JP2009223288A - Radiation-sensitive composition for forming green pixel, color filter, and color liquid crystal display element - Google Patents

Radiation-sensitive composition for forming green pixel, color filter, and color liquid crystal display element Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly sensitive radiation-sensitive composition with superior dispersion stability, can form green pixels with high luminance. <P>SOLUTION: The radiation-sensitive composition for forming green pixels contains a colorant A, alkali-soluble polymer resin B, polyfunctional monomer C, and a radiation-sensitive polymerization initiator D. The colorant A contains C.I. pigment green 58, and the radiation-sensitive polymerization initiator D contains a compound represented by a formula 1. In the formula 1, R<SP>1</SP>-R<SP>4</SP>respectively independently indicates hydrogen atoms, alkyl groups of carbon numbers 1-18, and alkoxy groups of carbon numbers 1-18. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、緑色画素形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置に関し、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの製造に好適に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。   The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a green pixel, a color filter, and a color liquid crystal display device. The present invention relates to a suitably used radiation-sensitive composition, a color filter formed from the radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display device including the color filter.

着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線性組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1および2参照)が知られている。   As a method for forming a color filter using a colored radiation-sensitive composition, a coating film of a colored radiation-sensitive composition is formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation through a photomask having a pattern (hereinafter referred to as “exposure”), developing to dissolve and remove unexposed portions, and then post-baking (for example, patents) Documents 1 and 2) are known.

このようなカラーフィルタを具備する液晶表示素子には高輝度化と色再現領域の拡大が求められており、そのためカラーフィルタについても近年ますます高い光透過率と高い色純度を有するものが要求されている。
緑色画素については、輝度が高くかつ色再現域が広いカラーフィルタを提供することができる材料として、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物が知られており注目されている(例えば、特許文献3参照)。しかしながら、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物は、分散安定性が悪いため異物を発生しやすく、量産適用することが困難であった。
A liquid crystal display device having such a color filter is required to have high brightness and an expanded color reproduction region. For this reason, color filters having higher light transmittance and higher color purity are required in recent years. ing.
For green pixels, a pigment composition containing a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment is known as a material capable of providing a color filter having high luminance and a wide color reproduction range (for example, patents). Reference 3). However, since the pigment composition containing the polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment has poor dispersion stability, it tends to generate foreign matter and is difficult to apply in mass production.

一方、近年におけるカラーフィルタの技術分野においては、カラーフィルタの形成に用いられる基板サイズが大型化していることも相まって、露光量を下げてタクトタイムを短縮することが主流となっており、そのため着色感放射線性組成物には低露光量でも現像時にパターンの欠けや剥がれが生じないこと、すなわち高感度化が要求されている。
以上のような背景から、輝度の高い緑色画素を形成することができ、分散安定性にも優れ、しかも高感度な感放射線性組成物の開発が強く求められている。
特開平2−144502号公報 特開平3−53201号公報 特開2007−284589号公報
On the other hand, in the technical field of color filters in recent years, combined with the increase in the size of the substrate used for forming color filters, it has become the mainstream to reduce the exposure amount and shorten the tact time. The radiation-sensitive composition is required to have no pattern chipping or peeling at the time of development even at a low exposure amount, that is, high sensitivity.
In view of the above background, there is a strong demand for the development of a radiation-sensitive composition that can form green pixels with high brightness, is excellent in dispersion stability, and is highly sensitive.
JP-A-2-144502 JP-A-3-53201 JP 2007-284589 A

本発明の目的は、輝度の高い緑色画素を形成することができ、分散安定性にも優れ、しかも高感度な緑色画素形成用感放射線性組成物を提供することにある。
更に本発明の目的は、前記緑色画素形成用感放射線性組成物から形成された画素を備えてなるカラーフィルタ、および当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition for forming a green pixel, which can form a green pixel with high luminance, is excellent in dispersion stability, and has high sensitivity.
Furthermore, the objective of this invention is providing the color liquid crystal display element which comprises the color filter provided with the pixel formed from the said radiation sensitive composition for green pixel formation, and the said color filter.

斯かる実情に鑑み、本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、意外にも、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であるC.I.ピグメントグリーン58を、特定の感放射線性重合開始剤と組み合わせて感放射線性組成物に含有せしめることで上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成した。   In view of such circumstances, the present inventors have conducted extensive research and surprisingly found that C.I. which is a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment. I. It has been found that the above-mentioned problems can be solved by incorporating Pigment Green 58 in a radiation-sensitive composition in combination with a specific radiation-sensitive polymerization initiator, and the present invention has been completed.

即ち、本発明は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、および(D)感放射線性重合開始剤を含有する緑色画素形成用感放射線性組成物であって、(A)着色剤がC.I.ピグメントグリーン58を含有するものであり、かつ(D)感放射線性重合開始剤が下記式(1)で表される化合物を含有するものである緑色画素形成用感放射線性組成物を提供するものである。   That is, the present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a green pixel, which comprises (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a radiation-sensitive polymerization initiator. Wherein (A) the colorant is C.I. I. Pigment Green 58 is provided, and (D) a radiation-sensitive composition for green pixel formation is provided, wherein the radiation-sensitive polymerization initiator contains a compound represented by the following formula (1) It is.

Figure 2009223288
Figure 2009223288

(式中、R1〜R4は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜18のアルキル基または炭素数1〜18のアルコキシ基を示す。) (Wherein, R 1 to R 4 are, independently of one another hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms having 1 to 18 carbon atoms.)

また、本発明は、該感放射線性組成物を用いて形成された画素を備えてなるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子をも提供するものである。   The present invention also provides a color filter including pixels formed using the radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display device including the color filter.

本発明の感放射線性組成物を用いることにより、高い輝度を有し、画素上に異物を生じることもなく、さらに低露光量でも現像時にパターンの欠けや剥がれを生じることのない緑色画素を形成することができる。
また、本発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。
By using the radiation-sensitive composition of the present invention, a green pixel having high brightness, no foreign matter on the pixel, and no pattern chipping or peeling at the time of development is formed even at a low exposure amount. can do.
The color filter of the present invention is extremely useful for, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color image pickup tube element, a color sensor, and the like.

本発明の緑色画素形成用感放射線性組成物(以下、単に「感放射線性組成物」ということがある。)において、(A)着色剤は、C.I.ピグメントグリーン58を含有するものである。この場合において、C.I.ピグメントグリーン58の含有率は、全着色剤中、20〜100質量%が好ましく、特に35〜75質量%が好ましい。そして、このような着色剤を用いることにより、高い輝度を有する緑色画素を得ることができる。   In the radiation-sensitive composition for forming a green pixel of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “radiation-sensitive composition”), (A) the colorant is C.I. I. Pigment Green 58 is contained. In this case, C.I. I. The content of Pigment Green 58 is preferably 20 to 100% by mass, and particularly preferably 35 to 75% by mass, based on the total colorant. And by using such a colorant, a green pixel having high luminance can be obtained.

また、本発明の感放射線性組成物は、C.I.ピグメントグリーン58以外の他の着色剤をさらに含有することができる。他の着色剤としては、特に限定されるものでないが、カラーフィルタには高純度で高光透過性の発色と耐熱性が求められることから、有機顔料が好ましい。
他の有機顔料としては、例えば、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
Moreover, the radiation sensitive composition of this invention is C.I. I. Other colorants other than CI Pigment Green 58 can be further contained. Other colorants are not particularly limited, but organic pigments are preferred because color filters are required to have high purity and high light-transmitting color development and heat resistance.
Examples of the other organic pigments include compounds classified as pigments in the color index, specifically, those having the following color index (CI) numbers.

C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー211、C.I.ピグメントイエロー219;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36;
C. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 211, C.I. I. Pigment yellow 219;

C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74;   C. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 68, C.I. I. Pigment orange 70, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 72, C.I. I. Pigment orange 73, C.I. I. Pigment orange 74;

C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272。
これら他の有機顔料は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 214, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 221, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 262, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment Red 272.
These other organic pigments can be used alone or in admixture of two or more.

これら他の有機顔料のうち、緑色の画素を形成する点から、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー219等が好ましい。   Among these other organic pigments, C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment Yellow 219 and the like are preferable.

本発明において、C.I.ピグメントグリーン58および他の顔料は、必要に応じて、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。また、C.I.ピグメントグリーン58および他の顔料は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマーなどを挙げることができる。   In the present invention, C.I. I. Pigment Green 58 and other pigments can be purified and used by recrystallization method, reprecipitation method, solvent washing method, sublimation method, vacuum heating method, or a combination thereof, if necessary. In addition, C.I. I. Pigment Green 58 and other pigments can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the particle surface of the pigment include the polymers described in JP-A-8-259876 and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments.

本発明において、(A)着色剤は、輝度の高い緑色画素を形成する点から、全固形分中5〜70質量%含有することが好ましく、特に5〜60質量%含有することが好ましい。ここで固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。   In the present invention, (A) the colorant is preferably contained in an amount of 5 to 70% by mass, particularly preferably 5 to 60% by mass, based on the total solid content, from the viewpoint of forming a green pixel with high luminance. Here, solid content is components other than the solvent mentioned later.

本発明の感放射線性組成物に含有される(B)アルカリ可溶性樹脂は、着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、通常、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する重合体である。なかでも、カルボキシル基を有する重合体を含有するものが好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好ましい。   The (B) alkali-soluble resin contained in the radiation-sensitive composition of the present invention is particularly limited as long as it is soluble in the alkali developer used in the development processing step when forming the colored layer. Although not intended, it is usually a polymer having an acidic functional group such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Among these, those containing a polymer having a carboxyl group are preferred, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”). Copolymers (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymers”) with other copolymerizable ethylenically unsaturated monomers (hereinafter referred to as “copolymerizable unsaturated monomers”) are preferred. .

カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、桂皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に(メタ)アクリル酸が好ましい。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or anhydrides thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
In the present invention, the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, Particularly preferred is (meth) acrylic acid.
These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

カルボキシル基含有共重合体において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50質量%、さらに好ましくは10〜40質量%である。この場合、該共重合割合が5質量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50質量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。   In the carboxyl group-containing copolymer, the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably 5 to 50% by mass, and more preferably 10 to 40% by mass. In this case, if the copolymerization ratio is less than 5% by mass, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkali developer tends to decrease, whereas if it exceeds 50% by mass, the solubility in an alkali developer tends to be low. When the development is performed with an alkaline developer, the pixel tends to drop off from the substrate or the surface of the pixel becomes rough.

また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
マレイミド:
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Maleimide:
N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N- N-substituted maleimides such as succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylphenol, m-vinyl Phenol, p-vinylphenol, p-hydroxy-α-methylstyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, o-vinylbenzylglycidyl ether, m-vinylbenzylglycidyl ether , Aromatic vinyl compounds such as p-vinylbenzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−
イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル;
Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydi Propylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-
Unsaturation such as yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol Carboxylic acid esters;

グリシジル(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸グリシジルエステル;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルの如き他の不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Other unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、共重合性不飽和単量体としては、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましく、さらにはN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましく、特にはN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレートよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましい。   In the present invention, as the copolymerizable unsaturated monomer, an N-substituted maleimide, an aromatic vinyl compound, an unsaturated carboxylic acid ester, or a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain. Those containing at least one selected from the group consisting of N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, styrene, α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n -Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) Acrylate, paracumylfe Preferred are those containing at least one selected from the group consisting of ethylene oxide-modified (meth) acrylates, polystyrene macromonomers, and polymethyl methacrylate macromonomers, particularly N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, styrene, α -What contains at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of methylstyrene, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and glycerol mono (meth) acrylate is preferable.

本発明においては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシル基を有する共重合性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性樹脂に、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート等の不飽和イソシアナート化合物を反応させることにより、アルカリ可溶性樹脂の側鎖に重合性不飽和結合を導入することができる。   In the present invention, for example, an alkali-soluble resin obtained by copolymerizing a copolymerizable unsaturated monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is added to an alkali-soluble resin such as 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate. By reacting the saturated isocyanate compound, a polymerizable unsaturated bond can be introduced into the side chain of the alkali-soluble resin.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」ともいう。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。Mwが1,000未満であると、得られる被膜の残膜率等が低下したり、パターン形状、耐熱性等が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方45,000を超えると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」ともいう。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnとの比(Mw/Mn)は、好ましくは1.0〜5.0、より好ましくは1.0〜3.0である。
The weight average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter also referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000. Preferably it is 3,000-20,000. If the Mw is less than 1,000, the residual film rate of the resulting coating may be reduced, the pattern shape, heat resistance, etc. may be impaired, and electrical characteristics may be deteriorated, while exceeding 45,000. Then, the resolution may be reduced, the pattern shape may be impaired, and dry foreign matter may be easily generated during application by the slit nozzle method.
Further, the number average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter also referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45, 000, preferably 3,000 to 20,000.
Moreover, the ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 1.0 to 5.0, more preferably 1.0 to 3.0.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、(メタ)アクリル酸等の不飽和単量体を、適当な溶媒中、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。   The alkali-soluble resin in the present invention includes, for example, an unsaturated monomer such as (meth) acrylic acid, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) can be produced by polymerization in the presence of a radical polymerization initiator.

また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、その構成成分となる各不飽和化合物を、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。
さらに、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その構成成分となる各不飽和単量体を、上記ラジカル重合開始剤、および連鎖移動剤として作用する多価チオール化合物の存在下、適当な溶媒中でラジカル重合することにより製造することができる。ここで、多価チオール化合物とは、1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物をいい、例えば、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4―ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5,−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等を挙げることができる。
Moreover, the alkali-soluble resin in the present invention includes, for example, 2,2′-azobisisobutyronitrile and 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as unsaturated compounds as constituent components. , Radical polymerization initiators such as 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), and pyrazole-1-dithiocarboxylic acid cyano (dimethyl) methyl ester, pyrazole-1-dithiocarboxylate benzyl Ester, tetraethylthiuram disulfide, bis (pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (3-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (4-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, Bis (5-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) In the presence of a molecular weight regulator that acts as an iniferter such as sulfide, bis (3,4,5-trimethyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (pyrrol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bisthiobenzoyl disulfide In the inert solvent, the reaction temperature is usually 0 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C., and can be produced by living radical polymerization.
Furthermore, the alkali-soluble resin according to the present invention is a method in which each unsaturated monomer as a constituent component is radicalized in a suitable solvent in the presence of the radical polymerization initiator and a polyvalent thiol compound that acts as a chain transfer agent. It can be produced by polymerization. Here, the polyvalent thiol compound means a compound having two or more thiol groups in one molecule, for example, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropio). Nate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5, -tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H , 5H) -trione and the like.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、上記のように重合性不飽和化合物をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、ポリマー溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製されたアルカリ可溶性樹脂から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
The alkali-soluble resin in the present invention can be purified through a reprecipitation method using two or more kinds of organic solvents having different polarities after radical polymerization of the polymerizable unsaturated compound as described above. That is, after removing insoluble impurities from the solution in a good solvent after polymerization by filtration or centrifugation as necessary, a large amount (usually 5 to 10 times the volume of the polymer solution) of a precipitant (poor) Purification by pouring into the solvent) and reprecipitation of the copolymer. At that time, of the impurities remaining in the polymer solution, impurities soluble in the precipitant remain in the liquid phase and are separated from the purified alkali-soluble resin.
Examples of the good solvent / precipitant combination used in this reprecipitation method include diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-hexane, methyl ethyl ketone / n-hexane, diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-heptane, and methyl ethyl ketone / n-heptane. Can be mentioned.

本発明において、(B)アルカリ可溶性樹脂の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常、10〜1,000質量部が好ましく、特に20〜500質量部が好ましい。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が10質量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方1,000質量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。   In the present invention, the content of the (B) alkali-soluble resin is usually preferably 10 to 1,000 parts by mass, particularly preferably 20 to 500 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) colorant. In this case, if the content of the alkali-soluble resin is less than 10 parts by mass, for example, the alkali developability may be lowered, or a residue or background stain may occur on the substrate or the light shielding layer in the unexposed area. When the amount exceeds 1,000 parts by mass, the colorant concentration relatively decreases, and it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.

本発明における(C)多官能性単量体は、2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体である。
このような多官能性単量体としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコールの如きアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールの如きポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート;
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールの如き3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレートやそのジカルボン酸変性物;
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂の如きオリゴ(メタ)アクリレート;
両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンの如き両末端ヒドロキシル重合体のジ(メタ)アクリレート;
トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフェートや、
イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレート
等を挙げることができる。
The (C) polyfunctional monomer in the present invention is a monomer having two or more polymerizable unsaturated bonds.
As such a polyfunctional monomer, for example,
Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol and their dicarboxylic acid modified products;
Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin, spirane resin;
Di (meth) acrylates of both end hydroxyl polymers such as both end hydroxypoly-1,3-butadiene, both end hydroxypolyisoprene, both end hydroxypolycaprolactone;
Tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate,
Examples include isocyanuric acid ethylene oxide-modified triacrylate.

これらの多官能性単量体のうち、3価以上の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ペンタエリスリトールトリメタクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物およびジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物が、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of polyhydric alcohols having 3 or more valences and their dicarboxylic acid-modified products, specifically, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, Pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, pentaerythritol triacrylate and amber Monoesterified product with acid, monoester with pentaerythritol trimethacrylate and succinic acid Preferred are monoesterified products of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic acid, and monoesterified products of dipentaerythritol pentamethacrylate and succinic acid, particularly trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipenta Erythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, monoesterified product of pentaerythritol triacrylate and succinic acid and monoesterified product of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic acid have high strength of the colored layer, and the surface of the colored layer is smooth. It is preferable in that it has excellent properties and hardly causes scumming or film residue on the unexposed substrate and the light shielding layer.
The said polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

本発明における(C)多官能性単量体の含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、通常、5〜500質量部が好ましく、特に20〜300質量部が好ましい。この場合、多官能性単量体の含有量が5質量部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方500質量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content of the (C) polyfunctional monomer is usually preferably 5 to 500 parts by mass, particularly preferably 20 to 300 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (B) alkali-soluble resin. In this case, when the content of the polyfunctional monomer is less than 5 parts by mass, the strength and surface smoothness of the pixel tend to be reduced. On the other hand, when the content exceeds 500 parts by mass, for example, alkali developability is reduced. In addition, background stains, film residue, etc. tend to occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer.

また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単量体に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレートや、N−(メタ)アクリロイルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、市販品として、M−5600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the present invention, a part of the polyfunctional monomer can be replaced with a monofunctional monomer having one polymerizable unsaturated bond.
Examples of the monofunctional monomer include divalent or higher polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]. Mono (meth) acrylate of a polymer having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as mono [(meth) acryloyloxyalkyl] ester of acid, ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, and N- (meth) In addition to acryloylmorpholine, N-vinylpyrrolidone, N-vinyl-ε-caprolactam, examples of commercially available products include M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.).
These monofunctional monomers can be used alone or in admixture of two or more.

本発明における単官能性単量体の含有割合は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、好ましくは90質量%以下、より好ましくは50質量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合が90質量%を超えると、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向がある。   The content ratio of the monofunctional monomer in the present invention is preferably 90% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, with respect to the total of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer. In this case, when the use ratio of the monofunctional monomer exceeds 90% by mass, the strength and surface smoothness of the pixel tend to be lowered.

本発明に用いる(D)感放射線性重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
本発明においては、(D)感放射線性重合開始剤として上記式(1)で表される化合物を含有せしめることにより、高感度でしかも分散安定性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。
すなわち、(ジアミノ)ベンゾフェノン化合物等、感放射線性重合開始剤は一般に分子中に複数のアミノ基を有する場合が多く、本発明者らは、この複数のアミノ基がC.I.ピグメントグリーン58と相互作用し分散状態を破壊することにより異物が生じるものと考え、鋭意検討した結果、上記式(1)で表される化合物がC.I.ピグメントグリーン58との組み合わせにおいて最適であることを見出した。
The (D) radiation-sensitive polymerization initiator used in the present invention is used by the (C) polyfunctional monomer and optionally by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. A compound that generates an active species capable of initiating polymerization of a monofunctional monomer.
In the present invention, (D) a radiation sensitive composition having high sensitivity and excellent dispersion stability can be obtained by incorporating the compound represented by the above formula (1) as a radiation sensitive polymerization initiator. it can.
That is, a radiation-sensitive polymerization initiator such as a (diamino) benzophenone compound generally has a plurality of amino groups in the molecule, and the present inventors have found that the plurality of amino groups are C.I. I. As a result of earnest examination considering that foreign substances are generated by interacting with Pigment Green 58 and destroying the dispersed state, the compound represented by the above formula (1) is C.I. I. It has been found that it is optimal in combination with Pigment Green 58.

上記式(1)中、R1及びR3は、水素原子が好ましく、R2及びR4は、水素原子又は炭素数1〜12のアルキル基が好ましい。さらに、R2及びR4は、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基が好ましい。
上記式(1)で表されるチオキサントン系化合物の具体例としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2−ドデシルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。
これらのチオキサントン系化合物のうち、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンが好ましい。
本発明において、チオキサントン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the above formula (1), R 1 and R 3 are preferably hydrogen atoms, and R 2 and R 4 are preferably hydrogen atoms or alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms. Furthermore, R 2 and R 4 are preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
Specific examples of the thioxanthone compound represented by the above formula (1) include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2-dodecylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4 -Diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, etc. can be mentioned.
Of these thioxanthone compounds, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone are preferable.
In the present invention, the thioxanthone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明においては、前記チオキサントン系化合物とともに、他の感放射線性重合開始剤を使用することが好ましい。この場合において、チオキサントン系化合物の含有率は、分散安定性の点から感放射線性重合開始剤中、1〜75質量%が好ましく、5〜50質量%がより好ましい。このような感放射線性重合開始剤開始剤を用いることにより、高感度でしかも分散安定性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。   In the present invention, it is preferable to use another radiation-sensitive polymerization initiator together with the thioxanthone compound. In this case, the content of the thioxanthone compound is preferably 1 to 75% by mass and more preferably 5 to 50% by mass in the radiation-sensitive polymerization initiator from the viewpoint of dispersion stability. By using such a radiation-sensitive polymerization initiator initiator, a radiation-sensitive composition having high sensitivity and excellent dispersion stability can be obtained.

他の感放射線性重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。   Other radiation sensitive polymerization initiators include, for example, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketones Examples include compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, and the like.

本発明において、他の感放射線性重合開始剤としては、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、本発明における他の感放射線性重合開始剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物および O−アシルオキシム系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。   In the present invention, the other radiation-sensitive polymerization initiator can be used alone or in admixture of two or more, but the other radiation-sensitive polymerization initiator in the present invention includes an acetophenone compound, At least one selected from the group consisting of biimidazole compounds and O-acyloxime compounds is preferred.

本発明における好ましい他の感放射線性重合開始剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1,2−オクタンジオン等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among other preferable radiation-sensitive polymerization initiators in the present invention, specific examples of acetophenone compounds include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-methyl-1- [4- (Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2 -(Dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenylketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1,2- And octanedione.
Among these acetophenone compounds, in particular, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpho Linophenyl) butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 1,2-octanedione and the like are preferable.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。   Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-bi Imidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2, 2'-bis (2-bromophenyl)- , 4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1, 2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like can be mentioned. .

これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が好ましく、特に、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole and the like are preferable, and in particular, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′- Biimidazole is preferred.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明においては、他の感放射線性重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記の水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物が好ましい。
In the present invention, when a biimidazole compound is used as another radiation-sensitive polymerization initiator, it is preferable to use the following hydrogen donor in combination because the sensitivity can be further improved.
The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure.
The hydrogen donor in the present invention is preferably a mercaptan compound defined below.

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物からなる。   The mercaptan-based compound includes a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2, mercapto groups directly bonded to the mother nucleus.

メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系化合物は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系化合物は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
A mercaptan-based compound can have one or more benzene rings or heterocyclic rings, and can have both a benzene ring and a heterocyclic ring. When two or more of these rings are present, a condensed ring is formed. However, it may not be formed.
Further, when the mercaptan compound has two or more mercapto groups, one or more of the remaining mercapto groups may be substituted with an alkyl, aralkyl or aryl group as long as at least one free mercapto group remains. In addition, as long as at least one free mercapto group remains, a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or two sulfur atoms are disulfide. It can have structural units joined in form.
Furthermore, the mercaptan-based compound may be substituted with a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a substituted alkoxycarbonyl group, a phenoxycarbonyl group, a substituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like at a place other than the mercapto group.

このようなメルカプタン系化合物の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系化合物のうち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
本発明において、メルカプタン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of such mercaptan compounds include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2, 5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned.
Of these mercaptan compounds, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.
In the present invention, the mercaptan compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、メルカプタン系化合物をビイミダゾール系化合物と併用する場合、メルカプタン系化合物の含有量は、ビイミダゾール系化合物100質量部に対して、好ましくは1〜300質量部以下、特に好ましくは5〜200質量部以下、さらに好ましくは10〜150である。この場合、水素供与体の含有量が1質量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方300質量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, when a mercaptan compound is used in combination with a biimidazole compound, the content of the mercaptan compound is preferably 1 to 300 parts by mass, particularly preferably 5 to 100 parts by mass of the biimidazole compound. It is 200 mass parts or less, More preferably, it is 10-150. In this case, if the content of the hydrogen donor is less than 1 part by mass, the effect of improving the sensitivity tends to decrease. On the other hand, if the content exceeds 300 parts by mass, the formed colored layer tends to fall off from the substrate during development. Tend to be.

また、前記O−アシルオキシム系化合物は、オキシムエステル構造(>C=N−O−CO−)を有する化合物であり、その具体例としては、例えば、1,2−オクタンジオン−1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ノナン−1,2−ノナン−2−オキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−ペンタン−1,2−ペンタン−2−オキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセタート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−エチル−6−(1,3,5−トリメチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、1−〔9−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾアート、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。   The O-acyloxime compound is a compound having an oxime ester structure (> C═N—O—CO—), and specific examples thereof include, for example, 1,2-octanedione-1- [4 -(Phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O- Benzoate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl- 9H-carbazol-3-yl] -pentane-1,2-pentane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl] -octa -1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9- Ethyl-6- (1,3,5-trimethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1 -(O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9H- Carbazole-3-yl] -, 1- (O- acetyloxime) and the like.

これらのO−アシルオキシム系化合物のうち、特に、1,2−オクタンジオン−1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−[2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル]−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等が好ましい。
前記O−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these O-acyloxime compounds, in particular, 1,2-octanedione-1- [4- (phenylthio) phenyl] -2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6 -(2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- [2-methyl-4- (2,2- Dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl] -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like are preferable.
The O-acyloxime compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明において、(D)感放射線性重合開始剤の含有量は、(C)多官能性単量体100質量部に対して、通常0.01〜120質量部が好ましく、特に好ましくは1〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部である。この場合、感放射線性重合開始剤の含有量が0.01質量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方120質量部を超えると、形成された画素パターンが現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。   In the present invention, the content of the (D) radiation-sensitive polymerization initiator is usually preferably 0.01 to 120 parts by mass, particularly preferably 1 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (C) polyfunctional monomer. 100 parts by mass, more preferably 1 to 70 parts by mass. In this case, if the content of the radiation-sensitive polymerization initiator is less than 0.01 parts by mass, curing by exposure becomes insufficient, and it becomes difficult to obtain a color filter in which pixel patterns are arranged according to a predetermined arrangement. On the other hand, when the amount exceeds 120 parts by mass, the formed pixel pattern tends to be detached from the substrate during development.

本発明の感放射線性組成物は、上記(A)〜(D)成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤をさらに含有することもできる。
ここで他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等のアルカリ溶解性改善剤等を挙げることができる。
Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component, it can also contain another additive as needed.
Examples of other additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylates); nonionic surfactants, cationic surfactants, and anionic surfactants. Surfactants such as surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyl Adhesion promoters such as methoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol) Antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol; UV absorbers such as 2- (3-tert-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; Anticoagulants such as sodium polyacrylate; alkali solubility improvers such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, and mesaconic acid.

本発明において、感放射線性組成物は、適宜の方法により調製することができ、例えば、(A)成分および上記(B)〜(D)成分を、後述する溶媒や添加剤と共に、混合することにより調製することができるが、(A)着色剤を溶媒中、分散剤および必要に応じて添加する分散助剤の存在下で、場合により(B)成分の一部と共に、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して顔料分散液とし、これを、(B)〜(D)成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や添加剤を添加し、混合することにより調製することが好ましい。   In the present invention, the radiation-sensitive composition can be prepared by an appropriate method. For example, the component (A) and the components (B) to (D) are mixed together with the solvent and additives described below. (A) In the presence of a dispersing agent and, if necessary, a dispersion aid to which a colorant is added in a solvent, optionally together with a part of the component (B), for example, a bead mill, a roll mill, etc. , Mixed and dispersed while pulverizing to obtain a pigment dispersion, which is prepared by adding (B) to (D) components and, if necessary, additional solvents and additives and mixing. It is preferable to do.

前記顔料分散液の調製に使用される分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基(カチオン性の官能基)を有する幹ポリマー1分子に、2分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。   As the dispersant used for the preparation of the pigment dispersion, for example, an appropriate dispersant such as a cationic, anionic, nonionic or amphoteric can be used, and a polymer dispersant is preferable. Specifically, a modified acrylic copolymer, an acrylic copolymer, polyurethane, polyester, an alkyl ammonium salt or a phosphate ester salt of a high molecular copolymer, a cationic comb graft polymer, and the like can be given. Here, the cationic comb graft polymer refers to a polymer having a structure in which two or more branched polymers are grafted to one molecule of a trunk polymer having a plurality of basic groups (cationic functional groups). Examples thereof include a polymer composed of a ring-opening polymer in which the trunk polymer part is polyethyleneimine and the branch polymer part is ε-caprolactone. Among these dispersants, modified acrylic copolymers, polyurethanes, and cationic comb graft polymers are preferable.

このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、変性アクリル系共重合体として、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001、BYK−LPN21116、BYK−LPN21324(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ポリウレタンとして、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、カチオン性櫛型グラフトポリマーとして、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、アジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB823、アジスパーPB824、アジスパーPB827(味の素ファインテクノ株式会社製)等を挙げることができる。   Such a dispersant is commercially available. For example, as a modified acrylic copolymer, Disperbyk-2000, Disperbyk-2001, BYK-LPN21116, BYK-LPN21324 (above, manufactured by BYK Corporation (BYK)) Dispersbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182 (above, manufactured by BYK Chemy (BYK)), Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Corp.) As a cationic comb-shaped graft polymer, Solsperse 24000 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), Azisper PB821, Azisper PB822, Azisper PB823, A Spar PB824, mention may be made of Ajisper PB827 (Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd.), and the like.

これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。分散剤の含有量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、100質量部以下、好ましくは0.5〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部、特に好ましくは10〜50質量部である。この場合、分散剤の含有量が100質量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。   These dispersants can be used alone or in admixture of two or more. Content of a dispersing agent is 100 mass parts or less normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 0.5-100 mass parts, More preferably, it is 1-70 mass parts, Most preferably, it is 10-10. 50 parts by mass. In this case, when the content of the dispersant exceeds 100 parts by mass, developability and the like may be impaired.

本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、溶媒を配合し液状組成物として調製することもできる。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
The radiation-sensitive composition for forming a colored layer according to the present invention comprises the components (A) to (D) as essential components and, if necessary, the additive component, but is prepared as a liquid composition by adding a solvent. You can also
As the solvent, the components (A) to (D) and additive components constituting the radiation-sensitive composition are dispersed or dissolved, and do not react with these components and have appropriate volatility. Can be appropriately selected and used.

このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル;
As such a solvent, for example,
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol mono Chirueteru, dipropylene glycol mono -n- propyl ether, dipropylene glycol mono -n- butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, such as tripropylene glycol monoethyl ether (poly) alkylene glycol monoalkyl ether;

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネートの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランの如きエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンの如きケトン類;
Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxy (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as butyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;

プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;
乳酸メチル、乳酸エチルの如き乳酸アルキルエステル;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレンの如き芳香族炭化水素;
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンの如きアミドまたはラクタム類を挙げることができる。
Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate;
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy Methyl 3-methylbutanoate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, Other esters such as n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Mention may be made of amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone.

これらの溶媒のうち、顔料分散性、顔料以外の成分の溶解性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチルが好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol from the viewpoints of pigment dispersibility, solubility of components other than pigment, and coating properties. Dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate, ethyl lactate, ethyl 3-methoxypropionate, Methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxy Preferred are butyl propionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate and ethyl pyruvate. .
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Along with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate In addition, a high boiling point solvent such as diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate can be used in combination.
The high boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more.

溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50質量%となる量が好ましく、特に10〜40質量%となる量が望ましい。   The content of the solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of applicability, stability, etc. of the resulting radiation-sensitive composition, the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is usually An amount of 5 to 50% by mass is preferable, and an amount of 10 to 40% by mass is particularly desirable.

本発明のカラーフィルタは、本発明の感放射線性組成物から形成された緑色画素を備えるものである。
以下に、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、本発明の緑色顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、緑色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、赤色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、赤色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
The color filter of the present invention includes a green pixel formed from the radiation-sensitive composition of the present invention.
The method for forming the color filter of the present invention will be described below.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming a pixel, and a liquid of the radiation sensitive composition in which the green pigment of the present invention is dispersed on the substrate. After applying the composition, pre-baking is performed to evaporate the solvent and form a coating film. Next, this coating film is exposed through a photomask, and then developed using an alkali developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked, whereby a green pixel pattern is formed in a predetermined pattern. A pixel array arranged in an array is formed.
Then, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a red or blue pigment is dispersed, each liquid composition is coated, pre-baked, exposed, developed and post-baked in the same manner as described above, and then red. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.

画素を形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
Examples of the substrate used when forming the pixel include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When applying a liquid composition of a radiation sensitive composition to a substrate, an appropriate application such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, an ink jet method, etc. Although a method can be employed, a spin coating method and a slit die coating method are particularly preferable.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after drying.

画素を形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、一般的には10〜10,000J/m2が好ましい。本発明の感放
射線性組成物は、400J/m2以下の露光量であっても、現像時の画素パターンの欠け
や剥がれを生じることがない。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
For example, visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like can be used as the radiation used when forming the pixels, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
Exposure of the radiation is generally preferred 10~10,000J / m 2. The radiation-sensitive composition of the present invention does not cause chipping or peeling of the pixel pattern during development even at an exposure amount of 400 J / m 2 or less.
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.

このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、輝度が高くかつ色再現域が広いため、カラー液晶表素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。   The color filter of the present invention thus obtained is extremely useful for color liquid crystal surface elements, color image pickup tube elements, color sensors and the like because of its high luminance and wide color reproduction range.

本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
また、本発明のカラー液晶表示素子の1つの実施の形態として、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用いて、薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前述したようにして画素を形成することにより、特に輝度が高くかつ色再現域が広いカラー液晶表示素子を作製することができる。
The color liquid crystal display element of the present invention comprises the color filter of the present invention.
Further, as one embodiment of the color liquid crystal display element of the present invention, by using the radiation-sensitive composition for forming a colored layer of the present invention, pixels are formed as described above on a thin film transistor substrate array. In particular, a color liquid crystal display element having high luminance and a wide color reproduction range can be produced.

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

顔料分散液の調製
調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2
001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−1)を調製した。
Preparation of pigment dispersion Preparation Example 1
(A) C.I. I. Pigment Green 58 and C.I. I. 40 parts by mass of 60/40 (mass ratio) mixture with Pigment Yellow 150, Disperbyk-2 as a dispersant
A mixture of 24 parts by mass of 001 (BYK) (solid content concentration: 45.1% by mass) and 136 parts by mass of propylene glycol methyl ether acetate as a solvent was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to obtain a pigment. A dispersion (A-1) was prepared.

調製例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58とC.I.ピグメントイエロー138との40/60(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2
001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−2)を調製した。
Preparation Example 2
(A) C.I. I. Pigment Green 58 and C.I. I. 40 parts by weight of a 40/60 (mass ratio) mixture with Pigment Yellow 138, Disperbyk-2 as a dispersant
A mixed liquid consisting of 24 parts by weight of 001 (BYK) (solid content concentration: 45.1% by mass) and 136 parts by weight of propylene glycol methyl ether acetate as a solvent was mixed and dispersed for 12 hours by a bead mill to obtain a pigment. A dispersion (A-2) was prepared.

調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58、C.I.ピグメントグリーン36およびC.I.ピグメントイエロー150の19/41/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−3)を調製した。
Preparation Example 3
(A) C.I. I. Pigment green 58, C.I. I. Pigment green 36 and C.I. I. 40 parts by weight of a 19/41/40 (mass ratio) mixture of Pigment Yellow 150, 24 parts by weight of Disperbyk-2001 (BYK) as a dispersant, solid content concentration 45.1% by weight, and propylene glycol as a solvent A mixed liquid consisting of 136 parts by mass of methyl ether acetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-3).

調製例4
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との55/45(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2
001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−4)を調製した。
Preparation Example 4
(A) C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. 40 parts by weight of 55/45 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, Disperbyk-2 as a dispersant
A mixed liquid consisting of 24 parts by weight of 001 (BYK) (solid content concentration: 45.1% by mass) and 136 parts by weight of propylene glycol methyl ether acetate as a solvent was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to obtain a pigment. A dispersion (A-4) was prepared.

合成例1
(B)アルカリ可溶性樹脂の合成
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2.5質量部およびエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質
量部を仕込み、引き続きメタクリル酸15質量部、ω−カルボキシジカプロラクトンモノアクリレート10質量部、N−フェニルマレイミド15質量部、2−エチルヘキシルメタクリレート33質量部、スチレン12質量部、グリセロールモノメタクリレート15質量部およびα−メチルスチレンダイマー(連鎖移動剤)5.0質量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を80℃に昇温し、この温度を保持して3時間重合した。その後、反応溶液を100℃に昇温して、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)0.5質量部を追加し、さらに1時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=30質量%)を得た。得られた樹脂は、Mw=14,000、Mn=5,700であった。この樹脂溶液を「樹脂溶液(B−1)」とする。
Synthesis example 1
(B) Synthesis of alkali-soluble resin A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2.5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of ethylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 15 parts by weight of methacrylic acid, 10 parts by weight of ω-carboxydicaprolactone monoacrylate, 15 parts by weight of N-phenylmaleimide, 33 parts by weight of 2-ethylhexyl methacrylate, 12 parts by weight of styrene, 15 parts by weight of glycerol monomethacrylate and α-methylstyrene After charging 5.0 parts by weight of a dimer (chain transfer agent) and purging with nitrogen, the reaction solution was heated to 80 ° C. while gently stirring and polymerized for 3 hours while maintaining this temperature. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and polymerization was continued for another hour, whereby a resin solution ( Solid content concentration = 30% by mass) was obtained. The obtained resin was Mw = 14,000 and Mn = 5,700. This resin solution is referred to as “resin solution (B-1)”.

実施例1
液状組成物の調製
顔料分散液(A−1)400質量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(B−1)200質量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60質量部、(D)感放射線性重合開始剤として2,4−ジエチルチオキサントン6質量部、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製、商品名IRGACURE OX02)5質量部、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール2質量部および2−メルカプトベンゾチアゾール2質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて固形分濃度が20.0%になるよう混合して、液状組成物(G1)を調製した。
液状組成物(G1)について、下記の手順にしたがって、評価を行った。評価結果を表2に示す。
Example 1
Preparation of liquid composition Pigment dispersion (A-1) 400 parts by mass, (B) 200 parts by mass of resin solution (B-1) as alkali-soluble resin, (C) Dipentaerythritol hexaacrylate as polyfunctional monomer 60 parts by mass, (D) 6 parts by mass of 2,4-diethylthioxanthone as a radiation-sensitive polymerization initiator, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -, 1- (O-acetyloxime) (Ciba Specialty Chemicals make, brand name IRGACURE OX02) 5 parts by mass, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5' -2 parts by mass of tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 2 parts by mass of 2-mercaptobenzothiazole and propylene glycol monomethyl ether as solvent It was mixed so that the solid content concentration of 20.0% by using the acetate, liquid composition (G1) was prepared.
The liquid composition (G1) was evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 2.

異物および感度の評価
液状組成物(G1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成
されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレートで100秒間プレベークを行って、膜厚2.5μmの塗膜を形成した。
次いで、この基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスク(スリット幅90μm)を介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を400J/m2 の露光量で露光した。その後、この基板に対して、23℃の0.04質量%水酸化カリウム水溶液からなる30℃の現像液を、現像圧110kPa、現像液流量1.2リットル/分の条件で90秒間で吐出することにより、シャワー現像を行った。その後、この基板を超純水で洗浄し、風乾した後、さらに220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行って、基板上に緑色のストライプ状画素パターンが配列された画素アレイを形成した。
Evaluation of foreign matter and sensitivity The liquid composition (G1) was applied on a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions was formed on the surface using a spin coater, and then on a hot plate at 90 ° C. Pre-baking was performed for 100 seconds to form a coating film having a thickness of 2.5 μm.
Next, after cooling this substrate to room temperature, a high-pressure mercury lamp is used, and the exposure dose of 400 J / m 2 is applied to the coating film through the photomask (slit width 90 μm). And exposed. Thereafter, a developer at 30 ° C. composed of a 0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. is discharged over 90 seconds under the conditions of a development pressure of 110 kPa and a developer flow rate of 1.2 liters / minute. As a result, shower development was performed. Thereafter, the substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and then post-baked in a clean oven at 220 ° C. for 30 minutes to form a pixel array in which green stripe pixel patterns were arranged on the substrate. .

得られた基板上の画素パターンを光学顕微鏡にて観察したところ、画素パターン上に異物は認められず、パターンエッジに欠けは認められなかった。   When the pixel pattern on the obtained substrate was observed with an optical microscope, no foreign matter was observed on the pixel pattern, and no chipping was observed on the pattern edge.

色度の評価
液状組成物(G1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成さ
れたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて回転数を変量して3枚塗布したのち、90℃のホットプレートで4分間プレベークを行って、膜厚の異なる3枚の塗膜を形成した。
次いで、これらの基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線を400J/m2の露光量で露光した。その後、これらの基板に対して23℃の0.04質量%水
酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で吐出
することにより、シャワー現像を行った。その後、この基板を超純水で洗浄し、風乾した後、さらに220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行って、基板上に200×200μmのドットパターンを形成した。
Evaluation of Chromaticity After coating the liquid composition (G1) on a soda glass substrate on which a SiO 2 film that prevents elution of sodium ions is formed on the surface using a spin coater, the number of rotations is varied. Then, pre-baking was performed for 4 minutes on a hot plate at 90 ° C. to form three coating films having different film thicknesses.
Next, after these substrates were cooled to room temperature, the coating film was exposed to radiation containing wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm at a dose of 400 J / m 2 through a photomask using a high-pressure mercury lamp. After that, shower development was performed by discharging a developer composed of a 0.04 mass% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. at a development pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm). Thereafter, this substrate was washed with ultrapure water, air-dried, and then post-baked in a clean oven at 220 ° C. for 30 minutes to form a 200 × 200 μm dot pattern on the substrate.

得られたドットパターンについて、カラーアナライザー(大塚電子(株)製MCPD2000)を用い、C光源、2度視野にて、CIE表色系における色度座標値(x,y)及び刺激値(Y)を測定した。測定結果より、一定の色度座標値yでの色度座標値x、刺激値(Y)を求めた。評価結果を表2に示す。Y値が大きいほど光透過率(輝度)が高いことを示す。   About the obtained dot pattern, using a color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), a C light source, a chromaticity coordinate value (x, y) and a stimulus value (Y) in the CIE color system with a 2-degree field of view. Was measured. From the measurement results, a chromaticity coordinate value x and a stimulus value (Y) at a constant chromaticity coordinate value y were obtained. The evaluation results are shown in Table 2. The larger the Y value, the higher the light transmittance (brightness).

実施例2〜6および比較例1〜8
実施例1において、構成成分の種類と量を表2に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、液状組成物(G2)〜(G14)を調製した。
次いで、液状組成物(G1)に代えてそれぞれ液状組成物(G2)〜(G14)を用いた以外は、実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
Examples 2-6 and Comparative Examples 1-8
In Example 1, liquid compositions (G2) to (G14) were prepared in the same manner as in Example 1 except that the types and amounts of the constituent components were changed as shown in Table 2.
Next, evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the liquid compositions (G2) to (G14) were used instead of the liquid composition (G1). The results are shown in Table 2.

Figure 2009223288
Figure 2009223288

C−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
D−1:2,4−ジエチルチオキサントン
D−2:2−イソプロピルチオキサントンと4−イソプロピルチオキサントンの混合物(商品名DAROCURE IDX、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−3:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(商品名IRGACURE OX02、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−4:2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
D−5: 2−メルカプトベンゾチアゾール
D−6:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン(商品名イルガキュア369、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−7:ベンゾフェノン
D−8:2,4−ジエチルアミノベンゾフェノン
D−9:2,4−ジメチルアミノベンゾフェノン
C-1: Dipentaerythritol hexaacrylate D-1: 2,4-diethylthioxanthone D-2: Mixture of 2-isopropylthioxanthone and 4-isopropylthioxanthone (trade name DAROCURE IDX, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
D-3: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (trade name IRGACURE OX02, Ciba Specialty・ Made by Chemicals
D-4: 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole D-5: 2-mercaptobenzothiazole D-6: 2 -Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (trade name Irgacure 369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
D-7: Benzophenone D-8: 2,4-Diethylaminobenzophenone D-9: 2,4-Dimethylaminobenzophenone

Figure 2009223288
Figure 2009223288

表1、2から、着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58を使用し、重合開始剤としてチオキサントン系化合物を使用した場合、輝度の指標である光透過率の(Y値)が高く、かつ画素上に異物の発生がなく、パターンに欠けは認められなかった。   From Tables 1 and 2, C.I. I. When CI Pigment Green 58 is used and a thioxanthone compound is used as a polymerization initiator, the light transmittance (Y value), which is an index of luminance, is high, no foreign matter is generated on the pixel, and the pattern is not chipped. I couldn't.

Claims (4)

(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、および(D)感放射線性重合開始剤を含有する緑色画素形成用感放射線性組成物であって、(A)着色剤がC.I.ピグメントグリーン58を含有するものであり、かつ(D)感放射線性重合開始剤が下記式(1)で表される化合物を含有するものである緑色画素形成用感放射線性組成物。
Figure 2009223288

(式中、R1〜R4は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜18のアルキル基又は炭素数1〜18のアルコキシ基を示す。)
A radiation-sensitive composition for forming a green pixel, comprising (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a radiation-sensitive polymerization initiator, A) The colorant is C.I. I. A radiation-sensitive composition for forming a green pixel, which contains CI Pigment Green 58, and (D) the radiation-sensitive polymerization initiator contains a compound represented by the following formula (1).
Figure 2009223288

(Wherein, R 1 to R 4 are, independently of one another hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms having 1 to 18 carbon atoms.)
(D)感放射線性重合開始剤が、さらにアセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物およびO−アシルオキシム系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有するものである請求項1記載の感放射線性組成物。   (D) The sensation according to claim 1, wherein the radiation-sensitive polymerization initiator further contains at least one compound selected from the group consisting of acetophenone compounds, biimidazole compounds and O-acyloxime compounds. Radiation composition. 請求項1または2記載の感放射線性組成物を用いて形成された画素を備えてなるカラーフィルタ。   A color filter comprising a pixel formed using the radiation-sensitive composition according to claim 1. 請求項3記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。     A color liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 3.
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