JP2013002994A - 光伝導基板およびこれを用いた電磁波発生検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板3と、基板3上に積層された半導体積層群5と、を備え、半導体積層群5は、第1化合物半導体層51と、第1化合物半導体層51上に、第1化合物半導体層51と屈折率が異なると共に励起光の表面反射を低減できる層厚で成長させた第2化合物半導体層52と、を有している。
【選択図】図2
Description
この光伝導基板では、表面近傍におけるV族原子クラスターが光励起キャリア捕捉に大きく寄与することを利用して、フェムト秒レーザパルスの照射によって素子内に発生する光励起キャリアのキャリア寿命を短寿命化している。これにより、ノイズとなる残留キャリアにより、テラヘルツ電磁波の検出または発生のS/N比が低下することを防止している。
N1×d=λ/4 ・・・(式2)
図5および図6を参照して、第2実施形態に係る電磁波発生検出装置1について説明する。図5は、第2実施形態に係る電磁波発生検出装置1を模式的に示した側面図である。図6は、発生するテラヘルツ電磁波のS/N(強度/ノイズ)の比較を示したグラフである。なお、第1実施形態に係るものと同様の説明は省略する。
図7を参照して、第3実施形態に係る電磁波発生検出装置1について説明する。図7は、第3実施形態に係る電磁波発生検出装置1を模式的に示した側面図である。なお、第1実施形態に係るものと同様の説明は省略する。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に積層された半導体積層群と、を備え、
前記半導体積層群は、
第1化合物半導体層と、
前記第1化合物半導体層上に、前記第1化合物半導体層と屈折率が異なると共に励起光の表面反射を低減できる層厚で成長させた第2化合物半導体層と、を有していることを特徴とする光伝導基板。 - 前記半導体積層群は、
前記第2化合物半導体層上に、前記第2化合物半導体層と屈折率が異なると共に励起光の表面反射を低減できる層厚で成長させた第3化合物半導体層を、更に備え、
前記第2化合物半導体層と前記第3化合物半導体層とが交互に少なくとも1組以上積層されていることを特徴とする請求項1に記載の光伝導基板。 - 前記第3化合物半導体層は、前記第1化合物半導体層と同一の屈折率を有していることを特徴とする請求項2に記載の光伝導基板。
- 前記第1化合物半導体層および前記第2化合物半導体層は、III−V族化合物をエピタキシャル成長させてなることを特徴とする請求項1に記載の光伝導基板。
- 前記第1化合物半導体層、前記第2化合物半導体層および前記第3化合物半導体層は、III−V族化合物をエピタキシャル成長させてなることを特徴とする請求項2に記載の光伝導基板。
- 前記第1化合物半導体層および前記第2化合物半導体層は、GaAsからなり、
前記第2化合物半導体層は、前記第1化合物半導体層と異なる温度で前記エピタキシャル成長させることを特徴とする請求項4に記載の光伝導基板。 - 前記第1化合物半導体層、前記第2化合物半導体層および前記第3化合物半導体層は、GaAsからなり、
前記第1化合物半導体層、前記第2化合物半導体層および前記第3化合物半導体層は、それぞれ異なる温度で前記エピタキシャル成長させることを特徴とする請求項5に記載の光伝導基板。 - 前記第1化合物半導体層、前記第2化合物半導体層および前記第3化合物半導体層は、GaAsからなり、
前記第2化合物半導体層は、前記第1化合物半導体層と異なる温度で前記エピタキシャル成長させ、
前記第3化合物半導体層は、前記第1化合物半導体層と同一の温度で前記エピタキシャル成長させることを特徴とする請求項5に記載の光伝導基板。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の光伝導基板と、
前記半導体積層群上に形成されたアンテナと、を備えたことを特徴とする電磁波発生検出装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の光伝導基板と、
前記半導体積層群の側面に沿って形成されたアンテナと、を備えたことを特徴とする電磁波発生検出装置。
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