JP2013015421A - Contact position specifying method - Google Patents

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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contact position specifying method for specifying a position at which each of a plurality of ports comes into electrical contact with an inspection object substrate via probes.SOLUTION: A test substrate 15 on which a plurality of linear wirings (151 to 155) are formed while aligned in parallel to each other is set on a substrate wiring inspection device, and conduction states between the wirings (151 to 155) and respective ports of inspection signals are inspected. This inspection is conducted for both cases where the substrate 15 is set to a tool so that the wirings (151 to 155) are in parallel to the Y axis of the substrate mounting surface and another case where the substrate 15 is set to a tool so that the wirings (151 to 155) are in parallel to the X axis of the substrate mounting surface.

Description

本発明は、基板に形成された配線の電気的な検査を行う配線検査装置を使用するための方法に係り、特に、検査信号を供給する複数のポートと基板配線に接触する複数のプローブとの接続を調べる方法に関するものである。   The present invention relates to a method for using a wiring inspection apparatus that performs electrical inspection of wiring formed on a substrate, and in particular, includes a plurality of ports that supply inspection signals and a plurality of probes that contact the substrate wiring. It relates to the method of checking the connection.

電子部品を実装する前のプリント基板(ベアボード)の配線に生じた断線や短絡等の欠陥を検査する基板配線検査装置が知られている(下記特許文献を参照)。基板配線検査装置は、基板の配線上のパッドにプローブを接触させて電気信号を供給し、パッド間の電気抵抗や静電容量を測定することにより配線の不良を検査する。   2. Description of the Related Art There is known a board wiring inspection apparatus that inspects for defects such as disconnection and short circuit occurring in wiring of a printed circuit board (bare board) before mounting an electronic component (see the following patent document). The substrate wiring inspection apparatus inspects a wiring defect by supplying an electrical signal by bringing a probe into contact with a pad on the wiring of the substrate and measuring an electrical resistance or capacitance between the pads.

基板配線検査装置において基板にプローブを接触させる方式には、大きく分けて2つの方式がある。1つはフライングプローブ方式、もう1つは治具方式と呼ばれる。フライングプローブ方式は、プローブを機械的に移動させて基板の任意の位置に接触させる方式である。治具方式は、特定の基板用に作られた治具によって多数のプローブを保持し、それらを一度に基板の配線に接触させる方式である。治具方式は、特定の基板に合うように作られた専用の治具を用いるため、フライングプローブ方式のように任意の基板の検査を行うことはできないが、プローブの移動時間が存在しないので、一般にフライングプローブ方式より高速に検査を行うことができる。   There are roughly two methods for bringing a probe into contact with a substrate in a substrate wiring inspection apparatus. One is called a flying probe method and the other is called a jig method. The flying probe method is a method in which the probe is mechanically moved to contact an arbitrary position on the substrate. The jig method is a method in which a large number of probes are held by a jig made for a specific substrate and are brought into contact with the wiring of the substrate at a time. Since the jig method uses a dedicated jig made to fit a specific substrate, you can not inspect any substrate like the flying probe method, but there is no probe movement time, In general, inspection can be performed at a higher speed than the flying probe method.

この治具方式には、更に、ユニバーサル治具を使用する方式と専用治具を使用する方式とがある。   This jig method further includes a method using a universal jig and a method using a dedicated jig.

ユニバーサル治具を使用する方式の場合、基板配線検査装置は、ユニバーサル治具が装着される汎用の検査ヘッド部を備える。検査ヘッド部には、通常の検査で必要とされる数よりも余裕を持たせた多数の電極部が平面上に規則的に配置されている。ユニバーサル治具は、各プローブの一方の尖端を基板表面の所定位置に案内し、他方の尖端を検査ヘッド部の所定の電極部に案内するように、複数の針状のプローブを保持する。検査ヘッド部の各電極部は、プローブの尖端を受けて伸縮するバネを含んでおり、バネの端が検査信号を供給するためのポートに接続されている。検査ヘッド部にユニバーサル治具を装着し、ユニバーサル治具から突き出たプローブを基板の表面に押し当てることにより、基板上の検査対象のパッドがユニバーサル治具を介して電極部と電気的に接続される。   In the case of a system using a universal jig, the board wiring inspection apparatus includes a general-purpose inspection head unit on which the universal jig is mounted. In the inspection head portion, a large number of electrode portions having a margin larger than that required for normal inspection are regularly arranged on a plane. The universal jig holds a plurality of needle-like probes so that one tip of each probe is guided to a predetermined position on the surface of the substrate and the other tip is guided to a predetermined electrode portion of the inspection head portion. Each electrode portion of the inspection head portion includes a spring that expands and contracts in response to the tip of the probe, and the end of the spring is connected to a port for supplying an inspection signal. By attaching a universal jig to the inspection head and pressing the probe protruding from the universal jig against the surface of the board, the pad to be inspected on the board is electrically connected to the electrode part via the universal jig. The

他方、専用治具を使用する方式の場合、基板配線検査装置は、上述のような汎用の検査ヘッド部を備えておらず、プローブの尖端を接触させるための複数の電極部を専用治具が保持している。専用治具は、各プローブの一方の尖端を基板表面の所定位置に案内し、他方の尖端を所定の電極部に案内するように、複数の針状のプローブを保持する。各電極部は、プローブの尖端を受けて伸縮するバネを含んでおり、そのバネの端にケーブルが固定されている。各ケーブルは、検査信号を供給する所定のポートに接続される。   On the other hand, in the case of a method using a dedicated jig, the board wiring inspection apparatus does not include the general-purpose inspection head as described above, and the dedicated jig has a plurality of electrode portions for contacting the tip of the probe. keeping. The dedicated jig holds a plurality of needle-like probes so that one tip of each probe is guided to a predetermined position on the surface of the substrate and the other tip is guided to a predetermined electrode portion. Each electrode portion includes a spring that expands and contracts in response to the tip of the probe, and a cable is fixed to the end of the spring. Each cable is connected to a predetermined port that supplies a test signal.

特開平06−058973号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-058973

上述した専用治具方式は、ユニバーサル治具方式のように余裕を持たせた多数の電極部を備える必要がないため、装置構成を簡略化できるメリットがある一方、電極部につながる多数のケーブルを検査信号のポートに1本ずつ接続する作業が必要となるというデメリットがある。   The dedicated jig method described above does not have to have a large number of electrode portions with a margin as in the universal jig method, so there is a merit that the device configuration can be simplified, while a large number of cables connected to the electrode portions are provided. There is a demerit that it is necessary to connect to the inspection signal port one by one.

図14は、専用治具における電極部の配置とケーブル接続先のポートの番号を例示した図である。図14の例において、黒い丸印は電極部を表し、数字はケーブル接続先のポートを表す。作業者は、例えばこのような図面を見ながら、電極部のケーブルを1本ずつ検査信号のポートに接続する。検査信号のポート数は数千にも及ぶ場合があるため、このケーブル接続作業には相当な時間を要する。また、接続作業は図面を見ながら手作業で行われるため、ポート数が多くなると、相当に注意を払っても接続間違いを生じる場合がある。そのため、通常は、ケーブル接続後に作業者が図面を見ながら電極部(あるいはプローブ)と検査信号のポートとの導通を1つずつテスターで確認する工程が設けられており、この確認作業にも多大な時間が必要となる。   FIG. 14 is a diagram exemplifying the arrangement of the electrode portions and the number of the port to which the cable is connected in the dedicated jig. In the example of FIG. 14, a black circle represents an electrode part, and a number represents a port to which a cable is connected. For example, the operator connects the cables of the electrode portions one by one to the inspection signal port while looking at such a drawing. Since the number of inspection signal ports may reach several thousand, this cable connection work requires a considerable amount of time. In addition, since the connection work is performed manually while looking at the drawing, if the number of ports increases, a connection error may occur even if considerable care is taken. For this reason, usually, after the cable is connected, a process is provided in which the operator checks the continuity between the electrode part (or probe) and the inspection signal port one by one while looking at the drawing. Time is required.

本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、治具のケーブル接続作業や導通確認作業に要する作業時間を削減できるように、複数のポートの各々がプローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置を特定する接触位置特定方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to inspect each of a plurality of ports via a probe so that the work time required for jig cable connection work and conduction check work can be reduced. It is an object of the present invention to provide a contact position specifying method for specifying a position in electrical contact with a substrate.

本発明に係る接続位置特定方法は、検査対象の基板に接触する複数のプローブと検査信号を供給する複数のポートとが接続された配線検査装置を使用して前記基板の配線を検査するために、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して前記基板と電気的に接触する位置を特定する方法に関する。この接触位置特定方法において、検査対象の基板が装着される前記配線検査装置の基板装着面には、第1座標軸と第2座標軸とに基づいた座標が定義される。
上記接触位置特定方法は、
複数の直線状の配線が平行に並んで形成されたテスト用基板を、当該複数の配線が前記第1座標軸と平行になるように向きを定めて前記配線検査装置の前記基板装着面にセットする第1工程と、
前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線と前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する第2工程と、
複数の直線状の配線が平行に並んで形成されたテスト用基板を、当該複数の配線が前記第2座標軸と平行になるように向きを定めて前記配線検査装置の前記基板装着面にセットする第3工程と、
前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の複数の配線と前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する第4工程と、
前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線の前記第2座標軸に対する座標成分を示す情報と、前記第2工程において前記複数のポートの各々と導通することが検出された前記テスト用基板の前記配線に関する情報とに基づいて、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の前記第2座標軸に対する座標成分を特定する第5工程と、
前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線の前記第1座標軸に対する座標成分を示す情報と、前記第4工程において前記複数のポートの各々と導通することが検出された前記テスト用基板の前記配線に関する情報とに基づいて、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の前記第1座標軸に対する座標成分を特定する第6工程と、
を有する。
The connection position specifying method according to the present invention is for inspecting the wiring of the substrate using a wiring inspection apparatus in which a plurality of probes that contact the substrate to be inspected and a plurality of ports that supply inspection signals are connected. , And a method for specifying a position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate via the probe. In this contact position specifying method, coordinates based on the first coordinate axis and the second coordinate axis are defined on the board mounting surface of the wiring inspection apparatus on which the board to be inspected is mounted.
The contact position specifying method is as follows:
A test substrate on which a plurality of linear wirings are arranged in parallel is set on the substrate mounting surface of the wiring inspection apparatus with the orientation determined so that the plurality of wirings are parallel to the first coordinate axis. The first step;
A second step of inspecting a conduction state between the plurality of wirings and the plurality of ports of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step by the wiring inspection device;
A test substrate on which a plurality of linear wirings are arranged in parallel is oriented on the substrate mounting surface of the wiring inspection apparatus so that the plurality of wirings are oriented in parallel with the second coordinate axis. A third step;
A fourth step of inspecting a conduction state between the plurality of wirings and the plurality of ports of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step by the wiring inspection device;
Information indicating coordinate components with respect to the second coordinate axes of the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step, and conduction with each of the plurality of ports in the second step. On the basis of the information on the wiring of the test substrate in which the detection is detected, a coordinate component with respect to the second coordinate axis at a position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe. A fifth step to identify;
Information indicating coordinate components with respect to the first coordinate axis of the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step, and conduction with each of the plurality of ports in the fourth step. On the basis of the information on the wiring of the test substrate in which the detection is detected, the coordinate component with respect to the first coordinate axis at a position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe. A sixth step to identify;
Have

好適に、前記第1工程及び前記第3工程において前記基板装着面にセットされる前記テスト用基板の前記複数の配線は、前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとは異なる複数のテスト用のポートに接続されており、
前記第2工程では、前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線に接続された前記複数のテスト用ポートと前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査し、
前記第4工程では、前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線に接続された前記複数のテスト用ポートと前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する。
Preferably, the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step and the third step are a plurality of tests different from the plurality of ports connected to the plurality of probes. Connected to the port for
In the second step, the plurality of test ports connected to the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step and the plurality of ports connected to the plurality of probes. Inspect the continuity with the port by the wiring inspection device,
In the fourth step, the plurality of test ports connected to the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step and the plurality of probes connected to the plurality of probes. A state of continuity with the port is inspected by the wiring inspection device.

好適に、前記複数のプローブは直線状に延びて形成されており、
前記配線検査装置は、
検査対象の基板に接触する前記複数のプローブの一端が突き出た前記基板装着面を有する第1治具と、
前記複数のプローブの他端に接触する複数の導電部であって、前記複数のポートと電気的に接続される複数の導電部を保持する第2治具と、
を備えており、
前記第1工程、前記第2工程、前記第3工程及び前記第4工程では、前記第1座標軸と平行な直線並びに前記第2座標軸と平行な直線を含む所定の格子パターンの交点において前記複数のプローブの前記一端が突き出た前記基板装着面を有する第3治具を前記第1治具の替わりに使用し、
前記テスト用基板の前記複数の配線は、前記第3治具の前記基板装着面に装着された場合に前記格子パターンの前記直線と重なる位置に形成される。
Preferably, the plurality of probes are formed to extend linearly,
The wiring inspection apparatus includes:
A first jig having the substrate mounting surface from which one end of the plurality of probes contacting the substrate to be inspected protrudes;
A second jig for holding a plurality of conductive portions that are in contact with the other ends of the plurality of probes and are electrically connected to the plurality of ports;
With
In the first step, the second step, the third step, and the fourth step, the plurality of points at intersections of a predetermined lattice pattern including a straight line parallel to the first coordinate axis and a straight line parallel to the second coordinate axis. A third jig having the substrate mounting surface from which the one end of the probe protrudes is used instead of the first jig,
The plurality of wirings of the test substrate are formed at positions overlapping with the straight lines of the lattice pattern when mounted on the substrate mounting surface of the third jig.

好適に、上記接触位置特定方法は、前記第3治具を使用した場合に前記複数の導電部の各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標と、前記第1治具を使用した場合に前記複数の導電部の各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標との対応関係を示す情報に基づいて、前記第5工程及び前記第6工程において特定された前記複数のポートの前記接触位置の座標を、前記第3治具の替わりに前記第1治具を使用した場合に前記複数のポートが前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標へ変換する第7工程を有する。   Preferably, in the contact position specifying method, when the third jig is used, the coordinates of the positions at which each of the plurality of conductive portions is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe; When using one jig, based on the information indicating the correspondence relationship between the position of each of the plurality of conductive portions in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe, the fifth step and When the first jig is used in place of the third jig, the coordinates of the contact positions of the plurality of ports specified in the sixth step are to be inspected via the probe. A seventh step of converting into coordinates of a position in electrical contact with the substrate.

好適に、前記第1治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持し、前記第3治具は、前記複数のプローブを前記基板装着面に対して垂直に保持する。
または、前記第1治具は、前記複数のプローブを前記基板装着面に対して垂直に保持してよく、前記第3治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持してよい。
あるいは、前記第1治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持してよく、前記第3治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾け、かつ、前記基板装着面における前記複数のプローブの前記一端の分布が前記第1治具と異なるように前記複数のプローブを保持してよい。
Preferably, the first jig holds at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface, and the third jig holds the plurality of probes on the substrate mounting surface. Hold vertically.
Alternatively, the first jig may hold the plurality of probes perpendicular to the substrate mounting surface, and the third jig may include at least a part of the plurality of probes with respect to the substrate mounting surface. May be held at an angle.
Alternatively, the first jig may hold at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface, and the third jig may hold at least a part of the plurality of probes. The plurality of probes may be held so as to be inclined with respect to the substrate mounting surface and so that the distribution of the one ends of the plurality of probes on the substrate mounting surface is different from that of the first jig.

本発明によれば、複数のポートの各々がプローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置を特定することによって、図面等を参照することなく各プローブを任意の検査用のポートに接続することが可能になり、接続作業が容易になるとともに、接続後の導通確認が不要になる。   According to the present invention, by specifying the position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe, each probe can be set as an arbitrary inspection port without referring to the drawings. It becomes possible to connect, the connection work becomes easy, and the continuity check after the connection becomes unnecessary.

基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of a board | substrate wiring inspection apparatus. 第1治具及び第2治具の構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a structure of a 1st jig | tool and a 2nd jig | tool. 第2治具に導電部(バネ)を取り付ける方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the method to attach an electroconductive part (spring) to a 2nd jig | tool. 第1治具の替わりに使用されるテスト用の第3治具の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the 3rd jig | tool for a test used instead of a 1st jig | tool. 第3治具の基板装着面におけるプローブピンの尖端の位置の例示する図である。It is a figure which illustrates the position of the tip of a probe pin in the substrate mounting surface of the 3rd jig. 検査対象の基板の替わりに使用されるテスト用の基板の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the board | substrate for a test used instead of the board | substrate of a test object. 第1工程において第3治具に装着されたテスト用基板の配線とプローブピンの尖端との位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of the wiring of the board | substrate for a test with which the 3rd jig | tool was mounted | worn in the 1st process, and the tip of a probe pin. 第3工程において第3治具に装着されたテスト用基板の配線とプローブピンの尖端との位置関係を示す図である。It is a figure which shows the positional relationship of the wiring of the board | substrate for a test with which the 3rd process was mounted | worn in the 3rd process, and the tip of a probe pin. 第1治具を用いた場合におけるプローブの尖端の位置と、テスト用の第3治具を用いた場合におけるプローブの尖端の位置との対応関係を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the correspondence of the position of the tip of a probe in the case of using a 1st jig | tool, and the position of the tip of a probe in the case of using the 3rd jig for a test. 第1治具の変形例を示す第1の図である。It is a 1st figure which shows the modification of a 1st jig | tool. 第3治具の変形例を示す第1の図である。It is a 1st figure which shows the modification of a 3rd jig | tool. 第1治具の変形例を示す第2の図である。It is a 2nd figure which shows the modification of a 1st jig | tool. 第3治具の変形例を示す第2の図である。It is a 2nd figure which shows the modification of a 3rd jig | tool. 専用治具における電極部の配置とケーブル接続先のポートの番号を例示した図である。It is the figure which illustrated arrangement | positioning of the electrode part in a special jig | tool, and the number of the port of a cable connection destination.

図1は、基板配線検査装置の構成の一例を示す図である。
図1に示す基板配線検査装置は、検査対象の基板10に接触する複数のプローブ2を保持する治具20と、治具20の内部で複数のプローブ2と電気的につながれた複数のケーブル3と、複数のケーブル3が接続される複数の端子を備えた端子部30と、端子部30の複数の端子に検査信号を供給する複数のポートを備えた検査部40と有する。
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a configuration of a substrate wiring inspection apparatus.
The substrate wiring inspection apparatus shown in FIG. 1 includes a jig 20 that holds a plurality of probes 2 that contact a substrate 10 to be inspected, and a plurality of cables 3 that are electrically connected to the plurality of probes 2 inside the jig 20. And a terminal section 30 having a plurality of terminals to which a plurality of cables 3 are connected, and an inspection section 40 having a plurality of ports for supplying inspection signals to the plurality of terminals of the terminal section 30.

図1の例に示す基板配線検査装置は、基板10の両面(上側と下側)の検査用にそれぞれ治具20と、複数のケーブル3と、端子部30を備える。検査部40は、基板10の各面の検査に使用されるポートを備える。   The board wiring inspection apparatus shown in the example of FIG. 1 includes a jig 20, a plurality of cables 3, and a terminal unit 30 for inspecting both surfaces (upper side and lower side) of the board 10. The inspection unit 40 includes ports used for inspection of each surface of the substrate 10.

検査部40は、任意の2つのポートから検査用の電気信号を供給し、プローブ間の電圧や電流、プローブ2の抵抗、プローブ2と基準電位との間の静電容量などを測定する。例えば検査部40は、電気信号を発生する信号発生回路と、ポート間の電圧値や電流値、ポートに生じる交流信号の振幅等を測定する測定回路と、信号発生回路及び測定回路の信号ラインと端子部30の各端子との接続を切り替えるスキャナ回路と、これらの回路の動作を制御する制御装置(コンピュータ等)とを有する。   The inspection unit 40 supplies electrical signals for inspection from any two ports, and measures the voltage and current between the probes, the resistance of the probe 2, the capacitance between the probe 2 and the reference potential, and the like. For example, the inspection unit 40 includes a signal generation circuit that generates an electrical signal, a measurement circuit that measures a voltage value and a current value between ports, an amplitude of an alternating current signal generated at the port, and the signal lines of the signal generation circuit and the measurement circuit. It has a scanner circuit that switches connection with each terminal of the terminal unit 30, and a control device (such as a computer) that controls the operation of these circuits.

図2は、治具20の構成の一例を示す図であり、検査対象の基板10が装着される平面(基板装着面)に対して垂直な断面を表す。図2の例において、治具20は、複数のプローブ2(2A,2B)を保持する第1治具21と、この第1治具21に重ねて配置される第2治具22とを有する。   FIG. 2 is a diagram illustrating an example of the configuration of the jig 20 and represents a cross section perpendicular to a plane (substrate mounting surface) on which the substrate 10 to be inspected is mounted. In the example of FIG. 2, the jig 20 includes a first jig 21 that holds a plurality of probes 2 (2 </ b> A, 2 </ b> B), and a second jig 22 that is arranged on the first jig 21. .

第1治具21は、検査対象の基板10が装着される基板装着面(図の上側の面)において一方の尖端が突き出し、第2治具22に向き合う面(図の下側の面)において他方の尖端が突き出すように、各プローブ2(2A,2B)を保持する。
基板装着面において上側に突き出したプローブ2の尖端は、基板10の配線形成面に接触する。図2の例には、接触相手の電極のサイズが異なる2種類のプローブ2A,2Bが示されている。尖端が細いプローブ2Aは表面実装部品のパッドに使用され、尖端が太いプローブ2Bはスルーホール実装部品のランドに使用される。
第2治具22と向き合う面において下側に突き出したプローブ2の尖端は、第2治具22に設けられた導電部221と接触する。
The first jig 21 protrudes on the substrate mounting surface (upper surface in the drawing) on which the substrate 10 to be inspected is mounted, on the surface (lower surface in the drawing) facing the second jig 22. Each probe 2 (2A, 2B) is held so that the other tip is projected.
The tip of the probe 2 protruding upward on the board mounting surface is in contact with the wiring forming surface of the board 10. In the example of FIG. 2, two types of probes 2A and 2B with different contact partner electrode sizes are shown. The probe 2A having a thin tip is used for a pad of a surface mounting component, and the probe 2B having a thick tip is used for a land of a through-hole mounting component.
The tip of the probe 2 protruding downward on the surface facing the second jig 22 is in contact with the conductive portion 221 provided on the second jig 22.

また、第1治具21は、図2に示すように、一部のプローブ2を基板装着面に対して斜めに傾けて保持している。これは、基板10の微細でピッチが狭い配線領域に密集したパッド群から、これより広い間隔で配置された導電部221に向かってプローブ2同士の間隔が広がるようにするためである。   Further, as shown in FIG. 2, the first jig 21 holds a part of the probes 2 while being inclined with respect to the substrate mounting surface. This is because the distance between the probes 2 increases from a group of pads densely arranged in a fine and narrow wiring region of the substrate 10 toward the conductive portions 221 arranged at a wider interval.

第1治具21は、例えば図2に示すように、各プローブ2を案内する貫通孔(H11〜H14)がそれぞれ形成された複数枚の板状部材(211〜214)を有する。板状部材211が基板10と最も近い側に配置され、板状部材211から第2治具22の側に向かって順に板状部材212,213,214が配置されている。   For example, as shown in FIG. 2, the first jig 21 has a plurality of plate-like members (211 to 214) in which through holes (H 11 to H 14) for guiding each probe 2 are formed. The plate-shaped member 211 is disposed on the side closest to the substrate 10, and the plate-shaped members 212, 213, and 214 are sequentially disposed from the plate-shaped member 211 toward the second jig 22 side.

板状部材211,212,213,214には、プローブ2をそれぞれ1本ずつ通す複数の貫通孔H11,H12,H13,H14が形成されている。各プローブ2は、4枚の板状部材(212〜214)に形成された4つの貫通孔(H11〜H14)を通ることによって、第1治具21の両側から突出する尖端の位置が決められている。   A plurality of through holes H11, H12, H13, and H14 through which one probe 2 is passed are formed in the plate-like members 211, 212, 213, and 214, respectively. Each probe 2 passes through four through holes (H11 to H14) formed in the four plate-like members (212 to 214), whereby the positions of the tips protruding from both sides of the first jig 21 are determined. ing.

板状部材211と212は直接重ねて固定され、板状部材212と213は支柱215によって間隙を設けて固定され、板状部材213と214は支柱216によって間隙を設けて固定される。   The plate-like members 211 and 212 are directly overlapped and fixed, the plate-like members 212 and 213 are fixed with a gap by a column 215, and the plate-like members 213 and 214 are fixed with a gap by a column 216.

板状部材213と214の間には、伸縮性のあるシート状部材217(例えばゴムシート)が介挿されており、これを各プローブ2が突き通っている。第1治具21を組み立てる際には、例えば上側の貫通孔H11から貫通孔H12,H13,H14の順にプローブ2を挿入し、その途中でシート状部材217にプローブ2を突き通す。これにより、個々のプローブ2がシート状部材217に固定された状態となり、貫通孔(H11〜H14)から容易に抜け落ちなくなるため、プローブ2が第1治具21から外れて落下することを防止できる。例えば図2の上下を逆さまにして第1治具21を使用しても、プローブ2が下に落ちることはない。   An elastic sheet-like member 217 (for example, a rubber sheet) is interposed between the plate-like members 213 and 214, and each probe 2 penetrates through this. When assembling the first jig 21, for example, the probe 2 is inserted in the order of the through holes H12, H13, and H14 from the upper through hole H11, and the probe 2 penetrates the sheet-like member 217 in the middle. As a result, the individual probes 2 are fixed to the sheet-like member 217 and are not easily detached from the through holes (H11 to H14), so that the probes 2 can be prevented from falling off the first jig 21. . For example, even if the first jig 21 is used with the top and bottom of FIG. 2 turned upside down, the probe 2 does not fall down.

第2治具22は、第1治具21から突き出た複数のプローブ2の尖端と接触する複数の導電部221と、この複数の導電部221を保持するための複数の保持部S1が形成された板状部材220とを有する。   The second jig 22 is formed with a plurality of conductive portions 221 that come into contact with the tips of the plurality of probes 2 protruding from the first jig 21, and a plurality of holding portions S1 for holding the plurality of conductive portions 221. Plate member 220.

導電部221は、導電性の材料で形成された弾性部材であり、例えば図2に示すように棒状のバネで構成される。導電部221のバネの一端は、プローブ2の尖端が適切に受け止められるように加工される。図2の例では、バネの尖端近くに細く巻かれた小径の部分があり、小径部分から尖端に向かって巻き径が徐々に広がっている。このお椀状の尖端部にプローブ2の尖端が当たると、導電部221のバネはプローブ2を基板10に向かって押し返す方向に付勢する。この付勢力によってプローブ2の両端の接点に適当な接触圧が生じ、安定的な導通が確保される。プローブ2と接触しないバネの他端には、ケーブル3が固定される。   The conductive portion 221 is an elastic member formed of a conductive material, and is constituted by a rod-shaped spring, for example, as shown in FIG. One end of the spring of the conductive portion 221 is processed so that the tip of the probe 2 is properly received. In the example of FIG. 2, there is a small-diameter portion wound thinly near the tip of the spring, and the winding diameter gradually increases from the small-diameter portion toward the tip. When the tip of the probe 2 hits the bowl-shaped tip, the spring of the conductive portion 221 urges the probe 2 in a direction to push it back toward the substrate 10. This biasing force generates an appropriate contact pressure at the contact points at both ends of the probe 2 to ensure stable conduction. The cable 3 is fixed to the other end of the spring that does not contact the probe 2.

保持部S1は、導電部221のバネを収容する縦長の孔を有する。この孔の第1治具21に面した開口部からプローブ2の尖端が挿入される。この開口部の反対側(保持部S1の底)には、導電部221のバネが通らない小径の貫通孔が形成されており、この小径の貫通孔にケーブル3が挿通される。   The holding part S <b> 1 has a vertically long hole that accommodates the spring of the conductive part 221. The tip of the probe 2 is inserted from the opening of the hole facing the first jig 21. A small-diameter through hole through which the spring of the conductive portion 221 does not pass is formed on the opposite side of the opening (the bottom of the holding portion S1), and the cable 3 is inserted into the small-diameter through-hole.

図3は、板状部材220の保持部S1に導電部221のバネを取り付ける方法を説明するための図である。板状部材220は、第1治具21と組み合わされる側の面に、保持部S1の開口部を有する。保持部S1に導電部221のバネを取り付ける場合は、まず、導電部221のバネに固定されたケーブル3をこの開口部から反対側の貫通孔に挿通する。そして、導電部221のバネが保持部S1の底にあたるまで、貫通孔からケーブル3を引き出す。   FIG. 3 is a view for explaining a method of attaching the spring of the conductive portion 221 to the holding portion S1 of the plate-like member 220. The plate-like member 220 has an opening of the holding portion S1 on the surface that is combined with the first jig 21. When attaching the spring of the conductive part 221 to the holding part S1, first, the cable 3 fixed to the spring of the conductive part 221 is inserted through the through hole on the opposite side from this opening. Then, the cable 3 is pulled out from the through hole until the spring of the conductive portion 221 hits the bottom of the holding portion S1.

図1,図2に示す治具20を組み立てる場合には、まず第1治具21と第2治具22を別個に組み立ててから両者を合体する。すなわち、第1治具21については、図2に示すようにプローブ2を各貫通孔(H11〜H14)に挿通した状態とし、第2治具22については、図3に示すように導電部221のバネを各保持部S1に取り付けた状態とした上で、これらの治具(21,22)を合体する。   When assembling the jig 20 shown in FIGS. 1 and 2, the first jig 21 and the second jig 22 are first assembled separately, and then both are combined. That is, for the first jig 21, the probe 2 is inserted into each through hole (H11 to H14) as shown in FIG. 2, and for the second jig 22, the conductive portion 221 as shown in FIG. These jigs (21, 22) are united together with the springs attached to the respective holding portions S1.

ただし、治具20を完成させるには、第2治具22から引き出される複数のケーブル3と端子部30の複数の端子とを接続する作業が更に必要である。この作業は、例えば、図14に示すような図面を参照しながら各ケーブル3を所定の端子に注意深く接続することによって行うことも可能である。しかしながら、この方法では、図面を参照しながら接続を行うため非常に作業時間がかかり、また、ケーブルの接続の後にテスターを用いた確認作業が必要になるというデメリットがある。   However, in order to complete the jig 20, an operation of connecting the plurality of cables 3 drawn from the second jig 22 and the plurality of terminals of the terminal portion 30 is further required. This operation can also be performed by carefully connecting each cable 3 to a predetermined terminal with reference to a drawing as shown in FIG. However, this method has a demerit that it takes a very long time to perform the connection while referring to the drawings, and a check operation using a tester is required after the cable connection.

そこで、本発明の実施形態では、以下に述べる接触位置特定方法を利用して、検査部40の複数のポートの各々がケーブル3,導電部221,プローブ2を介して基板10と電気的に接触する位置を特定する。治具20を完成させた時点でケーブル3と端子部30との接続状態が不明でも、この方法を用いることによって、検査用の各ポートが基板10と電気的に接触している位置を特定できる。これにより、端子部30の任意の端子に任意のケーブル3を接続することが許されるので、図14に示すような図面を参照しながらケーブル2の接続を行う必要がなくなる。   Therefore, in the embodiment of the present invention, each of the plurality of ports of the inspection unit 40 is in electrical contact with the substrate 10 via the cable 3, the conductive unit 221, and the probe 2 using the contact position specifying method described below. Specify the position to perform. Even when the connection state between the cable 3 and the terminal portion 30 is unknown when the jig 20 is completed, the position where each inspection port is in electrical contact with the substrate 10 can be specified by using this method. . Thereby, since it is permitted to connect any cable 3 to any terminal of the terminal portion 30, it is not necessary to connect the cable 2 while referring to the drawing as shown in FIG.

ここで、本発明の実施形態に係る接触位置特定方法について説明する。   Here, the contact position specifying method according to the embodiment of the present invention will be described.

第1工程:
まず、第1工程では、第1治具21(図2)の替わりにテスト用の第3治具23(図4)が第2治具22に装着され、基板10の替わりにテスト用の基板15(図6)が第3治具23の基板装着面に所定の向きでセットされる。
First step:
First, in the first step, a test third jig 23 (FIG. 4) is mounted on the second jig 22 instead of the first jig 21 (FIG. 2), and a test substrate is used instead of the substrate 10. 15 (FIG. 6) is set on the substrate mounting surface of the third jig 23 in a predetermined direction.

図4は、第1治具21の替わりに使用されるテスト用の第3治具23の例を示す図であり、図2と同様に基板10が装着される基板装着面に対して垂直な断面を表す。図4に示す第3治具23は、第1治具21(図2)と同様の構成(プローブ2、板状部材211〜214、支柱215、216、シート状部材217)を有しているが、プローブ2の保持の仕方において第1治具21と異なる。すなわち、第1治具21ではプローブ2の一部が基板装着面に対して斜めに傾いているが、第3治具23では全てのプローブ2が基板装着面に対して垂直に保持されるように板状部材(211〜214)の貫通孔(H11〜H14)が形成される。   FIG. 4 is a diagram showing an example of a test third jig 23 used in place of the first jig 21, and is perpendicular to the substrate mounting surface on which the substrate 10 is mounted as in FIG. 2. Represents a cross section. The third jig 23 shown in FIG. 4 has the same configuration (probe 2, plate-like members 211 to 214, columns 215 and 216, and sheet-like member 217) as the first jig 21 (FIG. 2). However, it differs from the first jig 21 in the manner of holding the probe 2. That is, a part of the probe 2 is inclined with respect to the substrate mounting surface in the first jig 21, but all the probes 2 are held perpendicular to the substrate mounting surface in the third jig 23. The through-holes (H11 to H14) of the plate-like members (211 to 214) are formed.

図5は、第3治具23の基板装着面におけるプローブピン2の尖端の位置の例示する図である。図5において、「○」はプローブピン2の尖端が突出する位置を表し、この「○」に付された記号(P1,P5等)はプローブピン2が接続される検査部40のポートを表す。また、点線で表した格子状のパターンは、第3治具23の基板装着面においてプローブピン2の尖端の位置が規則的に配置されていることを理解し易くするために図解したものである。
図5において示すように、第3治具23は、基板装着面における所定の格子パターンの交点において基板15に尖端が接触するように、各プローブピン2を保持している。この点線で表された格子パターンは、基板装着面におけるX軸方向(図の横方向)へ延びた直線群とY軸方向(図の縦方向)へ延びた直線群によって構成されている。
第3治具23においてプローブピン2は基板装着面と垂直に保持されているため、第2治具22の導電部221も上述と同様な格子状のパターンの交点に規則的に配置されている。
FIG. 5 is a diagram illustrating the position of the tip of the probe pin 2 on the board mounting surface of the third jig 23. In FIG. 5, “◯” represents the position where the tip of the probe pin 2 protrudes, and the symbols (P1, P5, etc.) attached to this “◯” represent the port of the inspection unit 40 to which the probe pin 2 is connected. . Further, the lattice-like pattern represented by dotted lines is illustrated for easy understanding that the positions of the tips of the probe pins 2 are regularly arranged on the substrate mounting surface of the third jig 23. .
As shown in FIG. 5, the third jig 23 holds each probe pin 2 so that the tip of the third jig 23 comes into contact with the substrate 15 at the intersection of a predetermined lattice pattern on the substrate mounting surface. The lattice pattern represented by the dotted line is composed of a straight line group extending in the X-axis direction (horizontal direction in the figure) and a straight line group extending in the Y-axis direction (vertical direction in the figure) on the substrate mounting surface.
Since the probe pins 2 are held perpendicular to the substrate mounting surface in the third jig 23, the conductive portions 221 of the second jig 22 are also regularly arranged at the intersection points of the lattice pattern similar to the above. .

図6は、検査対象の基板10の替わりに使用されるテスト用の基板15の例を示す図である。基板15には、複数の直線状の配線(151〜155)が平行に並んで形成されており、四隅に位置決め用のガイド孔F1が形成されている。この配線151〜155は、基板15を第3治具23の基板装着面に装着した場合において上述した格子パターン(図5)の直線と重なる位置に形成される。例えば、配線151〜155がY軸方向と平行になるように基板15を第3治具23に装着した場合、配線151〜155は格子パターン(図5)のY軸方向に延びる直線と重なる。また、配線151〜155がX軸方向と平行になるように基板15を第3治具23に装着した場合、配線151〜155は格子パターンのX軸方向に延びる直線と重なる。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a test substrate 15 used instead of the substrate 10 to be inspected. A plurality of linear wires (151 to 155) are formed in parallel on the substrate 15, and positioning guide holes F1 are formed at four corners. The wirings 151 to 155 are formed at positions overlapping the straight lines of the lattice pattern (FIG. 5) described above when the substrate 15 is mounted on the substrate mounting surface of the third jig 23. For example, when the substrate 15 is mounted on the third jig 23 so that the wirings 151 to 155 are parallel to the Y-axis direction, the wirings 151 to 155 overlap with a straight line extending in the Y-axis direction of the lattice pattern (FIG. 5). Further, when the substrate 15 is mounted on the third jig 23 so that the wirings 151 to 155 are parallel to the X-axis direction, the wirings 151 to 155 overlap with a straight line extending in the X-axis direction of the lattice pattern.

また基板15の複数の配線(151〜155)は、治具20のプローブ2に接続されたポートとは異なる複数のテスト用のポートに直接接続されている。すなわち、配線151,152,153,154,155はテスト用のポートP1001,P1002,P1003,P1004,P1005に接続されている。   The plurality of wirings (151 to 155) of the substrate 15 are directly connected to a plurality of test ports different from the ports connected to the probe 2 of the jig 20. That is, the wirings 151, 152, 153, 154, and 155 are connected to the test ports P1001, P1002, P1003, P1004, and P1005.

第1工程において、テスト用の基板15は、直線状の配線151〜155を図のY軸方向と平行になるように向き定めた状態で第3治具23に装着される。
図7は、第1工程において第3治具23に装着された基板15の配線とプローブピン2の尖端との位置関係を示す図であり、基板15の配線(151〜155)を点線で表している。各プローブピン2の尖端は、基板装着面において所定の格子パターン(図1)の交点に位置するように第3治具23において保持されているため(図5)、格子パターンのY軸方向に延びる直線上に位置するように形成された配線151〜155の何れかと接触する。図7の例では、ポートP20,P5,P8が配線151と接触し、ポートP1が配線152と接触し、ポートP10,P44が配線153と接触し、ポートP31が配線154と接触する。
In the first step, the test substrate 15 is mounted on the third jig 23 with the straight wirings 151 to 155 oriented so as to be parallel to the Y-axis direction in the figure.
FIG. 7 is a diagram showing the positional relationship between the wiring of the substrate 15 mounted on the third jig 23 and the tip of the probe pin 2 in the first step, and the wiring (151 to 155) of the substrate 15 is represented by a dotted line. ing. Since the tip of each probe pin 2 is held by the third jig 23 so as to be positioned at the intersection of a predetermined lattice pattern (FIG. 1) on the substrate mounting surface (FIG. 5), it is in the Y-axis direction of the lattice pattern. It contacts any of the wirings 151 to 155 formed so as to be positioned on the extending straight line. In the example of FIG. 7, the ports P20, P5, and P8 are in contact with the wiring 151, the port P1 is in contact with the wiring 152, the ports P10 and P44 are in contact with the wiring 153, and the port P31 is in contact with the wiring 154.

第2工程:
第2工程では、第1工程において第3治具23に装着された基板15の複数の配線(151〜155)と、治具20の複数のプローブピン2に接続された複数のポートとの導通状態が検査部40によって検査される。具体的には、基板15の配線151〜155に接続されたテスト用ポート(P1001〜P1005)と、治具20の複数のプローブピン2に接続された複数のポートとの導通状態が検査される。
これにより検査部40では、導通状態にあるポート群の情報が検査結果として得られる。例えば図7の場合、テスト用ポートP1001と導通するポート群が[P5,P8,P20,P1001]であり、テスト用ポートP1002と導通するポート群が[P1,P1002]であり、テスト用ポートP1003と導通するポート群が[P10,P44,P1003]であり、テスト用ポートP1004と導通するポート群が[P31,P1001]であるとの検査結果が得られる。
Second step:
In the second step, conduction between the plurality of wirings (151 to 155) of the substrate 15 mounted on the third jig 23 in the first step and the plurality of ports connected to the plurality of probe pins 2 of the jig 20 is performed. The state is inspected by the inspection unit 40. Specifically, the conduction state between the test ports (P1001 to P1005) connected to the wirings 151 to 155 of the substrate 15 and the plurality of ports connected to the plurality of probe pins 2 of the jig 20 is inspected. .
Thereby, in the test | inspection part 40, the information of the port group in a conduction | electrical_connection state is obtained as a test result. For example, in the case of FIG. 7, the port group that conducts with the test port P1001 is [P5, P8, P20, P1001], the port group that conducts with the test port P1002 is [P1, P1002], and the test port P1003. A test result is obtained that [P10, P44, P1003] is a port group that is electrically connected to and [P31, P1001] is a port group that is electrically connected to the test port P1004.

第3工程:
第3工程では、第1工程と同様に、第3治具23(図4)が第2治具22に装着された状態でテスト用の基板15(図6)が第3治具23にセットされるが、基板15の装着の向きが第1工程とは異なる。すなわち、テスト用の基板15は、直線状の配線151〜155を図のX軸方向と平行になるように向き定めた状態で第3治具23に装着される。
図8は、第3工程において第3治具23に装着された基板15の配線(151〜155)とプローブピン2の尖端との位置関係を示す図である。各プローブピン2の尖端は、所定の格子パターン(図1)の交点に位置するため、格子パターンのX軸方向に延びる直線と重なる位置に形成された配線151〜155の何れかと接触する。図8の例では、ポートP8が配線151と接触し、ポートP10が配線152と接触し、ポートP44が配線153と接触し、ポートP1,P5が配線154と接触し、ポートP20,P31が配線155と接触する。
Third step:
In the third step, as in the first step, the test substrate 15 (FIG. 6) is set on the third jig 23 with the third jig 23 (FIG. 4) mounted on the second jig 22. However, the mounting direction of the substrate 15 is different from that in the first step. That is, the test substrate 15 is mounted on the third jig 23 with the straight wirings 151 to 155 oriented so as to be parallel to the X-axis direction in the figure.
FIG. 8 is a diagram showing the positional relationship between the wiring (151 to 155) of the substrate 15 mounted on the third jig 23 and the tip of the probe pin 2 in the third step. Since the tip of each probe pin 2 is located at the intersection of a predetermined lattice pattern (FIG. 1), it contacts any of the wirings 151 to 155 formed at a position overlapping with a straight line extending in the X-axis direction of the lattice pattern. In the example of FIG. 8, the port P8 is in contact with the wiring 151, the port P10 is in contact with the wiring 152, the port P44 is in contact with the wiring 153, the ports P1 and P5 are in contact with the wiring 154, and the ports P20 and P31 are wiring. Contact 155.

第4工程:
第4工程では、第3工程において第3治具23に装着された基板15の複数の配線(151〜155)と、治具20の複数のプローブピン2に接続された複数のポートとの導通状態が検査部40によって検査される。具体的には、基板15の配線151〜155に接続されたテスト用ポート(P1001〜P1005)と、治具20の複数のプローブピン2に接続された複数のポートとの導通状態が検査される。
これにより検査部40では、導通状態にあるポート群の情報が検査結果として得られる。例えば図8の場合、テスト用ポートP1001と導通するポート群が[P8,P1001]であり、テスト用ポートP1002と導通するポート群が[P10,P1002]であり、テスト用ポートP1003と導通するポート群が[P44,P1003]であり、テスト用ポートP1004と導通するポート群が[P5,P1,P1004]であり、テスト用ポートP1005と導通するポート群が[P20,P31,P1005]であるとの検査結果が得られる。
Fourth step:
In the fourth step, conduction between the plurality of wirings (151 to 155) of the substrate 15 mounted on the third jig 23 in the third step and the plurality of ports connected to the plurality of probe pins 2 of the jig 20 is performed. The state is inspected by the inspection unit 40. Specifically, the conduction state between the test ports (P1001 to P1005) connected to the wirings 151 to 155 of the substrate 15 and the plurality of ports connected to the plurality of probe pins 2 of the jig 20 is inspected. .
Thereby, in the test | inspection part 40, the information of the port group in a conduction | electrical_connection state is obtained as a test result. For example, in the case of FIG. 8, the port group that conducts with the test port P1001 is [P8, P1001], the port group that conducts with the test port P1002 is [P10, P1002], and the port that conducts with the test port P1003. The group is [P44, P1003], the port group conducting with the test port P1004 is [P5, P1, P1004], and the port group conducting with the test port P1005 is [P20, P31, P1005]. The test result is obtained.

第5工程:
第5工程では、第1工程において基板配線検査装置の第3治具23にセットされた基板15(図6)の配線151〜155のX座標成分を示す情報と、第2工程において得られた導通状態のポート群の情報とに基づいて、検査部40の複数のポートの各々がプローブ2を介して基板15と電気的に接触する位置のX座標成分が特定される。
例えば図7の場合、Y軸と平行な配線151のX座標成分が「x1」であることから、第2工程において配線151との導通が検出されたポート群(テスト用ポートP1001との導通が検出されたポート群)に属するポートP5,P8,P20は、X座標成分が「x1」の位置において基板15と電気的に接触することが分かる。
5th step:
In the fifth step, information indicating the X-coordinate components of the wirings 151 to 155 of the substrate 15 (FIG. 6) set in the third jig 23 of the substrate wiring inspection apparatus in the first step and obtained in the second step Based on the information of the port group in the conductive state, the X coordinate component of the position where each of the plurality of ports of the inspection unit 40 is in electrical contact with the substrate 15 via the probe 2 is specified.
For example, in the case of FIG. 7, since the X-coordinate component of the wiring 151 parallel to the Y axis is “x1”, the port group in which conduction with the wiring 151 is detected in the second step (conduction with the test port P1001 is It can be seen that the ports P5, P8, and P20 belonging to the detected port group are in electrical contact with the substrate 15 at the position where the X coordinate component is “x1”.

第6工程:
第6工程では、第3工程において基板配線検査装置の第3治具23にセットされた基板15(図6)の配線151〜155のY座標成分を示す情報と、第4工程において得られた導通状態のポート群の情報とに基づいて、検査部40の複数のポートの各々がプローブ2を介して基板15と電気的に接触する位置のY座標成分が特定される。
例えば図8の場合、X軸と平行な配線151のY座標成分が「y1」であることから、第4工程において配線151との導通が検出されたポート群(テスト用ポートP1001との導通が検出されたポート群)に属するポートP8は、Y座標成分が「y1」の位置において基板15と電気的に接触することが分かる。
Step 6:
In the sixth step, information indicating the Y coordinate components of the wirings 151 to 155 of the substrate 15 (FIG. 6) set in the third jig 23 of the substrate wiring inspection apparatus in the third step and obtained in the fourth step Based on the information of the port group in the conductive state, the Y coordinate component of the position where each of the plurality of ports of the inspection unit 40 is in electrical contact with the substrate 15 via the probe 2 is specified.
For example, in the case of FIG. 8, since the Y coordinate component of the wiring 151 parallel to the X axis is “y1”, the port group in which the conduction with the wiring 151 is detected in the fourth step (the conduction with the test port P1001 is It can be seen that the port P8 belonging to the detected port group) is in electrical contact with the substrate 15 at the position where the Y coordinate component is “y1”.

第5工程及び第6工程の結果を合わせることにより、検査部40の複数のポートの各々がプローブ2を介して基板15と電気的に接触する位置の座標(以下、単に「接触位置の座標」と記す場合がある)が特定される。例えば、ポートP8の接触位置の座標は(x1,y1)であり、ポートP31の接触位置の座標は(x4,y5)である。   By combining the results of the fifth step and the sixth step, the coordinates of the position at which each of the plurality of ports of the inspection unit 40 is in electrical contact with the substrate 15 via the probe 2 (hereinafter simply referred to as “contact position coordinates”). Is identified). For example, the coordinates of the contact position of the port P8 are (x1, y1), and the coordinates of the contact position of the port P31 are (x4, y5).

第7工程:
第5工程及び第6工程によって特定された各ポートの接触位置の座標は、テスト用の第3治具23を用いた場合の座標であることから、第7工程では、テスト用の第3治具23を用いた場合の座標を第1治具21を用いた場合の座標へ変換する処理が行われる。
すなわち、第3治具23を使用した場合に複数の導電部221の各々がプローブ2を介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標と、第1治具21を使用した場合に複数の導電部221の各々がプローブ2を介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標との対応関係を示す情報に基づいて、第5工程及び第6工程において特定された各ポートの接触位置の座標が、第3治具23の替わりに第1治具21を使用した場合に当該ポートがプローブ2を介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標へ変換される。
Step 7:
Since the coordinates of the contact position of each port specified in the fifth step and the sixth step are the coordinates when the third jig 23 for testing is used, in the seventh step, the third treatment for testing is performed. A process of converting the coordinates when using the tool 23 into the coordinates when using the first jig 21 is performed.
That is, when the third jig 23 is used, the coordinates of the position at which each of the plurality of conductive portions 221 is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe 2 and when the first jig 21 is used. Each port identified in the fifth step and the sixth step based on the information indicating the correspondence relationship between the coordinates of the position where each of the plurality of conductive portions 221 is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe 2 When the first jig 21 is used instead of the third jig 23, the contact position coordinates are converted into the coordinates of the position where the port is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe 2. .

図9は、第1治具21を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置と、テスト用の第3治具23を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置との対応関係を説明するための図である。図9において、点線の「○」はテスト用の第3治具23を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置を示し、実線の「○」は第1治具21を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置を示す。矢印で関係付けられた点線の「○」と実線の「○」は、同一の導電部221に接触したプローブ2の尖端の位置を示しており、尖端の位置が第1治具21を用いた場合と第3治具23を用いた場合とで異なることが表されている。
この図9に示すように、テスト用の第3治具23を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置(点線の「○」)は、第1治具21を用いた場合におけるプローブ2の尖端の位置(実線の「○」)と一対一に対応している。従って、第5工程及び第6工程の結果から点線の「○」の座標が判明すれば、予め把握されている上記一対一の対応関係に基づいて、実線の「○」の座標を特定することができる。
FIG. 9 is a view for explaining the correspondence between the position of the tip of the probe 2 when the first jig 21 is used and the position of the tip of the probe 2 when the third jig 23 for testing is used. FIG. In FIG. 9, the dotted line “◯” indicates the position of the tip of the probe 2 when the test third jig 23 is used, and the solid line “◯” indicates the probe 2 when the first jig 21 is used. Indicates the position of the tip of. The dotted line “◯” and the solid line “◯” associated with the arrows indicate the position of the tip of the probe 2 in contact with the same conductive part 221, and the position of the tip uses the first jig 21. It is shown that the case differs from the case where the third jig 23 is used.
As shown in FIG. 9, the position of the tip of the probe 2 (dotted line “◯”) when the third jig 23 for testing is used is the tip of the probe 2 when the first jig 21 is used. 1 to 1 (solid line “◯”). Therefore, if the coordinates of the dotted line “◯” are found from the results of the fifth step and the sixth step, the coordinates of the solid line “◯” are specified based on the one-to-one correspondence relationship previously grasped. Can do.

以上説明したように、本発明の実施形態に係る接触位置特定方法によれば、複数の直線状の配線(151〜155)が平行に並んで形成されたテスト用の基板15が基板配線検査装置にセットされて、これらの配線(151〜155)と検査信号の各ポートとの導通状態が検査される。この検査は、配線(151〜155)が基板装着面のY軸と平行になるように基板15が治具にセットされた場合と、配線(151〜155)が基板装着面のX軸と平行になるように基板15が治具にセットされた場合のそれぞれについて行われる。そして、配線(151〜155)をY軸と平行にした場合の検査結果に基づいて、各ポートが基板と電気的に接触する位置のX座標成分が特定され、配線(151〜155)をX軸と平行にした場合の検査結果に基づいて、各ポートが基板と電気的に接触する位置のY座標成分が特定される。
これにより、各プローブ2につながるケーブル3を端子部30の各ポートの端子に接続した後でも、各ポートが基板と電気的に接触する位置の座標を特定できるので、ケーブル3を端子部30の端子に接続する作業では、図14のような図面を参照する必要がなくなり、ケーブル3を任意の端子に接続すればよくなる。従って、ケーブル3の接続作業が従来に比べて格段に容易になり、作業時間を大幅に短縮できるとともに、作業者に要求される熟練度のしきいを下げることができる。しかも、ケーブル3の接続後の導通確認が不要になるため、作業時間を一層短縮できる。
As described above, according to the contact position specifying method according to the embodiment of the present invention, the test substrate 15 in which the plurality of linear wires (151 to 155) are formed in parallel is formed on the substrate wiring inspection apparatus. In this state, the continuity between these wirings (151 to 155) and each port of the inspection signal is inspected. This inspection is performed when the substrate 15 is set on the jig so that the wiring (151 to 155) is parallel to the Y axis of the substrate mounting surface, and when the wiring (151 to 155) is parallel to the X axis of the substrate mounting surface. This is performed for each of the cases where the substrate 15 is set on a jig. Then, based on the inspection result when the wires (151 to 155) are parallel to the Y axis, the X coordinate component of the position where each port is in electrical contact with the substrate is specified, and the wires (151 to 155) Based on the inspection result when parallel to the axis, the Y coordinate component of the position where each port is in electrical contact with the substrate is specified.
Thereby, even after the cable 3 connected to each probe 2 is connected to the terminal of each port of the terminal portion 30, the coordinates of the position where each port is in electrical contact with the substrate can be specified. In the operation of connecting to the terminal, it is not necessary to refer to the drawing as shown in FIG. 14, and the cable 3 may be connected to an arbitrary terminal. Therefore, the connection work of the cable 3 becomes much easier than in the prior art, the work time can be greatly reduced, and the skill level threshold required for the operator can be lowered. Moreover, since it is not necessary to check the continuity after the cable 3 is connected, the working time can be further reduced.

また、本発明の実施形態に係る接触位置特定方法によれば、テスト用の基板15の配線(151〜155)と検査信号の各ポートとの導通状態を検査する際に、テスト用の第3治具23が通常検査用の第1治具21の替わりに使用される。このテスト用の第3治具23では、基板装着面においてX軸と平行な直線並びにY軸と平行な直線を含んだ格子パターンの交点の位置に尖端が突き出るように複数のプローブ2が保持される。テスト用の基板15では、第3治具23の基板装着面に装着された際に所定の格子パターンの直線と重なる位置に、直線状の配線(151〜155)が形成される。
これにより、テスト用の基板15を第3治具23の基板装着面に装着させた場合に、この基板装着面において突き出る各プローブ2の尖端を基板15の配線(151〜155)と確実に接触させることができる。
In addition, according to the contact position specifying method according to the embodiment of the present invention, when testing the continuity between the wiring (151 to 155) of the test substrate 15 and each port of the test signal, the third test test is performed. The jig 23 is used instead of the first jig 21 for normal inspection. In the third jig 23 for testing, a plurality of probes 2 are held so that the tip ends protrude at the intersection of the lattice pattern including the straight line parallel to the X axis and the straight line parallel to the Y axis on the substrate mounting surface. The In the test substrate 15, linear wiring (151 to 155) is formed at a position that overlaps a straight line of a predetermined lattice pattern when mounted on the substrate mounting surface of the third jig 23.
As a result, when the test substrate 15 is mounted on the substrate mounting surface of the third jig 23, the tip of each probe 2 protruding on the substrate mounting surface reliably contacts the wiring (151 to 155) of the substrate 15. Can be made.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々のバリエーションを含んでいる。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, Various modifications are included.

図2に示す第1治具21では、一部のプローブ2が基板装着面に対して斜めに傾いて保持されているが、これは、基板10の微細な配線ピッチに比べて、バネ等を含む導電部221の配置間隔を広くする必要があるためである。しかしながら、導電部221の配置間隔を基板10の配線ピッチまで狭くできる場合には、例えば図10に示すように、第1治具21において各プローブ2を基板装着面に対し垂直に保持してもよい。   In the first jig 21 shown in FIG. 2, a part of the probes 2 is held obliquely with respect to the substrate mounting surface. This is because a spring or the like is compared with the fine wiring pitch of the substrate 10. This is because it is necessary to widen the interval between the conductive portions 221 to be included. However, when the arrangement interval of the conductive portions 221 can be reduced to the wiring pitch of the substrate 10, for example, as shown in FIG. 10, even if each probe 2 is held perpendicular to the substrate mounting surface in the first jig 21. Good.

この場合、第3治具23は、例えば図11に示すように、導電部221の配置間隔よりもピッチが広い格子パターンの交点へ各プローブ2の尖端がガイドされるように、任意のプローブ2を基板装着面に対して斜めに傾けて保持してもよい。これにより、導電部221の配置間隔が狭い場合でも、基板15の配線(151〜155)の幅を広くできるため、各プローブ2の尖端を基板15の配線(151〜155)に確実に接触させることができる。また、配線(151〜155)の幅を広げることにより、耐久性を高めることが可能となり、テスト用の基板15を他の治具の検査に繰り返し流用することが可能となる。   In this case, for example, as shown in FIG. 11, the third jig 23 is an arbitrary probe 2 so that the tip of each probe 2 is guided to the intersection of the lattice pattern whose pitch is wider than the arrangement interval of the conductive portions 221. May be held obliquely with respect to the substrate mounting surface. Thereby, even when the arrangement interval of the conductive portions 221 is narrow, the width of the wirings (151 to 155) of the substrate 15 can be increased, so that the tips of the probes 2 are surely brought into contact with the wirings (151 to 155) of the substrate 15. be able to. Further, by widening the width of the wirings (151 to 155), durability can be enhanced, and the test substrate 15 can be repeatedly used for inspection of other jigs.

また、図12の例に示す第1治具21は、一部のプローブ2を基板装着面に対して斜めに傾けて保持する点で図2に示す第1治具21と同様であるが、導電部221の配置間隔が図2の例に比べて狭くなっている。このような場合、第3治具23は、例えば図13に示すように、導電部221の配置間隔よりもピッチが広い格子パターンの交点へ各プローブ2の尖端がガイドされるように、任意のプローブ2を基板装着面に対して斜めに傾けて保持してもよい。   The first jig 21 shown in the example of FIG. 12 is the same as the first jig 21 shown in FIG. 2 in that a part of the probes 2 is held obliquely with respect to the substrate mounting surface. The arrangement interval of the conductive portions 221 is narrower than that in the example of FIG. In such a case, as shown in FIG. 13, for example, the third jig 23 may be arbitrarily connected so that the tip of each probe 2 is guided to the intersection of the lattice pattern whose pitch is wider than the arrangement interval of the conductive portions 221. The probe 2 may be held while being inclined with respect to the substrate mounting surface.

上述の実施形態に係る接触位置特定方法では、第1工程,第2工程で使用するテスト用基板15と第3工程,第4工程で使用するテスト用基板15とが同じものである例を挙げているが、本発明の他の実施形態では、これらに異なるテスト用基板を用いてもよい。   In the contact position specifying method according to the above-described embodiment, an example is given in which the test substrate 15 used in the first step and the second step is the same as the test substrate 15 used in the third step and the fourth step. However, in other embodiments of the present invention, different test substrates may be used.

図2において示す第1治具21,第2治具22の構成(板状部材の枚数、シート状部材有無や挿入する位置、プローブの種類や本数など)は一例であり、本発明はこれに限定されない。   The configurations of the first jig 21 and the second jig 22 shown in FIG. 2 (the number of plate-like members, the presence or absence of sheet-like members, the insertion position, the type and number of probes, etc.) are merely examples, and the present invention includes this. It is not limited.

上述した実施形態に係る接触位置特定方法において、第5工程〜第7工程の処理は、例えば次に述べるようにコンピュータを用いて実行してよい。   In the contact position specifying method according to the above-described embodiment, the processes of the fifth step to the seventh step may be executed using a computer as described below, for example.

(第5工程)
コンピュータの記憶部には、テスト用ポートの識別情報と、そのテスト用ポートに接続された基板15を第1工程において第3治具23にセットした場合における各配線(151〜155)のX座標成分の情報とを対応付けたテーブルTB1が予め記憶される。第5工程の処理では、第2工程において導通状態と判定された一のポート群の情報に含まれるテスト用ポートの識別情報に対応付けられたX座標成分が、上記のテーブルTB1から取得される。そして、当該取得されたX座標成分の情報が、当該一のポート群の情報に属する他のポートの座標情報としてコンピュータの記憶部に格納される。
(5th process)
The storage part of the computer stores the identification information of the test port and the X coordinate of each wiring (151 to 155) when the substrate 15 connected to the test port is set on the third jig 23 in the first step. A table TB1 in which component information is associated is stored in advance. In the process of the fifth step, the X coordinate component associated with the test port identification information included in the information of the one port group determined to be in the conductive state in the second step is acquired from the table TB1. . Then, the acquired information of the X coordinate component is stored in the storage unit of the computer as the coordinate information of other ports belonging to the information of the one port group.

(第6工程)
コンピュータの記憶部には、テスト用ポートの識別情報と、そのテスト用ポートに接続された基板15を第2工程において第3治具23にセットした場合における各配線(151〜155)のY座標成分の情報とを対応付けたテーブルTB2が予め記憶される。第6工程の処理では、第4工程において導通状態と判定された一のポート群の情報に含まれるテスト用ポートの識別情報に対応付けられたY座標成分が、上記のテーブルTB2から取得される。そして、当該取得されたY座標成分の情報が、当該一のポート群の情報に属する他のポートの座標情報としてコンピュータの記憶部に格納される。
(6th process)
In the storage unit of the computer, the identification information of the test port and the Y coordinate of each wiring (151 to 155) when the substrate 15 connected to the test port is set on the third jig 23 in the second step. A table TB2 in which component information is associated is stored in advance. In the process of the sixth step, the Y coordinate component associated with the test port identification information included in the information of the one port group determined to be in the conductive state in the fourth step is acquired from the table TB2. . Then, the acquired information of the Y coordinate component is stored in the storage unit of the computer as the coordinate information of other ports belonging to the information of the one port group.

(第7工程)
コンピュータの記憶部には、同一の導電部221に接触するプローブ2が第1治具21を使用した場合に基板に接触する位置の座標情報と第3治具23を使用した場合に基板に接触する位置の座標情報とを対応付けたテーブルTB3が予め記憶される。第5工程及び第6工程の結果としてコンピュータの記憶部に格納された各ポートの座標情報は、上記のテーブルTB3に基づいて、第3治具23の替わりに第1治具21を使用した場合のプローブ2の接触位置を示す座標情報に変換される。
(Seventh step)
In the storage part of the computer, the probe 2 in contact with the same conductive part 221 contacts the substrate when the first jig 21 is used and the coordinate information of the position in contact with the substrate when the third jig 23 is used. A table TB3 in which the coordinate information of the position to be associated is stored in advance. When the first jig 21 is used instead of the third jig 23, the coordinate information of each port stored in the storage unit of the computer as a result of the fifth process and the sixth process is based on the table TB3. Is converted into coordinate information indicating the contact position of the probe 2.

2,2A,2B…プローブ、3…ケーブル、10…検査用の基板、15…テスト用の基板、20…治具、21…第1治具、22…第2治具、23…第3治具、30…端子部、40…検査部、211〜214,220…板状部材、215,216…支柱、217…シート状部材、221…導電部、151〜155…テスト用配線   2, 2A, 2B ... probe, 3 ... cable, 10 ... substrate for inspection, 15 ... substrate for test, 20 ... jig, 21 ... first jig, 22 ... second jig, 23 ... third jig 30 ... terminal part 40 ... inspection part 211-214,220 ... plate member, 215,216 ... post, 217 ... sheet member, 221 ... conductive part, 151-155 ... test wiring

Claims (7)

検査対象の基板に接触する複数のプローブと検査信号を供給する複数のポートとが接続された配線検査装置を使用して前記基板の配線を検査するために、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して前記基板と電気的に接触する位置を特定する接触位置特定方法であって、
検査対象の基板が装着される前記配線検査装置の基板装着面には、第1座標軸と第2座標軸とに基づいた座標が定義されており、
複数の直線状の配線が平行に並んで形成されたテスト用基板を、当該複数の配線が前記第1座標軸と平行になるように向きを定めて前記配線検査装置の前記基板装着面にセットする第1工程と、
前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線と前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する第2工程と、
複数の直線状の配線が平行に並んで形成されたテスト用基板を、当該複数の配線が前記第2座標軸と平行になるように向きを定めて前記配線検査装置の前記基板装着面にセットする第3工程と、
前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の複数の配線と前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する第4工程と、
前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線の前記第2座標軸に対する座標成分を示す情報と、前記第2工程において前記複数のポートの各々と導通することが検出された前記テスト用基板の前記配線に関する情報とに基づいて、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の前記第2座標軸に対する座標成分を特定する第5工程と、
前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線の前記第1座標軸に対する座標成分を示す情報と、前記第4工程において前記複数のポートの各々と導通することが検出された前記テスト用基板の前記配線に関する情報とに基づいて、前記複数のポートの各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の前記第1座標軸に対する座標成分を特定する第6工程と、
を有する接触位置特定方法。
In order to inspect the wiring of the substrate using a wiring inspection apparatus in which a plurality of probes that contact a substrate to be inspected and a plurality of ports that supply inspection signals are connected, each of the plurality of ports includes the probe. A contact position specifying method for specifying a position in electrical contact with the substrate via
Coordinates based on the first coordinate axis and the second coordinate axis are defined on the board mounting surface of the wiring inspection apparatus on which the board to be inspected is mounted,
A test substrate on which a plurality of linear wirings are arranged in parallel is set on the substrate mounting surface of the wiring inspection apparatus with the orientation determined so that the plurality of wirings are parallel to the first coordinate axis. The first step;
A second step of inspecting a conduction state between the plurality of wirings and the plurality of ports of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step by the wiring inspection device;
A test substrate on which a plurality of linear wirings are arranged in parallel is oriented on the substrate mounting surface of the wiring inspection apparatus so that the plurality of wirings are oriented in parallel with the second coordinate axis. A third step;
A fourth step of inspecting a conduction state between the plurality of wirings and the plurality of ports of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step by the wiring inspection device;
Information indicating coordinate components with respect to the second coordinate axes of the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step, and conduction with each of the plurality of ports in the second step. On the basis of the information on the wiring of the test substrate in which the detection is detected, a coordinate component with respect to the second coordinate axis at a position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe. A fifth step to identify;
Information indicating coordinate components with respect to the first coordinate axis of the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step, and conduction with each of the plurality of ports in the fourth step. On the basis of the information on the wiring of the test substrate in which the detection is detected, the coordinate component with respect to the first coordinate axis at a position where each of the plurality of ports is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe. A sixth step to identify;
A method for specifying a contact position.
前記第1工程及び前記第3工程において前記基板装着面にセットされる前記テスト用基板の前記複数の配線は、前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとは異なる複数のテスト用のポートに接続されており、
前記第2工程では、前記第1工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線に接続された前記複数のテスト用ポートと前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査し、
前記第4工程では、前記第3工程において前記基板装着面にセットされた前記テスト用基板の前記複数の配線に接続された前記複数のテスト用ポートと前記複数のプローブに接続された前記複数のポートとの導通状態を前記配線検査装置によって検査する、
請求項1に記載の接触位置特定方法。
The plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step and the third step are a plurality of test ports different from the plurality of ports connected to the plurality of probes. Connected to
In the second step, the plurality of test ports connected to the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the first step and the plurality of ports connected to the plurality of probes. Inspect the continuity with the port by the wiring inspection device,
In the fourth step, the plurality of test ports connected to the plurality of wirings of the test substrate set on the substrate mounting surface in the third step and the plurality of probes connected to the plurality of probes. Inspecting the continuity with the port by the wiring inspection device,
The contact position specifying method according to claim 1.
前記複数のプローブは直線状に延びて形成されており、
前記配線検査装置は、
検査対象の基板に接触する前記複数のプローブの一端が突き出た前記基板装着面を有する第1治具と、
前記複数のプローブの他端に接触する複数の導電部であって、前記複数のポートと電気的に接続される複数の導電部を保持する第2治具と、
を備えており、
前記第1工程、前記第2工程、前記第3工程及び前記第4工程では、前記第1座標軸と平行な直線並びに前記第2座標軸と平行な直線を含む所定の格子パターンの交点において前記複数のプローブの前記一端が突き出た前記基板装着面を有する第3治具を前記第1治具の替わりに使用し、
前記テスト用基板の前記複数の配線は、前記第3治具の前記基板装着面に装着された場合に前記格子パターンの前記直線と重なる位置に形成される、
請求項1又は2に記載の接触位置特定方法。
The plurality of probes are formed to extend linearly,
The wiring inspection apparatus includes:
A first jig having the substrate mounting surface from which one end of the plurality of probes contacting the substrate to be inspected protrudes;
A second jig for holding a plurality of conductive portions that are in contact with the other ends of the plurality of probes and are electrically connected to the plurality of ports;
With
In the first step, the second step, the third step, and the fourth step, the plurality of points at intersections of a predetermined lattice pattern including a straight line parallel to the first coordinate axis and a straight line parallel to the second coordinate axis. A third jig having the substrate mounting surface from which the one end of the probe protrudes is used instead of the first jig,
The plurality of wirings of the test substrate are formed at positions that overlap the straight lines of the lattice pattern when mounted on the substrate mounting surface of the third jig.
The contact position specifying method according to claim 1 or 2.
前記第3治具を使用した場合に前記複数の導電部の各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標と、前記第1治具を使用した場合に前記複数の導電部の各々が前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標との対応関係を示す情報に基づいて、前記第5工程及び前記第6工程において特定された前記複数のポートの前記接触位置の座標を、前記第3治具の替わりに前記第1治具を使用した場合に前記複数のポートが前記プローブを介して検査対象の基板と電気的に接触する位置の座標へ変換する第7工程を有する、
請求項3に記載の接触位置特定方法。
When the third jig is used, the coordinates of the position where each of the plurality of conductive portions is in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe, and when the first jig is used, the plurality The plurality of specified parts in the fifth step and the sixth step based on information indicating a correspondence relationship between coordinates of a position where each of the conductive portions electrically contacts the substrate to be inspected via the probe. When the first jig is used instead of the third jig, the coordinates of the contact positions of the ports are the positions where the plurality of ports are in electrical contact with the substrate to be inspected via the probe. Having a seventh step of converting to coordinates;
The contact position specifying method according to claim 3.
前記第1治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持し、
前記第3治具は、前記複数のプローブを前記基板装着面に対して垂直に保持する、
請求項3又は4に記載の接触位置特定方法。
The first jig holds at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface,
The third jig holds the plurality of probes perpendicular to the substrate mounting surface;
The contact position specifying method according to claim 3 or 4.
前記第1治具は、前記複数のプローブを前記基板装着面に対して垂直に保持し、
前記第3治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持する、
請求項3又は4に記載の接触位置特定方法。
The first jig holds the plurality of probes perpendicular to the substrate mounting surface,
The third jig holds at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface;
The contact position specifying method according to claim 3 or 4.
前記第1治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾けて保持し、
前記第3治具は、前記複数のプローブの少なくとも一部を前記基板装着面に対して斜めに傾け、かつ、前記基板装着面における前記複数のプローブの前記一端の分布が前記第1治具と異なるように前記複数のプローブを保持する、
請求項3又は4に記載の接触位置特定方法。
The first jig holds at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface,
The third jig tilts at least a part of the plurality of probes obliquely with respect to the substrate mounting surface, and the distribution of the one end of the plurality of probes on the substrate mounting surface is the same as that of the first jig. Holding the plurality of probes differently,
The contact position specifying method according to claim 3 or 4.
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