JP2013011867A - Colored photosensitive resin composition - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。 The present invention relates to a colored photosensitive resin composition.
着色感光性樹脂組成物は、液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル等のディスプレイ装置に使用されるカラーフィルタの製造用に用いられている。このような着色感光性樹脂組成物としては、重合開始剤としてN−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミンのみを含む組成物が知られている(特許文献1)。 The colored photosensitive resin composition is used for manufacturing a color filter used in a display device such as a liquid crystal display panel, an electroluminescence panel, or a plasma display panel. As such a colored photosensitive resin composition, only N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine is used as a polymerization initiator. The composition containing this is known (patent document 1).
従来から知られる上記の着色感光性樹脂組成物では、パターン形成時の感度が必ずしも十分に満足できない場合があった。 Conventionally known colored photosensitive resin compositions described above may not always have sufficient sensitivity during pattern formation.
本発明は、以下の発明を含む。
[1]着色剤、樹脂、重合性化合物及び重合開始剤を含み、
着色剤が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と、キノフタロン顔料とを含み、
重合開始剤が、O−アシルオキシム化合物及びアルキルフェノン化合物を含む着色感光性樹脂組成物。
[2]重合開始剤が、さらにビイミダゾール化合物を含む重合開始剤である[1]記載の着色感光性樹脂組成物。
[3]さらに、チオール化合物を含む[1]又は[2]記載の着色感光性樹脂組成物。
[4][1]〜[3]のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物により形成されたカラーフィルタ。
[5][4]記載のカラーフィルタを含む表示装置。
The present invention includes the following inventions.
[1] including a colorant, a resin, a polymerizable compound, and a polymerization initiator,
The colorant comprises a zinc halide phthalocyanine pigment and a quinophthalone pigment;
A colored photosensitive resin composition, wherein the polymerization initiator includes an O-acyloxime compound and an alkylphenone compound.
[2] The colored photosensitive resin composition according to [1], wherein the polymerization initiator further includes a biimidazole compound.
[3] The colored photosensitive resin composition according to [1] or [2], further comprising a thiol compound.
[4] A color filter formed from the colored photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3].
[5] A display device including the color filter according to [4].
本発明によれば、パターン形成時の感度が高い着色感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition having high sensitivity during pattern formation.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)、樹脂(B)、重合性化合物(C)及び重合開始剤(D)を含み、着色剤(A)が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と、キノフタロン顔料とを含む着色剤であり、重合開始剤(D)が、O−アシルオキシム化合物及びアルキルフェノン化合物を含む重合開始剤である着色感光性樹脂組成物である。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a colorant (A), a resin (B), a polymerizable compound (C) and a polymerization initiator (D), and the colorant (A) is a halogenated zinc phthalocyanine pigment. And a quinophthalone pigment, and the polymerization initiator (D) is a colored photosensitive resin composition that is a polymerization initiator containing an O-acyloxime compound and an alkylphenone compound.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤(A)として、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)と、キノフタロン顔料(A2)とを含む。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and a quinophthalone pigment (A2) as a colorant (A).
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン化合物を含む顔料である。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン化合物は、配位子としてハロゲン原子を有するフタロシアニン化合物を有し、かつ中心金属として亜鉛を有する化合物であり、好ましくは、式(P)で表される化合物である。
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)におけるハロゲン化亜鉛フタロシアニン化合物の含有量は、50質量%以上が好ましく、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは90質量%以上である。特に、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)としては、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン化合物のみからなることが好ましい。
The halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) is a pigment containing a halogenated zinc phthalocyanine compound. The halogenated zinc phthalocyanine compound is a compound having a phthalocyanine compound having a halogen atom as a ligand and having zinc as a central metal, and is preferably a compound represented by the formula (P).
The content of the halogenated zinc phthalocyanine compound in the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and further preferably 90% by mass or more. In particular, the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) is preferably composed only of a halogenated zinc phthalocyanine compound.
[式(P)中、A1〜A16は、互いに独立に、水素原子、塩素原子又は臭素原子を表し、少なくとも1つは塩素原子又は臭素原子を表す。] [In Formula (P), A 1 to A 16 independently represent a hydrogen atom, a chlorine atom, or a bromine atom, and at least one represents a chlorine atom or a bromine atom. ]
A1〜A16のうち、0〜6個が塩素原子で、10〜16個が臭素原子であり、かつ塩素原子の数と臭素原子の数との和が10〜16個であることが好ましく、0〜3個が塩素原子で、13〜16個が臭素原子であり、かつ塩素原子の数と臭素原子の数との和が13〜16個であることがより好ましく、1〜3個が塩素原子で、13〜15個が臭素原子であり、かつ塩素原子の数と臭素原子の数との和が14〜16個であることがさらに好ましい。 Among A 1 to A 16 , 0 to 6 are preferably chlorine atoms, 10 to 16 are bromine atoms, and the sum of the number of chlorine atoms and the number of bromine atoms is preferably 10 to 16 More preferably, 0-3 are chlorine atoms, 13-16 are bromine atoms, and the sum of the number of chlorine atoms and the number of bromine atoms is 13-16, More preferably, 13 to 15 chlorine atoms are bromine atoms, and the sum of the number of chlorine atoms and the number of bromine atoms is 14 to 16.
置換基の数が前記の範囲にあると、色相がより黄味になり、カラーフィルタとした時に色再現範囲を下げることなく明度が高くなることから好ましい。
好ましいハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料としては、例えば、C.I.ピグメントグリーン58が挙げられる。
When the number of substituents is in the above range, the hue becomes yellowish, and the brightness becomes high without lowering the color reproduction range when a color filter is formed.
Preferred examples of the halogenated zinc phthalocyanine pigment include C.I. I. And CI Pigment Green 58.
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)は、例えば、特開2007−284589号、特開2007−284592号、特開2007−291232号、特開2007−320986号、特開2008−19383号等の公報に記載されている方法により製造することができる。 Examples of the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) include those disclosed in JP 2007-284589, JP 2007-284592, JP 2007-291232, JP 2007-320986, and JP 2008-19383. It can be produced by the method described.
キノフタロン顔料(A2)は、キノフタロン化合物を含む顔料である。キノフタロン化合物は、好ましくは式(Q)で表される化合物である。
キノフタロン顔料(A2)におけるキノフタロン化合物の含有量は、50質量%以上が好ましく、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは90質量%以上である。特に、キノフタロン顔料(A2)としては、キノフタロン化合物のみからなることが好ましい。
The quinophthalone pigment (A2) is a pigment containing a quinophthalone compound. The quinophthalone compound is preferably a compound represented by the formula (Q).
The content of the quinophthalone compound in the quinophthalone pigment (A2) is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and further preferably 90% by mass or more. In particular, the quinophthalone pigment (A2) is preferably composed only of a quinophthalone compound.
[式(Q2)中、X1〜X8は、互いに独立に、水素原子、ハロゲン原子又は炭素数1〜6のアルキル基を表す。]
ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数1〜6のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。
顔料の入手が容易である点及び得られるカラーフィルタの明度の点で、X1〜X8は、互いに独立に、塩素原子又は臭素原子であることが好ましく、全て塩素原子であることがより好ましい。
好ましいキノフタロン顔料(A2)としては、例えば、C.I.ピグメントイエロー138が挙げられる。
[In Formula (Q2), X 1 to X 8 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
As a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, etc. are mentioned, for example.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a pentyl group, and a hexyl group.
X 1 to X 8 are each independently a chlorine atom or a bromine atom, more preferably a chlorine atom, from the viewpoint of easy availability of the pigment and the brightness of the obtained color filter. .
Preferred examples of the quinophthalone pigment (A2) include C.I. I. And CI Pigment Yellow 138.
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水等による洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法等による除去処理等が施されていてもよい。
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)は、粒径がそれぞれ均一であることが好ましい。
The halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2) are optionally treated with a rosin treatment, a surface treatment using a pigment derivative having an acidic group or a basic group introduced, a pigment surface with a polymer compound, etc. May be subjected to a grafting process, an atomization process using a sulfuric acid atomization method, or a cleaning process using an organic solvent or water for removing impurities, an ion exchange method for removing ionic impurities, or the like. .
The halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2) preferably have uniform particle sizes.
これらの顔料は、顔料分散剤を含有させて分散処理を行うことで、顔料分散剤溶液の中で均一に分散した状態の顔料分散液とすることができる。ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)は、それぞれ別に分散処理してもよいし、両者を混合して分散処理してもよい。 These pigments can be made into a pigment dispersion in a state of being uniformly dispersed in the pigment dispersant solution by carrying out a dispersion treatment by containing a pigment dispersant. The halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2) may be dispersed separately, or both may be mixed and dispersed.
前記顔料分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系等の顔料分散剤等が挙げられる。これらの顔料分散剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。顔料分散剤としては、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、フローレン(共栄社化学(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(CIBA社製)、アジスパー(味の素ファインテクノ(株)製)、Disperbyk(ビックケミー社製)などが挙げられる。
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料100質量部に対して、好ましくは100質量部以下であり、より好ましくは5質量部以上50質量部以下である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向がある
Examples of the pigment dispersant include cationic, anionic, nonionic, amphoteric, polyester, polyamine, and acrylic pigment dispersants. These pigment dispersants may be used alone or in combination of two or more. Examples of the pigment dispersant include KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Floren (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by CIBA), and Ajispur (Ajinomoto Fine). (Techno Co., Ltd.), Disperbyk (Bic Chemie) and the like.
When the pigment dispersant is used, the amount used is preferably 100 parts by mass or less, more preferably 5 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the pigment. When the amount of the pigment dispersant used is within the above range, a pigment dispersion liquid in a uniform dispersion state tends to be obtained.
本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤(A)は、さらに、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)とは異なる顔料(A3)を含んでもよいが、実質的に含まないことが好ましい。 The colorant (A) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain a pigment (A3) different from the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2). It is preferable not to include.
顔料(A3)としては、具体的には、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colouri
sts出版)でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、例えばC.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等の黄色顔料;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等のオレンジ色の顔料;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等の赤色顔料;
C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60等の青色顔料;
C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38等のバイオレット色顔料;
C.I.ピグメントグリーン7、36等の緑色顔料;
C.I.ピグメントブラウン23、25等のブラウン色顔料;
C.I.ピグメントブラック1、7等の黒色顔料等が挙げられる。
As the pigment (A3), specifically, the color index (The Society of Dyers and Colouri
compounds classified as pigments by sts publication). Specifically, for example, C.I. I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 139, 147, Yellow pigments such as 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214;
C. I. Orange pigments such as CI Pigment Orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73;
C. I. Red pigments such as CI Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265;
C. I. Blue pigments such as CI Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 60;
C. I. Violet color pigments such as CI Pigment Violet 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38;
C. I. Green pigments such as CI Pigment Green 7 and 36;
C. I. Brown pigments such as CI Pigment Brown 23 and 25;
C. I. And black pigments such as CI Pigment Black 1 and 7.
中でも、C.I.ピグメントイエロー139、150、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6及びC.I.ピグメントグリーン7、36が好ましい。これらの顔料は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
顔料(A3)は、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)と同様に、分散処理を行うことが好ましい。
Among them, C.I. I. Pigment yellow 139, 150, C.I. I. Pigment blue 15: 3, 15: 6 and C.I. I. Pigment Green 7 and 36 are preferable. These pigments may be used alone or in combination of two or more.
The pigment (A3) is preferably subjected to a dispersion treatment in the same manner as the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2).
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)の含有量は、着色剤(A)に対して、20〜95質量%が好ましく、30〜90質量%がより好ましい。
キノフタロン顔料(A2)の含有量は、着色剤(A)に対して、5〜80質量%が好ましく、10〜70質量%がより好ましい。
ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(A1)及びキノフタロン顔料(A2)の含有量が前記の範囲にあると、得られるカラーフィルタは、コントラスト、明度、耐熱性、耐薬品性に優れる傾向がある。
The content of the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) is preferably 20 to 95% by mass and more preferably 30 to 90% by mass with respect to the colorant (A).
5-80 mass% is preferable with respect to a coloring agent (A), and, as for content of a quinophthalone pigment (A2), 10-70 mass% is more preferable.
When the content of the halogenated zinc phthalocyanine pigment (A1) and the quinophthalone pigment (A2) is in the above range, the resulting color filter tends to be excellent in contrast, brightness, heat resistance, and chemical resistance.
着色剤(A)の合計量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは20〜50質量%、より好ましくは25〜45質量%である。 The total amount of the colorant (A) is preferably 20 to 50% by mass, more preferably 25 to 45% by mass, based on the solid content of the colored photosensitive resin composition.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、樹脂(B)を含む。樹脂(B)としては、特に限定されないが、アルカリ可溶性樹脂であることが好ましい。樹脂(B)としては、以下の樹脂[K1]〜[K6]等が挙げられる。
樹脂[K1]不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも1種(a)(以下「(a)」という場合がある)と、炭素数2〜4の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b)(以下「(b)」という場合がある)との共重合体。
樹脂[K2](a)と(b)と、(a)と共重合可能な単量体(c)(ただし、(a)及び(b)とは異なる。)(以下「(c)」という場合がある)との共重合体
樹脂[K3](a)と(c)との共重合体
樹脂[K4](a)と(c)との共重合体に(b)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K5](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させて得られる樹脂。
樹脂[K6](b)と(c)との共重合体に(a)を反応させ、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a resin (B). Although it does not specifically limit as resin (B), It is preferable that it is alkali-soluble resin. Examples of the resin (B) include the following resins [K1] to [K6].
Resin [K1] At least one (a) selected from the group consisting of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid anhydride (hereinafter sometimes referred to as “(a)”), and a cyclic ether structure having 2 to 4 carbon atoms And a monomer (b) (hereinafter sometimes referred to as “(b)”) having an ethylenically unsaturated bond.
Resin [K2] (a) and (b), monomer (c) copolymerizable with (a) (however, different from (a) and (b)) (hereinafter referred to as “(c)”) Copolymer with Resin [K3] (a) and (c) Resin [K4] Obtained by reacting (b) with copolymer of (a) and (c) Resin.
Resin [K5] A resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c).
Resin [K6] A resin obtained by reacting (a) with a copolymer of (b) and (c) and further reacting with a carboxylic acid anhydride.
(a)としては、具体的には、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、o−、m−、p−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、3−ビニルフタル酸、4−ビニルフタル酸、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、1、4−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類;
メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、5−カルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシ−6−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類;
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等の不飽和ジカルボン酸類無水物;
Specific examples of (a) include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, o-, m-, and p-vinylbenzoic acid;
Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, 3-vinylphthalic acid, 4-vinylphthalic acid, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic acid, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic acid, dimethyl Unsaturated dicarboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid and 1,4-cyclohexene dicarboxylic acid;
Methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo Bicyclounsaturated compounds containing a carboxy group such as [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene;
Maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1,2,3,6- Unsaturated dicarboxylic acid anhydrides such as tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride);
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイルオキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔(メタ)アクリロイルオキシアルキル〕エステル類;
α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性の点やアルカリ水溶液への溶解性の点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
Unsaturated mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Kind;
Examples thereof include unsaturated acrylates containing a hydroxy group and a carboxy group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid.
Among these, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride and the like are preferable from the viewpoint of copolymerization reactivity and solubility in an aqueous alkali solution.
(b)は、例えば、炭素数2〜4の環状エーテル構造(例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環(オキソラン環)からなる群から選ばれる少なくとも1種)とエチレン性不飽和結合とを有する重合性化合物をいう。(b)は、炭素数2〜4の環状エーテルと(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。
尚、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも1種を表す。「(メタ)アクリロイル」及び「(メタ)アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
(B) has, for example, a C2-C4 cyclic ether structure (for example, at least one selected from the group consisting of an oxirane ring, an oxetane ring and a tetrahydrofuran ring (oxolane ring)) and an ethylenically unsaturated bond. It refers to a polymerizable compound. (B) is preferably a monomer having a C2-C4 cyclic ether and a (meth) acryloyloxy group.
In the present specification, “(meth) acrylic acid” represents at least one selected from the group consisting of acrylic acid and methacrylic acid. Notations such as “(meth) acryloyl” and “(meth) acrylate” have the same meaning.
(b)としては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(a1)(以下「(b1)」という場合がある)、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)(以下「(b2)」という場合がある)、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)(以下「(b3)」という場合がある)等が挙げられる。 Examples of (b) include a monomer (a1) having an oxiranyl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b1)”), and a single monomer having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond. Monomer (b2) (hereinafter sometimes referred to as “(b2)”), monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond (hereinafter sometimes referred to as “(b3)”), etc. Can be mentioned.
(b1)は、例えば、不飽和脂肪族炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−1)(以下「(b1−1)」という場合がある)、不飽和脂環式炭化水素をエポキシ化した構造を有する単量体(b1−2)(以下「(b1−2)」という場合がある)が挙げられる。 (B1) is, for example, a monomer (b1-1) having a structure obtained by epoxidizing an unsaturated aliphatic hydrocarbon (hereinafter sometimes referred to as “(b1-1)”), an unsaturated alicyclic hydrocarbon And a monomer (b1-2) (hereinafter sometimes referred to as “(b1-2)”) having an epoxidized structure.
(b1−1)としては、グリシジル(メタ)アクリレート、β−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、β−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルビニルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−p−ビニルベンジルグリシジルエーテル、2,3−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,5−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,6−ビス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,4−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,3,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、3,4,5−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン、2,4,6−トリス(グリシジルオキシメチル)スチレン等が挙げられる。 As (b1-1), glycidyl (meth) acrylate, β-methylglycidyl (meth) acrylate, β-ethylglycidyl (meth) acrylate, glycidyl vinyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p -Vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-o-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-m-vinylbenzyl glycidyl ether, α-methyl-p-vinylbenzyl glycidyl ether, 2,3-bis (glycidyloxymethyl) styrene 2,4-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,5-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,6-bis (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,4-tris (glycidyloxymethyl) styrene 2,3,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,3,6-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 3,4,5-tris (glycidyloxymethyl) styrene, 2,4,6- Examples include tris (glycidyloxymethyl) styrene.
(b1−2)としては、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、1,2−エポキシ−4−ビニルシクロヘキサン(例えば、セロキサイド2000;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーA400;ダイセル化学工業(株)製)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート(例えば、サイクロマーM100;ダイセル化学工業(株)製)、式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物等が挙げられる。 Examples of (b1-2) include vinylcyclohexene monooxide, 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane (for example, Celoxide 2000; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate ( For example, Cyclomer A400 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate (for example, Cyclomer M100; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), represented by formula (I) Examples thereof include compounds and compounds represented by formula (II).
[式(I)及び式(II)中、Ra及びRbは、互いに独立に、水素原子、又は炭素数1〜4のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Xa及びXbは、互いに独立に、単結合、−Rc−、*−Rc−O−、*−Rc−S−、*−Rc−NH−を表す。
Rcは、炭素数1〜6のアルカンジイル基を表す。
*は、Oとの結合手を表す。]
[In Formula (I) and Formula (II), R a and R b each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the alkyl group is a hydroxy group May be substituted.
X a and X b are each independently a single bond, -R c -, * - R c -O -, * - R c -S -, * - represents the R c -NH-.
R c represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* Represents a bond with O. ]
炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。
水素原子がヒドロキシで置換されたアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基、1−ヒドロキシプロピル基、2−ヒドロキシプロピル基、3−ヒドロキシプロピル基、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、2−ヒドロキシ−1−メチルエチル基、1−ヒドロキシブチル基、2−ヒドロキシブチル基、3−ヒドロキシブチル基、4−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Ra及びRbとしては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、1−ヒドロキシエチル基、2−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group.
Examples of the alkyl group in which a hydrogen atom is substituted with hydroxy include hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxypropyl group, 2-hydroxypropyl group, 3-hydroxypropyl group, 1-hydroxy Examples include a -1-methylethyl group, a 2-hydroxy-1-methylethyl group, a 1-hydroxybutyl group, a 2-hydroxybutyl group, a 3-hydroxybutyl group, and a 4-hydroxybutyl group.
R a and R b are preferably a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, a 1-hydroxyethyl group and a 2-hydroxyethyl group, more preferably a hydrogen atom and a methyl group.
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−1,2−ジイル基、プロパン−1,3−ジイル基、ブタン−1,4−ジイル基、ペンタン−1,5−ジイル基、ヘキサン−1,6−ジイル基等が挙げられる。
Xa及びXbとしては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、*−CH2−O−(*はOとの結合手を表す)基、*−CH2CH2−O−基が挙げられ、より好ましくは単結合、*−CH2CH2−O−基が挙げられる。
Examples of alkanediyl groups include methylene group, ethylene group, propane-1,2-diyl group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane- Examples include 1,6-diyl group.
X a and X b are preferably a single bond, a methylene group, an ethylene group, * —CH 2 —O— (* represents a bond to O) group, or * —CH 2 CH 2 —O— group. More preferably, a single bond and a * —CH 2 CH 2 —O— group are mentioned.
式(I)で表される化合物としては、式(I−1)〜式(I−15)で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式(I−1)、式(I−3)、式(I−5)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−11)〜式(I−15)が挙げられる。より好ましくは式(I−1)、式(I−7)、式(I−9)、式(I−15)が挙げられる。 Examples of the compound represented by the formula (I) include compounds represented by the formula (I-1) to the formula (I-15). Preferably Formula (I-1), Formula (I-3), Formula (I-5), Formula (I-7), Formula (I-9), Formula (I-11) to Formula (I-15) Is mentioned. More preferably, Formula (I-1), Formula (I-7), Formula (I-9), and Formula (I-15) are mentioned.
式(II)で表される化合物としては、式(II−1)〜式(II−15)で表される化合物等が挙げられる。好ましくは式(II−1)、式(II−3)、式(II−5)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−11)〜式(II−15)が挙げられる。より好ましくは式(II−1)、式(II−7)、式(II−9)、式(II−15)が挙げられる。 Examples of the compound represented by the formula (II) include compounds represented by the formula (II-1) to the formula (II-15). Preferably Formula (II-1), Formula (II-3), Formula (II-5), Formula (II-7), Formula (II-9), Formula (II-11) to Formula (II-15) Is mentioned. More preferably, Formula (II-1), Formula (II-7), Formula (II-9), and Formula (II-15) are mentioned.
式(I)で表される化合物及び式(II)で表される化合物は、それぞれ単独で用いることができる。また、それらは、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式(I):式(II)で、5:95〜95:5、より好ましくは10:90〜90:10、さらに好ましくは20:80〜80:20である。 The compound represented by the formula (I) and the compound represented by the formula (II) can be used alone. They can also be mixed in any ratio. When mixing, the mixing ratio is a molar ratio, preferably 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 to 90:10, and still more preferably 20:80 in the formula (I): formula (II). ~ 80: 20.
オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b2)としては、オキセタニル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。(b2)としては、3−メチル−3−メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロイルオキシメチルオキセタン、3−メチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3−メチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、3−エチル−3−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。 As the monomer (b2) having an oxetanyl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having an oxetanyl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. (B2) includes 3-methyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-methyl-3-acryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxymethyloxetane , 3-methyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloyloxyethyl oxetane, and the like.
テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体(b3)としては、テトラヒドロフリル基と(メタ)アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。(b3)としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート(例えば、ビスコートV#150、大阪有機化学工業(株)製)、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。 As the monomer (b3) having a tetrahydrofuryl group and an ethylenically unsaturated bond, a monomer having a tetrahydrofuryl group and a (meth) acryloyloxy group is more preferable. Specific examples of (b3) include tetrahydrofurfuryl acrylate (for example, Biscoat V # 150, manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), tetrahydrofurfuryl methacrylate, and the like.
(c)としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート」といわれている。また、「トリシクロデシル(メタ)アクリレート」という場合がある。)、トリシクロ[5.2.1.02,6]デセン−8−イル(メタ)アクリレート(当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート」といわれている。)、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、プロパルギル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;
2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ基含有(メタ)アクリル酸エステル類;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル;
Examples of (c) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth). Acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate (in this technical field, it is called “dicyclopentanyl (meth) acrylate” as a common name. In the case of “tricyclodecyl (meth) acrylate”) There is a bird) Black (in the art, it is said that "dicyclopentenyl (meth) acrylate" as trivial name.) [5.2.1.0 2,6] decene-8-yl (meth) acrylate, dicyclopenta Nyloxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, propargyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, etc. (Meth) acrylic acid esters of
Hydroxy group-containing (meth) acrylic acid esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;
Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジヒドロキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(ヒドロキシメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジ(2’−ヒドロキシエチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジエトキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシ−5−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ヒドロキシメチル−5−メチルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−tert−ブトキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−フェノキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(tert−ブトキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ビス(シクロヘキシルオキシカルボニル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等のビシクロ不飽和化合物類; Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] Hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dihydroxybicyclo [2.2 .1] Hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2′-hydroxyethyl) bicyclo [2.2. 1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2. .1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohexyloxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bis (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-bis (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene Bicyclo unsaturated compounds;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類; N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -Dicarbonylimide derivatives such as maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性及び耐熱性の点から、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレート、スチレン、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン等が好ましい。また、パターン形成時の現像性に優れることから、ベンジル(メタ)アクリレート、トリシクロデシル(メタ)アクリレートがより好ましい。
Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyl toluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, vinyl acetate, 1,3-butadiene , Isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene and the like.
Of these, benzyl (meth) acrylate, tricyclodecyl (meth) acrylate, styrene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, bicyclo [2. 2.1] hept-2-ene and the like are preferable. Moreover, since it is excellent in the developability at the time of pattern formation, benzyl (meth) acrylate and tricyclodecyl (meth) acrylate are more preferable.
樹脂[K1]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K1]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)に由来する構造単位;2〜50モル%(より好ましくは10〜45モル%)
(b)に由来する構造単位;50〜98モル%(より好ましくは55〜90モル%)
樹脂[K1]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性に優れる傾向がある。
In the resin [K1], the ratio of the structural units derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the resin [K1].
Structural unit derived from (a); 2 to 50 mol% (more preferably 10 to 45 mol%)
Structural unit derived from (b); 50 to 98 mol% (more preferably 55 to 90 mol%)
When the ratio of the structural unit of the resin [K1] is in the above range, the storage stability, developability, and solvent resistance of the resulting pattern tend to be excellent.
樹脂[K1]は、例えば、文献「高分子合成の実験法」(大津隆行著 発行所(株)化学同人 第1版第1刷 1972年3月1日発行)に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。 The resin [K1] is, for example, a method described in the document “Experimental Method for Polymer Synthesis” (Takayuki Otsu, published by Kagaku Dojin Co., Ltd., First Edition, First Edition, issued March 1, 1972) and the document Can be produced with reference to the cited references described in 1.
具体的には、(a)及び(b)の所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で、攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物(2,2′−アゾビスイソブチロニトリル、2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)等)や有機過酸化物(ベンゾイルペルオキシド等)が挙げられ、溶剤としては、各モノマーを溶解するものであればよく、着色感光性樹脂組成物の溶剤として後述する溶剤(E)等を用いることができる。 Specifically, a predetermined amount of (a) and (b), a polymerization initiator, a solvent, and the like are charged into a reaction vessel, and stirred, heated, and kept warm in a deoxygenated atmosphere. In addition, the polymerization initiator, the solvent, and the like used here are not particularly limited, and any of those usually used in the field can be used. For example, as polymerization initiators, azo compounds (2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), etc.) and organic peroxides (benzoyl peroxide, etc.) As the solvent, any solvent capable of dissolving each monomer may be used, and a solvent (E) described later can be used as a solvent for the colored photosensitive resin composition.
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、後述する溶剤(E)を使用することにより、反応後の溶液をそのまま使用することができ、製造工程を簡略化することができる。 In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, a concentrated or diluted solution may be used, and it took out as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. Things may be used. In particular, by using a solvent (E) described later as a solvent in the polymerization, the solution after the reaction can be used as it is, and the manufacturing process can be simplified.
樹脂[K2]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K2]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)に由来する構造単位;4〜45モル%(より好ましくは10〜30モル%)
(b)に由来する構造単位;2〜95モル%(より好ましくは5〜80モル%)
(c)に由来する構造単位;1〜65モル%(より好ましくは5〜60モル%)
樹脂[K2]の構造単位の比率が、上記の範囲にあると、保存安定性、現像性、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
In the resin [K2], the ratio of the structural units derived from each is preferably within the following range among all the structural units constituting the resin [K2].
Structural unit derived from (a); 4-45 mol% (more preferably 10-30 mol%)
Structural unit derived from (b); 2-95 mol% (more preferably 5-80 mol%)
Structural unit derived from (c); 1 to 65 mol% (more preferably 5 to 60 mol%)
When the ratio of the structural unit of the resin [K2] is in the above range, the storage stability, developability, solvent resistance of the resulting pattern, heat resistance, and mechanical strength tend to be excellent.
樹脂[K2]は、例えば、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
具体的には、(a)、(b)及び(c)の所定量、重合開始剤及び溶剤を反応容器中に仕込んで、脱酸素雰囲気下で、攪拌、加熱、保温する方法が挙げられる。得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
Resin [K2] can be produced, for example, in the same manner as the method described as the production method of resin [K1].
Specifically, a predetermined amount of (a), (b) and (c), a polymerization initiator, and a solvent are charged into a reaction vessel, and the mixture is stirred, heated and kept warm in a deoxygenated atmosphere. As the obtained copolymer, the solution after the reaction may be used as it is, a concentrated or diluted solution may be used, or a solid (powder) taken out by a method such as reprecipitation. May be used.
樹脂[K3]において、それぞれに由来する構造単位の比率は、樹脂[K3]を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)2〜55モル%、より好ましくは10〜50モル%
(c)45〜98モル%、より好ましくは50〜90モル%
樹脂[K3]は、例えば、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造することができる。
In the resin [K3], the ratio of the structural unit derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the resin [K3].
(A) 2 to 55 mol%, more preferably 10 to 50 mol%
(C) 45-98 mol%, more preferably 50-90 mol%
Resin [K3] can be produced, for example, in the same manner as described for the production method of resin [K1].
樹脂[K4]は、(a)と(c)との共重合体を得て、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを(a)が有するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物に付加させることにより製造することができる。
まず(a)と(c)との共重合体を、樹脂[K1]の製造方法として記載した方法と同様に製造する。この場合、それぞれに由来する構造単位の比率は、(a)と(c)との共重合体を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
(a)5〜50モル%、より好ましくは10〜45モル%
(c)50〜95モル%、より好ましくは55〜90モル%
Resin [K4] obtains a copolymer of (a) and (c), and (a) has a carboxylic acid and / or carboxylic acid anhydride having (a) a cyclic ether having 2 to 4 carbon atoms that (b) has It can manufacture by adding to.
First, a copolymer of (a) and (c) is produced in the same manner as described in the method for producing resin [K1]. In this case, the ratio of the structural units derived from each is preferably in the following range among all the structural units constituting the copolymer of (a) and (c).
(A) 5 to 50 mol%, more preferably 10 to 45 mol%
(C) 50 to 95 mol%, more preferably 55 to 90 mol%
次に、前記共重合体中の(a)に由来するカルボン酸及び/又はカルボン酸無水物の一部に、(b)が有する炭素数2〜4の環状エーテルを反応させる。
(a)と(c)との共重合体の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、(b)、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒(例えばトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等)及び重合禁止剤(例えばハイドロキノン等)等をフラスコ内に入れて、例えば、60〜130℃で、1〜10時間反応することにより、樹脂[K4]を得ることができる。
(b)の使用量は、(a)100モルに対して、5〜80モルが好ましく、より好ましくは10〜75モルである。この範囲とすることにより、保存安定性、現像性、耐溶剤性、耐熱性、機械強度及び感度のバランスが良好になる傾向がある。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K4]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
前記反応触媒の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。前記重合禁止剤の使用量は、(a)、(b)及び(c)の合計量に対して0.001〜5質量%が好ましい。
仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
Next, the C2-C4 cyclic ether which (b) has is reacted with a part of the carboxylic acid and / or carboxylic anhydride derived from (a) in the copolymer.
Subsequent to the production of the copolymer of (a) and (c), the atmosphere in the flask is replaced from nitrogen to air, and (b) a reaction catalyst of carboxylic acid or carboxylic anhydride and cyclic ether (for example, tris ( (Dimethylaminomethyl) phenol and the like) and a polymerization inhibitor (for example, hydroquinone and the like) are placed in a flask and reacted at, for example, 60 to 130 ° C. for 1 to 10 hours to obtain a resin [K4]. .
The amount of (b) used is preferably 5 to 80 mol, more preferably 10 to 75 mol, per 100 mol of (a). By setting it as this range, there exists a tendency for the balance of storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, mechanical strength, and sensitivity to become favorable. Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K4], and (b1-1) is more preferable.
The amount of the reaction catalyst used is preferably 0.001 to 5 mass% with respect to the total amount of (a), (b) and (c). The amount of the polymerization inhibitor used is preferably 0.001 to 5% by mass with respect to the total amount of (a), (b) and (c).
The reaction conditions such as the charging method, reaction temperature, and time can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment and the amount of heat generated by polymerization. In addition, like the polymerization conditions, the charging method and the reaction temperature can be appropriately adjusted in consideration of the production equipment, the amount of heat generated by the polymerization, and the like.
樹脂[K5]は、第一段階として、上述した樹脂[K1]の製造方法と同様にして、(b)と(c)との共重合体を得る。上記と同様に、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体(粉体)として取り出したものを使用してもよい。
(b)及び(c)に由来する構造単位の比率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲にあることが好ましい。
(b)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
(c)に由来する構造単位;5〜95モル%(より好ましくは10〜90モル%)
Resin [K5] obtains a copolymer of (b) and (c) as a first step in the same manner as in the method for producing resin [K1] described above. Similarly to the above, the obtained copolymer may be used as it is after the reaction, or may be a concentrated or diluted solution, or may be solid (powder) by a method such as reprecipitation. You may use what was taken out as.
The ratio of the structural units derived from (b) and (c) is preferably in the following range with respect to the total number of moles of all structural units constituting the copolymer.
Structural unit derived from (b); 5-95 mol% (more preferably 10-90 mol%)
Structural unit derived from (c); 5-95 mol% (more preferably 10-90 mol%)
さらに、樹脂[K4]の製造方法と同様の条件で、(b)と(c)との共重合体が有する(b)に由来する環状エーテルに、(a)が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより、樹脂[K5]を得ることができる。
前記の共重合体に反応させる(a)の使用量は、(b)100モルに対して、5〜80モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の(b)が残存しにくいことから、樹脂[K5]に用いる(b)としては(b1)が好ましく、さらに(b1−1)が好ましい。
Further, under the same conditions as in the method for producing the resin [K4], the cyclic ether derived from (b) of the copolymer of (b) and (c) is added to the carboxylic acid or carboxylic acid anhydride of (a). Resin [K5] can be obtained by reacting the product.
As for the usage-amount of (a) made to react with the said copolymer, 5-80 mol is preferable with respect to 100 mol of (b). Since the reactivity of the cyclic ether is high and unreacted (b) hardly remains, (b1) is preferable as (b) used for the resin [K5], and (b1-1) is more preferable.
樹脂[K6]は、樹脂[K5]に、さらにカルボン酸無水物を反応させた樹脂である。環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、カルボン酸無水物を反応させる。
カルボン酸無水物としては、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、3−ビニルフタル酸無水物、4−ビニルフタル酸無水物、3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸無水物、1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、5,6−ジカルボキシビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン無水物(ハイミック酸無水物)等が挙げられる。
Resin [K6] is a resin obtained by further reacting carboxylic anhydride with resin [K5]. Carboxylic anhydride is reacted with a hydroxy group generated by reaction of cyclic ether with carboxylic acid or carboxylic anhydride.
Carboxylic anhydrides include maleic anhydride, citraconic anhydride, itaconic anhydride, 3-vinylphthalic anhydride, 4-vinylphthalic anhydride, 3,4,5,6-tetrahydrophthalic anhydride, 1 2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, dimethyltetrahydrophthalic anhydride, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (highmic acid anhydride) and the like. It is done.
樹脂(B)としては、具体的に、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K1];グリシジル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、グリシジル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.02.6]デシルアクリレート/(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体、3−メチル−3−(メタ)アクリルロイルオキシメチルオキセタン/(メタ)アクリル酸/スチレン共重合体等の樹脂[K2];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体、ベンジル(メタ)アクリレート/トリシクロデシル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体等の樹脂[K3];ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた樹脂等の樹脂[K4];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂、トリシクロデシル(メタ)アクリレート/スチレン/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂等の樹脂[K5];トリシクロデシル(メタ)アクリレート/グリシジル(メタ)アクリレートの共重合体に(メタ)アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の樹脂[K6]等が挙げられる。
これらの樹脂は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
Specific examples of the resin (B) include 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6. ] Resin such as decyl acrylate / (meth) acrylic acid copolymer [K1]; glycidyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, glycidyl (meth) acrylate / styrene / (meta ) Acrylic acid copolymer, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate / (meth) acrylic acid / N-cyclohexylmaleimide copolymer, 3-methyl-3- ( Resin [K2] such as (meth) acryloyloxymethyloxetane / (meth) acrylic acid / styrene copolymer; benzyl (meth) acrylate / Resin [K3] such as (meth) acrylic acid copolymer, styrene / (meth) acrylic acid copolymer, benzyl (meth) acrylate / tricyclodecyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer; benzyl Resin obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, glycidyl (meth) acrylate added to tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / (meth) acrylic acid copolymer Added resin, resin [K4] such as resin obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to tricyclodecyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer; tricyclodecyl (meta ) Acrylate / glycidyl (meth) acrylate copolymer with (meth) acrylic acid Reacted resin, resin such as resin obtained by reacting (meth) acrylic acid with tricyclodecyl (meth) acrylate / styrene / glycidyl (meth) acrylate copolymer [K5]; tricyclodecyl (meth) acrylate / Examples thereof include a resin [K6] such as a resin obtained by further reacting a copolymer of glycidyl (meth) acrylate with (meth) acrylic acid and further reacting with tetrahydrophthalic anhydride.
These resins may be used alone or in combination of two or more.
中でも、樹脂(B)としては、樹脂[K3]が好ましく、ベンジル(メタ)アクリレートに由来する構造単位及びトリシクロデシル(メタ)アクリレートに由来する構造単位からなる群から選ばれる少なくとも1種を有する樹脂[K3]がより好ましく、ベンジル(メタ)アクリレートに由来する構造単位及びトリシクロデシル(メタ)アクリレートに由来する構造単位をともに有する樹脂[K3]がさらに好ましい。これらの樹脂であると、高感度でパターンを形成することができ、かつ現像時の溶解速度も高い。 Among them, as the resin (B), the resin [K3] is preferable and has at least one selected from the group consisting of a structural unit derived from benzyl (meth) acrylate and a structural unit derived from tricyclodecyl (meth) acrylate. Resin [K3] is more preferable, and resin [K3] having both a structural unit derived from benzyl (meth) acrylate and a structural unit derived from tricyclodecyl (meth) acrylate is more preferable. These resins can form a pattern with high sensitivity and have a high dissolution rate during development.
樹脂(B)のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは3,000〜100,000であり、より好ましくは5,000〜50,000であり、さらに好ましくは5,000〜30,000である。分子量が前記の範囲にあると、未露光部の現像液に対する溶解性が高く、得られるパターンの残膜率や硬度も高い傾向がある。
樹脂(B)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、好ましくは1.1〜6であり、より好ましくは1.2〜4である。
樹脂(B)の酸価は、好ましくは50〜180mg−KOH/gであり、より好ましくは60〜150mg−KOH/gである。ここで酸価は樹脂1gを中和するに必要な水酸化カリウムの量(mg)として測定される値であり、例えば水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the resin (B) is preferably 3,000 to 100,000, more preferably 5,000 to 50,000, and further preferably 5,000 to 30,000. . When the molecular weight is in the above range, the solubility of the unexposed portion in the developer tends to be high, and the remaining film ratio and hardness of the resulting pattern tend to be high.
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the resin (B) is preferably 1.1 to 6, and more preferably 1.2 to 4.
The acid value of the resin (B) is preferably 50 to 180 mg-KOH / g, more preferably 60 to 150 mg-KOH / g. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide necessary to neutralize 1 g of the resin, and can be determined by titration using, for example, an aqueous potassium hydroxide solution.
樹脂(B)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは7〜65質量%であり、より好ましくは13〜60質量%であり、さらに好ましくは17〜55質量%である。樹脂(B)の含有量が、前記の範囲にあると、未露光部の現像液に対する溶解性が高い傾向がある。 The content of the resin (B) is preferably 7 to 65% by mass, more preferably 13 to 60% by mass, and further preferably 17 to 55% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. %. When content of resin (B) exists in the said range, there exists a tendency for the solubility with respect to the developing solution of an unexposed part to be high.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合性化合物(C)を含み、重合性化合物(C)の重量平均分子量は3,000以下であることが好ましい。重合性化合物(C)は、光を照射されることによって重合開始剤(D)から発生した活性ラジカル等によって重合しうる化合物であれば、特に限定されず、例えば、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a polymerizable compound (C), and the polymerizable compound (C) preferably has a weight average molecular weight of 3,000 or less. The polymerizable compound (C) is not particularly limited as long as it is a compound that can be polymerized by an active radical or the like generated from the polymerization initiator (D) by being irradiated with light, for example, polymerizable ethylenically unsaturated Examples thereof include a compound having a bond.
中でも、重合性化合物(C)としては、エチレン性不飽和結合を3つ以上有する光重合性化合物であることが好ましく、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ(メタ)アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、エチレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エチレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロピレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。中でも、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
重合性化合物(C)の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の樹脂(B)100質量部に対して、好ましくは20〜150質量部である。
Among these, the polymerizable compound (C) is preferably a photopolymerizable compound having three or more ethylenically unsaturated bonds, such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, Pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, tetrapentaerythritol deca (meta ) Acrylate, tetrapentaerythritol nona (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, ethylene glycol modified pentaerythritol Tetra (meth) acrylate, ethylene glycol modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, propylene glycol modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, propylene glycol modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate And caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. Among these, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and the like can be given.
The content of the polymerizable compound (C) is preferably 20 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin (B) in the colored photosensitive resin composition.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合開始剤(D)として、O−アシルオキシム化合物及びアルキルフェノン化合物を含む。
O−アシルオキシム化合物は、式(d1)で表される部分構造を有する化合物である。以下、*は結合手を表す。
O−アシルオキシム化合物としては、例えば、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1−オン−2−イミン、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン、N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−{2−メチル−4−(3,3−ジメチル−2,4−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン等が挙げられる。イルガキュアOXE01、OXE02(以上、BASF社製)、N−1919(ADEKA社製)等の市販品を用いてもよい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains an O-acyloxime compound and an alkylphenone compound as the polymerization initiator (D).
The O-acyl oxime compound is a compound having a partial structure represented by the formula (d1). Hereinafter, * represents a bond.
Examples of the O-acyloxime compound include N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine, N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane- 1-one-2-imine, N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine, N-acetoxy-1- [9 -Ethyl-6- {2-methyl-4- (3,3-dimethyl-2,4-dioxacyclopentanylmethyloxy) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine It is done. Commercial products such as Irgacure OXE01, OXE02 (manufactured by BASF) and N-1919 (ADEKA) may be used.
中でも、式(d2)で表される部分構造を有する化合物が好ましく、式(d3)で表される化合物がより好ましい。
Among these, a compound having a partial structure represented by the formula (d2) is preferable, and a compound represented by the formula (d3) is more preferable.
[式(d3)中、R1は、炭素数1〜8の飽和炭化水素基を表す。R2は、炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基を表す。] [In the formula (d3), R 1 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. R 2 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a phenyl group. ]
炭素数1〜8の飽和炭化水素基としては、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数3〜8の環式飽和炭化水素基、及びこれらを組合わせた基が挙げられる。
炭素数1〜8のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基及びオクチル基等が挙げられる。中でも、炭素数2〜6のアルキル基が好ましく、ヘキシル基がより好ましい。
炭素数3〜8の環式飽和炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロへプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基等が挙げられる。中でも、シクロペンチル基が好ましい。
Examples of the saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 8 carbon atoms, and a group in which these are combined.
Examples of the alkyl group having 1 to 8 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a heptyl group, and an octyl group. Especially, a C2-C6 alkyl group is preferable and a hexyl group is more preferable.
Examples of the cyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 8 carbon atoms include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, and a norbornyl group. Of these, a cyclopentyl group is preferred.
O−アシルオキシム化合物としては、N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1−オン−2−イミン及びN−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミンが好ましい。これらのO−アシルオキシム化合物であると、高明度なカラーフィルタが得られる傾向がある。 Examples of O-acyloxime compounds include N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) butan-1-one-2-imine and N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane-1- On-2-imine is preferred. When these O-acyloxime compounds are used, a color filter with high brightness tends to be obtained.
アルキルフェノン化合物は、式(d4)で表される部分構造又は式(d5)で表される部分構造を有する化合物である。式(d4)で表される部分構造又は式(d5)で表される部分構造中、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。
The alkylphenone compound is a compound having a partial structure represented by the formula (d4) or a partial structure represented by the formula (d5). In the partial structure represented by the formula (d4) or the partial structure represented by the formula (d5), the benzene ring may have a substituent.
式(d4)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルスルファニルフェニル)プロパン−1−オン、2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジルブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。イルガキュア369、907、379(以上、BASF社製)等の市販品を用いてもよい。
式(d5)で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−(4−イソプロペニルフェニル)プロパン−1−オンのオリゴマー、α,α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
感度の点で、アルキルフェノン化合物としては、式(d4)で表される部分構造を有する化合物が好ましい。
Examples of the compound having a partial structure represented by the formula (d4) include 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one, 2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) -2-benzylbutan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, etc. Is mentioned. Commercial products such as Irgacure 369, 907, 379 (above, manufactured by BASF) may be used.
Examples of the compound having a partial structure represented by the formula (d5) include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (2 -Hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, oligomer of 2-hydroxy-2-methyl-1- (4-isopropenylphenyl) propan-1-one, α, α-diethoxy Examples include acetophenone and benzyl dimethyl ketal.
In terms of sensitivity, the alkylphenone compound is preferably a compound having a partial structure represented by the formula (d4).
重合開始剤(D)は、さらにビイミダゾール化合物を含むことが好ましい。ビイミダゾール化合物としては、式(d6)で表される化合物が好ましい。
[式(d6)中、R4〜R9は、置換基を有していてもよい炭素数6〜10のアリール基を表す。]
The polymerization initiator (D) preferably further contains a biimidazole compound. As the biimidazole compound, a compound represented by the formula (d6) is preferable.
[In Formula (d6), R 4 to R 9 represent an aryl group having 6 to 10 carbon atoms which may have a substituent. ]
炭素数6〜10のアリール基としては、例えば、フェニル基、トルイル基、キシリル基、エチルフェニル基及びナフチル基等が挙げられ、好ましくはフェニル基である。
置換基としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数1〜4のアルコキシ基等が挙げられる。ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等挙げられ、好ましくは塩素原子である。炭素数1〜4のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等挙げられ、好ましくはメトキシ基である。
Examples of the aryl group having 6 to 10 carbon atoms include a phenyl group, a toluyl group, a xylyl group, an ethylphenyl group and a naphthyl group, and a phenyl group is preferable.
Examples of the substituent include a halogen atom and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. As a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom etc. are mentioned, for example, Preferably it is a chlorine atom. As a C1-C4 alkoxy group, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, a butoxy group etc. are mentioned, for example, Preferably it is a methoxy group.
ビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報等参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報等参照。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報等参照)等が挙げられる。中でも、下記式で表される化合物及びこれらの混合物が好ましい。
Examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4. , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4, 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis ( 2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (trialkoxy) Phenyl) biimidazo (See, for example, JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), Imidazole compounds in which the phenyl group at the 4,4′5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group (for example, And JP-A-7-10913). Among these, compounds represented by the following formula and mixtures thereof are preferable.
重合開始剤(D)としては、O−アシルオキシム化合物、アルキルフェノン化合物及びビイミダゾール化合物以外の重合開始剤(D’)を含んでもよいが、感度の点で含まないことが好ましい。重合開始剤(D’)は、光の作用により活性ラジカルを発生し、重合性化合物(C)の重合を開始する化合物であれば特に限定されることなく、公知の重合開始剤を用いることができる。重合開始剤(D’)としては、トリアジン化合物及びアシルホスフィンオキサイド化合物等が挙げられる。これらの重合開始剤は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。 The polymerization initiator (D) may include a polymerization initiator (D ′) other than the O-acyloxime compound, the alkylphenone compound, and the biimidazole compound, but is preferably not included in terms of sensitivity. The polymerization initiator (D ′) is not particularly limited as long as it is a compound that generates an active radical by the action of light and initiates polymerization of the polymerizable compound (C), and a known polymerization initiator may be used. it can. Examples of the polymerization initiator (D ′) include triazine compounds and acylphosphine oxide compounds. These polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.
前記のトリアジン化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン等が挙げられる。 Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4 -Methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4- Methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino) -2-Methylfe Ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, and the like. .
アシルホスフィンオキサイド化合物としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。 Examples of the acylphosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.
さらに重合開始剤(D)としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物;ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物;9,10−フェナンスレンキノン、2−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物;10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の重合開始助剤(D1)(特にアミン類)と組み合わせて用いることが好ましい。 Furthermore, examples of the polymerization initiator (D) include benzoin compounds such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl- Benzophenone compounds such as 4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone; 9,10-phenanthrenequinone, Examples include quinone compounds such as 2-ethylanthraquinone and camphorquinone; 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, methyl phenylglyoxylate, and titanocene compounds. These are preferably used in combination with a polymerization initiation assistant (D1) (particularly amines) described later.
重合開始剤(D)がビイミダゾール化合物を含まない場合、
O−アシルオキシム化合物の含有量は、重合開始剤(D)に対して、好ましくは10〜80質量%であり、より好ましくは30〜75質量%である。
アルキルフェノン化合物の含有量は、重合開始剤(D)に対して、好ましくは20〜90質量%であり、より好ましくは25〜70質量%である。
重合開始剤(D)がビイミダゾール化合物を含む場合、
O−アシルオキシム化合物の含有量は、重合開始剤(D)に対して、好ましくは10〜80質量%であり、より好ましくは30〜60質量%である。
アルキルフェノン化合物の含有量は、重合開始剤(D)に対して、好ましくは15〜85質量%であり、より好ましくは20〜60質量%である。
ビイミダゾール化合物の含有量は、重合開始剤(D)に対して、好ましくは1〜50質量%であり、より好ましくは1〜40質量%であり、さらに好ましくは2〜30質量%であり、さらにより好ましくは2〜20質量%である。
When the polymerization initiator (D) does not contain a biimidazole compound,
The content of the O-acyloxime compound is preferably 10 to 80% by mass and more preferably 30 to 75% by mass with respect to the polymerization initiator (D).
The content of the alkylphenone compound is preferably 20 to 90% by mass and more preferably 25 to 70% by mass with respect to the polymerization initiator (D).
When the polymerization initiator (D) contains a biimidazole compound,
The content of the O-acyl oxime compound is preferably 10 to 80% by mass and more preferably 30 to 60% by mass with respect to the polymerization initiator (D).
The content of the alkylphenone compound is preferably 15 to 85% by mass and more preferably 20 to 60% by mass with respect to the polymerization initiator (D).
The content of the biimidazole compound is preferably 1 to 50% by mass, more preferably 1 to 40% by mass, and further preferably 2 to 30% by mass with respect to the polymerization initiator (D). Even more preferably, it is 2 to 20% by mass.
重合開始剤(D)の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは1〜30質量%であり、より好ましくは5〜20質量%である。
また、重合開始剤(D)の含有量は、樹脂(B)及び重合性化合物(C)の合計量100質量部に対して、好ましくは1〜50質量部であり、より好ましくは10〜45質量部であり、さらに好ましくは10〜30質量部である。
The content of the polymerization initiator (D) is preferably 1 to 30% by mass and more preferably 5 to 20% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.
Moreover, the content of the polymerization initiator (D) is preferably 1 to 50 parts by mass, more preferably 10 to 45 parts per 100 parts by mass of the total amount of the resin (B) and the polymerizable compound (C). It is a mass part, More preferably, it is 10-30 mass parts.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合開始助剤(D1)を含んでもよい。重合開始助剤(D1)を含む場合、通常、重合開始剤(D)と組み合わせて用いられる。重合開始助剤(D1)は、重合開始剤(D)によって重合が開始された重合性化合物(C)の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。
重合開始助剤(D1)としては、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物等が挙げられる。これらの重合開始助剤は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。EAB−F(保土谷化学工業(株)製)等の市販品を用いてもよい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain a polymerization initiation assistant (D1). When the polymerization initiation assistant (D1) is included, it is usually used in combination with the polymerization initiator (D). The polymerization initiation assistant (D1) is a compound or a sensitizer used for accelerating the polymerization of the polymerizable compound (C) whose polymerization has been initiated by the polymerization initiator (D).
Examples of the polymerization initiation assistant (D1) include amine compounds, alkoxyanthracene compounds, thioxanthone compounds, and carboxylic acid compounds. These polymerization initiation assistants may be used alone or in combination of two or more.
Examples of amine compounds include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, 4- 2-ethylhexyl dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-bis ( Ethylmethylamino) benzophenone and the like, and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferred. Commercial products such as EAB-F (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) may be used.
アルコキシアントラセン化合物としては、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。 Examples of the alkoxyanthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene, and 9,10-dibutoxy. Anthracene, 2-ethyl-9,10-dibutoxyanthracene, etc. are mentioned.
チオキサントン化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン及び1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。 Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, and 1-chloro-4-propoxythioxanthone.
カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。 Carboxylic acid compounds include phenylsulfanyl acetic acid, methylphenylsulfanyl acetic acid, ethylphenylsulfanyl acetic acid, methylethylphenylsulfanyl acetic acid, dimethylphenylsulfanyl acetic acid, methoxyphenylsulfanyl acetic acid, dimethoxyphenylsulfanyl acetic acid, chlorophenylsulfanyl acetic acid, dichlorophenylsulfanyl acetic acid, N -Phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, naphthoxyacetic acid and the like.
重合開始助剤(D1)を用いる場合、その含有量は、重合開始剤(D)1モルに対して、好ましくは0.01〜10モル、より好ましくは0.01〜5モルである。
また、重合開始剤(D)と重合開始助剤(D1)との合計含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは1〜35質量%、より好ましくは5〜25質量%、さらに好ましくは10〜20質量%である。
When using the polymerization initiation assistant (D1), the content thereof is preferably 0.01 to 10 mol, more preferably 0.01 to 5 mol, relative to 1 mol of the polymerization initiator (D).
Moreover, the total content of the polymerization initiator (D) and the polymerization initiation assistant (D1) is preferably 1 to 35% by mass, more preferably 5 to 25%, based on the solid content of the colored photosensitive resin composition. It is 10 mass%, More preferably, it is 10-20 mass%.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、さらにチオール化合物(T)を含有することが好ましい。チオール化合物(T)は、分子内に−SHを有する化合物である。 The colored photosensitive resin composition of the present invention preferably further contains a thiol compound (T). The thiol compound (T) is a compound having —SH in the molecule.
分子内に−SHを1つ有する化合物としては、例えば、2−スルファニルオキサゾール、2−スルファニルチアゾール、2−スルファニルベンズイミダゾール、2−スルファニルベンゾチアゾール、2−スルファニルベンゾオキサゾール、2−スルファニルニコチン酸、2−スルファニルピリジン、2−スルファニルピリジン−3−オール、2−スルファニルピリジン−N−オキサイド、4−アミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4−アミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4−アミノ−2−スルファニルピリミジン、6−アミノ−5−ニトロソ−2−チオウラシル、4,5−ジアミノ−6−ヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4,6−ジアミノ−2−スルファニルピリミジン、2,4−ジアミノ−6−スルファニルピリミジン、4,6−ジヒドロキシ−2−スルファニルピリミジン、4,6−ジメチル−2−スルファニルピリミジン、4−ヒドロキシ−2−スルファニル−6−メチルピリミジン、4−ヒドロキシ−2−スルファニル−6−プロピルピリミジン、2−スルファニル−4−メチルピリミジン、2−スルファニルピリミジン、2−チオウラシル、3,4,5,6−テトラヒドロピリミジン−2−チオール、4,5−ジフェニルイミダゾール−2−チオール、2−スルファニルイミダゾール、2−スルファニル−1−メチルイミダゾール、4−アミノ−3−ヒドラジノ−5−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、2−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、3−スルファニル1H−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、2−アミノ−5−スルファニル−1,3,4−チアジアゾール、5−アミノ−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、2,5−ジスルファニル−1,3,4−チアジアゾール、(フラン-2-イル)メタンチオール、2−スルファニル−5−チアゾリドン、2−スルファニルチアゾリン、2−スルファニル−4(3H)−キナゾリノン、1−フェニル−1H−テトラゾール−5−チオール、2−キノリンチオール、2−スルファニル−5−メチルベンズイミダゾール、2−スルファニル−5−ニトロベンズイミダゾール、6−アミノ−2−スルファニルベンゾチアゾール、5−クロロ−2−スルファニルベンゾチアゾール、6−エトキシ−2−スルファニルベンゾチアゾール、6−ニトロ−2−スルファニルベンゾチアゾール、2−スルファニルナフトイミダゾール、2−スルファニルナフトオキサゾール、3−スルファニル−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−6−スルファニルピラゾロ[2,4−d]ピリジン、2−アミノ−6−プリンチオール、6−スルファニルプリン、4−スルファニル−1H−ピラゾロ[2,4−d]ピリミジン等が挙げられる。 Examples of the compound having one —SH in the molecule include 2-sulfanyloxazole, 2-sulfanylthiazole, 2-sulfanylbenzimidazole, 2-sulfanylbenzothiazole, 2-sulfanylbenzoxazole, 2-sulfanylnicotinic acid, 2 -Sulfanylpyridine, 2-sulfanylpyridin-3-ol, 2-sulfanylpyridine-N-oxide, 4-amino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4-amino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4- Amino-2-sulfanylpyrimidine, 6-amino-5-nitroso-2-thiouracil, 4,5-diamino-6-hydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4,6-diamino-2-sulfanylpyrimidine, 2,4-diamidine -6-sulfanylpyrimidine, 4,6-dihydroxy-2-sulfanylpyrimidine, 4,6-dimethyl-2-sulfanylpyrimidine, 4-hydroxy-2-sulfanyl-6-methylpyrimidine, 4-hydroxy-2-sulfanyl-6 -Propylpyrimidine, 2-sulfanyl-4-methylpyrimidine, 2-sulfanylpyrimidine, 2-thiouracil, 3,4,5,6-tetrahydropyrimidine-2-thiol, 4,5-diphenylimidazole-2-thiol, 2- Sulfanylimidazole, 2-sulfanyl-1-methylimidazole, 4-amino-3-hydrazino-5-sulfanyl-1,2,4-triazole, 3-amino-5-sulfanyl-1,2,4-triazole, 2- Methyl-4H-1,2,4-triazo Lu-3-thiol, 4-methyl-4H-1,2,4-triazole-3-thiol, 3-sulfanyl 1H-1,2,4-triazole-3-thiol, 2-amino-5-sulfanyl-1 , 3,4-thiadiazole, 5-amino-1,3,4-thiadiazole-2-thiol, 2,5-disulfanyl-1,3,4-thiadiazole, (furan-2-yl) methanethiol, 2- Sulfanyl-5-thiazolidone, 2-sulfanylthiazoline, 2-sulfanyl-4 (3H) -quinazolinone, 1-phenyl-1H-tetrazole-5-thiol, 2-quinolinethiol, 2-sulfanyl-5-methylbenzimidazole, 2 -Sulfanyl-5-nitrobenzimidazole, 6-amino-2-sulfanylbenzothiazole, 5-chloro-2 Sulfanylbenzothiazole, 6-ethoxy-2-sulfanylbenzothiazole, 6-nitro-2-sulfanylbenzothiazole, 2-sulfanylnaphthimidazole, 2-sulfanylnaphthoxazole, 3-sulfanyl-1,2,4-triazole, 4- Examples include amino-6-sulfanylpyrazolo [2,4-d] pyridine, 2-amino-6-purinethiol, 6-sulfanylpurine, 4-sulfanyl-1H-pyrazolo [2,4-d] pyrimidine and the like.
分子内に−SHを2つ以上有する化合物としては、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ビス(メチルスルファニル)ベンゼン、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルアセテート)、エチレングリコールビス(3−スルファニルアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ブタンジオールビス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−スルファニルアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルアセテート)、トリスヒドロキシエチルトリス(3−スルファニルプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−スルファニルブチレート)、1,4−ビス(3−スルファニルブチルオキシ)ブタン等が挙げられる。
チオール化合物(T)としては、分子内に−SHを1つ有する化合物が好ましい。
Compounds having two or more —SH in the molecule include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-bis (methylsulfanyl) benzene, butanediol bis (3-sulfanylpropionate), butanediol bis (3-sulfanyl). Acetate), ethylene glycol bis (3-sulfanyl acetate), trimethylolpropane tris (3-sulfanyl acetate), butanediol bis (3-sulfanylpropionate), trimethylolpropane tris (3-sulfanylpropionate), tri Methylolpropane tris (3-sulfanyl acetate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanylpropionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl acetate), trishydroxyl Echirutorisu (3-sulfanyl propionate), pentaerythritol tetrakis (3-sulfanyl butyrate), 1,4-bis (3-sulfanyl-butyloxy) include butane and the like.
As the thiol compound (T), a compound having one —SH in the molecule is preferable.
チオール化合物(T)の含有量は、重合開始剤(D)100質量部に対して、好ましくは0.5〜20質量部、より好ましくは1〜15質量部である。チオール化合物(T)の含有量がこの範囲にあると、感度が高くなり、また現像性が良好になる傾向がある。 The content of the thiol compound (T) is preferably 0.5 to 20 parts by mass, more preferably 1 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polymerization initiator (D). When the content of the thiol compound (T) is within this range, the sensitivity tends to be high and the developability tends to be good.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤(E)を含むことが好ましい。溶剤(E)は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤(−COO−を含む溶剤)、エステル溶剤以外のエーテル溶剤(−O−を含む溶剤)、エーテルエステル溶剤(−COO−と−O−とを含む溶剤)、エステル溶剤以外のケトン溶剤(−CO−を含む溶剤)、アルコール溶剤、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。 The colored photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a solvent (E). A solvent (E) is not specifically limited, The solvent normally used in the said field | area can be used. For example, ester solvents (solvents containing —COO—), ether solvents other than ester solvents (solvents containing —O—), ether ester solvents (solvents containing —COO— and —O—), ketones other than ester solvents A solvent (solvent containing —CO—), an alcohol solvent, an aromatic hydrocarbon solvent, an amide solvent, dimethyl sulfoxide, or the like can be selected and used.
エステル溶剤としては、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。 As ester solvents, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate, methyl 2-hydroxyisobutanoate, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, pentyl formate, isopentyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, cyclohexanol acetate, γ-butyrolactone and the like.
エーテル溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、3−メトキシ−3−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、1,4−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。 Ether solvents include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether , Propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, 3-methoxy-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutanol, tetrahydrofuran, tetrahydropyran, 1,4-dioxane, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethyl Glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, anisole, phenetole, and the like methyl anisole.
エーテルエステル溶剤としては、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテートなどが挙げられる。 Examples of ether ester solvents include methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, Ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether Acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate.
ケトン溶剤としては、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、アセトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロンなどが挙げられる。 Examples of ketone solvents include 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, acetone, 2-butanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclopentanone, cyclohexanone, and isophorone. Etc.
アルコール溶剤としては、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
芳香族炭化水素溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
アミド溶剤としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどが挙げられる。
Examples of the alcohol solvent include methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, and glycerin.
Examples of the aromatic hydrocarbon solvent include benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like.
Examples of the amide solvent include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like.
これらの溶剤は、単独で用いても2種以上を併用してもよい。
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、1atmにおける沸点が120℃以上180℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、N,N−ジメチルホルムアミド等が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブタノール、3−エトキシプロピオン酸エチル等がより好ましい。
These solvents may be used alone or in combination of two or more.
Among the above-mentioned solvents, an organic solvent having a boiling point at 1 atm of 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower is preferable from the viewpoints of coating properties and drying properties. Among them, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether, ethyl 3-ethoxypropionate, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butanol 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, N, N-dimethylformamide and the like, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, More preferred are 3-methoxy-1-butanol, ethyl 3-ethoxypropionate and the like.
溶剤(E)の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、好ましくは70〜95質量%であり、より好ましくは75〜92質量%である。言い換えると、着色感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは5〜30質量%、より好ましくは8〜25質量%である。溶剤(E)の含有量が前記の範囲にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向がある。 The content of the solvent (E) is preferably 70 to 95% by mass and more preferably 75 to 92% by mass with respect to the colored photosensitive resin composition. In other words, the solid content of the colored photosensitive resin composition is preferably 5 to 30% by mass, more preferably 8 to 25% by mass. When the content of the solvent (E) is in the above range, the flatness at the time of coating is good, and when the color filter is formed, the color density does not become insufficient and the display characteristics tend to be good.
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の添加剤を含んでもよい。 The colored photosensitive resin composition of the present invention contains additives such as fillers, other polymer compounds, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, light stabilizers, chain transfer agents, etc., as necessary. But you can.
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。
フォトリソグラフ法は、前記着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥し、フォトマスクを介して露光し、現像することによってパターンを得る方法である。該方法において、フォトマスクを介しての露光及び/又は現像を行わないことにより、パターンを有さない塗膜を得ることができる。
Examples of the method for forming a pattern using the colored photosensitive resin composition of the present invention include a photolithographic method, an ink jet method, and a printing method. Of these, the photolithographic method is preferable.
The photolithographic method is a method in which the colored photosensitive resin composition is applied to a substrate, dried, exposed through a photomask, and developed to obtain a pattern. In this method, a coating film having no pattern can be obtained by not performing exposure and / or development through a photomask.
前記基板としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック等が挙げられ、板状であっても、フィルム状であってもよい。また、これらの基板には、カラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等の構造体が形成されていてもよい。
基板への塗布は、例えば、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある)、インクジェット等の塗布装置を用いて行うことができる。
Examples of the substrate include glass, metal, plastic, and the like, and may be plate-shaped or film-shaped. In addition, structures such as a color filter, various insulating or conductive films, and a driving circuit may be formed on these substrates.
Application to the substrate can be performed using a coating apparatus such as a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (sometimes referred to as a die coater, a curtain flow coater, or a spinless coater) or an inkjet.
基板に塗布した膜の乾燥方法としては、例えば、加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥等の方法が挙げられる。複数の方法を組み合わせて行ってもよい。乾燥温度としては、10〜120℃が好ましく、25〜100℃がより好ましい。また加熱時間としては、10秒間〜60分間であることが好ましく、30秒間〜30分間であることがより好ましい。減圧乾燥は、50〜150Paの圧力下、20〜25℃の温度範囲で行うことが好ましい。
乾燥後の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、0.1〜20μmであり、好ましくは1〜6μmである。
Examples of the method for drying the film applied to the substrate include methods such as heat drying, natural drying, ventilation drying, and vacuum drying. A plurality of methods may be combined. As drying temperature, 10-120 degreeC is preferable and 25-100 degreeC is more preferable. In addition, the heating time is preferably 10 seconds to 60 minutes, and more preferably 30 seconds to 30 minutes. The vacuum drying is preferably performed at a temperature of 20 to 25 ° C. under a pressure of 50 to 150 Pa.
The film thickness of the coating film after drying is not particularly limited and can be appropriately adjusted depending on the material used, application, and the like, and is, for example, 0.1 to 20 μm, preferably 1 to 6 μm.
乾燥後の塗膜は、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、露光する。この際のフォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
露光に用いられる光源としては、250〜450nmの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、350nm未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、436nm付近、408nm付近、365nm付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、マスクと基材との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用することが好ましい。
The dried coating film is exposed through a photomask for forming a target pattern. The pattern shape on the photomask at this time is not particularly limited, and a pattern shape corresponding to the intended application is used.
The light source used for exposure is preferably a light source that generates light having a wavelength of 250 to 450 nm. For example, light less than 350 nm can be cut using a filter that cuts this wavelength range, or light near 436 nm, 408 nm, and 365 nm can be selectively extracted using a bandpass filter that extracts these wavelength ranges. Or you may. Specific examples include mercury lamps, light emitting diodes, metal halide lamps, halogen lamps, and the like.
It is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper because the entire exposed surface can be irradiated with parallel rays uniformly and accurate alignment between the mask and the substrate can be performed.
露光後、現像液に接触させて所定部分、例えば、未露光部を溶解させ、現像することにより、パターンを得ることができる。現像液としては、有機溶剤を用いることもできるが、現像液によって塗膜の露光部の溶解や膨潤が起こりにくく、良好な形状のパターンが得られるため、塩基性化合物の水溶液が好ましい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
After exposure, a pattern can be obtained by contacting a developing solution to dissolve a predetermined portion, for example, an unexposed portion, and developing. As the developer, an organic solvent can be used, but an aqueous solution of a basic compound is preferable because the developer does not easily dissolve or swell the exposed portion of the coating film, and a pattern having a good shape is obtained.
The developing method may be any of paddle method, dipping method, spray method and the like. Further, the substrate may be tilted at an arbitrary angle during development.
After development, it is preferable to wash with water.
前記塩基性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等の無機塩基性化合物;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等の有機塩基性化合物が挙げられる。中でも、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
これらの無機及び有機塩基性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
Examples of the basic compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, and sodium carbonate. Inorganic basic compounds such as potassium carbonate, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia; tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine Organic basic compounds such as monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. Of these, potassium hydroxide, sodium hydrogen carbonate and tetramethylammonium hydroxide are preferable.
The density | concentration in the aqueous solution of these inorganic and organic basic compounds becomes like this. Preferably it is 0.01-10 mass%, More preferably, it is 0.03-5 mass%.
前記塩基性化合物の水溶液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等のノニオン系界面活性剤;
ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤;
ステアリルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤等が挙げられる。
塩基性化合物の水溶液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%、より好ましくは0.05〜8質量%、特に好ましくは0.1〜5質量%である。
The aqueous solution of the basic compound may contain a surfactant.
Surfactants include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters , Nonionic surfactants such as polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine;
Anionic surfactants such as sodium lauryl alcohol sulfate, sodium oleyl alcohol sulfate, sodium lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, sodium dodecylnaphthalenesulfonate;
And cationic surfactants such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride.
The concentration of the surfactant in the aqueous solution of the basic compound is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 8% by mass, and particularly preferably 0.1 to 5% by mass.
さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、150〜250℃、1〜240分間の範囲で行うことが好ましい。 Furthermore, you may post-bake as needed. Post baking is preferably performed, for example, in the range of 150 to 250 ° C. for 1 to 240 minutes.
本発明の着色感光性樹脂組成物により、上記のようにして得られたパターンは、カラーフィルタとして有用である。該カラーフィルタは、表示装置(例えば、液晶表示装置、有機EL装置等)、固体撮像素子、電子ペーパー等の種々の着色画像に関連する機器に、公知の態様で利用することができる。 The pattern obtained as described above by the colored photosensitive resin composition of the present invention is useful as a color filter. The color filter can be used in a known manner for devices related to various colored images such as a display device (for example, a liquid crystal display device, an organic EL device, etc.), a solid-state imaging device, and electronic paper.
次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中の「%」及び「部」は、特記ない限り、質量%及び質量部である。 Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples. Unless otherwise specified, “%” and “part” in the examples are mass% and part by mass.
合成例1
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200部を導入した。その後、ガス導入管を通じて窒素ガスをフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気を窒素ガスに置換した。フラスコ内の溶液を70℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート144部、トリシクロ[5.2.1.02.6]デシルメタクリレート30部、メタクリル酸35部、アゾビスイソブチロニトリル5.2部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート213部からなる混合物を、滴下ロートを用いて2時間かけてフラスコ内に滴下し、滴下完了後さらに100℃で5時間撹拌した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間、70℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Mwは、10.3×103、固形分33.6%、固形分酸価110.4mg−KOH/gの樹脂B1溶液を得た。
Synthesis example 1
200 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was introduced into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a gas introduction tube. Thereafter, nitrogen gas was introduced into the flask through the gas introduction tube, and the atmosphere in the flask was replaced with nitrogen gas. After raising the temperature of the solution in the flask to 70 ° C., 144 parts of benzyl methacrylate, 30 parts of tricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl methacrylate, 35 parts of methacrylic acid, 5.2 azobisisobutyronitrile. The mixture consisting of 213 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added dropwise into the flask over 2 hours using a dropping funnel, and further stirred at 100 ° C. for 5 hours after completion of the addition. After completion of the dropwise addition of the polymerization initiator solution, the temperature was kept at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The weight average molecular weight Mw was 10.3 × 10 3 , solid content 33.6%, solid content. A resin B1 solution having an acid value of 110.4 mg-KOH / g was obtained.
合成例2
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2.5質量部およびエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート200部を仕込み、引き続きメタクリル酸15部、ω−カルボキシジカプロラクトンモノアクリレート10部、N−フェニルマレイミド15部、2−エチルヘキシルメタクリレート33部、スチレン12部、グリセロールモノメタクリレート15部およびα−メチルスチレンダイマー(連鎖移動剤)5.0質量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を80℃に昇温し、この温度を保持して3時間重合した。その後、反応溶液を100℃に昇温して、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)0.5量部を追加し、さらに1時間重合を継続することにより、樹脂B2溶液(固形分濃度=30%)を得た。樹脂B2は、Mw=14,000、Mn=5,700であった。
Synthesis example 2
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2.5 parts by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts of ethylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 15 parts of methacrylic acid and ω-carboxyl. 10 parts of dicaprolactone monoacrylate, 15 parts of N-phenylmaleimide, 33 parts of 2-ethylhexyl methacrylate, 12 parts of styrene, 15 parts of glycerol monomethacrylate and 5.0 parts by weight of α-methylstyrene dimer (chain transfer agent) After substituting with nitrogen, the reaction solution was heated to 80 ° C. with gentle stirring and polymerized for 3 hours while maintaining this temperature. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and polymerization was further continued for 1 hour, whereby resin B2 solution (Solid concentration = 30%) was obtained. Resin B2 had Mw = 14,000 and Mn = 5,700.
上記の合成例で得られた樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量Mw及び数平均分子量Mnの測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行った。
装置 ;HLC−8120GPC(東ソー(株)製)
カラム ;TSK−GELG2000HXL
カラム温度 ;40℃
溶媒 ;THF
流速 ;1.0mL/min
被検液固形分濃度;0.001〜0.01質量%
注入量 ;50μL
検出器 ;RI
校正用標準物質 ;TSK STANDARD POLYSTYRENE
F−40、F−4、F−288、A−2500、A−500
(東ソー(株)製)
About the measurement of polystyrene conversion weight average molecular weight Mw and number average molecular weight Mn of resin obtained by said synthesis example, it carried out on condition of the following using GPC method.
Apparatus: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG2000HXL
Column temperature: 40 ° C
Solvent: THF
Flow rate: 1.0 mL / min
Test liquid solid content concentration: 0.001 to 0.01% by mass
Injection volume: 50 μL
Detector; RI
Reference material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE
F-40, F-4, F-288, A-2500, A-500
(Manufactured by Tosoh Corporation)
〔顔料分散液1の調製〕
C.I.ピグメントグリーン58 10.8部
アクリル系顔料分散剤 2.8部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 76.3部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−1)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 1]
C. I. Pigment Green 58 10.8 parts Acrylic pigment dispersant 2.8 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 76.3 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-1) Got.
〔顔料分散液2の調製〕
C.I.ピグメントイエロー138 15.1部
アクリル系顔料分散剤 4.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 75.9部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−2)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 2]
C. I. Pigment Yellow 138 15.1 parts Acrylic pigment dispersant 4.5 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 75.9 parts are mixed, and the pigment is sufficiently dispersed using a bead mill, whereby a pigment dispersion (A-2) Got.
〔顔料分散液3の調製〕
C.I.ピグメントグリーン58 24部
C.I.ピグメントイエロー138 16部
Disperbyk−2001(ビックケミー製) 24部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 136部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させることにより、顔料分散液(A−3)を得た。
[Preparation of pigment dispersion 3]
C. I. Pigment Green 58 24 parts C.I. I. Pigment Yellow 138 16 parts Dispersbyk-2001 (manufactured by Big Chemie) 24 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 136 parts were mixed and the pigment was sufficiently dispersed using a bead mill to obtain a pigment dispersion (A-3).
実施例1〜12及び比較例1
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
表1記載の成分を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。尚、着色感光性樹脂組成物の固形分が表1の「固形分(%)」となるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと混合した。
Examples 1 to 12 and Comparative Example 1
[Preparation of colored photosensitive resin composition]
The components shown in Table 1 were mixed to obtain a colored photosensitive resin composition. In addition, it mixed with propylene glycol monomethyl ether acetate so that solid content of a coloring photosensitive resin composition might be "solid content (%)" of Table 1.
表1において、各成分は以下のとおりである。
着色剤(A);A−1;上記で得られた顔料分散液(A−1)
着色剤(A);A−2;上記で得られた顔料分散液(A−2)
着色剤(A);A−3;上記で得られた顔料分散液(A−3)
樹脂(B);B−1;樹脂B1溶液
樹脂(B);B−2;樹脂B2溶液
重合性化合物(C);C−1;ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA;日本化薬(株)製)
重合開始剤(D);D−1;N−ベンゾイルオキシ−1−(4−フェニルスルファニルフェニル)オクタン−1−オン−2−イミン(イルガキュアOXE 01;BASF社製;O−アシルオキシム化合物)
重合開始剤(D);D−2;N−アセトキシ−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタン−1−イミン(イルガキュアOXE 02;BASF社社製;O−アシルオキシム化合物)
重合開始剤(D);D−3;2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチルスルファニルフェニル)プロパン−1−オン(イルガキュア907;BASF社製;アルキルフェノン化合物)
重合開始剤(D);D−4;下記式で表される化合物の混合物(CHEMCURE−TCDM;ケンブリッジ社製;ビイミダゾール化合物)
重合開始剤(D);D1−1;ジエチルチオキサントン
チオール化合物(T);T−1;2−スルファニルベンゾチアゾール(Soxinol M;住友化学(株)製製;下記式で表される化合物)
In Table 1, each component is as follows.
Colorant (A); A-1; Pigment dispersion (A-1) obtained above
Colorant (A); A-2; Pigment dispersion (A-2) obtained above
Colorant (A); A-3; Pigment dispersion (A-3) obtained above
Resin (B); B-1; Resin B1 solution Resin (B); B-2; Resin B2 solution Polymerizable compound (C); C-1; Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co., Ltd.) Made)
Polymerization initiator (D); D-1; N-benzoyloxy-1- (4-phenylsulfanylphenyl) octane-1-one-2-imine (Irgacure OXE 01; manufactured by BASF; O-acyloxime compound)
Polymerization initiator (D); D-2; N-acetoxy-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] ethane-1-imine (Irgacure OXE 02; BASF (O-acyl oxime compound)
Polymerization initiator (D); D-3; 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylsulfanylphenyl) propan-1-one (Irgacure 907; manufactured by BASF; alkylphenone compound)
Polymerization initiator (D); D-4; Mixture of compounds represented by the following formula (CHEMCURE-TCDM; manufactured by Cambridge; biimidazole compound)
Polymerization initiator (D); D1-1; Diethylthioxanthone thiol compound (T); T-1; 2-sulfanylbenzothiazole (Soxinol M; manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd .; compound represented by the following formula)
〔パターンの作製〕
2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を100μmとして、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、150mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。尚、フォトマスクとしては、50μmラインアンドスペースパターンが形成されたマスクを使用した。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%を含む水系現像液に24℃で60秒間浸漬現像し、水洗後、オーブン中、220℃で20分間ポストベークを行い、パターンを得た。
[Preparation of pattern]
A colored photosensitive resin composition was applied by spin coating on a 2-inch square glass substrate (Eagle XG; manufactured by Corning), and then pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling, the distance between the substrate coated with the colored photosensitive resin composition and the photomask made of quartz glass having a pattern is set to 100 μm, using an exposure machine (TME-150RSK; manufactured by Topcon Co., Ltd.) , And was irradiated with light at an exposure dose of 150 mJ / cm 2 (based on 365 nm). As a photomask, a mask on which a 50 μm line and space pattern was formed was used. After light irradiation, the coating film was immersed and developed in an aqueous developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 24 ° C. for 60 seconds, washed with water, and 220 ° C. in an oven. Was post-baked for 20 minutes to obtain a pattern.
〔感度評価〕
2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を100μmとして、露光機(TME−150RSK;トプコン(株)製)を用いて、大気雰囲気下、50mJ/cm2の露光量(365nm基準)で光照射した。尚、フォトマスクとしては、石英ガラスの透過率に対して、透過率1〜100%の透光部を有するグレイスケールマスクを使用した。各透光部の大きさは5×8mmである。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤0.12%と炭酸ナトリウム2%とを含む水系現像液に24℃で60秒間浸漬して現像し、水洗した。その後、オーブン中、230℃で30分間ポストベークを行い、パターンを得た。パターンが形成された基板を目視で観察し、下記式から感度を求めた。結果を表2に示す。
感度(mJ/cm2)=TM(%) × 50(mJ/cm2)
[式中、TMは、基板上に残った前記透光部から形成されたパターンのうち、最も透過率の低い透光部から形成されたパターンに対応する透光部の透過率を表す。]
[Sensitivity evaluation]
A colored photosensitive resin composition was applied by spin coating on a 2-inch square glass substrate (Eagle XG; manufactured by Corning), and then pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling, the distance between the substrate coated with the colored photosensitive resin composition and the photomask made of quartz glass having a pattern is set to 100 μm, using an exposure machine (TME-150RSK; manufactured by Topcon Co., Ltd.) , And was irradiated with light at an exposure dose of 50 mJ / cm 2 (based on 365 nm). In addition, as a photomask, the gray scale mask which has a translucent part with the transmittance | permeability of 1 to 100% with respect to the transmittance | permeability of quartz glass was used. The size of each translucent part is 5 × 8 mm. After the light irradiation, the coating film was developed by immersing it in an aqueous developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 2% of sodium carbonate at 24 ° C. for 60 seconds, and washed with water. Thereafter, post-baking was performed in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a pattern. The board | substrate with which the pattern was formed was observed visually, and the sensitivity was calculated | required from the following formula. The results are shown in Table 2.
Sensitivity (mJ / cm 2 ) = T M (%) × 50 (mJ / cm 2 )
Wherein, T M, of the pattern formed from the transparent portion remaining on the substrate, representing the transmittance of the transparent portion corresponding to the pattern formed from the lowest transmittance transparent portion. ]
〔溶解時間評価〕
2インチ角のガラス基板(イーグルXG;コーニング社製)上に、上記と同様にして着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布した後、100℃で3分間プリベークした。冷却後、スピン現像機(SD−408R;(有)押鐘製)にて非イオン系界面活性剤0.12%と炭酸ナトリウム2%とを含む水系現像液を0.05hPaで噴射し、基板上に塗布した膜が全て溶解するまでの時間を測定した。結果を表2に示す。
[Evaluation of dissolution time]
A colored photosensitive resin composition was applied on a 2-inch square glass substrate (Eagle XG; manufactured by Corning) in the same manner as described above, and then pre-baked at 100 ° C. for 3 minutes. After cooling, an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 2% sodium carbonate was sprayed at 0.05 hPa with a spin developing machine (SD-408R; manufactured by Oshibe) The time until all of the film applied on the surface was dissolved was measured. The results are shown in Table 2.
〔膜厚測定〕
得られたパターンについて、膜厚測定装置(DEKTAK3;日本真空技術(株)製))を用いて膜厚を測定した。結果を表2に示す。
[Film thickness measurement]
About the obtained pattern, the film thickness was measured using the film thickness measuring apparatus (DEKTAK3; Nippon Vacuum Technology Co., Ltd.). The results are shown in Table 2.
〔色度評価〕
得られたパターンについて、測色機(OSP−SP−200;オリンパス(株)製)を用いて分光を測定し、C光源の特性関数を用いてCIEのXYZ表色系におけるxy色度座標(x、y)と明度Yを測定した。結果を表2に示す。
[Chromaticity evaluation]
About the obtained pattern, spectrum was measured using the colorimeter (OSP-SP-200; Olympus Co., Ltd.), and the xy chromaticity coordinates in the XYZ color system of CIE (Characteristic function of C light source) x, y) and brightness Y were measured. The results are shown in Table 2.
本発明によれば、パターン形成時の感度が高い着色感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。
本発明の着色感光性樹脂組成物により、上記のようにして得られたパターンは、カラーフィルタとして有用である。該カラーフィルタは、表示装置(例えば、液晶表示装置、有機EL装置等)、固体撮像素子、電子ペーパー等の種々の着色画像に関連する機器に、公知の態様で利用することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition having high sensitivity during pattern formation.
The pattern obtained as described above by the colored photosensitive resin composition of the present invention is useful as a color filter. The color filter can be used in a known manner for devices related to various colored images such as a display device (for example, a liquid crystal display device, an organic EL device, etc.), a solid-state imaging device, and electronic paper.
Claims (5)
着色剤が、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料と、キノフタロン顔料とを含み、
重合開始剤が、O−アシルオキシム化合物及びアルキルフェノン化合物を含む着色感光性樹脂組成物。 Including a colorant, a resin, a polymerizable compound and a polymerization initiator,
The colorant comprises a zinc halide phthalocyanine pigment and a quinophthalone pigment;
A colored photosensitive resin composition, wherein the polymerization initiator includes an O-acyloxime compound and an alkylphenone compound.
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150032175A (en) | 2013-09-17 | 2015-03-25 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | Coloring composition, colored cured film and display device |
JP2015219526A (en) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. | Method for forming photocurable pattern |
JP2016145975A (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-12 | 住友化学株式会社 | Colored photosensitive resin composition |
KR20160110230A (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-21 | 동우 화인켐 주식회사 | Colored curable resin composition |
JP2018040835A (en) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | Color filter coloring composition and color filter |
Families Citing this family (2)
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---|---|---|---|---|
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003096118A (en) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Fujifilm Arch Co Ltd | Photocurable composition and color filter using the same |
JP2009223288A (en) * | 2008-02-22 | 2009-10-01 | Jsr Corp | Radiation-sensitive composition for forming green pixel, color filter, and color liquid crystal display element |
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JP2011095732A (en) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Fujifilm Corp | Colored curable composition, color resist, color filter and method for producing the same, and solid-state imaging element and image display device with color filter |
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---|---|---|---|---|
JP2009221269A (en) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Jsr Corp | Radiosensitive resin composition, spacer and protective film for liquid crystal display element and their manufacturing method |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003096118A (en) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Fujifilm Arch Co Ltd | Photocurable composition and color filter using the same |
JP2009223288A (en) * | 2008-02-22 | 2009-10-01 | Jsr Corp | Radiation-sensitive composition for forming green pixel, color filter, and color liquid crystal display element |
JP2011028219A (en) * | 2009-06-25 | 2011-02-10 | Jsr Corp | Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element |
JP2011095732A (en) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Fujifilm Corp | Colored curable composition, color resist, color filter and method for producing the same, and solid-state imaging element and image display device with color filter |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150032175A (en) | 2013-09-17 | 2015-03-25 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | Coloring composition, colored cured film and display device |
JP2015219526A (en) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. | Method for forming photocurable pattern |
JP2016145975A (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-12 | 住友化学株式会社 | Colored photosensitive resin composition |
KR20160110230A (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-21 | 동우 화인켐 주식회사 | Colored curable resin composition |
KR102092348B1 (en) * | 2015-03-12 | 2020-03-23 | 동우 화인켐 주식회사 | Colored curable resin composition |
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