JP2013019768A - アクチュエータの当接検出方法、一定力発生機構及び発生力推定方法 - Google Patents
アクチュエータの当接検出方法、一定力発生機構及び発生力推定方法 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
【解決手段】積層圧電素子単体又は積層圧電素子S105と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、その圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、圧電アクチュエータに電圧を印加したときに圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路S101と、その駆動回路から圧電アクチュエータに流入する電流の検出手段S106と、を有し、駆動回路が連続的に変化する電圧を供給するとき、流入する電流値の変化により、圧電アクチュエータが対象物に当接したことを検出することにする。
【選択図】図1
Description
11 圧電素子
12 変位拡大機構
13 ロードセル
15 対象物
16 マイクロメータ
Claims (4)
- 積層圧電素子単体又は積層圧電素子と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、前記圧電アクチュエータに電圧を印加したときに前記圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、前記圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路と、前記駆動回路から前記圧電アクチュエータに流入する電流値の検出手段と、を有し、
前記駆動回路が連続的に変化する電圧を供給するとき、流入する電流値の変化により、前記圧電アクチュエータが前記対象物に当接したことを検出することを特徴とするアクチュエータの当接検出方法。 - 前記流入する電流値の変化が、電流値の時間に対する微係数変化により、前記圧電アクチュエータが前記対象物に当接したことを検出することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータの当接検出方法。
- 請求項1又は2に記載のアクチュエータの当接検出方法により、前記アクチュエータが前記対象物に当接したことを検出した後、前記駆動回路から前記圧電アクチュエータに流入する電流値が所定の値に達した時点で前記駆動回路から供給される電圧が一定に制御されることを特徴とする一定力発生機構。
- 積層圧電素子単体又は積層圧電素子と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、前記圧電アクチュエータに電圧を印加したときに前記圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、前記圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路と、前記駆動回路から前記圧電アクチュエータに流入する電流の検出手段と、を有し、
さらに、前記圧電アクチュエータにロードセルを備え、前記駆動回路が連続的に変化する電圧を供給し、前記圧電アクチュエータが前記対象物に当接した後に、前記ロードセルにより計測された前記対象物に付与する力の値と、流入する電流値との関係のデータを取り、
前記ロードセルを外した後、前記駆動回路が連続的に変化する電圧を供給したとき、前記駆動回路から前記圧電アクチュエータに流入する電流値と前記データより、前記圧電アクチュエータが前記対象物に付与する力の値を推定することを特徴とする発生力推定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011153467A JP5806021B2 (ja) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | アクチュエータの当接検出方法、一定力発生機構及び発生力推定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011153467A JP5806021B2 (ja) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | アクチュエータの当接検出方法、一定力発生機構及び発生力推定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013019768A true JP2013019768A (ja) | 2013-01-31 |
JP5806021B2 JP5806021B2 (ja) | 2015-11-10 |
Family
ID=47691347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011153467A Active JP5806021B2 (ja) | 2011-07-12 | 2011-07-12 | アクチュエータの当接検出方法、一定力発生機構及び発生力推定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5806021B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010014404A (ja) * | 2007-10-23 | 2010-01-21 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 押込み式硬さ試験機 |
JP2010236974A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Mechano Transformer Corp | 圧電アクチュエータの機械出力測定評価方法、制御方法及びこれらの方法を用いた装置 |
WO2010121868A1 (de) * | 2009-04-20 | 2010-10-28 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum betreiben eines einspritzventils |
-
2011
- 2011-07-12 JP JP2011153467A patent/JP5806021B2/ja active Active
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JP2010014404A (ja) * | 2007-10-23 | 2010-01-21 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 押込み式硬さ試験機 |
JP2010236974A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Mechano Transformer Corp | 圧電アクチュエータの機械出力測定評価方法、制御方法及びこれらの方法を用いた装置 |
WO2010121868A1 (de) * | 2009-04-20 | 2010-10-28 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum betreiben eines einspritzventils |
JP2012524210A (ja) * | 2009-04-20 | 2012-10-11 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 噴射弁の動作方法 |
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