JP2013024842A - テラヘルツ波イメージング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供する。
【解決手段】サンプル５にテラヘルツ波１０１を照射する照射手段１０と、複数のマイクロミラー７を有し、マイクロミラー７のそれぞれがサンプル５からのテラヘルツ波１０３を反射するマイクロミラーアレイ６と、単一の受光素子から構成され、マイクロミラーアレイ６からのテラヘルツ波１０５を検出して電気信号に変換する検出手段２０と、電気信号を処理して、サンプル５のイメージング画像を得る画像処理部７２と、複数のマイクロミラー７を制御する制御部７１を備える。複数のマイクロミラー７は、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能である。制御部７１は、傾斜角度を変えるマイクロミラー７を特定するための走査アドレス情報７１ａを保持し、マイクロミラー７のそれぞれの傾斜角度を変える。
【選択図】図１

Description

本発明は、テラヘルツ波を利用したイメージング装置に関する。

テラヘルツ波とは、０．１ＴＨｚ〜１００ＴＨｚの電磁波を指し、適度な透過性を有すると同時に、分子骨格振動に相当するエネルギーを有しているため、非破壊検査装置や分析装置への応用が期待されている。非破壊検査への用途では、サンプルのイメージング画像を取得し、取得したイメージング画像を画像処理して検査する手法が用いられる。特許文献１に示されるように、イメージング画像を取得する方式は、走査方式またはアレイ検出方式に大別される。

走査方式は、モータ駆動２次元ステージなどによりサンプル自体を走査する方法であるサンプル走査方式と、ＸＹビームスキャナなどを用いてテラヘルツ波自体を走査する方法であるビーム走査方式に分類される。一方、アレイ検出方式は、テラヘルツ波に感度を有する２次元アレイ検出器を用いてイメージング画像を一括取得する方法が提案されている。高速にイメージング画像を取得するためには、アレイ検出方式が優れた方法ではある。しかし、現状、２次元ボロメータアレイなどのテラヘルツ波に感度を有する２次元アレイ検出器は、製造技術が難しく、非常に高価で、一般産業用途に使用するのには実用的でない。従って、実用的な手段として、走査方式を用いて高速にイメージング画像を取得することが求められている。

一方、特許文献２には、走査機構の小型化を目的として、各マイクロミラーの傾斜角度を独立してアナログ的（連続的）に制御可能なマイクロミラーアレイを使用した反射方式の撮像装置が提案されている。各マイクロミラーは、直線帯状または略正方形状であり、回動することにより傾斜角度を任意に変えることができる。撮像光は、ラインセンサまたはエリアセンサに導かれて検出される。

特許第３３８７７２１号公報 特開平１１−６９２０９号公報

背景技術に記載したように、走査方式のテラヘルツ波イメージング技術は、サンプル走査方式とビーム走査方式に分類される。サンプル走査方式では、サンプルを動かすためのモータ駆動２軸ＸＹステージが用いられる。モータ駆動ＸＹステージは、慣性モーメントが大きく、駆動が低速であるため、サンプル走査時間が長くなるという課題があった。一方、ビーム走査方式は、例えば高速に駆動できるガルバノミラーとｆθレンズなどの光学系を装備したＸＹビームスキャナを用いるが、サンプルを挟んで一対（２台）のＸＹビームスキャナが必要となり、かつ各ＸＹビームスキャナは同期制御が必要であるため、装置構成および制御が複雑になるという課題があった。また、ＸＹビームスキャナを使用する構成においては、サンプル透過波でイメージング画像を取得する透過方式には適用できるものの、サンプル反射波でイメージング画像を取得する反射方式には適用できないという課題もあった。

一方、特許文献２に記載されているように、マイクロミラーの傾斜角度を連続的に制御可能なマイクロミラーアレイを用いて撮像光をラインセンサまたはエリアセンサに直接導く撮像装置は、実用的とは言えない。このようなマイクロミラーアレイを製作するのは技術的に困難であり、製作できたとしても費用が高価となり、回動機構を備えるために装置の構造が複雑になるので、技術面とコスト面で課題があるからである。

このため、現時点においては、ＯＮ／ＯＦＦ信号により傾斜を２方向のみ（２つの傾斜角度だけ）に制御可能なマイクロミラーアレイを使用することが一般的になっている。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供することを目的としている。

本発明によるテラヘルツ波イメージング装置は、次のような特徴を有する。

サンプルにテラヘルツ波を照射する照射手段と、複数のマイクロミラーを有し、前記マイクロミラーのそれぞれが前記サンプルからのテラヘルツ波を反射するマイクロミラーアレイと、単一の受光素子から構成され、前記マイクロミラーアレイからのテラヘルツ波を検出して電気信号に変換する検出手段と、前記電気信号を処理して、前記サンプルのイメージング画像を得る画像処理部と、複数の前記マイクロミラーを制御する制御部を備える。複数の前記マイクロミラーは、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能である。前記制御部は、傾斜角度を変える前記マイクロミラーを特定するための走査アドレス情報を保持し、前記走査アドレス情報に従って、複数の前記マイクロミラーのそれぞれの傾斜角度を変える。

本発明によれば、イメージング画像を簡易な装置構成で高速に取得することができ、透過方式および反射方式のいずれにも適用できるテラヘルツ波イメージング装置を提供することが可能となる。

本実施例によるテラヘルツ波イメージング装置の全体構成例を示す図である。 ビーム径縮小手段の別の構成例を示す図である。 反射方式のテラヘルツ波イメージング装置において、サンプルの照射波と反射波を示す図である。 マイクロミラーアレイの動作を示す図である。 マイクロミラーの傾斜角度の制御例およびイメージング画像を取得するまでの過程を示す図である。 逆投影法を応用したマイクロミラーの傾斜角度の制御例を示す図である。

本発明によるテラヘルツ波イメージング装置は、テラヘルツ波をサンプルに照射し、その透過波または反射波を検出してサンプルのイメージング画像を取得する装置であり、テラヘルツ波の照射手段から検出手段までのテラヘルツ波伝播経路の途中に、マイクロミラーアレイを配置する。このマイクロミラーアレイにより、テラヘルツ波を選択的に反射してテラヘルツ波の検出手段に導くと共に、検出したテラヘルツ波の電気信号にデジタル信号処理を行って画像再構成処理を行い、イメージング画像を取得する。

以下、本発明によるテラヘルツ波イメージング装置の好適な実施形態について、図面を用いて詳述する。

図１は、テラヘルツ波イメージング装置１の基本的な全体構成例を示す図である。図１では、サンプル５を透過したテラヘルツ波のイメージング画像を取得する装置構成を示している。テラヘルツ波イメージング装置１は、制御部７１と画像処理部７２を有する全体制御部７０により制御される。全体制御部７０は、制御線９０によりマイクロミラーアレイ６と接続され、マイクロミラーアレイ６を制御する。

テラヘルツ波発振部１０から放射されたテラヘルツ波１００（周波数範囲０．１ＴＨｚ〜１００ＴＨｚの全てまたは一部）は、軸外放物面鏡３０によって平行なテラヘルツ波１０１に成形され、イメージング対象であるサンプル５に照射される。サンプル５を透過したテラヘルツ波１０２は、ビーム径縮小手段４０によりテラヘルツ波１０３に縮小成形され、マイクロミラーアレイ６に照射される。マイクロミラーアレイ６では、テラヘルツ波が選択的に反射される。マイクロミラーアレイ６で選択的に反射されたテラヘルツ波１０４は、軸外放物面鏡３１によりテラヘルツ波１０５としてテラヘルツ波検出部２０に集光され、テラヘルツ波強度を示す電気信号に変換される。テラヘルツ波強度を示す電気信号は、全体制御部７０の画像処理部７２に伝達され、イメージング画像の元データとして記憶される。

イメージング画像を再構成するのに必要な元データが揃ったら、画像処理部７２は、この元データに画像再構成処理を施し、サンプル５のイメージング画像を得る。画像再構成処理には、既存の方法を用いることができる。得られたイメージング画像は、表示部８０に表示することが可能である。さらに異物検査などの追加処理が必要な場合には、次の処理プロセスにイメージング画像を受け渡すことが可能である。

テラヘルツ波発振部１０は、パルス波または連続波のいずれかを発振するものを用いることが可能である。パルス波を発振するものとしては、フェムト秒レーザと光伝導スイッチを組み合わせたものがある。連続波を発振するものとしては、高圧水銀ランプなどの熱源（プランク放射則に伴うテラヘルツ放射を有する）や、テラヘルツ帯域を発振する量子カスケードレーザなどがある。ただし、本発明は、テラヘルツ発振源の種類によって限定されるものではない。

ビーム径縮小手段４０は、サンプル５を透過したテラヘルツ波１０２の口径を縮小して、マイクロミラーアレイ６に投影する手段である。一般的には、ビームエキスパンダーと称されるもので、図１には凸レンズ４１と凹レンズ４２を組み合わせたものを示している。この場合、テラヘルツ帯域に吸収が小さいもの（例えばシリコンやポリエチレンなど）を用いる必要がある。ビーム径縮小手段４０は、テラヘルツ波１０２の口径を縮小できれば良く、本発明は、ビーム径縮小手段４０の構成によって限定されるものではない。

図２は、ビーム径縮小手段４０の別の構成例を示す図である。ビーム径縮小手段４０の構成としては、図２に示すように、焦点距離の異なる複数の軸外放物面鏡、すなわち軸外放物面鏡４３および軸外放物面鏡４４を組み合わせたものも利用できる。

マイクロミラーアレイ６は、複数のマイクロミラーを有し、それぞれのマイクロミラーがテラヘルツ波１０３を反射する。詳細は後述するが、複数のマイクロミラーのそれぞれの傾斜角度を選択的に変える制御をして、入射したテラヘルツ波１０３をテラヘルツ波検出部２０に導くように反射することで、サンプル５をテラヘルツ波で走査するのと同等のことができる。

テラヘルツ波検出部２０は、単一の受光素子から構成されたシングルセンサであり、サンプル５を透過したテラヘルツ波１０５を検出する。本実施例では、テラヘルツ波１０５を１点で受信するシングルセンサを用いるので、装置構成が簡易になり、コストを抑えることもできる。

図１は、サンプル５を透過したテラヘルツ波１０２によりイメージング画像を得る所謂透過方式を示しているが、本発明によるテラヘルツ波イメージング装置は、サンプルに反射されたテラヘルツ波によりイメージング画像を得る所謂反射方式にも適用可能である。

図３は、反射方式のテラヘルツ波イメージング装置において、サンプル５の照射波と反射波を示す図である。反射方式のテラヘルツ波イメージング装置では、テラヘルツ波１０１がサンプル５に照射され、サンプル５に反射されたテラヘルツ波１０６がビーム径縮小手段４０によりテラヘルツ波１０３に縮小成形され、マイクロミラーアレイ６に照射される。従って、反射方式のテラヘルツ波イメージング装置において、軸外放物面鏡３０以前とビーム径縮小手段４０以後のテラヘルツ波伝播経路における構成は、透過方式の装置（図１参照）と同じである。このため、図３では、サンプル５と、サンプル５に照射するテラヘルツ波１０１と、サンプル５から反射されたテラヘルツ波１０６のみを示した。

このように、本発明によるテラヘルツ波イメージング装置は、透過方式だけでなく、反射方式にも容易に適用できる。

図４は、マイクロミラーアレイ６の動作を説明するために、マイクロミラーアレイ６を拡大して分かりやすく示した図である。マイクロミラーアレイ６は、ｍ行ｎ列のマトリクス状に配置された複数のマイクロミラー７を有し、それぞれのマイクロミラー７は、テラヘルツ波１０３を反射する。

図４では、８行、８列に配置されたマイクロミラー７で構成したマイクロミラーアレイ６を表しているが、これは表記上簡略化しているものであり、マイクロミラーアレイ６におけるマイクロミラー７の配列数はこれに限定されるものではない。なお、説明上、マイクロミラー７の座標を特定するために、ｍ行、ｎ列に位置するマイクロミラー７をマイクロミラー７（ｍ，ｎ）と表記する。ｍとｎは、等しくても異なっていても良い。

マイクロミラー７のそれぞれは、全体制御部７０の制御部７１により、傾斜角度が制御される。制御部７１は、後述するように、予め定めた走査アドレス情報を保持しており、走査アドレス情報に従ってマイクロミラー７のそれぞれの傾斜角度を制御する。傾斜角度は、マイクロミラー７のそれぞれに対して独立に制御可能であり、それぞれの傾斜角度は２つとする。すなわち、複数のマイクロミラー７のそれぞれは、テラヘルツ波１０３を第一方向および第二方向という２方向に向けて反射するように、傾斜角度が制御可能である。

第一方向は、マイクロミラー７に入射したテラヘルツ波１０３を、テラヘルツ波検出部２０に導くように反射する方向である。本実施例での装置構成では、テラヘルツ波１０３を、軸外放物面鏡３１に入射させるように反射する方向である。第二方向は、第一方向以外の特定の方向である。第二方向は、第一方向以外であれば任意に定めて良い。また、マイクロミラー７のそれぞれにおいて、第二方向が同じ方向でも異なる方向でも良い。なお、以下の説明において、マイクロミラー７がテラヘルツ波１０３を第一方向（または第二方向）に向けて反射する角度に傾斜していることを、「マイクロミラー７が第一方向（または第二方向）に傾斜している」と称する。

マイクロミラー７が第一方向に傾斜しているときに反射されるテラヘルツ波を、第一方向反射波１０７と呼ぶ。マイクロミラー７が第二方向に傾斜しているときに反射されるテラヘルツ波を、第二方向反射波１０８と呼ぶ。第一方向反射波１０７は、軸外放物面鏡３１に入射してテラヘルツ波検出部２０に入射するテラヘルツ波であるので、テラヘルツ波１０４のことである。第二方向反射波１０８は、軸外放物面鏡３１に入射しない。

図４において、マイクロミラー７（２，１）は、第一方向に傾斜しており、マイクロミラー７（２，１）以外のマイクロミラー７は、第二方向に傾斜している。マイクロミラー７のそれぞれは、テラヘルツ波１０３が入射すると、これを反射する。マイクロミラー７（２，１）により反射された第一方向反射波１０７（テラヘルツ波１０４）は、軸外法物面鏡３１で反射され、テラヘルツ波検出部２０に導かれ、テラヘルツ波強度に従って電気信号へ変換され、イメージング画像を再構成するための元データとなる。一方、マイクロミラー７（２，１）以外のマイクロミラー７で反射された第二方向反射波１０８は、第一方向以外の方向に反射され、テラヘルツ波検出部２０には導かれない。

このような装置構成において、初期状態として全てのマイクロミラー７を第二方向に傾斜させておき、第一方向に傾斜するマイクロミラー７を選択的に順に変えていきテラヘルツ波１０３の一部を選択的に反射していくことで、テラヘルツ波検出部２０に導かれるテラヘルツ波１０４を選択的に変えていくことが可能となる。このようにマイクロミラー７の傾斜角度を選択的に順に変えていくことで、サンプル５をテラヘルツ波で走査するのと同等のことが可能となる。すなわち、本実施例によるテラヘルツ波イメージング装置では、サンプル自体やテラヘルツ波自体を走査しないが、これらを走査するのと同等の方法により、サンプルのイメージング画像を取得することができる。

図５は、マイクロミラー７の傾斜角度の制御例およびサンプルのイメージング画像を取得するまでの過程を示す図である。図５において、ビーム径縮小手段４０の表示を省略している。

制御部７１は、予め定めた走査アドレス情報７１ａを保持しており、走査アドレス情報７１ａに従ってマイクロミラー７のそれぞれの傾斜角度を制御する。この制御により、マイクロミラーアレイ６は、テラヘルツ波を選択的に反射することができる。走査アドレス情報７１ａには、複数のステップと、各ステップにおいて第一方向に傾斜するマイクロミラー７の位置情報が含まれる。マイクロミラー７の位置情報としては、マイクロミラー７の座標（ｍ，ｎ）を用いることができる。走査アドレス情報７１ａにより、各ステップにおいて第一方向に傾斜するマイクロミラー７（すなわち、テラヘルツ波を第一方向に向けて反射するように傾斜角度を変えるマイクロミラー７）を特定することができる。

第一方向に傾斜するマイクロミラー７の座標は、第一方向に傾斜する複数のマイクロミラー７の座標群でも良い。すなわち、各ステップにおいて、１個または複数個のマイクロミラー７の傾斜角度を制御することができる。あるステップで第一方向に傾斜したマイクロミラー７は、次のステップでは、走査アドレス情報７１ａで第一方向に傾斜するように指示されていない場合は、第二方向に傾斜する。また、走査アドレス情報７１ａには、第二方向に傾斜するマイクロミラー７の座標（または座標群）が含まれていても良く、ステップの代わりに（またはステップと共に）時間が含まれていても良い。

サンプル５は、イメージ５ａを有している。イメージ５ａは、テラヘルツ波の透過率が、サンプル５の他の部分と異なる。サンプル５を透過したテラヘルツ波１０３は、マイクロミラーアレイ６に縮小投影される。マイクロミラーアレイ６が有するマイクロミラー７は、制御部７１が保持する走査アドレス情報７１ａに従って制御される。ここでは、走査アドレス情報７１ａに、各ステップにおいて、第一方向に傾斜するマイクロミラー７の座標が１つ含まれているものとする。従って、マイクロミラー７のそれぞれは、１度に１個ずつ、順次、第二方向から第一方向へ傾斜していく（あるステップで第一方向に傾斜したマイクロミラー７は、次のステップでは第二方向に傾斜する）。

マイクロミラー７により反射されたテラヘルツ波１０４（第一方向反射波１０７）は、軸外放物面鏡３１で反射され、テラヘルツ波１０５としてテラヘルツ波検出部２０に入射する。テラヘルツ波検出部２０は、テラヘルツ波１０５の強度に従って、強度信号を全体制御部７０に出力する。この時、テラヘルツ波検出部２０から出力された強度信号は、強度信号データ７２ａとして画像処理部７２に取り込まれ、第一方向に傾斜制御されたマイクロミラー７の走査アドレス情報７１ａ（ステップと座標）と共に記録される。

走査アドレス情報７１ａに従ったマイクロミラー７の傾斜角度の制御が終了した時点で、マイクロミラー７の走査アドレス情報７１ａ（ステップと座標）と強度信号データ７２ａを元データとして、画像再構成処理を行い、イメージング画像７２ｂを取得することが可能となる。なお、画像再構成処理は、マイクロミラー７の傾斜角度の制御と並列に逐次処理することも可能である。

マイクロミラー７の駆動（傾斜角度の制御）は非常に高速であるので、イメージング画像７２ｂを再構成するための元データを非常に高速に取得することが可能となり、結果的にイメージング画像７２ｂを高速に取得することが可能となる。

図５を用いた上記の説明において、マイクロミラー７の制御として、１度に１個ずつ、順次、第一方向に傾斜させる方法（一般的にはラスタースキャンと称される）を説明した。マイクロミラー７の制御には、これ以外の方法を用いることもできる。例えば、隣接する複数個（Ｎ個）のマイクロミラーを同時に第一方向に傾斜させるように制御することで、解像度を１／Ｎに減じたイメージング画像を取得することが容易にできる。この制御方法では、撮像時間を１／Ｎに短縮することができるので、さらに高速にイメージング画像を取得できる。また、同時に第一方向に傾斜させるマイクロミラー７の個数を、ステップごと（または時間ごと）に変えることで、１つのイメージング画像において複数の解像度で撮像することが可能となり、解像度を非常に柔軟に選択したり変更したりすることができる。

このようなマイクロミラー７の制御は、走査アドレス情報７１ａに、ステップ（または時間）と、各ステップ（または各時間）において傾斜角度を変えるマイクロミラー７の座標（または座標群）を記録しておくことにより可能となる。

図６は、マイクロミラー７の傾斜角度の制御例を示す図であり、Ｘ線ＣＴなどで広く用いられている画像再構成法である公知の逆投影法を応用した制御方法を示す。

逆投影法とは、物体の透過データから物体の物理量の２次元分布（即ちイメージング画像）を求める画像再構成法であり、ｘ−ｙ座標系と、ｘ−ｙ座標系を角度θ回転したｓ−ｔ座標系とを考えた場合、角度θ方向（０≦θ＜π）からの透過像２００（Ｐ（ｓ，θ）で表す）が既知（測定可能）であるときに、Ｐ（ｓ，θ）から各画素の物理量ｆ（ｘ，ｙ）を導き出す方法である。より詳細には、（式１）にＰ（ｓ，θ）の関係式を示すが、ｔ軸と平行な投影線３００を考えた場合、投影線３００上の各画素ｆ（ｘ，ｙ）を積分（加算）して積分値２０１を取得し、さらにｓ軸（投影軸２０２）に沿って投影線３００を平行移動していったときに、透過像２００であるＰ（ｓ，θ）が導かれる。Ｐ（ｓ，θ）から物理量ｆ（ｘ，ｙ）を導き出す詳細については、公知のため割愛する。

本発明では、マイクロミラーアレイ６の各マイクロミラー７を物理量ｆ（ｘ，ｙ）に見立て、投影線３００上にあるマイクロミラー７の群を第一方向に傾斜させることで、テラヘルツ波検出部２０において積分値２０１に相当する値が取得できる。そして、投影線３００をｓ軸に沿って平行移動していくと同時に、投影線３００上にあるマイクロミラー７の群を第一方向に傾斜させていくことで（投影線３００から外れたマイクロミラー７は、第二方向に傾斜させる）、Ｐ（ｓ，θ）に相当するデータを取得することが可能となる。このＰ（ｓ，θ）に対して逆投影法を適用することで、イメージング画像２１０が再構成できる。

投影線３００上にあるマイクロミラーアレイ７の列を選択する手段としては、（式２）に示す座標変換式を用いれば良く、各θについて、ｓとｔ（ｓとｔはいずれも整数値）を選択することで、座標（ｘ，ｙ）が一意に選択される。この時、ｘおよびｙも整数値である必要があるので、例えば近傍補間（ｓ、ｔに最も近傍の整数値ｘ、ｙを選択する方法）などを用いて、適切なｘ−ｙ座標系における座標（ｘ，ｙ）を選択することができる。ここで、ｘ−ｙ座標系における座標（ｘ，ｙ）に位置するマイクロミラー７をＭ（ｘ，ｙ）と記述すると、ｓおよびｔを選択することにより、一意なＭ（ｘ，ｙ）が選択されることになる。この時、ｔの値（整数値）を適宜動かすと、特定のｓに対してｔ軸に沿ったマイクロミラー７の列が選択できる。

これを各ｓに対して（ｓ軸に沿って）順次行っていけば、透過像２００であるＰ（ｓ，θ）を決定することができる。

上記の手法に従えば、例えば１０２４×１０２４（２^１０×２^１０）個のマイクロミラー７を有するマイクロミラーアレイ６を考えた場合、θを１°ステップ（０≦θ＜π）とすると、高々１０２４×√２×１８０（≒２６万）回の図５に示す強度信号データ７２ａを取得すれば良いことになる。従って、上記の手法は、ラスタースキャン（マイクロミラー７のそれぞれを１度に１個ずつ制御する方法）を実施して２^２０（≒１０５万）個の強度信号データ７２ａを取得する場合と比較して、強度信号データ７２ａの取得時間が短くなる効果があり、イメージ画像取得の高速化が可能となる。

図６は、画像再構成法として、逆投影法を適用した場合の例であるが、本発明によるテラヘルツ波イメージング装置は、逆投影法に限らず、他の画像再構成法と組み合わせても良い。

１…テラヘルツ波イメージング装置、５…サンプル、５ａ…イメージ、６…マイクロミラーアレイ、７…マイクロミラー、１０…テラヘルツ波発振部、２０…テラヘルツ波検出部、３０…軸外放物面鏡、３１…軸外放物面鏡、４０…ビーム径縮小手段、４１…凸レンズ、４２…凹レンズ、４３…軸外放物面鏡、４４…軸外放物面鏡、７０…全体制御部、７１…制御部、７１ａ…走査アドレス情報、７２…画像処理部、７２ａ…強度信号データ、７２ｂ…イメージング画像、８０…表示部、９０…制御線、１００〜１０６…テラヘルツ波、１０７…第一方向反射波、１０８…第二方向反射波、２００…透過像、２０１…積分値、２０２…投影軸、２１０…再構成したイメージング画像、３００…投影線。

Claims (11)

1. サンプルにテラヘルツ波を照射する照射手段と、
   複数のマイクロミラーを有し、前記マイクロミラーのそれぞれが前記サンプルからのテラヘルツ波を反射するマイクロミラーアレイと、
   単一の受光素子から構成され、前記マイクロミラーアレイからのテラヘルツ波を検出して電気信号に変換する検出手段と、
   前記電気信号を処理して、前記サンプルのイメージング画像を得る画像処理部と、
   複数の前記マイクロミラーを制御する制御部を備え、
   複数の前記マイクロミラーは、それぞれの傾斜角度が独立して制御可能であり、
   前記制御部は、傾斜角度を変える前記マイクロミラーを特定するための走査アドレス情報を保持し、前記走査アドレス情報に従って、複数の前記マイクロミラーのそれぞれの傾斜角度を変える、
   ことを特徴とするテラヘルツ波イメージング装置。
2. 複数の前記マイクロミラーのそれぞれは、前記テラヘルツ波を第一方向および第二方向という２方向に向けて反射するように、前記傾斜角度が制御可能であり、
   前記第一方向に傾斜角度を制御された前記マイクロミラーにより反射された前記テラヘルツ波は、前記検出手段に導かれ、
   前記第二方向に傾斜角度を制御された前記マイクロミラーにより反射された前記テラヘルツ波は、前記検出手段には導かれない請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
3. 前記走査アドレス情報は、複数のステップと、前記ステップのそれぞれにおいて前記傾斜角度を変える前記マイクロミラーの位置情報を含み、
   前記制御部は、前記走査アドレス情報に従って、前記ステップごとに、複数の前記マイクロミラーのそれぞれの傾斜角度を変える請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
4. 複数の前記マイクロミラーが反射する前記サンプルからのテラヘルツ波は、前記サンプルの透過波である請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
5. 複数の前記マイクロミラーが反射する前記サンプルからのテラヘルツ波は、前記サンプルの反射波である請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
6. 前記制御部は、複数の前記マイクロミラーに対し、１度に１個ずつ前記傾斜角度を変える請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
7. 前記制御部は、複数の前記マイクロミラーに対し、１度に複数個ずつ前記傾斜角度を変える請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
8. 前記制御部は、複数の前記マイクロミラーに対し、１度に１個または複数個の前記傾斜角度を変える請求項１記載のテラヘルツ波イメージング装置。
9. 前記制御部は、複数の前記ステップのそれぞれにおいて、複数の前記マイクロミラーのうち１個の前記傾斜角度を変える請求項３記載のテラヘルツ波イメージング装置。
10. 前記制御部は、複数の前記ステップのそれぞれにおいて、複数の前記マイクロミラーのうち複数個の前記傾斜角度を変える請求項３記載のテラヘルツ波イメージング装置。
11. 前記制御部は、複数の前記ステップのそれぞれにおいて、複数の前記マイクロミラーのうち１個または複数個の前記傾斜角度を変える請求項３記載のテラヘルツ波イメージング装置。

Images