JP2013043229A - 振動バレル研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性的に支持された略水平な基板12と、基板12を振動させる振動モータ13(振動発生装置)と、軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽20と、処理槽20を基板12に固定して支持するための支持部材30とを備え、基板12と支持部材30を介して処理槽20を振動させることで研磨を行う振動バレル研磨装置において、支持部材30は、処理槽20をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部31を有している。
【選択図】図2
Description
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、処理槽を安定して支持するようにすることを目的とする。
螺旋状の処理槽は、そのほぼ全長に亘り、支持部材の載置部に載置された状態で支持されているので、処理槽の形状と高さ方向の位置が、ほぼ全長に亘って安定する。
処理槽に付与される振動は、支持部材にも伝達するのであるが、支持部材が比較的変形を生じ易い平板状をなしている場合には、振動を受けた支持部材が共振し、その結果、処理槽の支持状態と振動状態が不安定となり、研磨処理が良好に行われなくなることが懸念される。その点、本発明は、支持部材が全体として円筒状つまり湾曲した形状であるから、強度が高く、振動発生装置からの振動を受けても共振し難い。したがって、支持部材の共振が原因となって処理槽の支持状態や振動状態が不安定になる虞もない。
処理槽は、下から支持部材で支持されているのに加え、樋状部の内周側の側縁を筒状部で補強しているので、変形や共振等が防止される。
以下、本発明を具体化した実施形態1を図1〜図7を参照して説明する。
振動バレル研磨装置は、図1,2に示すように、床面に設置された基台10と、基台10の上面にバネ11を介して略水平な姿勢に支持された基板12と、図2に示すように基板12に設けた振動モータ13(本発明の構成要件である振動発生装置)とを備えている。基板12上には、支持部材30と、処理槽20とが固着された状態で取り付けられている。振動モータ13を駆動させると、基板12と支持部材30と処理槽20が一体となり、バネ11の弾力により振動するようになっている。
図2に示すように、処理槽20は、湾曲した金属板材からなる樋状部21と、湾曲した金属板材からなる筒状部25と、樋状部21及び筒状部25の内周に形成したウレタン層28とを備えて構成されている。樋状部21は、弧状部22と内周壁部23と外周壁部24とから構成されている。弧状部22は、処理槽20(螺旋状経路)の全長に亘って連続して延びており、その長さ方向と直角(鉛直方向)な横断面は、上面側が開放された半円弧形をなしている。
次に、処理槽20を支持する構造を説明する。図2に示すように、処理槽20は、主として支持部材30により基板12上に固定して支持されている。また、図4〜7に示すように、処理槽20を支持する手段として、支持部材30の他に仕切板33が用いられている。
まず、図4に示すように、基板12の上面に支持部材30を溶接により固着する。このとき、基板12の上面にレーザーケガキ(図示省略)を施すことによって、支持部材30とスリット32を位置決めする。次に、図5に示すように、仕切板33を、支持部材30のスリット32に嵌合するように組み付けて、溶接により支持部材30と基板12に固着する。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、支持部材を、円筒状に湾曲した板状としたが、支持部材は、円柱形のブロック状であってもよい。
(2)上記実施形態では、処理槽の内周縁を筒状部で支持したが、処理槽は、筒状部で支持しない形態としてもよい。
(3)上記実施形態では、外周壁部の立ち上がり高さを全周(全長)に亘って一定としたが、外周壁部の立ち上がり高さは、全周(全長)に亘り、筒状部の高さと同じ高さに揃えても良い。この場合、ウレタン層の突出部は、図2と同じ高さに設けても良く、またウレタン層の突出部を設けなくても良い。
(4)上記実施形態では、支持部材を単一部材としたが、支持部材は、周方向に分割された複数の湾曲した板材を溶接等によって一体化(結合)させた形態であってもよく、周方向に分割した複数の湾曲した板材を、互いに非結合状態で並べた形態であってもよい。
13…振動モータ(振動発生装置)
20…処理槽
21…樋状部
25…筒状部
30…支持部材
31…載置部
Claims (3)
- 弾性的に支持された略水平な基板と、
前記基板を振動させる振動発生装置と、
軸線を略鉛直方向に向けた螺旋状の処理槽と、
前記処理槽を前記基板に固定して支持するための支持部材とを備え、
前記基板と前記支持部材を介して前記処理槽を振動させることで研磨を行う振動バレル研磨装置において、
前記支持部材は、前記処理槽をそのほぼ全長に亘って下から支持する載置部を有していることを特徴とする振動バレル研磨装置。 - 前記支持部材は、全体として軸線を略鉛直方向に向けた円筒状をなし、
前記支持部材の上端縁が、螺旋状に傾斜した形態の前記載置部となっていることを特徴とする請求項1記載の振動バレル研磨装置。 - 前記処理槽は、上面が開放された略半円弧形をなし、前記載置部に載置された状態で固定された樋状部と、
前記樋状部の内周側の側縁から、前記処理槽のほぼ全長に亘って立ち上がる筒状部とを備えて構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の振動バレル研磨装置。
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JP2011180867A JP5558435B2 (ja) | 2011-08-22 | 2011-08-22 | 振動バレル研磨装置 |
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JP2011180867A JP5558435B2 (ja) | 2011-08-22 | 2011-08-22 | 振動バレル研磨装置 |
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JP5558435B2 JP5558435B2 (ja) | 2014-07-23 |
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Family Applications (1)
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4916890U (ja) * | 1972-05-16 | 1974-02-13 | ||
US3877178A (en) * | 1971-08-17 | 1975-04-15 | Tony Campanelli | Vibratory finishing machine |
JPS56102464A (en) * | 1979-11-17 | 1981-08-15 | Walther Carl Kurt Gmbh | Annular tank type vibration tumbling vessel |
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- 2011-08-22 JP JP2011180867A patent/JP5558435B2/ja active Active
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US3877178A (en) * | 1971-08-17 | 1975-04-15 | Tony Campanelli | Vibratory finishing machine |
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JPS56102464A (en) * | 1979-11-17 | 1981-08-15 | Walther Carl Kurt Gmbh | Annular tank type vibration tumbling vessel |
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