JP2013029399A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物Mの表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー1と、前記衝撃波を検出する検出用レーザー2を備える。この検出用レーザー2は、第一検出用レーザー2aと第二検出用レーザー2bに分岐され、両検出用レーザー2a、2bは、検査対象物Mの異なる位置にそれぞれ照射される。また、第一検出用レーザー2a照射位置に加熱用レーザー1が照射される。検査対象物Mと測定装置が相対的に振動しても、両検出用レーザー2a、2bがともに検査対象物Mに照射されるため、前記振動が相殺されて、両検出用レーザー2a、2bによって形成された干渉縞が変位することなく安定する。このため、前記衝撃波に伴う干渉縞の変位を精度良く測定することができ、検査対象物M中の内部欠陥Vを高感度に検出することができる。
【選択図】図1
Description
2 検出用レーザー
2a 第一検出用レーザー
2b 第二検出用レーザー
3、4 偏光ビームスプリッタ
5、9 1/4波長板
6、10 ミラー
7 レンズ
8、11 ハーフミラー
12 干渉光路
13 1/2波長板
14 スペイシャルフィルタ(ノイズ低減素子)
15 レンズ
16 ピンホール
17 光検出器
18 干渉縞
ch1、ch2、ch3 検出チャンネル
U1、U2、U3 (各検出チャンネルにおける干渉縞の)強度
V 内部欠陥
M 検査対象物
Claims (4)
- 検査対象物(M)の表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー(1)と、この加熱用レーザー(1)によって前記検査対象物(M)に生じた衝撃波を検出する検出用レーザー(2)と、前記表面によって反射された検出用レーザー(2)を検出する光検出器(17)とを備え、
前記検出用レーザー(2)を、第一検出用レーザー(2a)と第二検出用レーザー(2b)の二つに分岐して、前記表面の異なる位置にそれぞれ照射し、前記表面によって反射された前記第一及び第二検出用レーザー(2a、2b)を干渉光路(12)に導いて干渉させた干渉縞(18)の変位を前記光検出器(17)で検出して前記検査対象物(M)内の欠陥の有無を判定する欠陥検査装置。 - 前記加熱用レーザー(1)を、前記第一検出用レーザー(2a)と同一の箇所に照射するようにした請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記光検出器(17)が、前記干渉縞(18)の明暗変化方向に並ぶ複数の検出チャンネルを有し、そのうちの二つの検出チャンネル(ch1、ch3)が、前記明暗変化方向への明暗変化の周期の1/2の間隔をもって配置されており、前記間隔で配置された両検出チャンネル(ch1、ch3)で検出した受光強度(U1、U3)の差が所定の閾値以下となったタイミングで、前記加熱用レーザー(1)を照射するようにした請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 前記干渉光路(12)に、前記表面によって反射された第一及び第二検出用レーザー(2a、2b)中のスペックルノイズを低減するノイズ低減素子(14)を設けた請求項1から3のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
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2011
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