JP2012533871A - マイクロリソグラフィ投影露光装置及びそこに収容される光学面に関連するパラメータを測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図10
Description
ここで、選択された区域kに関する面関連パラメータは、xkで与えられ、ykは、区域kに向けて誘導された測定光ビームに対して検出器ユニットによって測定された特性であり、Aklは、実数係数である。これらの実数係数は、例えば、較正により又はシミュレーションによって判断することができる。
図1は、投影光ビームを生成するための照明系12を含むVUV投影露光装置10の非常に簡略化した斜視図である。投影光ビームは、微細構造18を含むマスク16上の視野14を照明する。この実施形態では、照明視野14は、ほぼリングセグメントの形状を有する。しかし、照明視野14の他の形状、例えば、矩形形状も考えられている。
図2は、図1に示しているVUV照明系12を通るより詳細な子午断面図である。明瞭化の目的で、図2の図はかなり簡略化したものであり、正確な縮尺のものではない。これは、特に、異なる光学ユニットを非常に少数の光学要素のみで表すことを意味する。実際には、これらのユニットは、有意により多くのレンズ及び他の光学要素を含むことができる。
ミラーの向き、すなわち、傾斜軸56x、56y(図3を参照されたい)に関する傾斜角は、非常に正確に制御すべきである。この正確な制御の必要性は、感光面22上に生成されるパターンが、ミラーMijの向きに依存する系瞳平面70内の強度分布の変化に非常に影響され易いことによる。
新しい手法により、照明部材103によって照明されるスポットは、近接ミラーMijに延びることが許される。言い換えれば、放射照度分布118は、少なくとも1つの他のミラーMijに延びている。図8に図示の実施形態では、照明スポットは、全ての隣接ミラーMijに延びている。図9は、図7で仮定したように2つの照明部材が各ミラーMijに関連付けられる場合に関するこの手法を示している。図9で明らかなように、放射照度分布118a、118bは、隣のミラー要素Mijのうちの少なくとも1つに延びている。
測定精度の劣化は、ミラーMijの向きを個別に、すなわち、各ミラーMijに対して離間してではなく、隣のミラーMijのうちの少なくとも1つに対して得られた測定値に基づいて判断することによって防止される。
ここで、
=(y1,y2,...,yN)は、ミラーM1からMNに対して得られた測定値であり、
=(x1,x2,...,XN)は、ミラーM1からMNの傾斜角であり、
は、相対強度Aklを含む行列である。
は、完全に正確になることは決してなく、ある程度の欠陥を有する。従って、傾斜角:
は、欠陥を有する測定値に基づいて計算されることになり、それによって計算傾斜角:
は、一般的に実際の傾斜角とは若干異なることになる。当然ながら、傾斜角:
は、測定値:
に対して利用可能な精度よりも高い精度で判断することができない。むしろ測定傾斜角:
の精度が、測定値:
の精度よりも数桁分悪い危険性さえも存在する。しかし、シミュレーションにより、式(2)では、計算傾斜角:
の最大測定誤差が、測定値:
の測定誤差よりも若干しか大きくない(1.2倍よりも小さい)ことが示されている。計算傾斜角:
の平均測定誤差の場合には、いくつかの測定値が全ての計算値:
内に入ることから統計誤差が低減することに起因して、この平均測定誤差は、単一のミラーMkが照明されたかのように一層小さい。
ミラーMij上に照明されるスポットの最大強度点が、何故完全にミラーMijの面の中心に位置すべきであるかといういかなる確固たる理由も存在しない。むしろこれらの点のミラー面に対する若干ではあるが不規則な変位は、上述の計算方式の数値的安定性に対してプラスの効果を有することになる。それによってこの方式の関連におけるある一定の許容範囲を緩和することができる。放射照度分布118の中心120が、選択されたミラーMsの中心に位置しない例を図10に示している。
式(1)における係数Aklを判断するために、以下の較正法を適用することができる。
線形方程式の系(2)を解くことができるためには、全てのミラーに対して測定値:
を把握すべきである。言い換えれば、特定のミラーMkの傾斜角:
は、ミラーアレイ46の全てのミラーに関する測定値:
が得られた後にのみ判断することができる。
図13は、EUV放射線源30を有する照明系12と、反射マスク16と、投影対物系20とを含むEUV投影露光装置の概略図である。対物系20は、支持体24上に付加された感光面22上にマスク16の縮小像を形成する6つのミラーM1からM6を含む。
118 放射照度分布
120 最大強度点
Mji ミラー
Ms 選択されたミラー
Claims (15)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
光学面(46;M6)と、
前記光学面(46;M6)上の複数の別々の区域(Mij)で該光学面に関連するパラメータを測定するように構成された測定デバイス(90)と、
を含み、
前記測定デバイス(90)は、
a)個々の測定光ビーム(94)を前記光学面上の前記区域(Mij)に向けて誘導するように構成された照明ユニット(92)であって、各測定光ビーム(94)が、区域(Mij)のうちの該測定光ビーム(94)に関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域(Mij)のうちの該測定光ビーム(94)に関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する前記照明ユニット(92)と、
b)各測定光ビーム(94)に関する特性をそれが前記光学面(46;M6)と相互作用した後に測定するように構成された検出器ユニット(96)と、
c)選択された区域(Ms)に関する前記面に関連のパラメータを、
i)前記選択された区域(Ms)に関連付けられた前記測定光ビーム(94)と、
ii)前記選択された区域(Ms)に隣接する区域(Mij)に関連付けられた少なくとも1つの測定光ビーム(94)と、
に対して前記検出器ユニット(96)によって判断された前記特性に基づいて判断するように構成された評価ユニット(102)と、
を含む、
ことを特徴とする装置。 - 前記光学面(46;M6)に関連し、かつ前記複数の区域で測定される前記パラメータは、該光学面の形状を定めることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記光学面(46;M6)を変形するように構成された面変形ユニット(130)を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の装置。
- 前記光学面(46;M6)は、それが前記測定光ビームの少なくとも実質的な部分を反射するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記光学面は、制御信号に応答して可変である反射角によって入射光線を反射するようになったミラー(Mij)のアレイ(46)で形成され、
少なくとも1つの区域が、各ミラー面に関連付けられる、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - ミラー(Mij)の前記アレイ(46)は、装置の照明系(12)に配置され、
前記ミラー(Mij)は、投影光を前記照明系(12)の系瞳面(70)に向けて誘導する、
ことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 各測定光ビーム(94)が、前記関連付けられた区域(Mij)上に最大強度の点(120)を生成し、
前記最大強度の点(120)は、前記ミラー(Mij)の中心に関して僅かにかつ不規則に変位される、
ことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の装置。 - 前記光学面上に前記測定光ビーム(94)によって照明されるスポットが、少なくとも部分的に重なることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の装置。
- 前記評価ユニット(102)は、前記照明ユニット(92)によって生成された全ての測定光ビーム(94)に対して前記検出器ユニット(96)によって判断された前記特性に基づいて、前記選択された区域(Ms)に関する前記面関連パラメータを判断するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の装置。
- 前記係数Aklは、較正によって判断されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記評価ユニット(102)は、前記選択された区域(Ms)に関する前記面関連パラメータを該選択された区域(Ms)の隣及び1つ置いて隣のものである区域(Mij)に向けて誘導された前記測定光ビーム(94)に対して前記検出器ユニット(96)によって判断された前記特性だけに基づいて判断するように構成されることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記照明ユニット(92)は、前記測定光ビーム(94)のうちの1つを放出するように構成された光射出ファセット(106)を各々が有する複数の照明部材(103)を含み、
前記光学面上で照明される前記区域(Mij)は、前記光射出ファセット(106)の像である、
ことを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の装置。 - 前記光学面(46)上に1つよりも多い光射出ファセット(106)を共通して結像する結像系(114,116)を含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置に収容された光学面に関連するパラメータを該光学面上の複数の別々の区域で測定する方法であって、
a)個々の測定光ビームを光学面上の区域に向けて誘導し、各測定光ビームが、該区域のうちの該測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と隣接区域のうちの該測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する段階と、
b)各測定光ビームに関する特性をそれが前記光学面と相互作用した後に測定する段階と、
c)選択された区域に関する前記面に関連のパラメータを、
i)前記選択された区域に関連付けられた前記測定光ビームと、
ii)前記選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも1つの測定光ビームと、
に対して段階b)で判断された前記特性に基づいて判断する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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