JP2013032996A5 - - Google Patents

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ウェハ上の欠陥によって散乱される光は非常に弱く、その微弱光を高速かつ高感度に測定する検出方法としてはＰＭＴ（Photomultiplier Tube）やＭＰＰＣ（登録商標、商標権者：浜松ホトニクス株式会社）（Multi-Pixel Photon Counter）がある。上記検出方法では、微弱光を光電変換して、電子を増倍する機能があるが、光電変換の量子効率が５０％以下と低いため、信号光を損失し、Ｓ／Ｎ比（signal to noise）を低下させるという課題がある。
次に実施例９について説明する。本実施例は、照明用光源１がパルス発振レーザ光源であり、励起用光源２が連続発光光源であり、さらに、励起用光源２の連続発振光の発生時刻、及び時間の少なくとも１つを、照明用光源１のパルス信号の発生時刻、及び時間の少なくとも１つと電気的に同期させる処理部と、高速応答可能な検出器の一例であるＭＰＰＣ（登録商標、商標権者：浜松ホトニクス株式会社）と、を有することを特徴とする。他の構成は、実施例１と同様である。本実施例は他の検出器に比べて比較的高速応答可能な検出器（例えばＭＰＰＣ（登録商標、商標権者：浜松ホトニクス株式会社））を使用する場合には、特に有効である。
図１１を用いて本実施例の概要を説明する。他の実施例と同様の説明は省略する。照明用光源１からパルス光Ｐ1が照明された際、その発生時刻Ｔ1を示す発生タイミング信号が照明用光源１から同期部１０３へ送られる（矢印１１０１，１１０２）。ここで、同期部１０３では、ＭＰＰＣ（登録商標、商標権者：浜松ホトニクス株式会社）３０１がパルス光Ｐ1を検出した時刻を示す検出タイミング信号も検出することができる（矢印１１０６）。同期部１０３で検出されたＴ1は任意に変更可能な遅延信号，持続信号と共に信号処理部１０５へ送られる（矢印１１０３）。信号処理部１０５では、Ｔ1，遅延信号，持続信号を使って演算を行い、励起用光源２からの励起光が希土類添加光ファイバ４内で試料１００からの散乱光と同期をとれるような時刻、及び時間を得る。そして、信号処理部１０５での演算された時刻、及び時間は全体制御部１０６を経由して、励起用光源２に送信される（矢印１１０４，１１０５）。そして、励起用光源２は、信号処理部１０５で演算された時刻、及び時間で連続発振光を発振する。
１ 照明用光源
２，５０２ 励起用光源
３ 検出器
４，２０６ 希土類添加光ファイバ
５ ファイバカプラ
６ カップリング用光学系
７ 干渉フィルタ
１００ 試料
１０１ ステージ
１０２ ステージ駆動部
１０３ 同期部
１０５ 信号処理部
１０６ 全体制御部
１０７ メカ制御部
１０８ 情報表示部
１０９ 入力操作部
１１０ 記憶部
１１１ 回転駆動部
１１２ 垂直駆動部
１１３ スライド駆動部
１１６ 検出光学系
２０１ 照明光
２０２ 照明スポット
３０１ ＭＰＰＣ（登録商標、商標権者：浜松ホトニクス株式会社）
５０１ ダイクロイックミラー
５０５ 傾斜希土類添加光ファイババンドル
５０６ マイクロレンズ
５０７ 複数画素検出器
５０８ 物体面
５０９ 像面
５１０ 階段状希土類添加光ファイババンドル
６０２ 希土類添加光ファイババンドル
６０３ マイクロミラー
６０４ マイクロプリズム
７０１ 固定部
７０４ 調整希土類添加光ファイババンドル
７０３１ ファイバ
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