JP2013045857A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013045857A5
JP2013045857A5 JP2011182131A JP2011182131A JP2013045857A5 JP 2013045857 A5 JP2013045857 A5 JP 2013045857A5 JP 2011182131 A JP2011182131 A JP 2011182131A JP 2011182131 A JP2011182131 A JP 2011182131A JP 2013045857 A5 JP2013045857 A5 JP 2013045857A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light receiving
image sensor
light
receiving element
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011182131A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013045857A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011182131A priority Critical patent/JP2013045857A/ja
Priority claimed from JP2011182131A external-priority patent/JP2013045857A/ja
Priority to CN201280039991.3A priority patent/CN103733341B/zh
Priority to US14/127,221 priority patent/US9324751B2/en
Priority to PCT/JP2012/004883 priority patent/WO2013027338A1/ja
Priority to EP12825220.2A priority patent/EP2750190B1/en
Publication of JP2013045857A publication Critical patent/JP2013045857A/ja
Publication of JP2013045857A5 publication Critical patent/JP2013045857A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2011182131A 2011-08-24 2011-08-24 イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置 Pending JP2013045857A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011182131A JP2013045857A (ja) 2011-08-24 2011-08-24 イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置
CN201280039991.3A CN103733341B (zh) 2011-08-24 2012-08-01 图像传感器、其制造方法及检查装置
US14/127,221 US9324751B2 (en) 2011-08-24 2012-08-01 Image sensor, production method therefor, and inspection apparatus
PCT/JP2012/004883 WO2013027338A1 (ja) 2011-08-24 2012-08-01 イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置
EP12825220.2A EP2750190B1 (en) 2011-08-24 2012-08-01 Image sensor, method of manufacturing same, and inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011182131A JP2013045857A (ja) 2011-08-24 2011-08-24 イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013045857A JP2013045857A (ja) 2013-03-04
JP2013045857A5 true JP2013045857A5 (https=) 2014-10-02

Family

ID=47746112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011182131A Pending JP2013045857A (ja) 2011-08-24 2011-08-24 イメージセンサ及びその製造方法並びに検査装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9324751B2 (https=)
EP (1) EP2750190B1 (https=)
JP (1) JP2013045857A (https=)
CN (1) CN103733341B (https=)
WO (1) WO2013027338A1 (https=)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105917003A (zh) 2013-11-17 2016-08-31 宽腾矽公司 用于生物和化学试样的快速分析的有源像素集成装置
KR102102934B1 (ko) * 2013-12-10 2020-04-21 일루미나, 인코포레이티드 생물학적 또는 화학적 분석을 위한 바이오센서들 및 이를 제조하기 위한 방법
JP6320870B2 (ja) * 2014-07-31 2018-05-09 株式会社東芝 顕微撮影装置を用いた観察方法
US20160050376A1 (en) * 2014-08-18 2016-02-18 Ron Fridental Image sensor with sub-wavelength resolution
KR20180019500A (ko) * 2015-04-22 2018-02-26 선전 제노리비전 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 생물감지기
JP6462837B2 (ja) * 2017-12-01 2019-01-30 株式会社東芝 顕微撮影装置を用いた観察方法
JP2020085666A (ja) * 2018-11-26 2020-06-04 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 生体由来物質検出用チップ、生体由来物質検出装置及び生体由来物質検出システム
JP6692404B2 (ja) * 2018-12-13 2020-05-13 株式会社東芝 観察システム
CN115135988A (zh) * 2020-02-19 2022-09-30 索尼半导体解决方案公司 生物体导出材料检测芯片、生物体导出材料检测装置及生物体导出材料检测系统
AU2022334592A1 (en) * 2021-08-27 2024-01-18 Illumina, Inc. Flow cell image sensor arrangement with reduced crosstalk
CN115205249A (zh) * 2022-07-14 2022-10-18 中国人民解放军空军军医大学 用于胰岛素的漏液检测方法、设备及介质

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6029717A (ja) * 1983-07-28 1985-02-15 Canon Inc 水陸両用カメラの光学系
FR2797053B1 (fr) * 1999-07-13 2001-08-31 Commissariat Energie Atomique Support d'analyse a transmission de lumiere de fluorescence
JP3920054B2 (ja) * 2001-07-30 2007-05-30 富士フイルム株式会社 生化学解析用データの生成方法および装置
US7348587B2 (en) 2001-06-28 2008-03-25 Fujifilm Corporation Method for producing biochemical analysis data and apparatus used therefor
AU2003290429A1 (en) * 2002-12-25 2004-07-22 Casio Computer Co., Ltd. Optical dna sensor, dna reading apparatus, identification method of dna and manufacturing method of optical dna sensor
JP3824233B2 (ja) * 2003-09-01 2006-09-20 セイコーエプソン株式会社 バイオセンサ及びバイオセンサの製造方法
JP4332628B2 (ja) 2004-02-13 2009-09-16 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 生体組織測定用イメージセンサ及び該センサを用いた生体組織測定方法
JP4396407B2 (ja) * 2004-06-11 2010-01-13 カシオ計算機株式会社 生体高分子分析チップ、生体高分子チップの製造方法
JP4581498B2 (ja) * 2004-06-15 2010-11-17 カシオ計算機株式会社 生体高分子分析チップ
JP4802508B2 (ja) 2004-06-18 2011-10-26 カシオ計算機株式会社 撮像装置、生体高分子分析チップ及び分析支援装置
JP4431549B2 (ja) * 2006-05-31 2010-03-17 株式会社日立ハイテクノロジーズ 蛍光分析装置
JP2008175712A (ja) * 2007-01-19 2008-07-31 Casio Comput Co Ltd 生体高分子分析チップ
JP4982523B2 (ja) * 2009-05-11 2012-07-25 株式会社日立ハイテクノロジーズ 蛍光分析方法，蛍光分析装置及び画像検出方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013045857A5 (https=)
CN103733341B (zh) 图像传感器、其制造方法及检查装置
CN106206630B (zh) 图像传感器
JP5506517B2 (ja) 固体撮像素子
CN103999221B (zh) 固态成像器件和成像装置
CN106033761B (zh) 具有非平面光学界面的背面照度图像传感器
JP5127899B2 (ja) 固体撮像装置
US20150228687A1 (en) Solid-state image sensor and imaging device
TW201504602A (zh) 非接觸式溫度感測器模組
KR20140077904A (ko) 케미컬 센서, 케미컬 센서 모듈, 생체분자 검출 장치 및 생체분자 검출 방법
CN106575657A (zh) 固体摄像装置及其制造方法
JP2015026946A (ja) カメラモジュール
WO2021005870A1 (ja) 撮像装置およびその製造方法
WO2015011968A1 (ja) 検査装置
KR20200090846A (ko) 웨이퍼의 검사 방법, 및 웨이퍼
CN114858764A (zh) 一种可自动聚焦的荧光检测系统和自动聚焦方法
CN107592436B (zh) 摄影模块
KR20200090797A (ko) 전기적 검사 방법
JP2015095546A5 (https=)
TWI584645B (zh) 含有乾黏合劑層之光學組件及相關方法
US20110133301A1 (en) Wafer level optical imaging apparatus
US9947814B2 (en) Semiconductor optical sensor
KR20260016059A (ko) 마이크로 렌즈 어레이 모듈 및 그 제조방법
JP6398214B2 (ja) ピンホール装置及び露光装置
KR20100045574A (ko) 이미지 센서