JP2013029383A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、走行する被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、検査ロール上の被検査物の表面に光を照射する光源と、被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、溝部と柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、検出ユニットは、被検査物において柱面部上に位置する領域を検出領域とし、柱面部の位置が、複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる。
【選択図】図３

Description

本発明は、ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置及び検査方法に関する。

検査装置としては、走行するウエブ状の被検査物の表面状態を光学的手段により検査するものが知られている。磁気記録媒体の製造では、走行する磁気記録媒体の表面にレーザ光を照射して、表面からの反射光を検出することで、磁気記録媒体の表面のスジ状の傷等の欠陥の有無を検出する検査装置が用いられる。

この検査装置による検査では、磁気記録媒体が検査ロールによる搬送されている状態で行なわれる。検査装置は、検査ロール上を走行する磁気記録媒体の表面の反射光の光量を正確に検出する必要があり、検査ロールとして磁気記録媒体を平坦に且つ均一に保持できるように表面が平滑に仕上げられたものが使用されている。

しかし、磁気記録媒体の薄厚化や搬送速度の高速化に伴い、磁気記録媒体と検査ロールとの間に空気が取り込まれやすくなり、エアフィルムが生じる。エアフィルムが生じると、磁気記録媒体が検査ロールの周面から浮き上がってしまい、誤検出や検出精度の低下を引き起こす。そこで、特許文献１の検査装置は、表面に溝が設けられた検査ロールを使用し、エアフィルムの影響を抑えて被検査物を安定して搬送することで、表面状態の検査の精度を向上させている。

特開２００２−２２６６７号公報

ところで、特許文献１のように検査ロールの表面に溝が設けられている場合、カメラによって撮像された画像には、被検査物の表面からの反射光だけでなく、検査ロールの溝に起因する反射光の濃淡も重畳されるため、撮像された画像から溝に起因する濃淡を信号処理により取り除く工程が必要である。溝に起因する影響を信号処理で取り除く場合には、被検査物の表面の欠陥を検出する精度が低下することや、表面の欠陥ではない「吊れ」、「折れ」、「しわ」のように本来検出する対象ではない凹凸を誤検出してしまうことが生じる虞がある。

また、製造ラインで使用される検査装置は、走行する被検査物の幅方向（走行方向に対して垂直な方向）全体を同時で検査することで、効率良く検査を行ないたいという要望がある。

本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供するものである。

（１）ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、
走行する前記被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、
前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光を照射する光源と、
前記被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、
前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域を検出領域とし、
前記柱面部の位置が、前記複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる検査装置。
（２）ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査方法であって、
走行する前記被検査物を円筒形状を有する複数の検査ロールで支持し、前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光源から光を照射し、前記被検査物の表面から反射した光を検出ユニットにより検出する工程を有し、
前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域の表面のみを検出領域とし、
前記複数の検査ロールの前記柱面部の軸方向における位置が異なることによって、全ての前記検出領域に前記被検査物の表面における走行方向に垂直方向の幅全体を含む検査方法。

本発明によれば、効率良く検査を行なうことができ、また、精度良く表面欠陥の検出を行なうことができる検査装置及び検査方法を提供できる。

検査装置の構成を概略的に示す図である。 図１の検査装置を用いて検査を行なうときの状態を説明する図である。 検査ロールを示す図である。 被検査物の表面における検出領域の位置を説明する図である。 被検査物の表面における検出領域の位置の他の例を説明する図である。 検査ロールの変形例を示す図である。 検査ロールの変形例を示す図である。

検査装置は、ウエブ状の被検査物の表面欠陥の検出を行うものである。以下、被検査物が磁気記録媒体であり、磁気記録媒体の表面欠陥を検出する検査装置を例に説明する。

磁気記録媒体は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のフィルムからなるベース層と、ベース層の一方の面に磁気記録材料で形成される磁性体層と、ベース層の他方の面に形成されるバック層等から構成されている。磁気記録媒体の表面のスジ状の傷や塗布スジ、塗布ムラ等の欠陥は、記録時や再生時に、正しくデータを記録できなかったりあるいはデータを正しく再生できなかったりし、ドロップアウト等のエラーの原因となる。そこで、磁気記録媒体の製造ラインにおいて、磁気記録媒体の表面欠陥の有無を検査する必要がある。

なお、検査装置を用いて検査が行なわれるウエブ状の被検査物としては、磁気記録媒体に限定されず、他の帯状のもの、フィルム状のもの、シート状のものであってもよい。

図１は、検査装置の構成を概略的に示す図である。

検査装置１０は、検査ロール１１、１２と、検出ユニット２１、２２と、光源３１Ａ、３１Ｂとを備える。

被検査物であるウエブ状の磁気記録媒体Ｗは、該磁気記録媒体Ｗの走行経路に沿って配置された駆動ロール１、２、３に支持されている。

検査ロール１１、１２は、第１の検査ロール１１と、第２の検査ロール１２とを備える。第１の検査ロール１１及び第２の検査ロール１２は、磁気記録媒体Ｗの走行経路の途中にそれぞれ配置されている。第１の検査ロール１１及び第２の検査ロール１２は、いずれも円柱形状を有する。第１の検査ロール１１と第２の検査ロール１２は、それぞれの軸が平行となるように配されている。なお、第１の検査ロール１１及び第２の検査ロール１２の形状は、中心軸に同軸の開孔を有する円筒体であってもよく、外周面が柱面であれば、そのような形状もここでは円柱形状に含むものとする。

第１の検査ロール１１と第２の検査ロール１２は、図示しない駆動源からの駆動力によって軸を中心に回動する。第１の検査ロール１１と第２の検査ロール１２はそれぞれ、支持する磁気記録媒体Ｗの走行する方向に合わせて回動する。

磁気記録媒体Ｗは、先ず、駆動ロール２に被検査面の反対側の面が支持されつつ案内されて第１の検査ロールへ導かれる。そして、第１の検査ロールに被検査面の反対側の面が支持されつつ案内され、駆動ロール１へ導かれ、駆動ロール１から第２の検査ロールに導かれる。そして、第２の検査ロールに被検査面の反対側の面が支持されつつ案内され、駆動ロール３へ導かれ、駆動ロール３から図示しない巻取り装置側へ送り出される。

光源３１Ａ、３１Ｂは、それぞれ複数設けられている。複数の光源３１Ａはそれぞれ、第１の検査ロール１１上に支持された磁気記録媒体Ｗの表面に光を照射し、複数の光源３１Ｂはそれぞれ、第２の検査ロール１２上に支持された磁気記録媒体Ｗの表面に光を照射する。

検出ユニット２１、２２は、第１の検出ユニット２１と、第２の検出ユニット２２とを備える。第１の検出ユニット２１は、ＣＣＤイメージセンサを搭載したカメラ２３Ａを複数備え、第２の検出ユニット２２は、ＣＣＤイメージセンサを搭載したカメラ２３Ｂを複数備える。カメラ２３Ａとカメラ２３Ｂとの構成はいずれも同じであり、ここでは、ラインＣＣＤカメラである。

第１の検出ユニット２１は、複数のカメラ２３Ａのそれぞれが、第１の検査ロール１１上に支持された磁気記録媒体Ｗの光が照射された表面を撮像する。同様に、第２の検出ユニット２２は、複数のカメラ２３Ｂのそれぞれが、第２の検査ロール１２上に支持された磁気記録媒体Ｗの光が照射された表面を撮像する。

図２は、検査ロールを示す図である。図２は、第１の検査ロール１１及び第２の検査ロール１２をそれぞれ軸方向に対して垂直方向に見た外観を示している。

また、図２において、矢印で示すＬは、磁気記録媒体Ｗが走行する領域を示す。また、矢印Ｌで示す長さは、磁気記録媒体Ｗの幅全体に相当する。

第１の検査ロール１１は、円周面に、複数の柱面部１１ｆと複数の溝部１１ｇとが形成され、また、第２の検査ロール１２は、円周面に、複数の柱面部１２ｆと複数の溝部１２ｇとが形成されている。

溝部１１ｇ、１２ｇは、各検査ロールと磁気記録媒体Ｗとの間に入り込んだ空気を逃すために形成された凹凸を含む。溝部１１ｇは、第１の検査ロール１１の周面を回る環状の溝からなる凹凸を有する。溝部１２ｇは、溝部１１ｇと同じ形状を有する環状の溝からなる凹凸を有する。

柱面部１１ｆ、１２ｆは、矢印Ｌに示される領域のうち、溝部１１ｇの凹凸が形成されていない部分である。

第１の検査ロール１１は、複数の柱面部１１ｆがいずれも軸方向に等しい寸法で形成され、複数の溝部１１ｇがいずれも軸方向に等しい寸法で形成されている。同様に、第２の検査ロール１２は、複数の柱面部１２ｆがいずれも軸方向に等しい寸法で形成され、複数の溝部１２ｇがいずれも軸方向に等しい寸法で形成されている。また、柱面部１１ｆと柱面部１２ｆは、軸方向の寸法が等しく、溝部１１ｇと溝部１２ｇは、軸方向の寸法が等しい。

第１の検査ロール１１は、柱面部１１ｆと溝部１１ｇとが軸方向に交互に並んで形成されている。また、第２の検査ロール１２は、柱面部１２ｆと溝部１２ｇとが軸方向に交互に並んで形成されている。

第１の検査ロールの柱面部１１ｆと溝部１１ｇの軸方向に対する位置と、第２の検査ロールの柱面部１２ｆと溝部１２ｇの軸方向に対する位置とは相違している。この例では、第１の検査ロール１１の柱面部１１ｆと溝部１１ｇの軸方向に対する位置関係と、第２の検査ロール１２の柱面部１２ｆと溝部１２ｇの軸方向に対する位置関係とは、対照的に配置されている。

図３は、図１の検査装置を用いて検査を行なうときの状態を説明する図である。図３では、磁気記録媒体Ｗの位置を鎖線で示している。

複数の光源３１Ａは、第１の検査ロール１１の軸方向に平行な直線上に並べて配され、複数の光源３１Ｂは、第２の検査ロール１２の軸方向に平行な直線上に並べて配されている。また、検出ユニット２１の複数のカメラ２３Ａは、第１の検査ロール１１の軸方向に平行な直線上に、所定の間隔で配され、検出ユニット２２の複数のカメラ２３Ｂは、第２の検査ロール１２の軸方向に平行な直線上に、所定の間隔で配されている。

第１の検査ロール１１側では、１個の光源３１Ａと１個のカメラ２３Ａとが対をなしている。そして、走行する磁気記録媒体Ｗの表面に光源３１Ａから光が照射され、該光源３１Ａと対をなすカメラ２３Ａが照射された領域を撮像する。

第２の検査ロール１２側では、１個の光源３１Ｂと１個のカメラ２３Ｂとが対をなしている。そして、走行する磁気記録媒体Ｗの表面に光源３１Ｂから光が照射され、該光源３１Ｂと対をなすカメラ２３Ｂが照射された領域を撮像する。

磁気記録媒体Ｗの表面において、複数のカメラ２３Ａによって撮像されるそれぞれの領域を、検出領域Ｄ１とする。また、磁気記録媒体Ｗの表面において、複数のカメラ２３Ｂによって撮像されるそれぞれの領域を、検出領域Ｄ２とする。

通常、一つのカメラ２３Ａ、２３Ｂによる撮像範囲は、各カメラ２３Ａ、２３Ｂに登載されているＣＣＤイメージセンサのサイズ等の制約によって限られている。磁気記録媒体Ｗの幅全体を撮像する場合には、ラインＣＣＤカメラを全て直線状に並べる構成が採用される。しかし、カメラ筐体の寸法よりも撮像範囲が狭い場合には、ＣＣＤカメラを全て直線状に並べた場合に、磁気記録媒体Ｗの表面の一部を撮像することができなくなることが考えられる。そこで、検査装置１０のように、複数のカメラ２３Ａ、複数のカメラ２３Ｂを、それぞれ間隔をおいて、磁気記録媒体の走行経路の上流と下流とにわけて配置される構成とすれば、カメラ筐体のサイズや撮像範囲の制約を受けることなく、磁気記録媒体の表面の幅全体を撮像可能である。

複数のカメラ２３Ａ、２３Ｂはそれぞれ、撮像した画像データを図示しない画像処理部へ出力する。画像処理部は、各画像データに応じて、磁気記録媒体Ｗの位置と受光光量との関係を示すデータを作成する。例えば、磁気記録媒体表面にスジ状の傷等の欠陥がある場合、欠陥部分では受光光量が他の部位に比して著しく増減することから設定された閾値と比較することで検出することができる。そして、検出した欠陥部分の位置を検出し、磁気記録媒体の表面における欠陥位置を示す欠陥マップデータを作成する。こうして、検出領域Ｄ１、Ｄ２のそれぞれについて欠陥マップデータを作成する。

図３に示すように、検出領域Ｄ１は、磁気記録媒体Ｗの表面において、柱面部１１ｆ上に位置する領域に一致する。検出領域Ｄ２は、磁気記録媒体Ｗの表面において、柱面部１２ｆ上に位置する領域に一致する。言い換えると、磁気記録媒体Ｗの表面において、溝部１１ｇの上に位置する領域は、検出領域Ｄ１から外れており、溝部１２ｇの上に位置する領域は、検出領域Ｄ２から外れている。

次に、図３及び図４に基づいて、検出領域Ｄ１、Ｄ２の位置関係について説明する。図４は、磁気記録媒体の表面における検出領域Ｄ１と、Ｄ２との位置関係を模式的に表したものである。図４のＸ方向は、磁気記録媒体Ｗを走行させる方向を示している。図４のＹ方向は、磁気記録媒体Ｗの走行方向に垂直方向であって、検査ロールの軸方向を示している。

第１の検査ロール１１の柱面部１１ｆと溝部１１ｇとの位置関係が、第２の検査ロール１２の柱面部１２ｆと溝部１２ｇとの位置関係と対照的である。このため、検査時に磁気記録媒体Ｗを走行させた場合、磁気記録媒体Ｗの表面において、第１の検査ロール１１の柱面部１１ｆ上に位置する検出領域Ｄ１を通過した領域は、第２の検査ロール１２の溝部１２ｇ上の位置を通過する。また、磁気記録媒体Ｗの表面において、第１の検査ロール１１の柱面部１１ｇ上を通過した領域は、第２の検査ロール１２の柱面部１２ｆ上の検出領域Ｄ２を通過する。

この検査装置１０によれば、磁気記録媒体Ｗを走行させた際に、溝部１１ｇ、１２ｇによって入り込んだ空気が排除されるため、磁気記録媒体Ｗがエアフィルムの影響をうけることなく安定して走行される。そして、柱面部１１ｆ、１２ｆ上の検出領域Ｄ１、Ｄ２を通過する磁気記録媒体Ｗの表面に、エアフィルムの影響による撓みや歪み等の凹凸が生じることがない。

また、検出領域Ｄ１、Ｄ２は、磁気記録媒体Ｗの表面において、柱面部１１ｆ、１２ｆに対応する位置にのみ形成され、溝部１１ｇ、１２ｇに対応する位置には形成されていない。このため、カメラ２３Ａ、２３Ｂに撮像された画像に、溝部に起因する光の濃淡の影響が及ぶことを回避でき、マスク処理等で溝部に起因する光の濃淡を画像処理する必要がない。マスク処理等の画像処理が不要であるため、検出領域Ｄ１、Ｄ２における検査において、検出対象ではない、「吊れ」、「折れ」、「しわ」のような凹凸を誤検出することを避けることができ、検査精度が低下することを防止できる。

また、検査装置１０は、第１の検査ロールの検出領域Ｄ１と、第２の検査ロールの検出領域Ｄ２を軸方向に異なる位置に配置しているため、磁気記録媒体を１回走行させることによって磁気記録媒体Ｗの表面の幅全体について表面欠陥の検出を行なうことができる。したがって、この検査装置によれば効率良く検査することができる。

図５は、検出領域Ｄ１、Ｄ２の位置関係について説明する。図５は、図４と同様に、磁気記録媒体の表面における検出領域Ｄ１と、Ｄ２との位置関係を模式的に表したものである。図４のＸ方向は、磁気記録媒体Ｗを走行させる方向を示している。図４のＹ方向は、磁気記録媒体Ｗの走行方向に垂直方向であって、検査ロールの軸方向を示している。

図５に示すように、磁気記録媒体Ｗの表面において、検出領域Ｄ１、Ｄ２のそれぞれのＹ方向の寸法が図４のものよりも拡大している。この場合、磁気記録媒体Ｗの表面において、検出領域Ｄ１の端部近傍を通過した領域は、検出領域Ｄ２の端部近傍を再び通過する。つまり、磁気記録媒体Ｗの表面において、検出領域Ｄ１と検出領域Ｄ２との両方で検査が重複して行なわれる領域が存在する。このように重複して検査が行われても、特に問題はない。

図５に示す検出領域Ｄ１、Ｄ２の位置関係とする場合には、図３に参照されるように第１の検出ローラ１１の柱面部１１ｆと第２の検出ローラ１２の柱面部１２ｆとの軸方向の寸法をそれぞれ拡大し、それに応じて溝部１１ｇ、１２ｇの軸方向の寸法を縮小した構成とすればよい。

次に、検査ロールの変形例を説明する。上述の検査装置において、複数の検査ロールの各柱面部の位置が、各検査ロールに軸方向に異なる位置となる構成とすることができれば、検査ロールの溝部の形状は変更可能である。

図６は、検査ロールの溝部の変形例を示す図である。
検査ロール６１の周面には、螺旋状に形成された溝を有する溝部６１ｇが形成されている。この溝部６１ｇの螺旋状の溝は、柱面部６１ｆにおいては形成されていない。

図７は、検査ロールの溝部の他の変形例を示す図である。
検査ロール７１の溝部７１ｇには、該検査ロール７１の周面を回る複数の突条７２が形成されている。複数の突条７２は互いに平行に配されている。突条７２は、ワイヤ等の線条体を検査ロール７１の周面に巻き付けたものであってもよい。

例えば、検査ロールの形状は、略円柱形状であればよく、軸方向の中央部の径が両端部よりも大きい又は小さい形状である、所謂、クラウン形状であっても良い。

検査装置の検査ロールは、２本に限定されない。検査装置は、複数の検査ロールの柱面部の軸方向における位置がそれぞれ異なることによって、全ての検出領域に被検査物の幅全体を含むことができれば、３本以上でも良く、その数は変更可能である。

柱面部は、検査ロールの表面に凹凸が無い部材が貼り付けられることで形成された部分であっても良い。例えば、全周面に溝部が形成された検査ロールにおいて、表面が凹凸の無い平滑な部材を貼り付けることで柱面部が形成されていても良い。

検査装置の検出ユニットは、図３のように複数のカメラ２３Ａ、２３Ｂのそれぞれによって撮像する構成に限定されない。例えば、検出ユニットは、磁気記録媒体Ｗの表面を反射した光を検出する受光部を有する走査部を複数備え、これら複数の走査部を検査ローラの軸方向にそれぞれ走査する機構であっても良い。

本明細書は次の事項を開示する。
（１）ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、
走行する前記被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、
前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光を照射する光源と、
前記被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、
前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域を検出領域とし、
前記柱面部の位置が、前記複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる検査装置。
（２）（１）に記載の検査装置であって、
前記複数の検査ロールが第１の検査ロールと、第２の検査ロールとを含み、
前記第１の検査ロールと前記第２の検査ロールは、前記柱面部と前記溝部の軸方向に対する位置関係が対照的に配置されている検査装置。
（３）（１）又は（２）に記載の検査装置であって、
前記検出ユニットは複数のカメラを有し、前記複数のカメラは、前記軸方向に平行な直線上に間隔をおいて配されている検査装置。
（４）（３）に記載の検査装置であって、
前記複数のカメラはそれぞれラインＣＣＤカメラである検査装置。
（５）（１）から（４）のいずれか１つに記載の検査装置であって、
前記凹凸は、前記検査ロールの周面を回る環状の溝である検査装置。
（６）（１）から（４）のいずれか１つに記載の検査装置であって、
前記凹凸は、前記検査ロールの周面に螺旋状に形成された溝である検査装置。
（７）（１）から（４）のいずれか１つに記載の検査装置であって、
前記凹凸は、前記検査ロールの周面に巻き回された線状物からなる突条を有する溝である検査装置。
（８）ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査方法であって、
走行する前記被検査物を円筒形状を有する複数の検査ロールで支持し、前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光源から光を照射し、前記被検査物の表面から反射した光を検出ユニットにより検出する工程を有し、
前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域の表面のみを検出領域とし、
前記複数の検査ロールの前記柱面部の軸方向における位置が異なることによって、全ての前記検出領域に前記被検査物の表面における走行方向に垂直方向の幅全体を含む検査方法。

１０ 検査装置
１１ 第１の検査ロール
１１ｆ、１２ｆ 柱面部
１１ｇ、１２ｇ 溝部
１２ 第２の検査ロール
２１ 検出ユニット
２２ 検出ユニット
３１Ａ，３１Ｂ 光源
Ｄ１、Ｄ２ 検出領域
Ｗ 磁気記録媒体（ウエブ状の被検査物）

Claims (8)

1. ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査装置であって、
   走行する前記被検査物を支持する円柱形状を有する複数の検査ロールと、
   前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光を照射する光源と、
   前記被検査物の表面から反射した光を検出する検出ユニットと、を備え、
   前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
   前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域を検出領域とし、
   前記柱面部の位置が、前記複数の検査ロールそれぞれにおいて軸方向に異なる検査装置。
2. 請求項１に記載の検査装置であって、
   前記複数の検査ロールが第１の検査ロールと、第２の検査ロールとを含み、
   前記第１の検査ロールと前記第２の検査ロールは、前記柱面部と前記溝部の軸方向に対する位置関係が対照的に配置されている検査装置。
3. 請求項１又は２に記載の検査装置であって、
   前記検出ユニットは複数のカメラを有し、前記複数のカメラは、前記軸方向に平行な直線上に間隔をおいて配されている検査装置。
4. 請求項３に記載の検査装置であって、
   前記複数のカメラはそれぞれラインＣＣＤカメラである検査装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記凹凸は、前記検査ロールの周面を回る環状の溝である検査装置。
6. 請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記凹凸は、前記検査ロールの周面に螺旋状に形成された溝である検査装置。
7. 請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置であって、
   前記凹凸は、前記検査ロールの周面に巻き回された線状物からなる突条を有する溝である検査装置。
8. ウエブ状の被検査物の表面欠陥を検出する検査方法であって、
   走行する前記被検査物を円筒形状を有する複数の検査ロールで支持し、前記検査ロール上の前記被検査物の表面に光源から光を照射し、前記被検査物の表面から反射した光を検出ユニットにより検出する工程を有し、
   前記複数の検査ロールのそれぞれの周面に、該検査ロールと前記被検査物との間に入り込んだ空気を逃す凹凸が形成された溝部と前記凹凸が形成されていない柱面部とが形成され、前記溝部と前記柱面部とが各検査ロールの軸方向に並んで形成され、
   前記検出ユニットは、前記被検査物において前記柱面部上に位置する領域の表面のみを検出領域とし、
   前記複数の検査ロールの前記柱面部の軸方向における位置が異なることによって、前記検出領域に前記被検査物の表面における走行方向に垂直方向の幅全体を含む検査方法。

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