JP2013065376A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フラッシュメモリLSI1は、データを記憶する記憶部であって、予め定められたビット数のデータ領域を複数有するフラッシュメモリ部8と、フラッシュメモリ部8から読み出したデータとデータの期待値とが不一致であるビットを示す不良ビットの数が、予め定められた閾値以下であるか否かを、データ領域ごとに判定する判定回路部10と、判定回路部10が判定した判定結果に応じた出力を出力端子(RB#端子)に出力させるRB制御回路部60と、を備える。
【選択図】図1
Description
ここで、不良ビットとは、メモリ素子から読み出したデータと、その期待値とが一致していない(不一致である)ビットのことである。
なお、本実施形態では、半導体装置の一例として、フラッシュメモリLSI(Large Scale Integration)である場合の例について説明する。
図1は、本実施形態によるフラッシュメモリLSI1(半導体装置)を示すブロック図である。
この図において、フラッシュメモリLSI1は、アドレスレジスタ/カウンタ部2、コマンドI/F(インターフェース)部3、コマンドレジスタ部4、制御回路部5、I/O(Input/Output)バッファ/ラッチ部6、RBバッファ部7、フラッシュメモリ部8、及びECC訂正可否判定回路部9を備えている。また、フラッシュメモリLSI1は、ALE端子、CLE端子、WE#端子、CE#端子、WP#端子、RE#端子、RB#端子、IO0−7端子を備えている。なお、各端子名において、「#」が付されている端子の信号は、ローアクティブな信号であることを意味する。
IO(Input Output)0−7端子は、IO0信号〜IO7信号の8ビットのデータを入力又は出力する入出力端子である。なお、「IO0−7信号」と表記した場合には、IO0信号〜IO7信号の8ビット幅の信号に対応する。
また、コマンドI/F部3は、コマンド信号に基づいて生成した制御情報、及びコマンドレジスタ部4が記憶しているコマンド情報を制御回路部5に供給する。
なお、コマンドレジスタ部4が記憶しているコマンド情報は、コマンドI/F部3を介して制御回路部5に供給される。
また、制御回路部5は、フラッシュメモリ部8に制御信号と、消去(Erase)及び書き込み(Program)電圧とを供給する。
また、制御回路部5は、フラッシュメモリLSI1の内部処理が実行中であることを示すBUSYB信号をECC訂正可否判定回路部9に供給する。例えば、制御回路部5は、リードコマンド(読み出しコマンド)処理が実行され、NANDフラッシュメモリアレイ80からページバッファ部83に読み出しが開始され場合に、BUSYB信号をLレベル(ロウ:Lowレベル)にする。
上述のデータ領域(例えば、512バイトのデータ領域)は、8ビット長の単位データ(1バイト)を複数(512個)記憶している。すなわち、上述のデータ領域に記憶されるデータは、8ビット長の単位データを複数(512個)含んでいる。
NANDフラッシュメモリアレイ80(メモリセル部)は、例えば、NAND型FLASH(ナンド型フラッシュ)メモリのメモリセルを複数備えるメモリコアである。NANDフラッシュメモリアレイ80の構成については、図2を用いて後述する。
また、Yデコーダ部82は、データの読み出し処理の際に、ページバッファ部83に一時記憶されたNANDフラッシュメモリアレイ80から読み出されたページデータを、コマンドI/F部3から供給される制御信号に基づいて、8ビット単位(単位データ単位)で選択する。そして、Yデコーダ部82は、選択した8ビット単位のデータをI/Oバッファ/ラッチ部6及びECC訂正可否判定回路部9に順次供給する。
なお、RB#端子(T1)は、後述するオープンドレインの構造になっており、フラッシュメモリLSI1の外部から抵抗等でプルアップして使用される。
なお、フラッシュメモリ部8から読み出したデータは、I/Oバッファ/ラッチ部6から、単位データ(DB<7:0>)として、RE#信号(REB信号)の立ち下がりエッジに同期してECC訂正可否判定回路部9に供給される。
また、ECC訂正可否判定回路部9は、判定回路部10及びRB制御回路部60を備えている。ECC訂正可否判定回路部9の構成の詳細については、図3を用いて後述する。
図2は、本実施形態におけるフラッシュメモリ部8のデータ構成の一例を示す図である。
この図において、NANDフラッシュメモリアレイ80は、#0から#4095の4096つのブロック(図2のBN参照)を有している。また、各ブロックは、それぞれ#0から64個のページ(図2のPN参照)を有している。
なお、ECCコードは、例えば、データ領域(512Byteの領域)に1ビットの不良ビットが含まれる場合に訂正(救済)可能な情報である。
図3は、本実施形態におけるECC訂正可否判定回路部9を示すブロック図である。
この図において、ECC訂正可否判定回路部9は、判定回路部10及びRB制御回路部60を備えている。また、判定回路部10は、RB制御回路部60を介してRBバッファ部7に接続されている。
単位データ判定回路部20は、フラッシュメモリ部8から読み出したデータを、例えば8ビットの単位データ(DB<7:0>)として、単位データに含まれる不良ビットが1ビット以下であるか否かを判定し、当該判定結果を示す信号(F2信号)を出力する。また、単位データ判定回路部20は、単位データに含まれる不良ビットが1ビット以下である場合に、単位データに含まれる不良ビットの数を示す不良ビット数信号(F1信号)を出力する。
単位データ判定回路部20は、単位データのうちの1ビットだけ他のビットのレベル(論理レベル)と異なる場合に、F1信号にHレベル(ハイ:Highレベル)を出力する。また、単位データ判定回路部20は、単位データのうちの2ビット以上が他のビットのレベル(論理レベル)と異なる場合に、F2信号にHレベル(ハイ:Highレベル)を出力する。また、単位データ判定回路部20は、単位データのうちの全ビットのレベル(論理レベル)が一致している場合に、F1信号及びF2信号にLレベルを出力する。
このように、単位データ判定回路部20は、3種類の判定を行い、判定した判定結果を判定結果ラッチ部50に出力する。
反転バッファ部208は、8ビットの単位データであるDB<7:0>信号を論理反転して、論理反転した8ビットの信号をDBB<7:0>信号として出力する。なお、反転バッファ部208は、8ビットのインバータ回路209を備えている。
ALL0判定回路22(第1の判定回路)は、単位データの全ビットが第1の論理レベル(例えば、論理“0”又は“L(ロウ)”レベル)であるか否かを判定する。すなわち、ALL0判定回路22は、全ビットが第1の論理レベルである単位データを期待値として、単位データの全ビットが第1の論理レベルであるか否かを判定する。ALL0判定回路22は、オア回路221〜227を備えている。オア回路221(OR:論理和演算回路)は、入力端子の一端がDB<0>信号線に、入力端子の他端がDB<1>信号線に、出力端子がノードN21に、それぞれ接続されている。また、オア回路222は、入力端子の一端がノードN21に、入力端子の他端がDB<2>信号線に、出力端子がノードN22に、それぞれ接続されている。
ここで、ノードN21〜ノードN26における各信号をN1R信号〜N6R信号と定義し、ノードN5における信号をN7R信号と定義する。
ALL0判定回路22は、単位データ(DB<7:0>)の全ビットを論理和した信号であるN7R信号を信号生成回路23に出力する。
ここで、ノードN11〜ノードN17における各信号をN1A信号〜N7A信号と定義する。
オア回路202は、4入力論理和回路であり、ノードN14〜ノードN17の信号であるN4A信号〜N7A信号を論理和演算した信号をノードN2に出力する。
オア回路203は、入力端子の一端がノードN1に、入力端子の他端がノードN2に、出力端子がノードN3に、それぞれ接続されている。すなわち、オア回路203は、オア回路201の出力とオア回路202の出力とを論理和演算した信号をF2_0信号として出力する。
インバータ回路204は、入力端子がノードN3に、出力端子がノードN4に、それぞれ接続されている。インバータ回路204は、F1_0信号を論理反転して、アンド回路205に出力する。
アンド回路205は、入力端子の一端がノードN4に、入力端子の他端がノードN5に、出力端子がノードN6に、それぞれ接続されている。アンド回路205は、F1_0信号を論理反転信号とN7R信号とを論理積演算して、演算結果をF1_0信号として出力する。
また、オア回路207は、不良ビットカウント部200による判定結果であるF1_0信号(第1の不良ビット数信号)と、不良ビットカウント部250による判定結果であるF1_1信号(第2の不良ビット数信号)とを論理和演算して、演算結果をF1信号として判定結果ラッチ部50に出力する。
Delay回路41(遅延回路)は、コマンドI/F部3から供給されるREB信号を予め定められた遅延時間だけ遅延させて、インバータ回路42に供給する。
インバータ回路42は、Delay回路41によって遅延されたREB信号を論理反転したREDLY信号を生成し、生成したREDLY信号をアンド回路43に供給する。
アンド回路43は、3入力論理積演算回路であり、コマンドI/F部3から供給されるTM信号及びREB信号と、インバータ回路42から供給されるREDLY信号とを論理積演算してクロック信号(CKJ信号)を生成する。
判定結果ラッチ部50は、カウンタ部500によってカウントされたカウント値と、単位データ判定回路部20が判定した判定結果(F2信号)とに基づいて、データ領域ごとに512バイト長のデータに含まれる不良ビットが1ビット以下であるか否かを判定する。
アンド回路51は、単位データ判定回路部20から出力されるF2信号と、判定クロック生成部40から供給されるクロック信号(CKJ信号)とを論理積演算して、当該演算結果をJDG_F2信号としてノードN9に出力する。ここで、JDG_F2信号は、F2信号がHレベルにある場合に、クロック信号(CKJ信号)に同期したHパルス信号を出力する。
オア回路56は、アンド回路51から出力されるJDG_F2信号と、カウンタ部500から出力されるJDG_F1信号とを論理和演算して、当該辺算結果をノードN10に出力する。
ノア回路(57、58)によるラッチ出力(JDG信号)は、JDG_F1信号又はJDG_F2信号がHレベルになった場合にLレベルになり、RESET信号がHレベルになった場合にHレベルになる。すなわち、JDG信号は、512バイトのデータ領域において、単位データ判定回路部20が単位データに2ビット以上の不良ビットを検出した場合、又は、1ビット以下の不良ビットが2回検出された場合に、Lレベルが出力される。
オア回路53は、512サイクルリセット回路部30から出力されるRST512信号と、コマンドI/F部3から供給されるRESET信号とを論理和演算して、当該辺算結果をRST_DF信号として、Dフリップフロップ(54、55)の入力端子R(リセット端子)に出力する。
なお、Dフリップフロップ(54、55)は、2ビットカウンタとして機能し、CKF1信号によりカウントアップする。Dフリップフロップ(54、55)は、512バイトのデータ領域において、F1信号が2回以上Hレベルになった場合に、JDG_F1信号としてHレベルを出力する。
また、512サイクルリセット回路部30は、インバータ回路(301、302、304)、Dフリップフロップ310〜318、Delay回路303、及びアンド回路305を備えている。
インバータ回路302は、コマンドI/F部3から供給されるTM信号を論理反転して、Dフリップフロップ310〜318のセット信号として入力端子Sに供給する。これにより、TM信号がLレベルにある場合には、Dフリップフロップ310〜318の出力端子Qは、Hレベルに固定される。また、TM信号がHレベルにある場合には、Dフリップフロップ310〜318は、REB信号によって、Q端子のレベルが変化する。
Dフリップフロップ310〜318は、512サイクルをカウントする9ビットのバイナリカウンタである。Dフリップフロップ310〜318は、それぞれ、自身の反転出力端子/Qと入力端子Dとが接続されている。また、各反転出力端子/Qは、次段の入力端子CKと接続され、Dフリップフロップ310〜318は、クロック信号として、それぞれ、QB0信号〜QB8信号を出力する。
Delay回路303(遅延回路)は、Dフリップフロップ318から出力されるQB8信号を予め定められた遅延時間だけ遅延させて、インバータ回路304に供給する。
インバータ回路304は、Delay回路303によって遅延されたQB8信号を論理反転した信号を生成し、生成した論理反転した信号をアンド回路305に供給する。
アンド回路305は、Dフリップフロップ318から出力されるQB8信号と、インバータ回路304から供給される信号とを論理積演算して、RST512信号を生成する。
アンド回路305は、生成したRST512信号を判定結果ラッチ部50に出力する。
また、RB制御回路部60は、ナンド回路(61、62、64〜66)、及びインバータ回路63を備えている。
ナンド回路(61、62)によるラッチ出力(SEL信号)は、TM信号又はBUSYB信号がLレベルになった場合にHレベルになり、REB信号がLレベルになった場合にLレベルになる。
ナンド回路64は、入力端子の一端がノードN11に、入力端子の他端がノードN15に、出力端子がノードN17に、それぞれ接続されている。
ナンド回路65は、入力端子の一端がノードN14に、入力端子の他端がBUSY信号線に、出力端子がノードN16に、それぞれ接続されている。
ナンド回路66は、入力端子の一端がノードN17に、入力端子の他端がノードN16に、出力端子がRBB信号線に、それぞれ接続されている。
ナンド回路64〜66、及びインバータ回路63は、TM信号より生成したSEL信号に基づいて、RB#端子T1に出力する信号として、JDG信号又はBUSYB信号を選択する選択回路として機能する。
また、NANDフラッシュメモリアレイ80(メモリセル部)からページバッファ部83に読み出しか完了すると、BUSYB信号がHレベルになり、RE#信号(REB信号)がLレベルになった場合に、SEL信号がLレベルになる。SEL信号がLレベルになった場合に、ナンド回路66は、JDG信号をRBB信号として、RBバッファ部7に出力する。
また、TM信号がLレベルにある場合に、SEL信号がHレベルになるため、ナンド回路66は、BUSYB信号をRBB信号として、RBバッファ部7に出力する。
インバータ回路71は、RB制御回路部60から出力されるRBB信号を論理反転して、ノードN18に出力する。
NMOSトランジスタ72は、ドレイン端子がRB#端子T1に、ゲート端子がノードN18に、ソース端子がグランド電源線に、それぞれ接続されている。NMOSトランジスタ72は、RB#端子T1をオープンドレイン出力端子(NMOSオープンドレイン出力端子)として機能させる。
図4は、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1のコマンド処理の一例を示すタイムチャートである。
この図において、フラッシュメモリLSI1の動作の一例として、フラッシュメモリLSI1の通常の動作におけるリードコマンド処理(00h)を示している。なお、本実施形態において「XXh」は、16進数データ形式による表記を示す。
図4では、まず、時刻t1において、CLE端子がHレベルに、WE#信号がLレベルにされることによって、フラッシュメモリLSI1は、コマンド処理の実行を開始する。つまり、サイクルタイプにおけるコマンドサイクル(CMD)が開始される。なお、ここでは、IO0−7信号には、リードコマンドのコマンドコードである“00h”が入力される。
次に、時刻t4から時刻t5において、ALE信号がHレベルにされて、IO0−7信号に“C1”、“C2”、“R1”、R2”、及び“R3”が順次供給される。また、WE#信号は、IO0−7信号の“C1”、“C2”、“R1”、R2”、及び“R3”にあわせて、その都度、Lレベルにされる。なお、“C1”、“C2”、“R1”、R2”、及び“R3”は、フラッシュメモリLSI1にデータを読み出すアドレス情報を示している。
このように、時刻t1から時刻t8までの期間では、リードコマンドのための情報がフラッシュメモリLSI1に供給され、フラッシュメモリLSI1は、リードコマンドの処理を開始する。
なお、RB#端子T1は、上述したように、RBバッファ部7が接続されたオープンドレイン出力の端子である。そのため、RB#端子T1は、通常動作モードで使用する場合に、プルアップ抵抗などを介して外部でプルアップされている。
図5は、本実施形態における単位データ判定回路部20の動作を示す図である。
この図において、横軸は、左から順に、(a)DB<7:0>信号の状態、(b)不良ビットカウント部200(Data0)の出力状態、(c)不良ビットカウント部250(Data1)の出力状態、(d)F1信号の出力状態、及び(e)F2信号の出力状態を示している。また、縦軸における(a)DB<7:0>信号の状態として、上から順に“ALL0”、“1”が1個、“0”が2個〜6個、“1”が2個〜6個、“0”が1個、及び“ALL1”を示している。
同様に、不良ビットカウント部250は、DB<7:0>信号が“ALL1”である場合に、F1_1信号、及びF2_1信号に論理“0”レベル(Lレベル)を出力する。また、不良ビットカウント部250は、DB<7:0>信号に“0”が1個ある場合に、F1_1信号に論理“1”レベル(Hレベル)を出力し、F2_1信号に論理“0”レベル(Lレベル)を出力する。また、不良ビットカウント部250は、DB<7:0>信号に“0”が2個以上である場合に、F1_1信号に論理“0”レベル(Lレベル)を出力し、F2_1信号に論理“1”レベル(Hレベル)を出力する。
この図において、縦軸は、上から順に、REB信号、REDLY信号、CKJ信号を示している。また、横軸は、時間を示している。なお、この図では、テストモード信号であるTM信号は、Hレベルである場合における判定クロック生成部40の動作を示している。
その結果、アンド回路43は、時刻t23から時刻t24までの間、CKJ信号にHパルスを出力する。
この図において、縦軸は、上から順に、REB信号、Dフリップフロップ310〜318による9ビットカウンタのカウント値、RST512信号を示している。また、横軸は、時間を示している。なお、この図では、テストモード信号であるTM信号は、Hレベルである場合における判定クロック生成部40の動作を示している。
時刻t31において、RE#信号により8ビットデータ(単位データ)がフラッシュメモリ部8から読み出されると、RE#信号に同期してREB信号が立ち下がり、512サイクルリセット回路部30は、カウント値を“0”にする。なお、512サイクルリセット回路部30におけるDelay回路303、インバータ回路304、及びアンド回路305は、判定クロック生成部40におけるDelay回路41、インバータ回路42、及びアンド回路43と同様の回路である。そのため、Dフリップフロップ318の出力であるQB8信号が論理“0”レベル(Lレベル)から論理“1”レベル(Hレベル)に遷移した場合に、アンド回路305は、RST512信号にHパルスを出力する。
図8は、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1のテスト処理を示すフローチャートである。
この図において、まず、フラッシュメモリLSI1は、外部の検査装置(例えば、LSIテスタなど)から期待値が書き込まれる(ステップS101)。この場合、フラッシュメモリLSI1には、書き込みコマンド処理により、例えば、偶数アドレスにALL“0”、奇数アドレスにALL“1”が書き込まれる。フラッシュメモリLSI1の制御回路部5は、コマンドI/F部3を介して供給された制御信号及びコマンド情報に基づいて、フラッシュメモリ部8に上述の期待値を記憶させる制御を行う。
また、カウンタ部55は、512サイクルリセット回路部30から供給されるRST512信号により、単位データ判定回路部20が512回の判定処理を行うごとに、リセットされる。
図9は、フラッシュメモリLSI1において、ECC訂正が不可能な場合の第1の例を示している。図9に示す一例は、512バイトのデータ領域のうちに、8ビットデータ(単位データ)の不良ビット(1ビット不良)が2回発生した場合である。
この図において、縦軸は、上からREB信号、TM信号、IO0−7信号、F1信号、F2信号、CKJ信号、CKF1信号、JDG_F1_1信号、JDG_F1信号、JDG_F2信号、JDG信号、RST512信号、RBB信号、RB#信号、及び、RB#端子のテストストローブ信号(STRB信号)を示している。また、横軸は時間を示している。
ここで、時刻t41において、コンファームコマンド(#30)がフラッシュメモリLSI1に供給されると、フラッシュメモリLSI1の制御回路部5は、NANDフラッシュメモリアレイ80からページ単位のデータを読み出し、ページバッファ部83に一時記憶させる処理を開始し、RB#信号にLレベルを出力させる(時刻t42)。ここで、なお、「#XX」は、16進数データ形式による表記を示す。
また、時刻t43において、制御回路部5は、ページバッファ部83にページ単位のデータを一時記憶させる処理が完了した場合に、RB#信号にHレベルを出力させる。
また、時刻t45におけるREB信号の立ち上がりに同期して(判定クロック生成部40のCKJ信号に応じて)、アンド回路52がCKF1信号にHパルスを出力し、カウンタ部500のDフリップフロップ54は、出力であるJDG_F1_1信号がLレベルからHレベルに遷移させる。
また、時刻t46において、3サイクル〜511サイクルまでの間、不良ビットの発生がないため、判定結果ラッチ部50は、ECC訂正が可能な状態(Pass状態)を示すHレベルをJDG信号に出力し、このHレベルを保持する。
次に、時刻t47(514サイクル目)において、時刻t44(2サイクル目)と同様に、8ビットの読み出しデータが、“#01”となる不良ビット(1ビット)が発生した場合に、単位データ判定回路部20は、F1信号をLレベルからHレベルに遷移させる。
また、これにより時刻t48において、カウンタ部500のDフリップフロップ54は、出力であるJDG_F1_1信号をLレベルからHレベルに遷移させる。
この場合、512バイトのデータ領域の中で2回目の不良ビットの判定であり、時刻t50において、カウンタ部500のDフリップフロップ55は、出力であるJDGF1信号をLレベルからHレベルに遷移させる。これにより、判定結果ラッチ部50は、JDG信号をHレベルからLレベルに遷移させる。RB制御回路部60は、JDG信号がHレベルからLレベルに遷移したことにより、RBバッファ部7にRB#端子T1にLレベルを出力させる。
1ページ分のデータの読み出しが完了した2047サイクル目以降である時刻t52において、検査装置は、RB#端子の論理レベルを取得するストローブ信号(STRB信号)を出して、RB#端子の論理レベルによって、フラッシュメモリLSI1のECC訂正が可能(Pass)か否かを判定する。ここでは、フラッシュメモリLSI1は、検査装置によって、ECC訂正が不可能である(Fail)という判定がされる。
時刻t52において、ECC訂正が可能(Pass)か否かを判定した後、検査装置は、リセットコマンド処理により、テストモードを解除する。これにより、コマンドI/F部3は、TM信号をLレベルにして、ECC訂正可否判定回路部9に出力する。
この図において、縦軸及び横軸は、図9と同様である。
また、図10における時刻t61から時刻t66までの処理は、図9における時刻t41から時刻t46までの処理と同様である。
これにより、判定結果ラッチ部50は、JDG信号をHレベルからLレベルに遷移させる。RB制御回路部60は、JDG信号がHレベルからLレベルに遷移したことにより、RBバッファ部7にRB#端子T1にLレベルを出力させる。
1ページ分のデータの読み出しが完了した2047サイクル目以降である時刻t70において、検査装置は、RB#端子の論理レベルを取得するストローブ信号(STRB信号)を出して、RB#端子の論理レベルによって、フラッシュメモリLSI1のECC訂正が可能(Pass)か否かを判定する。ここでは、フラッシュメモリLSI1は、検査装置によって、ECC訂正が不可能である(Fail)という判定がされる。
時刻t70においてECC訂正が可能(Pass)か否かを判定した後、検査装置は、リセットコマンド処理により、テストモードを解除する。これにより、コマンドI/F部3は、TM信号をLレベルにして、ECC訂正可否判定回路部9に出力する。
この図において、縦軸及び横軸は、図9と同様である。
また、図11における時刻t71から時刻t78までの処理は、図9における時刻t41から時刻t48までの処理と同様である。
また、時刻t79において、判定結果ラッチ部50は、ECC訂正が可能な状態(Pass状態)を示すHレベルをJDG信号に出力し、このHレベルを保持する。これにより、RB制御回路部60は、RBバッファ部7にRB#端子T1にHレベルの出力を維持させる。
時刻t80においてECC訂正が可能(Pass)か否かを判定した後、検査装置は、リセットコマンド処理により、テストモードを解除する。これにより、コマンドI/F部3は、TM信号をLレベルにして、ECC訂正可否判定回路部9に出力する。
すなわち、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1は、予め定められたデータ長(ビット数)のデータ領域に含まれる不良ビットの数が予め定められた閾値(例えば1ビット)以下であるか否かを、データ領域ごとに内部で判定し、その判定結果を出力端子(例えば、RB#端子T1)に出力する。これにより、検査装置がフラッシュメモリ部8に記憶されているデータを読み出した後に、検査装置が不良ビットの数が予め定められた閾値(例えば1ビット)以下であるかを判定する必要がない。すなわち、検査装置が不良ビットの数をカウント及び、不良ビットの数に基づく判定を行う必要がなくなるので、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1は、テスト時間を短縮させることができる。
これに対して、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1では、検査装置が不良ビットの数をカウントする必要がないので、検査装置(LSIテスタ)の判定用のメモリ(例えばフェイルメモリ)容量を低減することができる。また、判定結果が出力端子(例えば、RB#端子T1)に出力されるため、検査装置によって、簡易に判定することができる。そのため、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1は、ECC訂正の可否を判定する特別な構成を備えた専用のLSIテスト(専用メモリLSI用テスタ)を用いずに、簡易な構成の検査装置によって、ECC訂正の可否を判定するテストを実行することができる。
これにより、判定回路部10は、単位データ(例えば8ビット)ごとに、不良ビットが閾値(例えば1ビット)以下であるか否かを判定した判定結果に基づいて、データ領域(例えば、512バイトのデータ領域)全体の判定を行う。そのため、判定回路部10は、簡易な回路構成により実現することができる。
これにより、制御回路部5がフラッシュメモリ部8からデータを読み出して、単位データ単位で判定回路部10に供給し、512サイクルリセット回路部30が、予め定められたデータ長(例えば512バイト)に達するごとに、カウンタ部500をリセットする。そのため、フラッシュメモリLSI1は、複数のデータ領域を連続して、不良ビットが閾値(例えば1ビット)以下であるか否かを判定することができる。よって、本実施形態におけるフラッシュメモリLSI1は、一度に複数のデータ領域をテストできるので、テスト時間を短縮させることができる。
例えば、上記の実施形態において、ECC訂正可否判定回路部9は、512バイトのデータ領域ごとにECC訂正の可否を判定する形態を説明したが、これに限定されず、他の
データ長(ビット数)のデータ領域ごとに判定する形態でもよい。
また、上記の実施形態において、単位データを8ビットデータとする形態を説明したが、16ビットデータ、32ビットデータなど、他のビット長を適用する形態でもよい。
また、例えば、CPU(Central Processing Unit)、MCU(Micro Control Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、ASSP(Application Specific Standard Product)、メモリ(Memory)等の半導体装置全般に、本発明を適用することができる。このような本発明が適用された半導体装置の製品形態としては、例えば、SOC(システムオンチップ)、MCP(マルチチップパッケージ)やPOP(パッケージオンパッケージ)などが挙げられる。これらの任意の製品形態、パッケージ形態を有する半導体装置に対して本発明を適用することができる。
Claims (5)
- データを記憶する記憶部であって、予め定められたビット数のデータ領域を複数有する記憶部と、
前記記憶部から読み出した前記データと前記データの期待値とが不一致であるビットを示す不良ビットの数が、予め定められた閾値以下であるか否かを、前記データ領域ごとに判定する判定回路部と、
前記判定回路部が判定した判定結果に応じた出力を出力端子に出力させる出力制御回路部と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記データ領域は、予め定められたビット長の単位データを複数記憶し、
前記判定回路部は、
前記単位データに含まれる前記不良ビットが前記閾値以下であるか否かを判定し、当該判定結果を示す信号を出力するとともに、前記単位データに含まれる前記不良ビットが前記閾値以下である場合に、前記単位データに含まれる前記不良ビットの数を示す不良ビット数信号を出力する単位データ判定回路部と、
前記ビット数のデータのうちの前記単位データごとに前記単位データ判定回路部が判定した判定結果及び前記不良ビット数信号に基づいて、前記データ領域ごとに前記ビット数のデータに含まれる前記不良ビットが前記閾値以下であるか否かを判定し、当該判定結果を保持する領域判定ラッチ部と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記閾値は、1ビットであり、
前記単位データ判定回路部は、
全ビットが第1の論理レベルである前記単位データを期待値として、前記単位データの全ビットが前記第1の論理レベルであるか否かを判定する第1の判定回路と、前記単位データの全ビットのうちの、前記第1の論理レベルを論理反転した第2の論理レベルであるビットの数が、1ビット以下であるか否かを判定する第2の判定回路と、前記第1の判定回路による判定結果と、前記第2の判定回路による判定結果とに基づいて、前記不良ビット数信号を生成する信号生成回路と、を有する不良ビット判定回路を備える
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記単位データ判定回路部は、
2つの前記不良ビット判定回路である第1の不良ビット判定回路及び第2の不良ビット判定回路を備え、
前記第1の不良ビット判定回路は、
全ビットが前記第1の論理レベルである前記単位データを期待値として判定した第1の判定結果と第1の不良ビット数信号とを出力し、
前記第2の不良ビット判定回路は、
前記第1の不良ビット判定回路に供給される前記単位データを論理反転したデータが供給され、全ビットが前記第2の論理レベルである前記単位データを期待値として判定した第2の判定結果と第2の不良ビット数信号とを出力し、
前記単位データ判定回路部は、
前記第1の不良ビット判定回路による前記第1の判定結果及び前記第2の不良ビット判定回路による前記第2の判定結果に基づいて、前記単位データに含まれる前記不良ビットが1ビット以下であるか否かを判定し、
前記第1の不良ビット判定回路から出力される前記第1の不良ビット数信号、及び前記第2の不良ビット判定回路から出力される前記第2の不良ビット数信号に基づいて、前記不良ビット数信号を生成する
ことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記単位データの単位で前記データを前記記憶部から読み出して、読み出した前記単位データを前記判定回路部に供給させる制御回路部を備え、
前記領域判定ラッチ部は、
前記不良ビット数信号に基づいて、前記ビット数のデータに含まれる前記不良ビットの数をカウントするカウンタ部を有しており、当該カウンタ部によってカウントされたカウント値と、前記単位データ判定回路部が判定した判定結果とに基づいて、前記データ領域ごとに前記ビット数のデータに含まれる前記不良ビットが前記閾値以下であるか否かを判定し、
前記判定回路部は、
前記制御回路部によって前記記憶部から供給される前記単位データの数が前記ビット数に達するごとに、前記カウンタ部をリセットするリセット回路部を備える
ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
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JP2011203105A JP2013065376A (ja) | 2011-09-16 | 2011-09-16 | 半導体装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107305790A (zh) * | 2016-04-21 | 2017-10-31 | 北京兆易创新科技股份有限公司 | 一种非挥发性存储器的自测试方法和装置 |
JP2018156712A (ja) * | 2017-03-21 | 2018-10-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の診断方法 |
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2011
- 2011-09-16 JP JP2011203105A patent/JP2013065376A/ja not_active Withdrawn
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