JP2013007714A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013007714A5 JP2013007714A5 JP2011141952A JP2011141952A JP2013007714A5 JP 2013007714 A5 JP2013007714 A5 JP 2013007714A5 JP 2011141952 A JP2011141952 A JP 2011141952A JP 2011141952 A JP2011141952 A JP 2011141952A JP 2013007714 A5 JP2013007714 A5 JP 2013007714A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- map
- block
- inspection
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Description
つまり、プロセッサエレメントが故障した際に、画像分配制御部によって、故障したプロセッサエレメントが保存すべき情報を、装置に接続された正常なプロセッサエレメントに保存するように、再分配し、再設定した速度で検査を続行するように構成されている。
前者は、コスト面の問題がある。後者は、比較的、処理能力の低い信号処理装置で構成が可能であり、コスト面で有利である。しかしながら、ウエハ表面上の汚れは、不確定であるため、検出精度を保持しながら、データ量削減処理を行うことが可能であることの保証ができないという問題がある。
本発明の目的は、検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得することが可能な表面検査装置及び表面検査方法を実現することである。
試料台上の被検査物に照明光を照射し、被検査物からの散乱光を複数の散乱光検出手段により検出し検出信号を出力し、これら複数の散乱光検出手段からの検出信号を合成し、合成した検出信号を示す複数のデータを１単位としてブロック化し、複数のブロックのそれぞれの中の複数のデータのうちの選択したデータをメモリに記憶し、メモリのデータ記憶容量のうちの空き容量に基づいて、上記１ブロックとするデータ数を状態監視手段により変更し、上記メモリに記憶されたデータを処理し、被検査物の表面の欠陥を検出する。
検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得することが可能な表面検査装置及び表面検査方法を実現することができる。
表示手段１１３には、ウエハ１００上の欠陥データを表すマップ（便宜上「欠陥マップ」と称する）や、例えば、入力操作手段１１７により指定された条件に従って統合処理手段１１２によって処理された信号を基に構築された合成データ、ウエハ上のブロック化数の変化を表すマップ（便宜上「ブロック化マップ」と称する）、欠陥密度を示す欠陥密度マップ（便宜上「欠陥密度マップ」と称する）、検出条件（例えば、レシピ）等を表示する。
また、１ブロック内のデータ数を増加させることを判断する他の方法としては、状態監視手段３０２が、メモリ３０３のデータ格納増加量を時間単位で監視し、増加量が一定値となった時点で、１ブロック内のデータ数を増加させる方法もある。１ブロック内のデータ数を増加させた後も、メモリ３０３のデータ格納増加量を時間単位で監視し、増加量が一定値となった時点で、さらに１ブロック内のデータ数を増加させるように構成することもできる。
拡大マップ７２０には、欠陥マップ７０１とブロック化マップ７０２とを重ねて表示することができる。また、欠陥マップ７０１とブロック化マップ７０２とを、拡大マップ７２０上で、それぞれ個別に表示することもできる。ブロック化数の表示領域７０３には、拡大マップ７２０上において、入力操作手段１１７による操作又は表示領域７０３へのタッチ操作により、カーソル７０６で選択されたブロック化マップ７０２のブロック化数が表示される。ブロック化マップ７０２において、ブロック化数が異なるブロックを色別に分けて、ブロック化マップ７０２に表示させることもできる。カラーバー７０４は、ブロック化数と色とを対応させる。
以上のように、本発明によれば、データメモリ３０３の記憶容量の空き容量を監視し、空き容量の減少に伴って記憶すべきデータ量を制御して、欠陥検査データ取得前におけるデータメモリ３０３のオーバーフローを回避するように構成したので、検査速度の低下を伴うことなく、かつ装置容積に占める信号処理部の比率を増加させることなく、データメモリのオーバーフローを回避し、ウエハ全面の検査データを取得することが可能な表面検査装置及び表面検査方法を実現することができる。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011141952A JP5489298B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
| US13/526,989 US9036141B2 (en) | 2011-06-27 | 2012-06-19 | Surface inspection apparatus and surface inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011141952A JP5489298B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013007714A JP2013007714A (ja) | 2013-01-10 |
| JP2013007714A5 true JP2013007714A5 (ja) | 2013-10-03 |
| JP5489298B2 JP5489298B2 (ja) | 2014-05-14 |
Family
ID=47361547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011141952A Expired - Fee Related JP5489298B2 (ja) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 表面検査装置及び表面検査方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9036141B2 (ja) |
| JP (1) | JP5489298B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140064596A1 (en) * | 2012-08-29 | 2014-03-06 | Micron Technology, Inc. | Descriptor guided fast marching method for analyzing images and systems using the same |
| CN112864038A (zh) * | 2021-01-26 | 2021-05-28 | 上海华力微电子有限公司 | 晶圆密集缺陷源头检测方法及其检测系统 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3025065B2 (ja) * | 1991-08-15 | 2000-03-27 | 日本電信電話株式会社 | 欠陥箇所表示処理方法 |
| JP4268436B2 (ja) * | 2003-04-15 | 2009-05-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板の異物検査装置および表示パネルの製造方法 |
| US7215808B2 (en) * | 2004-05-04 | 2007-05-08 | Kla-Tencor Technologies Corporation | High throughout image for processing inspection images |
| JP4563794B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-10-13 | 株式会社日立製作所 | ストレージシステム及びストレージ管理方法 |
| JP4996856B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2012-08-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置およびその方法 |
| JP4203078B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2008-12-24 | 株式会社トプコン | 表面検査方法及び装置 |
| JP4567016B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2010-10-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
| JP5369643B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2013-12-18 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 欠陥検査装置 |
| JP5466396B2 (ja) | 2008-12-09 | 2014-04-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 外観検査装置 |
| JP2011022100A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板の検査装置、および、基板の検査装置における基板の欠陥分布を得る方法 |
-
2011
- 2011-06-27 JP JP2011141952A patent/JP5489298B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-19 US US13/526,989 patent/US9036141B2/en active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013148873A5 (ja) | ||
| US20130201483A1 (en) | Method and apparatus for testing light-emitting device | |
| JP2012242122A5 (ja) | ||
| JP2016050939A (ja) | 偏光フィルムの欠陥モニタリング方法 | |
| US20120176612A1 (en) | Method of detecting specific defect, and system and program for detecting specific defect | |
| JP5786622B2 (ja) | 画質検査方法、画質検査装置及び画質検査プログラム | |
| JP2023025068A (ja) | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム | |
| JP2011151792A5 (ja) | ||
| US9442156B2 (en) | Alignment support device and alignment support method for probe device | |
| JP5292846B2 (ja) | 観察装置と、観察方法 | |
| JP2013007714A5 (ja) | ||
| JP2016004020A (ja) | 画像処理装置、画像取得装置、画像処理方法および画像取得方法 | |
| JP2017005627A5 (ja) | ||
| US8358406B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection system | |
| KR20110066778A (ko) | 표시장치용 검사장치 | |
| US9036141B2 (en) | Surface inspection apparatus and surface inspection method | |
| JP2008244637A (ja) | 検査装置、固体撮像装置、並びに検査方法 | |
| JP2015026213A5 (ja) | ||
| TWM551269U (zh) | 基於多解析度圖像之光學式瑕疵檢測裝置 | |
| KR101385592B1 (ko) | 영상인식 방법 및 그 시스템 | |
| US10969428B2 (en) | Method of inspecting pattern defect | |
| JP2008244183A (ja) | 検査支援システム，データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
| JP2007071684A (ja) | 光ファイバ束検査装置 | |
| JP2011149911A (ja) | 湿潤検出装置及び湿潤検出方法 | |
| JP2019510981A (ja) | 多方向の照明及び関連デバイスによって表面上の欠陥を検出するための方法 |