film 50 described above are prepared. The anisotropic conductive film 50 is made of an adhesive composition containing the insulating coated conductive particles 10 as described above.

次に、異方導電フィルム50を第1の回路部材30の回路電極32が形成されている面上に載せる。そして、異方導電フィルム50を、図4(a)の矢印A及びB方向に加圧し、異方導電フィルム50を第1の回路部材30に仮接続する(図4(b))。   Next, the anisotropic conductive film 50 is placed on the surface of the first circuit member 30 on which the circuit electrodes 32 are formed. And the anisotropic conductive film 50 is pressurized to the arrow A and B direction of Fig.4 (a), and the anisotropic conductive film 50 is temporarily connected to the 1st circuit member 30 (FIG.4 (b)).

このときの圧力は回路部材に損傷を与えない範囲であれば特に制限されないが、一般的には0.1〜30.0MPaとすることが好ましい。また、加熱しながら加圧してもよく、加熱温度は異方導電フィルム50が実質的に硬化しない温度とする。加熱温度は一般的には50〜190℃にするのが好ましい。これらの加熱及び加圧は0.5〜120秒間の範囲で行うことが好ましい。   Although the pressure at this time will not be restrict | limited especially if it is a range which does not damage a circuit member, Generally it is preferable to set it as 0.1-30.0 MPa. Moreover, you may pressurize, heating, and let heating temperature be the temperature which the anisotropic conductive film 50 does not harden | cure substantially. In general, the heating temperature is preferably 50 to 190 ° C. These heating and pressurization are preferably performed in the range of 0.5 to 120 seconds.

次いで、図4(c)に示すように、第2の回路部材40を、第2の回路電極42を第1の回路部材30の側に向けるようにして異方導電フィルム50上に載せる。そして、異方導電フィルム50を加熱しながら、図4(c)の矢印A及びB方向に全体を加圧する。   Next, as shown in FIG. 4C, the second circuit member 40 is placed on the anisotropic conductive film 50 so that the second circuit electrode 42 faces the first circuit member 30. And the whole is pressurized in the arrow A and B direction of FIG.4 (c), heating the anisotropic conductive film 50. FIG.

このときの加熱温度は、異方導電フィルム50が硬化可能な温度とする。加熱温度は、60〜200℃が好ましく、70〜190℃がより好ましく、80〜160℃が更に好ましい。加熱温度が60℃未満であると硬化速度が遅くなる傾向があり、200℃を超えると望まない副反応が進行し易い傾向がある。加熱時間は、0.1〜180秒が好ましく、0.5〜180秒がより好ましく、1〜180秒が更に好ましい。   The heating temperature at this time is set to a temperature at which the anisotropic conductive film 50 can be cured. The heating temperature is preferably 60 to 200 ° C, more preferably 70 to 190 ° C, and still more preferably 80 to 160 ° C. When the heating temperature is less than 60 ° C, the curing rate tends to be slow, and when it exceeds 200 ° C, unwanted side reactions tend to proceed. The heating time is preferably 0.1 to 180 seconds, more preferably 0.5 to 180 seconds, and still more preferably 1 to 180 seconds.

異方導電フィルム50の硬化により接続部50aが形成されて、図3に示すような接続構造体100が得られる。接続の条件は、使用する用途、接着剤組成物及び回路部材によって適宜選択される。なお、異方導電フィルム50における絶縁性のバインダー樹脂20として、光によって硬化するものを使用した場合には、異方導電フィルム50に対して活性光線又はエネルギー線を適宜照射すればよい。活性光線としては、紫外線、可視光、赤外線等が挙げられる。エネルギー線としては、電子線、エックス線、γ線、マイクロ波等が挙げられる。   The connection part 50a is formed by hardening the anisotropic conductive film 50, and the connection structure 100 as shown in FIG. 3 is obtained. The connection conditions are appropriately selected depending on the application to be used, the adhesive composition, and the circuit member. In addition, when what is hardened | cured with light is used as the insulating binder resin 20 in the anisotropic conductive film 50, what is necessary is just to irradiate the anisotropic conductive film 50 with an actinic ray or an energy ray suitably. Examples of the active light include ultraviolet light, visible light, and infrared light. Examples of energy rays include electron beams, X-rays, γ rays, and microwaves.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

以下、実施例及び比較例を挙げて本発明の内容をより具体的に説明する。なお、本発明は下記実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the contents of the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. In addition, this invention is not limited to the following Example.

<絶縁被覆用粒子の作製>
(コア粒子1の作製)
500mlフラスコに下記の化合物を一括して仕込み、窒素にて1時間溶存酸素を置換した後、温度70℃のウォーターバスで、約6時間加熱撹拌をしてコア粒子1を得た。
<Preparation of particles for insulation coating>
(Preparation of core particle 1)
The following compounds were charged all at once into a 500 ml flask, and the dissolved oxygen was replaced with nitrogen for 1 hour, followed by heating and stirring in a water bath at a temperature of 70 ° C. for about 6 hours to obtain core particles 1.

スチレン 40.4g(388mmol)
ジビニルベンゼン 1.6g(12mmol)
2,2’−アゾビス[N−(2−カルボキシエチル)−2−メチルプロピオンアミジン](VA−057) 1.4g(4mmol)
メタクリル酸ジメチルアミノエチルの1,3−プロパンスルトン付加物(DMAEMAPS) 0.6g(2mmol)
水 400g
Styrene 40.4g (388mmol)
1.6 g (12 mmol) of divinylbenzene
2,2'-azobis [N- (2-carboxyethyl) -2-methylpropionamidine] (VA-057) 1.4 g (4 mmol)
1,3-propane sultone adduct of dimethylaminoethyl methacrylate (DMAEMAPS) 0.6 g (2 mmol)
400 g of water

コア粒子1をSEMにより観察したところ、平均粒径は262nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.1%であった。   When the core particle 1 was observed by SEM, the average particle size was 262 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle size was 4.1%.

(コア粒子2〜4の作製)
表1に記載の材料を使用したこと以外は上記コア粒子1の作製手順と同様にして、コア粒子2〜4を作製した。表1中、「KBE−503」はγ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名)を示す。
(Preparation of core particles 2 to 4)
Core particles 2 to 4 were produced in the same manner as the production procedure of the core particle 1 except that the materials shown in Table 1 were used. In Table 1, “KBE-503” represents γ-methacryloxypropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name).

Figure 2013069678
Figure 2013069678

(絶縁被覆用粒子1の作製)
500mlフラスコに下記の化合物を一括して仕込み、温度35℃のウォーターバスで撹拌しながら、下記シェル原料分散液1を1時間かけて滴下し、滴下後6時間加熱撹拌を続け、絶縁被覆用粒子の分散液を得た。
(Preparation of insulating coating particles 1)
The following compounds are charged all at once into a 500 ml flask, and the following shell raw material dispersion 1 is added dropwise over 1 hour while stirring in a water bath at a temperature of 35 ° C., followed by heating and stirring for 6 hours, and then particles for insulation coating A dispersion was obtained.

5質量%コア粒子1水溶液 100g
エタノール 100g
トリエチルアミン 2g
5 mass% core particle 1 aqueous solution 100g
Ethanol 100g
Triethylamine 2g

[シェル原料分散液1]
テトラエトキシシラン 12.5g
エタノール 300g
[Shell Raw Material Dispersion 1]
Tetraethoxysilane 12.5g
Ethanol 300g

得られた絶縁被覆用粒子の分散液を遠心分離し、メタノールへの再分散を数回繰り返した。その後、絶縁被覆用粒子をSEMにより観察したところ、平均粒径は300nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.2%であった。また、得られた絶縁被覆用粒子1gを高温高湿度試験槽(温度60℃、湿度90%)に18時間放置した後、再度粒子重量を測定することにより吸湿率を算出した。吸湿率は1.5質量%であった。また、得られた粒子を乾燥後、0.5gをイオン交換水25gに分散させ、耐圧容器中100℃で12時間放置後、イオンクロマトグラフィーにより溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、15ppmであった。   The obtained dispersion liquid for insulating coating particles was centrifuged, and redispersion in methanol was repeated several times. Thereafter, when the insulating coating particles were observed with an SEM, the average particle size was 300 nm, and the coefficient of variation (CV) in the particle size was 4.2%. Further, after 1 g of the obtained insulating coating particles were left in a high-temperature and high-humidity test tank (temperature 60 ° C., humidity 90%) for 18 hours, the moisture absorption was calculated by measuring the particle weight again. The moisture absorption rate was 1.5% by mass. Further, after drying the obtained particles, 0.5 g was dispersed in 25 g of ion-exchanged water, and after standing for 12 hours at 100 ° C. in a pressure vessel, the concentration of eluted ammonium ions was measured by ion chromatography. .

続いて、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン60g、メタノール3g、水14g、塩酸(全量の1質量%)を混合し、60℃で4時間撹拌することにより、グリシジル基を有するシリコーンオリゴマー1を合成した。このシリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子1を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。   Subsequently, 60 g of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3 g of methanol, 14 g of water and hydrochloric acid (1% by mass of the total amount) were mixed and stirred at 60 ° C. for 4 hours, whereby the silicone oligomer 1 having a glycidyl group was obtained. Synthesized. This silicone oligomer 1 was added to the above dispersion for insulating coating particles in the same amount as the particle weight and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 1 whose surface was treated with a silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子2の作製)
絶縁被覆用粒子1の合成においてシェル原料分散液のテトラエトキシシランの量を2倍にしたこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は325nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.0%であった。吸湿率を算出したところ、2.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、31ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子2を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 2)
A dispersion of insulating coating particles was prepared in the same manner except that the amount of tetraethoxysilane in the shell raw material dispersion was doubled in the synthesis of the insulating coating particles 1. When observed by SEM, the average particle diameter was 325 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle diameter was 4.0%. It was 2.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 31 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the above dispersion for insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 2 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子3の作製)
絶縁被覆用粒子1の合成においてシェル原料分散液のテトラエトキシシランの量を3倍にしたこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は363nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.4%であった。吸湿率を算出したところ、3.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、19ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子3を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 3)
A dispersion of insulating coating particles was prepared in the same manner except that the amount of tetraethoxysilane in the shell raw material dispersion was tripled in the synthesis of the insulating coating particles 1. When observed by SEM, the average particle size was 363 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle size was 4.4%. It was 3.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The eluted ammonium ion concentration was measured and found to be 19 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the dispersion liquid for the insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 3 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子4の作製)
500mlフラスコに下記の化合物を一括して仕込み、温度80℃のウォーターバスで撹拌しながら、下記シェル原料分散液2を1時間かけて滴下し、滴下後5時間加熱撹拌を続け、20時間静置後、絶縁被覆用粒子の分散液を得た。
(Preparation of insulating coating particles 4)
The following compounds are charged all at once into a 500 ml flask, and the following shell raw material dispersion 2 is added dropwise over 1 hour while stirring in a water bath at a temperature of 80 ° C., followed by heating and stirring for 5 hours after the addition, and left for 20 hours. Thereafter, a dispersion of the insulating coating particles was obtained.

2.5質量%コア粒子1水溶液 200g
ドデシルベンゼンスルホン酸Na 2g
ドデシルベンゼンスルホン酸 2g
200% of 2.5 mass% core particle 1 aqueous solution
Dodecylbenzenesulfonic acid Na 2g
2g dodecylbenzenesulfonic acid

[シェル原料分散液2]
メチルトリメトキシシラン 15.0g
水 20.0g
ドデシルベンゼンスルホン酸Na 0.1g
[Shell raw material dispersion 2]
Methyltrimethoxysilane 15.0g
20.0 g of water
Dodecylbenzenesulfonic acid Na 0.1g

得られた粒子分散液を遠心分離し、メタノールへの再分散を数回繰り返した後、SEMにより観察したところ、平均粒径は312nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.5%であった。実施例1と同様にして吸湿率を算出したところ、1.2質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、21ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子4を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
The obtained particle dispersion was centrifuged, and redispersion in methanol was repeated several times. When observed by SEM, the average particle diameter was 312 nm, and the coefficient of variation (C.V.) of the particle diameter was 4.5. %Met. The moisture absorption rate calculated in the same manner as in Example 1 was 1.2% by mass. The eluted ammonium ion concentration was measured and found to be 21 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the above dispersion for insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 4 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子5の作製)
500mlフラスコに下記の化合物を一括して仕込み、温度80℃のウォーターバスで撹拌しながら、下記シェル原料分散液3を1時間かけて滴下し、滴下後5時間加熱撹拌を続け、20時間静置後、絶縁被覆用粒子の分散液を得た。
(Preparation of insulating coating particles 5)
The following compounds are charged all at once into a 500 ml flask, and the following shell raw material dispersion 3 is added dropwise over 1 hour while stirring in a water bath at a temperature of 80 ° C. After the dropwise addition, heating and stirring are continued for 5 hours and left for 20 hours. Thereafter, a dispersion of the insulating coating particles was obtained.

2.5質量%コア粒子1水溶液 200g
ドデシルベンゼンスルホン酸Na 2g
ドデシルベンゼンスルホン酸 2g
200% of 2.5 mass% core particle 1 aqueous solution
Dodecylbenzenesulfonic acid Na 2g
2g dodecylbenzenesulfonic acid

[シェル原料分散液3]
メチルトリメトキシシラン 7.3g
ジメチルジメトキシシラン 6.4g
テトラメトキシシラン 1.3g
ドデシルベンゼンスルホン酸Na 0.1g
水 20g
[Shell raw material dispersion 3]
7.3 g of methyltrimethoxysilane
6.4 g of dimethyldimethoxysilane
Tetramethoxysilane 1.3g
Dodecylbenzenesulfonic acid Na 0.1g
20g of water

得られた粒子分散液を遠心分離し、メタノールへの再分散を数回繰り返した後、SEMにより観察したところ、平均粒径は315nm、粒径の変動係数(C.V.)は5%であった。吸湿率を算出したところ、0.7質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、30ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子5を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
The obtained particle dispersion was centrifuged, redispersed in methanol several times, and observed by SEM. The average particle size was 315 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle size was 5%. there were. It was 0.7 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 30 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the above dispersion for insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 5 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子6の作製)
絶縁被覆用粒子4の合成においてシェル原料分散液2の2倍量を2時間かけて添加したこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は365nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.8%であった。吸湿率を算出したところ、1.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、40ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子6を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 6)
A dispersion of insulating coating particles was prepared in the same manner except that in the synthesis of the insulating coating particles 4, twice the amount of the shell raw material dispersion 2 was added over 2 hours. When observed by SEM, the average particle diameter was 365 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle diameter was 4.8%. It was 1.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 40 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the above dispersion for insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 6 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子7の作製)
絶縁被覆用粒子4の合成においてコア粒子1の代わりにコア粒子2を用いたこと、及び、シェル原料分散液2の3倍量を3時間かけて添加したこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は316nm、粒径の変動係数(C.V.)は3.5%であった。吸湿率を算出したところ、1.2質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、20ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子7を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 7)
Insulating coating particles in the same manner except that the core particles 2 were used instead of the core particles 1 in the synthesis of the insulating coating particles 4 and that 3 times the amount of the shell raw material dispersion 2 was added over 3 hours. A dispersion was prepared. When observed by SEM, the average particle diameter was 316 nm and the coefficient of variation (CV) of the particle diameter was 3.5%. It was 1.2 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 20 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the particle weight was added to the dispersion liquid for the insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain the insulating coating particles 7 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子8の作製)
絶縁被覆用粒子1の合成においてコア粒子2を使用したこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は152nm、粒径の変動係数(C.V.)は4.8%であった。吸湿率を算出したところ、1.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、18ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子8を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 8)
A dispersion of insulating coating particles was prepared in the same manner except that the core particles 2 were used in the synthesis of the insulating coating particles 1. When observed by SEM, the average particle diameter was 152 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle diameter was 4.8%. It was 1.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 18 ppm.
Further, the same amount of the silicone oligomer 1 as the weight of the particles was added to the dispersion liquid for the insulating coating particles and stirred for 2 hours to obtain insulating coating particles 8 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子9の作製)
絶縁被覆用粒子1の合成においてコア粒子1の代わりにコア粒子4を用いたこと以外は同様にして絶縁被覆用粒子の分散液を作製した。SEMにより観察したところ、平均粒径は405nm、粒径の変動係数(C.V.)は5.0%であった。吸湿率を算出したところ、1.2質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、22ppmであった。
また、シリコーンオリゴマー1を上記絶縁被覆用粒子の分散液に粒子重量と同量添加し2時間撹拌を行い、表面がシリコーンオリゴマー処理された絶縁被覆用粒子9を得た。その後、遠心分離を3回行い、粒子の洗浄後、メタノールに分散させた。
(Preparation of insulating coating particles 9)
A dispersion of insulating coating particles was prepared in the same manner except that the core particles 4 were used instead of the core particles 1 in the synthesis of the insulating coating particles 1. When observed by SEM, the average particle diameter was 405 nm, and the coefficient of variation (CV) of the particle diameter was 5.0%. It was 1.2 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 22 ppm.
Further, the same amount of silicone oligomer 1 as the weight of the particles was added to the dispersion liquid of the insulating coating particles, followed by stirring for 2 hours to obtain insulating coating particles 9 whose surface was treated with the silicone oligomer. Thereafter, centrifugation was performed three times, and after washing the particles, they were dispersed in methanol.

(絶縁被覆用粒子10の作製)
コア粒子1を絶縁被覆用粒子10とした。吸湿率を算出したところ、0.5質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、30ppmであった。
(Preparation of insulating coating particles 10)
The core particle 1 was used as the insulating coating particle 10. It was 0.5 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 30 ppm.

(絶縁被覆用粒子11の作製)
コア粒子3を作製後、下記化合物の混合物を上記で得られたコア粒子3の分散液に1時間かけて滴下し、更に4時間重合を行い、絶縁被覆用粒子11を作製した。
(Preparation of insulating coating particles 11)
After preparing the core particles 3, a mixture of the following compounds was added dropwise to the dispersion of the core particles 3 obtained above over 1 hour, and polymerization was further performed for 4 hours to prepare insulating coating particles 11.

スチレン 40.4g
ジビニルベンゼン 1.6g
VA−057 1.4g
DMAEMAPS 0.6g
Styrene 40.4g
1.6g divinylbenzene
VA-057 1.4g
DMAEMAPS 0.6g

粒子をSEMにより観察したところ、平均粒径は320nm、粒径の変動係数(C.V.)は6%であった。吸湿率を算出したところ、1.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、40ppmであった。   When the particles were observed by SEM, the average particle size was 320 nm, and the coefficient of variation (CV) in the particle size was 6%. It was 1.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 40 ppm.

(絶縁被覆用粒子12の作製)
コロイダルシリカ分散液(濃度20質量%、扶桑化学工業社製、商品名クオートロンPL−13、平均粒径130nm)を絶縁被覆用粒子12とした。吸湿率を算出したところ、4.0質量%であった。溶出アンモニウムイオン濃度を測定したところ、12ppmであった。
(Preparation of insulating coating particles 12)
A colloidal silica dispersion (concentration 20% by mass, manufactured by Fuso Chemical Industries, trade name Quatron PL-13, average particle size 130 nm) was used as insulating coating particles 12. It was 4.0 mass% when the moisture absorption rate was computed. The elution ammonium ion concentration was measured and found to be 12 ppm.

(シェル層の厚さの測定)
上記絶縁被覆用粒子1〜12について、シェル形成前後の平均粒径よりシェル層の厚さを算出した。結果を表2に示す。
(Measurement of shell layer thickness)
For the insulating coating particles 1 to 12, the thickness of the shell layer was calculated from the average particle size before and after shell formation. The results are shown in Table 2.

Figure 2013069678
Figure 2013069678

<導電粒子の絶縁被覆と異方導電フィルムの実装試験>
(導電粒子)
平均粒径3.0μmの架橋ポリスチレン粒子の表面に、厚み0.2μmのニッケル層を無電界めっきで形成し、更にそのニッケルの外側に厚み0.04μmのパラジウム層を形成させて、導電粒子を得た。
<Mounting test of conductive particle insulation coating and anisotropic conductive film>
(Conductive particles)
A nickel layer having a thickness of 0.2 μm is formed by electroless plating on the surface of a crosslinked polystyrene particle having an average particle diameter of 3.0 μm, and a palladium layer having a thickness of 0.04 μm is further formed on the outer side of the nickel. Obtained.

(導電粒子の絶縁被覆)
メルカプト酢酸8mmolをメタノール200mLに溶解させて反応液を調製した。この反応液に導電粒子を10g加え、室温で2時間スリーワンモータと直径45mmの攪拌羽を用いて攪拌して、導電粒子の表面をメルカプト酢酸で処理した。φ(孔径)3μmのメンブレンフィルタ(ミリポア社製)を用いた濾過により処理後の導電粒子を取り出し、取り出された導電粒子をメタノールで洗浄して、表面にカルボキシル基を有する導電粒子1gを得た。
(Insulation coating of conductive particles)
A reaction solution was prepared by dissolving 8 mmol of mercaptoacetic acid in 200 mL of methanol. 10 g of conductive particles were added to the reaction solution, and the mixture was stirred with a three-one motor and a stirring blade having a diameter of 45 mm at room temperature for 2 hours, and the surface of the conductive particles was treated with mercaptoacetic acid. The treated conductive particles were taken out by filtration using a membrane filter (manufactured by Millipore) having a pore size of 3 μm, and the taken out conductive particles were washed with methanol to obtain 1 g of conductive particles having a carboxyl group on the surface. .

分子量70000の30%ポリエチレンイミン水溶液(和光純薬社製)を超純水で希釈し、0.3質量%ポリエチレンイミン水溶液を得た。このポリエチレンイミン水溶液に、上記で得た表面にカルボキシル基を有する導電粒子1gを加え、室温で15分攪拌した。次にφ3μmのメンブレンフィルタ(ミリポア社製)を用いた濾過により導電粒子を取り出し、取り出された導電粒子を超純水200gに入れて室温で5分攪拌した。その後、φ3μmのメンブレンフィルタ(ミリポア社製)を用いた濾過により導電粒子を取り出し、メンブレンフィルタ上の導電粒子を200gの超純水で2回洗浄して、吸着していないポリエチレンイミンを除去した。以上の操作により、表面にポリエチレンイミンが吸着した導電粒子を得た。   A 30% polyethyleneimine aqueous solution (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) having a molecular weight of 70,000 was diluted with ultrapure water to obtain a 0.3 mass% polyethyleneimine aqueous solution. To this polyethyleneimine aqueous solution, 1 g of conductive particles having a carboxyl group on the surface obtained above was added and stirred at room temperature for 15 minutes. Next, the conductive particles were taken out by filtration using a φ3 μm membrane filter (manufactured by Millipore), and the taken out conductive particles were put in 200 g of ultrapure water and stirred at room temperature for 5 minutes. Thereafter, the conductive particles were removed by filtration using a φ3 μm membrane filter (manufactured by Millipore), and the conductive particles on the membrane filter were washed twice with 200 g of ultrapure water to remove non-adsorbed polyethyleneimine. Through the above operation, conductive particles having polyethyleneimine adsorbed on the surface were obtained.

次にポリエチレンイミンで処理した導電粒子をイソプロピルアルコールに浸漬し、絶縁被覆用粒子1〜12の分散液をそれぞれ滴下することで、微粒子被覆率が30%の絶縁被覆導電粒子を作製した。被覆率は滴下量で調整した。   Next, the conductive particles treated with polyethyleneimine were immersed in isopropyl alcohol, and the dispersions of the insulating coating particles 1 to 12 were dropped to produce insulating coated conductive particles having a fine particle coverage of 30%. The coverage was adjusted by the dropping amount.

次にφ3μmのメンブレンフィルタ(ミリポア社製)を用いた濾過により導電粒子を取り出し、取り出された導電粒子を超純水200gに入れて室温で5分攪拌した。その後、φ3μmのメンブレンフィルタ(ミリポア社製)を用いた濾過により導電粒子を取り出し、メンブレンフィルタ上の導電粒子を200gの超純水で2回洗浄して、絶縁被覆用粒子が吸着していない導電粒子を除去した。次いで80℃で30分、120℃で1時間の順で加熱して絶縁被覆導電粒子を乾燥した。   Next, the conductive particles were taken out by filtration using a φ3 μm membrane filter (manufactured by Millipore), and the taken out conductive particles were put in 200 g of ultrapure water and stirred at room temperature for 5 minutes. Thereafter, the conductive particles are removed by filtration using a φ3 μm membrane filter (manufactured by Millipore), and the conductive particles on the membrane filter are washed twice with 200 g of ultrapure water so that the insulating coating particles are not adsorbed. Particles were removed. Next, the insulating coated conductive particles were dried by heating in the order of 80 ° C. for 30 minutes and 120 ° C. for 1 hour.

続いて、絶縁被覆導電粒子10gを、シリコーンオリゴマー2(信越化学工業社製、商品名:KR−212)を粒子重量と同量溶解した処理液100gに入れ、常温1時間の条件でスリーワンモータを用いて攪拌した。その後、濾過により粒子を取り出し、取り出された絶縁被覆導電粒子をメタノールで洗浄してから乾燥することで、表面にシリコーンオリゴマー2が付着した絶縁被覆導電粒子1〜12を得た。   Subsequently, 10 g of the insulating coated conductive particles are put into 100 g of a processing solution in which silicone oligomer 2 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name: KR-212) is dissolved in the same amount as the particle weight, and the three-one motor is operated under the condition of room temperature for 1 hour. Used and stirred. Thereafter, the particles were taken out by filtration, and the taken insulating coated conductive particles were washed with methanol and dried to obtain insulating coated conductive particles 1 to 12 having the silicone oligomer 2 attached to the surface.

(絶縁被覆用粒子の耐溶剤性試験)
得られた絶縁被覆導電粒子をトルエン/酢酸エチル(混合比:50質量部/50質量部)溶液に浸漬し、5分超音波照射(24kHz)後、SEMにて絶縁被覆導電粒子を確認し、絶縁被覆用粒子が剥離しているかどうかを確認した。絶縁被覆用粒子の吸着量に変化が無い場合をA、絶縁被覆用粒子が部分的に剥離した場合をCとした。結果を表3に示す。
(Solvent resistance test for insulating coating particles)
The obtained insulating coated conductive particles were immersed in a toluene / ethyl acetate (mixing ratio: 50 parts by mass / 50 parts by mass) solution, irradiated with ultrasonic waves for 5 minutes (24 kHz), and then the insulating coated conductive particles were confirmed by SEM, It was confirmed whether the insulating coating particles were peeled off. The case where there was no change in the amount of adsorption of the insulating coating particles was A, and the case where the insulating coating particles were partially peeled was C. The results are shown in Table 3.

(異方導電フィルムの作製及びこれを用いた回路接続)
フェノキシ樹脂(ユニオンカーバイド社製、商品名:PKHC)100gと、アクリルゴム(ブチルアクリレート40質量部、エチルアクリレート30質量部、アクリロニトリル30質量部、グリシジルメタクリレート3質量部の共重合体、重量平均分子量:85万)75gをトルエン/酢酸エチル(混合比:50質量部/50質量部)400gに溶解し、30質量%溶液を得た。この溶液に、マイクロカプセル型潜在性硬化剤を含有する液状エポキシ樹脂(エボキシ当量185、旭化成エポキシ株式会社製、商品名:ノバキュアHX−3941)300gを加え、撹拌して接着剤溶液を準備した。
(Production of anisotropic conductive film and circuit connection using this)
100 g of phenoxy resin (Union Carbide, trade name: PKHC), acrylic rubber (40 parts by mass of butyl acrylate, 30 parts by mass of ethyl acrylate, 30 parts by mass of acrylonitrile, 3 parts by mass of glycidyl methacrylate, weight average molecular weight: 850,000) was dissolved in 400 g of toluene / ethyl acetate (mixing ratio: 50 parts by mass / 50 parts by mass) to obtain a 30% by mass solution. To this solution, 300 g of a liquid epoxy resin (Eboxy equivalent 185, manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd., trade name: Novacure HX-3941) containing a microcapsule type latent curing agent was added and stirred to prepare an adhesive solution.

この接着剤溶液に、表面にシリコーンオリゴマーが付着した上記絶縁被覆導電粒子を分散させた。その濃度は接着剤溶液の量を基準として9体積%とした。得られた分散液をセパレータ(シリコーン処理したポリエチレンテレフタレートフイルム、厚み40μm)にロールコータを用いて塗布し、90℃で10分の加熱により乾燥して、厚み25μmの異方導電フィルムをセパレータ上に形成させた。   Into this adhesive solution, the above-mentioned insulating coated conductive particles having a silicone oligomer adhered on the surface were dispersed. The concentration was 9% by volume based on the amount of the adhesive solution. The obtained dispersion was applied to a separator (silicone-treated polyethylene terephthalate film, thickness 40 μm) using a roll coater, dried by heating at 90 ° C. for 10 minutes, and an anisotropic conductive film having a thickness of 25 μm was placed on the separator. Formed.

次に、作製した異方導電フィルムを用いて、金バンプ(面積:30μm×90μm、スペース12μm、高さ:15μm、バンブ数362)付きチップ(1.7mm×1.7mm、厚み:0.5μm)とITO回路付きガラス基板(厚み:0.7mm)との接続を以下に示すi)〜iii)の手順に従って行い、接続構造体サンプル(実施例1〜9、及び、比較例1〜3)を作製した。   Next, using the produced anisotropic conductive film, a chip (1.7 mm × 1.7 mm, thickness: 0.5 μm) with gold bumps (area: 30 μm × 90 μm, space 12 μm, height: 15 μm, number of bumps 362) ) And an ITO circuit-attached glass substrate (thickness: 0.7 mm) according to the following procedures i) to iii), and connection structure samples (Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 3) Was made.

i)異方導電接着フィルム(2mm×19mm)をITO回路付きガラス基板に80℃、0.98MPa(10kgf/cm)の圧力で貼り付けた。
ii)セパレータを剥離し、チップのバンプとITO回路付きガラス基板との位置合わせを行った。
iii)190℃、40MPa(低圧実装条件)、10秒の条件でチップ上方から加熱及び加圧を行い、本接続を行った。
i) An anisotropic conductive adhesive film (2 mm × 19 mm) was attached to a glass substrate with an ITO circuit at 80 ° C. and a pressure of 0.98 MPa (10 kgf / cm 2 ).
ii) The separator was peeled off, and the bumps of the chip and the glass substrate with ITO circuit were aligned.
iii) The main connection was performed by heating and pressurizing from above the chip under the conditions of 190 ° C. and 40 MPa (low pressure mounting conditions) and 10 seconds.

(絶縁抵抗試験及び導通抵抗試験)
作製した接続構造体サンプルについて絶縁抵抗試験及び導通抵抗試験を行った。異方導電フィルムはチップ電極間の絶縁抵抗が高く、チップ電極/ガラス電極間の導通抵抗が低いことが重要である。10サンプルのチップ電極間の絶縁抵抗を測定した。絶縁抵抗は初期値と、気温60℃、湿度90%、20V印加の条件で1000時間放置する信頼性試験(マイグレーション試験)後の値とを測定した。また、信頼性試験後の絶縁抵抗が10Ω以上であったものを良品とした場合の歩留まりを算出した。
(Insulation resistance test and conduction resistance test)
The manufactured connection structure sample was subjected to an insulation resistance test and a conduction resistance test. It is important that the anisotropic conductive film has a high insulation resistance between the chip electrodes and a low conduction resistance between the chip electrode and the glass electrode. The insulation resistance between 10 sample chip electrodes was measured. The insulation resistance was measured as an initial value and a value after a reliability test (migration test) in which the film was allowed to stand for 1000 hours under the conditions of an air temperature of 60 ° C., a humidity of 90%, and 20 V applied. In addition, the yield was calculated when a product having an insulation resistance of 10 9 Ω or more after the reliability test was regarded as a non-defective product.

チップ電極/ガラス電極間の導通抵抗に関しては14サンプルの平均値を測定した。導通抵抗は初期値と気温85℃、湿度85%の条件で1000時間放置する信頼性試験(吸湿耐熱試験)後の値を測定した。測定結果を表3に示す。   Regarding the conduction resistance between the chip electrode and the glass electrode, the average value of 14 samples was measured. The conduction resistance was measured after a reliability test (a hygroscopic heat resistance test) in which the conductive resistance was allowed to stand for 1000 hours under the conditions of an initial value, a temperature of 85 ° C. and a humidity of 85%. Table 3 shows the measurement results.

表3における絶縁抵抗試験及び導通抵抗試験の結果のまとめを表4に示す。導通抵抗評価として信頼性試験前の導通抵抗が1Ω以下の場合をA、1Ω超5Ω以下の場合をB、5Ω超の場合をCとした。絶縁信頼性の評価として信頼性試験前の歩留まりが100%以下80%以上の場合をA、80%未満50%以上の場合をB、50%未満をCとした。さらに、接続信頼性の評価として信頼性試験後の導通抵抗が0Ω以上50Ω未満の場合をA、50Ω以上100Ω未満の場合をB、100Ω以上の場合をCとした。   A summary of the results of the insulation resistance test and the conduction resistance test in Table 3 is shown in Table 4. As the conductive resistance evaluation, A is a case where the conductive resistance before the reliability test is 1Ω or less, B is a case where the resistance is over 1Ω and 5Ω or less, and C is a case where the resistance is over 5Ω. As the evaluation of the insulation reliability, A was obtained when the yield before the reliability test was 100% or less and 80% or more, B was less than 80% and 50% or more, and C was less than 50%. Furthermore, as the evaluation of connection reliability, the case where the conduction resistance after the reliability test is 0Ω or more and less than 50Ω is A, the case where it is 50Ω or more and less than 100Ω is B, and the case where it is 100Ω or more is C.

Figure 2013069678
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Figure 2013069678
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表3に示されるように、実施例1〜9の接続構造体サンプルは、信頼性試験前後ともに良好な導通抵抗、絶縁信頼性及び接続信頼性を示した。これは、コア粒子にシリコーン系化合物でシェル層を形成することにより、粒子に耐熱性及び耐溶剤性を付与できたためであると推定される。また、実施例1〜9は信頼性試験後も歩留まり100%を維持した。   As shown in Table 3, the connection structure samples of Examples 1 to 9 exhibited good conduction resistance, insulation reliability, and connection reliability before and after the reliability test. This is presumed to be because heat resistance and solvent resistance could be imparted to the particles by forming a shell layer with a silicone compound on the core particles. In Examples 1 to 9, the yield was maintained at 100% even after the reliability test.

絶縁被覆用粒子としてコアシェル構造を有しないポリマ粒子又はコアもシェルも同じポリマからなる粒子を用いた場合、初期導通抵抗は良好であったが、絶縁信頼性及び接続信頼性が悪い結果となった(比較例1及び2)。これはポリマ粒子の耐溶剤性が悪いために、樹脂混練中に絶縁被覆用粒子が剥離し、絶縁信頼性が低い結果となったと推定される。また、ポリマ粒子の耐熱性が低く、熱膨張係数が高いために、接続信頼性に影響を与えたと推定される。また、絶縁被覆用粒子としてシリカ粒子を用いた場合、導通抵抗が高い結果となった(比較例3)。これは粒子の弾性率が高いために粒子の変形が困難となり、導通が困難となったと推定される。   When polymer particles having no core-shell structure or particles having the same core and shell were used as the insulating coating particles, the initial conduction resistance was good, but the insulation reliability and connection reliability were poor. (Comparative Examples 1 and 2). This is presumably because the polymer particles have poor solvent resistance, so that the insulating coating particles peeled during the resin kneading, resulting in low insulation reliability. Further, it is presumed that the connection reliability was affected because the heat resistance of the polymer particles was low and the coefficient of thermal expansion was high. In addition, when silica particles were used as the insulating coating particles, the result was high conduction resistance (Comparative Example 3). It is presumed that this is because the elastic modulus of the particles is high, so that the deformation of the particles becomes difficult and the conduction becomes difficult.

1…絶縁被覆用粒子、1a…コア粒子、1b…シェル層、2…基材粒子、2a…球状芯材粒子、2b…金属の層、10…絶縁被覆導電粒子、20…絶縁性のバインダー樹脂、20a…絶縁性のバインダー樹脂の硬化物、30…第1の回路部材、31…回路基板(第1の回路基板)、31a…第1の回路基板の主面、32…回路電極(第1の回路電極)、40…第2の回路部材、41…回路基板(第2の回路基板)、41a…第2の回路基板の主面、42…回路電極(第2の回路電極)、50…異方導電フィルム、50a…接続部、100…接続構造体。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Particle | grains for insulation coating, 1a ... Core particle, 1b ... Shell layer, 2 ... Base material particle, 2a ... Spherical core material particle, 2b ... Metal layer, 10 ... Insulation coating conductive particle, 20 ... Insulating binder resin , 20a ... hardened material of insulating binder resin, 30 ... first circuit member, 31 ... circuit board (first circuit board), 31a ... main surface of the first circuit board, 32 ... circuit electrode (first Circuit electrode), 40 ... second circuit member, 41 ... circuit board (second circuit board), 41a ... main surface of the second circuit board, 42 ... circuit electrode (second circuit electrode), 50 ... Anisotropic conductive film, 50a ... connection part, 100 ... connection structure.

Claims (15)

表面が導電性を有する金属からなる基材粒子を被覆して絶縁被覆導電粒子を形成するための絶縁被覆用粒子であって、
コア粒子及びシェル層を有するコアシェル構造を備え、
前記コア粒子が、有機高分子を含み、
前記シェル層が、SiO4/2単位、RSiO3/2単位及びRSiO2/2単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の単位を有するシリコーン系化合物を含む、絶縁被覆用粒子。(ここで、前記Rは、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数6〜24の芳香族基、ビニル基、及び、γ−(メタ)アクリロキシプロピル基からなる群より選ばれる少なくとも1種を示す。)
Insulating coating particles for forming insulating coated conductive particles by coating base particles made of metal having conductive surface,
A core-shell structure having core particles and a shell layer;
The core particles include an organic polymer;
Insulating coating particles, wherein the shell layer contains a silicone compound having at least one unit selected from the group consisting of SiO 4/2 units, RSiO 3/2 units, and R 2 SiO 2/2 units. (Here, R is at least one selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 24 carbon atoms, a vinyl group, and a γ- (meth) acryloxypropyl group). Is shown.)
前記シェル層が、前記基材粒子に対する結合性を有する官能基を有する、請求項1に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating of Claim 1 in which the said shell layer has a functional group which has the bondability with respect to the said base material particle. 前記基材粒子に対する結合性を有する官能基が、エポキシ基又はグリシジル基である、請求項2に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating of Claim 2 whose functional group which has the bondability with respect to the said base particle is an epoxy group or a glycidyl group. 前記シェル層は、エポキシ基又はグリシジル基を有するシリコーンオリゴマーによって処理されたものである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The said shell layer is the particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-3 processed by the silicone oligomer which has an epoxy group or a glycidyl group. 前記シェル層の厚みが1〜150nmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-4 whose thickness of the said shell layer is 1-150 nm. 前記シェル層がSiO4/2単位のみを有するシリコーン系化合物で構成され、前記シェル層の厚みが1〜50nmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。 The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-4 in which the said shell layer is comprised with the silicone type compound which has only SiO4 / 2 unit, and the thickness of the said shell layer is 1-50 nm. 平均粒径が1μm以下であり、かつ、粒径の変動係数が10%以下である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-6 whose average particle diameter is 1 micrometer or less and whose coefficient of variation of a particle diameter is 10% or less. 吸湿率が5質量%以下である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-7 whose moisture absorption is 5 mass% or less. 溶出アンモニウムイオン濃度が100ppm以下である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-8 whose elution ammonium ion concentration is 100 ppm or less. 前記シェル層が、3級アミン又はスルホン酸化合物を触媒とする反応により形成されたものである、請求項1〜9のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The insulating coating particles according to any one of claims 1 to 9, wherein the shell layer is formed by a reaction using a tertiary amine or a sulfonic acid compound as a catalyst. 前記コア粒子の表面がアミノ基又はカルボキシル基を有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-10 in which the surface of the said core particle has an amino group or a carboxyl group. 前記コア粒子が双イオン性の官能基を有する、請求項1〜11のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子。   The particle | grains for insulation coating as described in any one of Claims 1-11 in which the said core particle has a zwitterionic functional group. 請求項1〜12のいずれか一項に記載の絶縁被覆用粒子と、前記絶縁被覆用粒子によって表面の少なくとも一部が被覆された基材粒子と、を備える、絶縁被覆導電粒子。   Insulating coated conductive particles comprising: the insulating coating particles according to any one of claims 1 to 12; and substrate particles having at least part of a surface coated with the insulating coating particles. 絶縁性のバインダー樹脂と、前記絶縁性のバインダー樹脂中に分散した請求項13に記載の絶縁被覆導電粒子と、を備える、異方導電材料。   An anisotropic conductive material comprising: an insulating binder resin; and the insulating coated conductive particles according to claim 13 dispersed in the insulating binder resin. 対向配置された一対の回路部材と、
請求項14に記載の異方導電材料の硬化物からなり、前記一対の回路部材の間に介在しそれぞれの回路部材が有する回路電極同士が電気的に接続されるように当該回路部材同士を接着する接続部と、を備える接続構造体。
A pair of circuit members disposed opposite to each other;
The circuit members are bonded to each other so as to be electrically connected to each other that are interposed between the pair of circuit members and are electrically connected to each other. A connecting structure comprising: a connecting portion;
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