JP2013033466A5 - - Google Patents
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Description
第3問題点として、数十のQ−time制約が製造フローの中に点在して相互干渉し合っているため、全体の同時管理が不可欠である。また、数百工程にも及ぶ製造フロー全体を実時間で管理するために、高速な計算方法が必要とされる。複数のQ−time制約の構造分析や同時管理の方法については、汎用な方法論自体が存在しない。
上記Q−time制約は、例えば700工程ほどのメモリ製造フロー上にQ−time制約が60箇所以上存在する。相互干渉する場合には、片方のQ−time制約は守れるが他方のQ−time制約は守れない等の問題が起こるため同時管理する必要がある。
第4問題点として、先行技術に共通する問題点に、実時間管理に適応可能な計算時間を実現すること問題がある。
例えば、非特許文献1や非特許文献2で応用されている混合整数計画法の計算オーダーは指数時間であり、そのため、生産工程の一部分に対する1週間程度の生産期間を対象にした生産スケジュールに限定しなければ現実的な時間内に算定することができない。半導体製造のように、生産期間が1.5ヵ月から2.5ヵ月程度と長く、また、生産工程に含まれる工程数が300から1000工程程度と大規模な生産システムの最適管理には、高速な計算方法が必要である。また、日々起こる動的な変化に対応するための再計算を実時間に実現する計算の高速性が求められる。
上記Q−time制約は、例えば700工程ほどのメモリ製造フロー上にQ−time制約が60箇所以上存在する。相互干渉する場合には、片方のQ−time制約は守れるが他方のQ−time制約は守れない等の問題が起こるため同時管理する必要がある。
第4問題点として、先行技術に共通する問題点に、実時間管理に適応可能な計算時間を実現すること問題がある。
例えば、非特許文献1や非特許文献2で応用されている混合整数計画法の計算オーダーは指数時間であり、そのため、生産工程の一部分に対する1週間程度の生産期間を対象にした生産スケジュールに限定しなければ現実的な時間内に算定することができない。半導体製造のように、生産期間が1.5ヵ月から2.5ヵ月程度と長く、また、生産工程に含まれる工程数が300から1000工程程度と大規模な生産システムの最適管理には、高速な計算方法が必要である。また、日々起こる動的な変化に対応するための再計算を実時間に実現する計算の高速性が求められる。
Optimal Wet-Furnace Machine Allocation for Daily Fab Production Proceedings of the 18th IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM2010)、 pp.47-50、 2010 October 18-20.
Optimal Preventive Maintenance Scheduling in Semiconductor Manufacturing Systems:Software Tool and Simulation Case Studies IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing、vol.23 No.3、pp.477-489、2010 August.
請求項18記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線を介して前記複数の装置に関する指標情報を送信する最適指標生成サーバであって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信部と、前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程の中のボトルネック箇所および最大流量を解析するボトルネック箇所解析部と、前記受信された情報から1つ以上のQ−time制約が存在しているQ−time制約区間の構造を分析するQ−time制約構造分析部と、前記ボトルネック箇所、最大流量および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出部と、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信部と、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する時間指標算出部と、前記ボトルネック箇所、最大流量、前記Q−time構造および前記装置区分と前記時間指標に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、前記時間指標算出部と指標算出部により算出された最適な指標情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記時間指標算出部により算出された最適な指標情報を生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成サーバである。
請求項19記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線を介して前記複数の装置に関する指標情報を送信するサーバが実行する最適指標生成方法であって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信ステップと、前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程の中のボトルネック箇所および最大流量を解析するボトルネック箇所解析ステップと、前記受信された情報から1つ以上のQ−time制約が存在しているQ−time制約区間の構造を分析するQ−time制約構造分析ステップと、前記ボトルネック箇所、最大流量および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出ステップと、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信ステップと、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定ステップと、前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算ステップと、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する時間指標算出ステップと、を実行し、前記指標算出ステップにより算出された最適な指標情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記時間指標算出ステップにより算出された最適な指標情報を生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成方法である。
請求項27記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成装置であって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力する情報入力部と、前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析部と、前記入力された情報および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出部と、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから入力する情報入力部と、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出部と、前記入力された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、前記開始終了時期算出部により算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算部および前記指標算出部により生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成装置である。
請求項29記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成方法であって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力する情報入力ステップと、前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析ステップと、前記入力された情報および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出ステップと、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから入力する情報入力ステップと、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定ステップと、前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算ステップと、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出ステップと、前記入力された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算ステップと、前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出ステップと、を実行し、前記開始終了時期算出ステップにより算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算ステップおよび前記指標算出ステップにより生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成方法である。
請求項32記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線を介して前記複数の装置に関する指標情報を送信する最適指標生成サーバであって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して受信する情報受信部と、前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析部と、前記受信された情報および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出部と、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから受信する情報受信部と、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出部と、前記受信された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、前記開始終了時期算出部により算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算部および前記指標算出部により生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成サーバである。
請求項33記載の発明は、多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線を介して前記複数の装置に関する指標情報を送信するサーバが実行する最適指標生成方法であって、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して受信する情報受信ステップと、前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析ステップと、前記受信された情報および前記Q−time構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出ステップと、前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから受信する情報受信ステップと、前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定ステップと、前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算ステップと、前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出ステップと、を実行し、前記開始終了時期算出ステップにより算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算ステップおよび前記指標算出ステップにより生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成方法である。
[熱処理工程]
熱処理工程の目的は表面の酸化膜の形成、疎な膜の緻密化などがある。
図5は、バッチ装置(熱処理工程)を示す図である。
熱処理工程は、バッチと呼ばれる装置が使われている。図5に示すように、このバッチ装置はバッチ単位での処理が可能な装置のことを言う。また、この装置では、処理時間間隔でロットの投入が可能である。
このように異なるバッチサイズでロードされる装置(工程)が連続するバッチ処理ラインにおいては、バッチ組によっても待ち(Queue)が発生する。また、ロードルールによってそれらのバッチ組待ち時間が変化するため、滞在時間が変化する。
熱処理工程の目的は表面の酸化膜の形成、疎な膜の緻密化などがある。
図5は、バッチ装置(熱処理工程)を示す図である。
熱処理工程は、バッチと呼ばれる装置が使われている。図5に示すように、このバッチ装置はバッチ単位での処理が可能な装置のことを言う。また、この装置では、処理時間間隔でロットの投入が可能である。
このように異なるバッチサイズでロードされる装置(工程)が連続するバッチ処理ラインにおいては、バッチ組によっても待ち(Queue)が発生する。また、ロードルールによってそれらのバッチ組待ち時間が変化するため、滞在時間が変化する。
一方、従来法のCTルールでは、QTルールよりは少ないもののQ−time制約割れが発生し、また、各品種をバランスよく処理できない等の副作用が出る(図24青字部分)。また、品種別に管理しない設定を施したCKB−法では、各品種をバランスよく処理するが、リワーク数などの性能は芳しくなく、CKB法の品種別カンバン数の管理が有効であることがわかる。これらのシミュレーション結果は、賞味40日間(シミュレーション期間50日)のデータによる性能評価結果であり、期間長に比例してルールによる差は更に広がる。
[負荷分散方法2(条件(1)および(2)を満たさない場合)]
条件(1)および(2)を完全に満たさない場合とは、1周期では、全ての常用装置のPMの重複時間をゼロにすることができない場合に該当する。ここで、1周期とは、第1の装置(m1)が稼働し始めてから全ての常用装置が1回ずつPMを終了するまでの期間を指す。例えば、MTTRの時間長が比較的長い場合などに該当する。
1周期目で、JAMP法による負荷分散を可能な限り適用し、PMの重複時間を低減かつ分散化する。
2周期目以降で、条件の範囲内で代替処理を行い、完全分散化をはかっていく。
条件(1)および(2)を完全に満たさない場合とは、1周期では、全ての常用装置のPMの重複時間をゼロにすることができない場合に該当する。ここで、1周期とは、第1の装置(m1)が稼働し始めてから全ての常用装置が1回ずつPMを終了するまでの期間を指す。例えば、MTTRの時間長が比較的長い場合などに該当する。
1周期目で、JAMP法による負荷分散を可能な限り適用し、PMの重複時間を低減かつ分散化する。
2周期目以降で、条件の範囲内で代替処理を行い、完全分散化をはかっていく。
以上の条件や指針について、それぞれ詳細に説明する。図37は、単純な並列処理を示す図である。図38は、定量メンテナンスを考慮したジョブ割り付け図である。
[PMの分散化に必要な条件]
ここでは、上述の条件(1)、(2)、(3)について詳しく説明する。
条件(1)について、図38に示すモデルの場合では、λjを装置j一台当たりの到着率[lot/分]、Λを工程へのロット到着率[lot/分]、μを単一装置の平均サービス率1/Tp[lot/分]、Mを工程サービス率==mμ=m/Tp[lot/分](m:装置台数、Tp:平均処理時間)、(ただし、λj=Λ/[Λ/μ]とする)、Nを大量メンテナンスの基準値[lot]、MTTR j を装置jの予防保全(PM)の所要時間[分](この期間は装置は停止し、生産ロットを処理することはできない)とする。常用装置台数は[Λ/μ]台、代替装置は(m−[Λ/μ])台となる。
[PMの分散化に必要な条件]
ここでは、上述の条件(1)、(2)、(3)について詳しく説明する。
条件(1)について、図38に示すモデルの場合では、λjを装置j一台当たりの到着率[lot/分]、Λを工程へのロット到着率[lot/分]、μを単一装置の平均サービス率1/Tp[lot/分]、Mを工程サービス率==mμ=m/Tp[lot/分](m:装置台数、Tp:平均処理時間)、(ただし、λj=Λ/[Λ/μ]とする)、Nを大量メンテナンスの基準値[lot]、MTTR j を装置jの予防保全(PM)の所要時間[分](この期間は装置は停止し、生産ロットを処理することはできない)とする。常用装置台数は[Λ/μ]台、代替装置は(m−[Λ/μ])台となる。
また、CKB法のようにQ−time制約を守りつつ、Q−time制約区間のスループットを可能な限り高めるために、制約を守れる最大限のロットをQ−time制約区間に滞在させる。このような場合には、工程の処理能力が低下する前にQ−time制約区間に投入されたロットが、Q−time制約を守れなくなる。
そのため、処理能力が低下する前に、予め適切な時期にQ−time制約区間へのロットの投入率を減らす。
他方で、予防保全が完了した後には、処理能力が向上し、装置を可能な限り稼働させて溜まった中間在庫を解消しようとする。この時も、予め当該工程へのロット投入を増加させておかなければ、装置復旧後の処理能力・時間が無駄になる。
これらを考慮の上、工程能力が異なる各期間に合わせた、それぞれの適正理論値計算を行い、かつ、その工程能力の変化に合わせて投入を調整するための移行期間も含めて理論値の改編時期を適切に算定する。
そのため、処理能力が低下する前に、予め適切な時期にQ−time制約区間へのロットの投入率を減らす。
他方で、予防保全が完了した後には、処理能力が向上し、装置を可能な限り稼働させて溜まった中間在庫を解消しようとする。この時も、予め当該工程へのロット投入を増加させておかなければ、装置復旧後の処理能力・時間が無駄になる。
これらを考慮の上、工程能力が異なる各期間に合わせた、それぞれの適正理論値計算を行い、かつ、その工程能力の変化に合わせて投入を調整するための移行期間も含めて理論値の改編時期を適切に算定する。
Q−time構造分析部43は、CKB法の入力データおよびJAMP法の入力データ、工程接続のデータ(生産フロー)、工程の処理能力データ、Q−time制約データ、工程における生産品種別の処理負荷を入力する。そして、Q−time構造分析部43は、どのQ−time制約区間の構造に該当するかを検出し(直列型4種、並列型5種)てQ−time制約の構造を分析する。同時に、Q−time構造分析部43は、特別な処理(3工程以上に跨る排他、中間工程重複の場合)を必要とするQ−time制約区間に該当するか否かチェックする。
Q−time構造分析部43は、各Q−time制約区間の範囲と構造(Q−time制約区間の開始・終了工程、構造No、など)を出力し、特別構造フラグ(ON=1)を立てる。
Q−time構造分析部43は、各Q−time制約区間の範囲と構造(Q−time制約区間の開始・終了工程、構造No、など)を出力し、特別構造フラグ(ON=1)を立てる。
手続き実行制御部48は、手続き型CKB法(CKB−PS法)の処理の流れを制御しとりまとめる。このために、図54、図55に示すメイン処理フローの実行を制御する。
図54の処理フローを用いて、手続き型CKB法の基本的な処理の流れを説明する。
図54においては、まずS21で処理が行われる。これは、Q−time構造分析部43で、Q−time制約区間を全て検出し、その構造を検出した情報とQ−time制約区間に含まれる処理工程の集合を生産工程のサブ集合として設定し、手続き型CKB法のメイン処理フローの対象データを初期化する。すべてのQ−time制約区間の構造や時間長等が変更されない間は、S21で検出された全てのQ−time制約区間に関する情報を要素とする集合サブ集合を内部記憶部S21aに記録しておく。次のS22では、生産工程におけるボトルネック箇所の検出と各処理工程における最大流量の算出を行う。S22は、図50に示す生産フローボトルネック・流量解析部42によるほか、直列構造の生産工程フローの場合には生産計画と処理工程のサービス能力等からより簡単に算定することもできる。このS22の計算結果を内部記憶部S22aに記憶しておく。
図54の処理フローを用いて、手続き型CKB法の基本的な処理の流れを説明する。
図54においては、まずS21で処理が行われる。これは、Q−time構造分析部43で、Q−time制約区間を全て検出し、その構造を検出した情報とQ−time制約区間に含まれる処理工程の集合を生産工程のサブ集合として設定し、手続き型CKB法のメイン処理フローの対象データを初期化する。すべてのQ−time制約区間の構造や時間長等が変更されない間は、S21で検出された全てのQ−time制約区間に関する情報を要素とする集合サブ集合を内部記憶部S21aに記録しておく。次のS22では、生産工程におけるボトルネック箇所の検出と各処理工程における最大流量の算出を行う。S22は、図50に示す生産フローボトルネック・流量解析部42によるほか、直列構造の生産工程フローの場合には生産計画と処理工程のサービス能力等からより簡単に算定することもできる。このS22の計算結果を内部記憶部S22aに記憶しておく。
これにより、従来法では達成されていなかったQ−time制約割れが起こりやすい状況に対しても、Q−time制約を確実に遵守し、良品スループット向上とコスト低減および環境負荷低減を達成することが可能な最適オペレーション管理条件を提供することができる。
また、Q−time制約割れの主要な原因である、多品種生産の扱い、装置の予防保全、複数のQ−time制約の相互干渉に対しても、解析方法と適正な管理手法を与えることで、Q−time制約遵守しつつ良品スループットの向上とコスト低減・環境負荷低減を同時に達成することができる。
そして、動的な生産工程の生産物流の変化に対応して、最適なオペレーション管理条件を更新し、常に生産工程の状態に合った最適なオペレーション管理条件を提供することができる。
また、Q−time制約割れの主要な原因である、多品種生産の扱い、装置の予防保全、複数のQ−time制約の相互干渉に対しても、解析方法と適正な管理手法を与えることで、Q−time制約遵守しつつ良品スループットの向上とコスト低減・環境負荷低減を同時に達成することができる。
そして、動的な生産工程の生産物流の変化に対応して、最適なオペレーション管理条件を更新し、常に生産工程の状態に合った最適なオペレーション管理条件を提供することができる。
図51では、Q−time制約の種類:技術的に制御可能なのは処理開始時点のみであるためQ−time制約の始点を処理開始イベントになるように変換(構造定義の前処理)することを示す図である。図52は、Q−time制約の構造(直列型4種:(A)、(B)−1(1)、(C)−1(2)、(C)−2)を示す図である。図53は、Q−time制約の構造(並列型5種:(D)、(E)−1、(E)−3、(F)−1、(F)−3)を示す図である。
ここで、簡単に各構造の管理方法を述べる。
(ST1)直列型(A)排他では、其々のQ−time制約区間をCKB法で管理可能する。
(ST2)直列型(B)点共通では、ボトルネック箇所に合わせて投入し、それぞれのQ−time制約区間をCKB法で管理する。CKB法を通して先行Q−time制約区間が後続のQ−time制約区間と連動する。(後続区間の投入率が低下した場合にはバッファサイズによる連動制御、増加した場合にはカンバンによる連動制御が即座に働く)
(ST3)直列型(C)−1工程重複(包囲)では、この「工程重複(包囲)」構造を「点共通」の構造に変換して、被包囲Q−time制約区間以外に包囲Q−time制約時間の残り時間を割り当てる。ボトルネック箇所に合わせて投入し、それぞれのQ−time制約区間をCKB法で管理する(点共通と同様)。
ここで、簡単に各構造の管理方法を述べる。
(ST1)直列型(A)排他では、其々のQ−time制約区間をCKB法で管理可能する。
(ST2)直列型(B)点共通では、ボトルネック箇所に合わせて投入し、それぞれのQ−time制約区間をCKB法で管理する。CKB法を通して先行Q−time制約区間が後続のQ−time制約区間と連動する。(後続区間の投入率が低下した場合にはバッファサイズによる連動制御、増加した場合にはカンバンによる連動制御が即座に働く)
(ST3)直列型(C)−1工程重複(包囲)では、この「工程重複(包囲)」構造を「点共通」の構造に変換して、被包囲Q−time制約区間以外に包囲Q−time制約時間の残り時間を割り当てる。ボトルネック箇所に合わせて投入し、それぞれのQ−time制約区間をCKB法で管理する(点共通と同様)。
(ST4)直列型(C)−2中間工程重複では、ボトルネック箇所に合わせて投入し、それぞれのQ−time制約区間をCKB法で管理する。ただし、全てのQ−time制約区間の終了時点におけるカンバンの解放やバッファサイズ充填率を全てのQ−time制約の開始時点へ渡し、全てのQ−time制約区間のカンバンおよびバッファサイズ条件が揃った場合のみ処理開始可能とする。(追加事項:カンバンのコピーと配布ほか)
(ST5)並列型(D)完全並列では、それぞれの独立ライン区間を、直列型と同様に扱う。
(ST6)並列型(E)−1(1)点合流=(2)工程合流では、多品種のCKB法と同様に扱う。合流開始工程での能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(ST7)並列型(E)−2区間合流では、多品種のCKB法と同様に扱う。合流開始以降の重複工程で能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(ST8)並列型(F)−1(1)点分岐=(2)工程分岐では、多品種のCKB法と同様に扱う。分岐開始工程での能力配分比率を決定して独立に(直列型として)管理する。
(ST9)並列型(F)−2区間分岐では、多品種のCKB法と同様に扱う。分岐開始以前の重複工程で能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(ST5)並列型(D)完全並列では、それぞれの独立ライン区間を、直列型と同様に扱う。
(ST6)並列型(E)−1(1)点合流=(2)工程合流では、多品種のCKB法と同様に扱う。合流開始工程での能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(ST7)並列型(E)−2区間合流では、多品種のCKB法と同様に扱う。合流開始以降の重複工程で能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(ST8)並列型(F)−1(1)点分岐=(2)工程分岐では、多品種のCKB法と同様に扱う。分岐開始工程での能力配分比率を決定して独立に(直列型として)管理する。
(ST9)並列型(F)−2区間分岐では、多品種のCKB法と同様に扱う。分岐開始以前の重複工程で能力配分比率を決定して其々を独立に(直列型として)管理する。
(3)手続き型CKB(CKB−PS)法
MNA1法やMNA2法を融合して、製造フロー全体に対して、動的な状態変化の監視・予測等に基づいてQ−time制約を同時管理する手続き(標準、条件分岐付き(直列型、並列型))を、統一的に「手続き型CKB法」として定めた。
図54は、手続き型CKB法(標準)のフローチャート(その1)である。なお、最適指標生成装置41は、フローチャートで表される制御プログラムを記憶したHDD、RAM、CPUを備え、CPUはHDDまたはROM、またはCDROMなどの記憶媒体から制御プログラムを読み出して装置41を制御することとする。
MNA1法やMNA2法を融合して、製造フロー全体に対して、動的な状態変化の監視・予測等に基づいてQ−time制約を同時管理する手続き(標準、条件分岐付き(直列型、並列型))を、統一的に「手続き型CKB法」として定めた。
図54は、手続き型CKB法(標準)のフローチャート(その1)である。なお、最適指標生成装置41は、フローチャートで表される制御プログラムを記憶したHDD、RAM、CPUを備え、CPUはHDDまたはROM、またはCDROMなどの記憶媒体から制御プログラムを読み出して装置41を制御することとする。
シミュレーション実験の結果、図59に示す通り、手続き型CKB法は、非特許文献1に記載の従来型Q−time制約区間管理ルールと比べて、生産率を向上しつつ工程間待ち時間を約60〜80%短縮することを確かめた。
また、最適指標生成にかかる計算時間に関する性能評価結果から、非特許文献1で3秒を要していた計算時間を0.005秒程に抑え、600分の一の計算時間を実現することが確かめられた。なお、この性能評価は、同程度性能以下の計算機(パーソナルコンピューター)を用いて実験した結果である。
また、最適指標生成にかかる計算時間に関する性能評価結果から、非特許文献1で3秒を要していた計算時間を0.005秒程に抑え、600分の一の計算時間を実現することが確かめられた。なお、この性能評価は、同程度性能以下の計算機(パーソナルコンピューター)を用いて実験した結果である。
図60に示すように、最適指標生成装置51は、図1に示す最適指標生成装置11(第1実施形態)と同様に、入力部12、Q−time構造分析部14、を備えている。また、図30に示す最適指標生成装置21(第2実施形態)と同様に、入力部22、補助入力部23、を備えている。第1実施形態や第2実施形態と比較して、第5実施形態に特徴的な構成は、図60に示すように、補助入力部(JAMP−wS法)52、段取り替えサイクル算定部53、装置区分算定部54、JAMP−wS最適論理値計算部55、感度解析部(JAMP特性)58、開始終了時期算出部56、感度解析部(性能特性)57、を備えていることにある。
ここで、第5実施形態に特徴的な上記構成について説明する。
補助入力部(JAMP−wS法)52は、装置使用可能品種/スペック対応、多品種・繰返し処理における段取り替え時間、段取り活用方法(3種類ほかから選択)、装置−品種スペック割当ルール(3種類ほかから選択)、装置−品種割当(固有条件)、多品種仕掛り、などの情報を入力する。
段取り活用方法の設定によって、最適理論値計算部55における計算結果が変わる。段取り活用方法は、不可避な段取り時間の活用方法を規定するもので、例えば、JAMP法における保全時期分散化率を高める目的、保全時間の長大化に対応する余裕時間を配置する目的、およびそれら両方を融合した目的、などがある。最適指標生成装置51のユーザーが選択した段取り活用ルールを、補助入力部(JAMP−wS法)52から入力する。
補助入力部(JAMP−wS法)52は、装置使用可能品種/スペック対応、多品種・繰返し処理における段取り替え時間、段取り活用方法(3種類ほかから選択)、装置−品種スペック割当ルール(3種類ほかから選択)、装置−品種割当(固有条件)、多品種仕掛り、などの情報を入力する。
段取り活用方法の設定によって、最適理論値計算部55における計算結果が変わる。段取り活用方法は、不可避な段取り時間の活用方法を規定するもので、例えば、JAMP法における保全時期分散化率を高める目的、保全時間の長大化に対応する余裕時間を配置する目的、およびそれら両方を融合した目的、などがある。最適指標生成装置51のユーザーが選択した段取り活用ルールを、補助入力部(JAMP−wS法)52から入力する。
開始終了時期算出部56は、JAMP−wS最適論理値計算部55の算出結果を内部記憶部56aに記憶する。また、開始終了時期算出部56は、内部記憶部56aと生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29の生産実績や装置関連業務実績の情報を照合して、生産管理システム10における生産指示やエンジニアリング業務システム29における業務指示のための情報を出力する。これら生産指示や業務指示のそれぞれに固有の識別番号等が付され、生産実績や業務実績と内部記憶部56aとの照合に利用することができる。
開始終了時期算出部56では、第2実施形態の開始終了時期算出部26とは異なり、保全に加えて段取り業務の情報が追加されている。
開始終了時期算出部56では、第2実施形態の開始終了時期算出部26とは異なり、保全に加えて段取り業務の情報が追加されている。
図60と図61を参照して、本発明の第5実施形態に係る最適指標生成装置51の動作について説明する。
ステップS51では、Q−time制約に関する情報を生産管理システム10を介して入力部12により入力する。ステップS52では、Q−time構造分析部43を経て算出した情報と、生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システム10を介して入力部22と補助入力部23により入力する。
さらに、ステップS53では、装置の段取り替えや段取り活用方法に関する情報を補助入力部52から入力した情報を用いて、段取り替えサイクル算定部53により、Q−time制約や工程納期を遵守しつつ各装置の段取り率最小となる多品種生産サイクルおよび段取り周期等を算出し、装置区分算定部54に入力する。
次に、ステップS54では、装置区分算定部54により複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する。ステップS55では、装置能力区分と入力された情報および各装置の段取り情報からJAMP-wS最適論理値計算部55により複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)に対する生産負荷・稼働回数と稼働時期を算出する。
ステップS56では、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを開始終了時期算出部56により算出すると共に内部記憶56aに記憶する。
ステップS57では、開始終了時期算出部56により算出された製品処理・段取り・保全の最適な開始終了時期情報を生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29に供給する。
これら生産や業務の最適な開始終了時期情報それぞれに固有の識別番号等が付され、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29で管理される生産実績や業務実績と内部記憶部56aとの照合に利用することができる。
ステップS51では、Q−time制約に関する情報を生産管理システム10を介して入力部12により入力する。ステップS52では、Q−time構造分析部43を経て算出した情報と、生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システム10を介して入力部22と補助入力部23により入力する。
さらに、ステップS53では、装置の段取り替えや段取り活用方法に関する情報を補助入力部52から入力した情報を用いて、段取り替えサイクル算定部53により、Q−time制約や工程納期を遵守しつつ各装置の段取り率最小となる多品種生産サイクルおよび段取り周期等を算出し、装置区分算定部54に入力する。
次に、ステップS54では、装置区分算定部54により複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する。ステップS55では、装置能力区分と入力された情報および各装置の段取り情報からJAMP-wS最適論理値計算部55により複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)に対する生産負荷・稼働回数と稼働時期を算出する。
ステップS56では、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを開始終了時期算出部56により算出すると共に内部記憶56aに記憶する。
ステップS57では、開始終了時期算出部56により算出された製品処理・段取り・保全の最適な開始終了時期情報を生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29に供給する。
これら生産や業務の最適な開始終了時期情報それぞれに固有の識別番号等が付され、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29で管理される生産実績や業務実績と内部記憶部56aとの照合に利用することができる。
図72と図73を参照して、本発明の第6実施形態に係る最適指標生成装置61の動作について説明する。
まず、第5実施形態の最適指標生成装置51の主要な処理を実行する。具体的には、ステップS81では、入力部12や補助入力部13を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいてQ−time構造分析部43でQ−time構造を分析する。
ステップS82では、Q−time構造分析の結果と、入力部22や補助入力部(JAMP法)23や補助入力部(JAMP−wS法)52を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいて、段取り替えサイクル算定部53、装置区分算定部54、JAMP−wS最適論理値計算部55の計算を実行する。
ステップS83では、JAMP−wS最適論理値計算部55の算出結果と感度解析部(JAMP−wS特性)58の算出結果が内部記憶58aに記憶される。
ステップS84では、JAMP−wS最適論理値計算部55から算出される複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)の稼働回数と稼働時期、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを、開始終了時期算出部56を介して入力して、生産スパイク算定部64では、生産スパイクを算出し、内部記憶64aに記憶する。
ステップS85では、生産スパイク算定部64は、補助入力部(CKB=JAMP−wS2法)62と内部記憶64aから入力された情報を元に、感度解析部(JAMP−wS特性)58の内部記憶58aと照合して、動的な生産スパイクなどを算出し、内部記憶64aに記憶する。
また、ステップS86では、生産スパイク算定部64での計算に装置群生産周期位相設定部63の算定結果を用いて生産スパイクの変形することができる。
ステップS87、S88では、各入力部やQ−time構造分析部14や最適ロードルール判定部19ならびに生産スパイク算定部64から入力される情報に基づいて、CKB=JAMP−wS2最適理論値計算部65では、対象とする生産工程のQ−time制約区間における生産物流・在庫管理のための最適指標を生成し、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29、または生産工程#1のエンジニアやオペレータに指標算出部66を介して出力すると共に、内部記憶66aに記憶する。
また、ステップS89では、指標算出部66は、内部記憶部66aと生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29などの生産実績や装置関連業務実績の情報を照合して、生産管理システム10における生産指示やエンジニアリング業務システム29における業務指示のための情報を出力する。これら生産指示や業務指示のそれぞれに固有の識別番号等が付され、生産実績や業務実績と内部記憶部66aとの照合に利用することができる。
指標算出部66では、第3実施形態の算出部17A、ならびに、第5実施形態の56と同様であるが、保全や段取り業務の情報と、生産物流・在庫管理に関する情報とが含まれた総合的な生産・業務指示情報を出力する点が異なる。
まず、第5実施形態の最適指標生成装置51の主要な処理を実行する。具体的には、ステップS81では、入力部12や補助入力部13を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいてQ−time構造分析部43でQ−time構造を分析する。
ステップS82では、Q−time構造分析の結果と、入力部22や補助入力部(JAMP法)23や補助入力部(JAMP−wS法)52を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいて、段取り替えサイクル算定部53、装置区分算定部54、JAMP−wS最適論理値計算部55の計算を実行する。
ステップS83では、JAMP−wS最適論理値計算部55の算出結果と感度解析部(JAMP−wS特性)58の算出結果が内部記憶58aに記憶される。
ステップS84では、JAMP−wS最適論理値計算部55から算出される複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)の稼働回数と稼働時期、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを、開始終了時期算出部56を介して入力して、生産スパイク算定部64では、生産スパイクを算出し、内部記憶64aに記憶する。
ステップS85では、生産スパイク算定部64は、補助入力部(CKB=JAMP−wS2法)62と内部記憶64aから入力された情報を元に、感度解析部(JAMP−wS特性)58の内部記憶58aと照合して、動的な生産スパイクなどを算出し、内部記憶64aに記憶する。
また、ステップS86では、生産スパイク算定部64での計算に装置群生産周期位相設定部63の算定結果を用いて生産スパイクの変形することができる。
ステップS87、S88では、各入力部やQ−time構造分析部14や最適ロードルール判定部19ならびに生産スパイク算定部64から入力される情報に基づいて、CKB=JAMP−wS2最適理論値計算部65では、対象とする生産工程のQ−time制約区間における生産物流・在庫管理のための最適指標を生成し、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29、または生産工程#1のエンジニアやオペレータに指標算出部66を介して出力すると共に、内部記憶66aに記憶する。
また、ステップS89では、指標算出部66は、内部記憶部66aと生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29などの生産実績や装置関連業務実績の情報を照合して、生産管理システム10における生産指示やエンジニアリング業務システム29における業務指示のための情報を出力する。これら生産指示や業務指示のそれぞれに固有の識別番号等が付され、生産実績や業務実績と内部記憶部66aとの照合に利用することができる。
指標算出部66では、第3実施形態の算出部17A、ならびに、第5実施形態の56と同様であるが、保全や段取り業務の情報と、生産物流・在庫管理に関する情報とが含まれた総合的な生産・業務指示情報を出力する点が異なる。
図80を参照して、本発明の第7実施形態に係る最適指標生成装置71の動作を説明する。
まず、最適指標生成装置61計算モジュール72において、最適指標生成装置61(第6実施形態)の特徴的な処理を実行する。
具体的には、ステップS91では、入力部12や補助入力部13を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいてQ−time構造分析部43でQ−time構造を分析する。
次いで、ステップS92では、Q−time構造分析の結果と入力部22や補助入力部(JAMP法)23や補助入力部(JAMP−wS法)52を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいて、段取り替えサイクル算定部53、装置区分算定部54、JAMP−wS最適論理値計算部55の計算を実行する。ここで、JAMP−wS最適論理値計算部55の算出結果と感度解析部(JAMP−wS特性)58の算出結果が内部記憶58aに記憶される。
次いで、ステップS93では、JAMP−wS最適論理値計算部55から算出される複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)の稼働回数と稼働時期、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを、開始終了時期算出部56を介して入力して、生産スパイク算定部64では、生産スパイクと各種生産リスクを算出し、内部記憶64aに記憶する。
次いで、ステップS94では、生産スパイク算定部64は、補助入力部(CKB=JAMP−wS2法)62と内部記憶64aから入力された情報を元に、感度解析部(JAMP−wS特性)58の内部記憶58aと照合して、動的な生産スパイクなどを算出し、内部記憶64aに記憶する。
また、ステップS95では、生産スパイク算定部64での計算に装置群生産周期位相設定部63の算定結果を用いて生産スパイクの変形することができる。
まず、最適指標生成装置61計算モジュール72において、最適指標生成装置61(第6実施形態)の特徴的な処理を実行する。
具体的には、ステップS91では、入力部12や補助入力部13を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいてQ−time構造分析部43でQ−time構造を分析する。
次いで、ステップS92では、Q−time構造分析の結果と入力部22や補助入力部(JAMP法)23や補助入力部(JAMP−wS法)52を介して生産管理システム10やエンジニアリング業務システムから入力された情報に基づいて、段取り替えサイクル算定部53、装置区分算定部54、JAMP−wS最適論理値計算部55の計算を実行する。ここで、JAMP−wS最適論理値計算部55の算出結果と感度解析部(JAMP−wS特性)58の算出結果が内部記憶58aに記憶される。
次いで、ステップS93では、JAMP−wS最適論理値計算部55から算出される複数の常用装置と代替装置(および常用能力と代替能力)の稼働回数と稼働時期、常用装置と代替装置とに関する予防保全開始・終了時期および各装置の段取り周期や品種生産サイクルを、開始終了時期算出部56を介して入力して、生産スパイク算定部64では、生産スパイクと各種生産リスクを算出し、内部記憶64aに記憶する。
次いで、ステップS94では、生産スパイク算定部64は、補助入力部(CKB=JAMP−wS2法)62と内部記憶64aから入力された情報を元に、感度解析部(JAMP−wS特性)58の内部記憶58aと照合して、動的な生産スパイクなどを算出し、内部記憶64aに記憶する。
また、ステップS95では、生産スパイク算定部64での計算に装置群生産周期位相設定部63の算定結果を用いて生産スパイクの変形することができる。
次に、最適指標生成成装置41計算モジュール73において、最適指標生成装置41(第4実施形態)の特徴的な処理を実行する。
具体的には、ステップS96では、生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力部12や補助入力部13や補助入力部(手続き型CKB法)45により入力し、さらに生産スパイク算定部64から入力される情報から生産ボトルネック・流量解析部42により解析した複数の装置による生産工程の中のボトルネック箇所および最大流量と、Q−time構造分析部43による分析結果を入力し、手続き実行制御部(CKB+PS法)48を用いて全ての各Q−time区間の最適管理指標を計算する指示を出す。
次いで、ステップS97では、最適管理指標の計算においては、最適ロードルール判定部19やQ−time構造分析部43や生産スパイク算定部64からの情報を入力して、手続き型CKB=JAMP−wS2最適理論値計算部75において、対象とする生産工程の全てのQ−time制約区間における生産物流・在庫管理のための最適指標を生成し、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29や生産工程#1のエンジニアやオペレータに指標算出部76を介して出力すると共に、内部記憶76aに記憶する。
また、指標算出部76は、内部記憶部76aと生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29などの生産実績や装置関連業務実績の情報を照合して、生産管理システム10における生産指示やエンジニアリング業務システム29における業務指示のための情報を出力する。これら生産指示や業務指示のそれぞれに固有の識別番号等が付され、生産実績や業務実績と内部記憶部76aとの照合に利用することができる。
具体的には、ステップS96では、生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力部12や補助入力部13や補助入力部(手続き型CKB法)45により入力し、さらに生産スパイク算定部64から入力される情報から生産ボトルネック・流量解析部42により解析した複数の装置による生産工程の中のボトルネック箇所および最大流量と、Q−time構造分析部43による分析結果を入力し、手続き実行制御部(CKB+PS法)48を用いて全ての各Q−time区間の最適管理指標を計算する指示を出す。
次いで、ステップS97では、最適管理指標の計算においては、最適ロードルール判定部19やQ−time構造分析部43や生産スパイク算定部64からの情報を入力して、手続き型CKB=JAMP−wS2最適理論値計算部75において、対象とする生産工程の全てのQ−time制約区間における生産物流・在庫管理のための最適指標を生成し、生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29や生産工程#1のエンジニアやオペレータに指標算出部76を介して出力すると共に、内部記憶76aに記憶する。
また、指標算出部76は、内部記憶部76aと生産管理システム10やエンジニアリング業務システム29などの生産実績や装置関連業務実績の情報を照合して、生産管理システム10における生産指示やエンジニアリング業務システム29における業務指示のための情報を出力する。これら生産指示や業務指示のそれぞれに固有の識別番号等が付され、生産実績や業務実績と内部記憶部76aとの照合に利用することができる。
並列構造を直列構造に変換することは、すなわち、共用される製造装置における生産能力を多品種・繰返し生産ロットに配分することを意味する。多品種生産ロットに対する最適な生産能力の配分については、最適指標生成装置61(第6実施形態)によって示された。第7実施形態では、さらに、異なるQ−time制約をもつ繰返し処理ロットへの生産能力の配分を生産率最大化を目的として最適化する方法を示す。同一品種の繰返し処理ロットに対する装置群の生産能力配分において、生産率最大化を目的とした場合には、図82に示したような証明により、繰返し処理ロットに均等に生産能力を配分すること、すなわち繰返し処理ロットの生産率(スループットとも呼ばれる)を同等にすることが最適と示せた。ただし、この均等とは、一定期間の平均値である。ここで、この生産能力配分のルールを、REFS(Re-entrant flow Smoothing)と呼ぶことにする。生産率の最大化を図りつつ、さらに、工程間の滞在時間の制約(Q−time制約や納期など)を遵守しつつ段取り時間を低減する多目的の達成が求められる。ここで、(1)生産能力の配分を均等化すること、および(2)図77に示したように工程間の滞在時間の制約を遵守しつつ段取り時間を低減するような共用装置の切り替え周期を定めることで、多目的の達成を可能にする最適な生産物流・在庫管理が実現する。
複数Q−time制約区間への生産能力の最適な配分方法を、以下(A)、(B)の前提をおいて、(i)、(ii)の場合分けを用いて実現する。このように、複数の工程が同一装置群を共用し、かつ、各工程での−time制約時間が異なる場合の扱いを定めた。
複数Q−time制約区間への生産能力の最適な配分方法を、以下(A)、(B)の前提をおいて、(i)、(ii)の場合分けを用いて実現する。このように、複数の工程が同一装置群を共用し、かつ、各工程での−time制約時間が異なる場合の扱いを定めた。
第7実施形態では、さらに、図72に示す最適指標生成装置61(第6実施形態)における生産スパイクとリスクの算定に基づいて、適切な在庫の配置箇所と数量を定めて生産期間を短縮する方法を示す。まず、生産期間の短縮の重要性について説明する。生産工程において、高額で台数が限られて生産工程全体の生産率を決定づける資源的ボトルネック(例えば、半導体製造におけるフォトリソグラフィー装置等)の生産能力を高く維持することが重要である。しかし、実態として、資源的ボトルネックや非資源的ボトルネックにおける装置の保全や故障などに起因する装置の停止によって装置群の生産能力の低下が発生し、生産物流の変動(特に、装置群の生産率がボトルネックの(目標または最大)生産率以下に陥いる低下期、および、その後の復旧期が形成する生産スパイク)を引き起こし、生産物流としてボトルネックに伝搬し、資源的ボトルネックの生産率を低下させることがある。また、資源的ボトルネックの前後などにQ−time制約区間が存在し、Q−time制約区間における生産物流制御が資源的ボトルネックの生産率に影響を与えることがある。このような装置群の生産能力の変化やQ−time制約区間の生産物流制御による影響を吸収するために、半導体製造工程では、一般的に、工程間に多量の中間在庫(実態としては工場の中のストッカや搬送経路上のバッファに格納される)を配備している。この中間在庫の影響で、半導体製造における生産期間の40〜65%程度を工程間の処理待ち時間が占めており、長大な生産期間(一般的に1.5〜2.5ヵ月)の原因となり、時間競争力が向上せず製品の死蔵化の一因にもなっている。
第7実施形態では、生産期間の問題を解決するために、図83に示す、到着連動集中在庫型方式と図84に示す段階的変動吸収分散在庫型方式の2種類の方式を示す。資源的ボトルネック間や動的ボトルネック間やQ−time制約区間を管理単位(工程管理モジュールと呼ぶ)として、これらの方式により、最小の安全在庫量の配置と数量を定める。
II.段階的変動吸収分散在庫型方式
到着連動集中在庫型方式との違いは、Q−time制約の有無に関わらずバッチ処理工程など一定の在庫を要する工程区間の在庫を活用して、順次可能な限り生産スパイクを低減していく点である。また、資源的ボトルネック工程の目標生産率との乖離を減らすために、バッチ工程でのロードサイズを適切に変更する。
図84のような装置集中停止時間tdによって発生するスパイクを取り除くための中間在庫LriはLri=λ0triとなる。
ここで、制約が付されてるため、制約時間Tqi<tr1のときtr1=Tq1。
そして、後継制約区間の時間長tr(i+1)は
となる。
段階的変動吸収分散在庫型方式の利点は、プロセスの高度化の影響で増加の一途にあるQ−time制約が点在する生産工程でも、各工程の中間在庫を活用して可能な限り生産スパイクを段階的に低減し、資源的ボトルネック工程へのスパイクの伝搬を早い段階で防ぐ可能性を高める点にある。また、バッチ工程でのローディングを生産工程全体に合致させるよう適正化する。段階的変動吸収分散在庫型方式の想定される欠点は、バッチ工程でローディングサイズを小さくすることを許容すると、同一期間長におけるローディング回数を増やすことになり、熱処理炉(Fur)などの装置群では予防保全周期が短くなることがあり、注意を払う必要がある。
到着連動集中在庫型方式との違いは、Q−time制約の有無に関わらずバッチ処理工程など一定の在庫を要する工程区間の在庫を活用して、順次可能な限り生産スパイクを低減していく点である。また、資源的ボトルネック工程の目標生産率との乖離を減らすために、バッチ工程でのロードサイズを適切に変更する。
図84のような装置集中停止時間tdによって発生するスパイクを取り除くための中間在庫LriはLri=λ0triとなる。
ここで、制約が付されてるため、制約時間Tqi<tr1のときtr1=Tq1。
そして、後継制約区間の時間長tr(i+1)は
となる。
段階的変動吸収分散在庫型方式の利点は、プロセスの高度化の影響で増加の一途にあるQ−time制約が点在する生産工程でも、各工程の中間在庫を活用して可能な限り生産スパイクを段階的に低減し、資源的ボトルネック工程へのスパイクの伝搬を早い段階で防ぐ可能性を高める点にある。また、バッチ工程でのローディングを生産工程全体に合致させるよう適正化する。段階的変動吸収分散在庫型方式の想定される欠点は、バッチ工程でローディングサイズを小さくすることを許容すると、同一期間長におけるローディング回数を増やすことになり、熱処理炉(Fur)などの装置群では予防保全周期が短くなることがあり、注意を払う必要がある。
2 処理工程(装置群)、3 処理工程(装置群)、4 バッファサイズ、10 生産管理システム、11 最適指標生成装置、12 入力部、12A 入力モジュール、13 補助入力部、14 Q−time構造分析部、15 CKB最適論理値計算部、16 感度解析部(CKB特性)、17 指標算出部、18 感度解析部(性能特性)、19 最適ロードルール判定部、21 最適指標生成装置、22 入力部、22A 入力モジュール、23 補助入力部、24 JAMP最適論理値計算部、25 感度解析部(JAMP特性)、26 開始終了時期算出部、27 感度解析部(性能特性)、28 装置区分算定部、29 エンジニアリング業務システム、31 最適指標生成装置、32 変動監視検出部、33 入力変更検出部、34 再計算必要性判断部、35 感度解析部(CKB+JAMP特性)、36 CKB+JAMP最適論理値計算部、37 感度解析部(CKB+JAMP性能特性)、38 計算指示部、41 最適指標生成装置、42 生産フローボトルネック・流量解析部、43 Q−time構造分析部、44 装置区分算定部、45 補助入力部、46 駆動制御部、47 余裕時間配分解析部、51 最適指標生成装置、52 補助入力部(JAMP−wS法)、53 段取り替えサイクル算定部、54 装置区分算定部、55 JAMP−wS最適論理値計算部、56 開始終了時期算出部、57 感度解析部(性能特性)、58 感度解析部(JAMP特性)、61 最適指標生成装置、62 補助入力部(CKB=JAMP−wS 2 法)、63 装置群生産周期位相設定部、64 生産スパイク算定部、65 CKB=JAMP−wS 2 最適理論値計算部、66 指標算出部、67 感度解析部(CKB=JAMP−wS 2 性能特性)、68 感度解析部(CKB=JAMP−wS 2 特性)、71 最適指標生成装置、72 最適指標生成成装置61計算モジュール、73 最適指標生成成装置41計算モジュール、76 指標算出部
Claims (9)
- 前記指標算出ステップは、前記加工工程間で待つことが可能な最大ロット数を超えないように、前記複数の装置による加工工程間に設けられたバッファのサイズを制限することにより、先行工程の製品の出力を制御することを特徴とする請求項3記載の最適指標生成方法。
- 前記トラフィック強度が1より大きくなる場合には、トラフィック強度が1になるようにQ−time制約区間へのロットの投入率を制御することを特徴とする請求項3記載の最適指標生成方法。
- 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成装置であって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して入力する情報入力部と、
前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程の中のボトルネック箇所および最大流量を解析するボトルネック箇所解析部と、
前記入力された情報から1つ以上のQ−time制約が存在しているQ−time制約区間の構造を分析するQ−time制約構造分析部と、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して入力する情報入力部と、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、
前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期を算出する最適理論値計算部と、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時期を算出する時間指標算出部と、
前記ボトルネック箇所、最大流量、前記Q−time構造および前記装置区分と前記時間指標に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、
前記生産実行システムに含まれる製造フロー全体に点在するすべてのQ−time制約を同時に管理する手続き実行制御部と、を備え、
前記時間指標算出部と指標算出部により算出された最適な指標情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記時間指標算出部により算出された最適な指標情報を生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成装置。 - 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成方法であって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して入力する情報入力ステップと、
前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程の中のボトルネック箇所および最大流量を解析するボトルネック箇所解析ステップと、
前記入力された情報から1つ以上のQ−time制約が存在しているQ−time制約区間の構造を分析するQ−time制約構造分析ステップと、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して入力する情報入力ステップと、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定ステップと、
前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算ステップと、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時期を算出する時間指標算出ステップと、
前記ボトルネック箇所、最大流量、前記Q−time構造および前記装置区分と時間指標に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算ステップと、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出ステップと、を実行し、
前記時間指標算出ステップと指標算出ステップにより算出された最適な指標情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記時間指標算出ステップにより算出された最適な指標情報を生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成方法。 - 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線介して前記複数の装置に関する指標情報を送信する最適指標生成サーバであって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信部と、
前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程の中のボトルネック箇所および最大流量を解析するボトルネック箇所解析部と、
前記受信された情報から1つ以上のQ−time制約が存在しているQ−time制約区間の構造を分析するQ−time制約構造分析部と、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を前記生産管理システムを介して受信する情報受信部と、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、
前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する時間指標算出部と、
前記ボトルネック箇所、最大流量、前記Q−time構造および前記装置区分と前記時間指標に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、
前記時間指標算出部と指標算出部により算出された最適な指標情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記時間指標算出部により算出された最適な指標情報を生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成サーバ。 - 前記最適理論値計算部により算出された最適な開始終了時期情報に対して、感度解析を予め行っておく感度解析部と、
各種入力情報の変動に対応した最適な指標情報を即時に前記生産管理システムに供給する開始終了時期算出部をさらに備えることを特徴とする請求項20記載の最適指標生成装置。 - 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成装置であって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力する情報入力部と、
前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析部と、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから入力する情報入力部と、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、
前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出部と、
前記入力された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、
前記開始終了時期算出部により算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算部および前記指標算出部により生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成装置。 - 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、前記複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成方法であって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して入力する情報入力ステップと、
前記入力された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析ステップと、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから入力する情報入力ステップと、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定ステップと、
前記算定された装置区分と入力された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算ステップと、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出ステップと、
前記入力された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算ステップと、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出ステップと、を実行し、
前記開始終了時期算出ステップにより算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに供給するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算ステップおよび前記指標算出ステップにより生産管理システムに供給することを特徴とする最適指標生成方法。 - 多品種の製品を生産するための生産実行システムに設けられた複数の装置を制御する生産管理システムに対して、通信回線を介して前記複数の装置に関する指標情報を送信する最適指標生成サーバであって、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムを介して受信する情報受信部と、
前記受信された情報から前記複数の装置による加工工程間の滞在時間の制限値を示すQ−time制約を分析するQ−time構造分析部と、
前記生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システムから受信する情報受信部と、
前記複数の装置を常用能力を有する常用装置と代替能力を有する代替装置とに区分する装置区分算定部と、
前記算定された装置区分と受信された情報から前記複数の常用装置と代替装置の稼働回数と稼働時期と稼動条件を算出する最適理論値計算部と、
前記常用装置と代替装置とに関する予防保全開始時間を算出する開始終了時期算出部と、
前記受信された情報、前記Q−time構造および前記装置区分と前記開始終了時期に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを算出する最適理論値計算部と、
前記算出された最適理論値を指標情報として出力する指標算出部と、を備え、
前記開始終了時期算出部により算出された最適な開始終了時期情報を前記生産管理システムやエンジニアリング業務システムに送信するとともに、前記算出された開始終了時期により定まる工程能力が異なる各期に対して最適な指標情報を最適理論値計算部および前記指標算出部により生産管理システムに送信することを特徴とする最適指標生成サーバ。
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