JP2012518201A - レーザビームを均質化するための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 複数の、相互にずれて配置されるミラー要素(6)であって、均質化されるべきレーザビーム(1)が、ミラー要素(6)の数に対応する数の部分ビーム(8)に分割されるように、反射可能であり、該反射によって、部分ビームが相互に光路差を有する、ミラー要素(6)と、
複数のレンズ要素(4)であって、部分ビーム(8)がそれぞれ、レンズ要素(4)の1つを通過して入射可能なように、レンズ要素のそれぞれがミラー要素(6)のそれぞれに割り当てられる、レンズ要素(4)とを含む、レーザビームを均質化するための装置(1)において、
ミラー要素(6)のそれぞれと、それに割り当てられたレンズ要素(4)との間の距離が、レンズ要素(4)のそれぞれの焦点距離(f4)に等しいことを特徴とする装置。 - 各ミラー要素(6)は、これらのミラー要素に割り当てられたレンズ要素(4)のための入射瞳として働くことを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 入射瞳は、鋭い傾斜側面部を有することを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- ミラー要素(6)は、第1の方向に並んで配置されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の装置。
- ミラー要素(6)は、階段状ミラー(2)の一部であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- ミラー要素は、分離したミラーとして構成されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の装置。
- すべてのミラー要素(6)は、同じ口径を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の装置。
- 1つの、複数の、またはすべてのミラー要素(6)は平らであることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の装置。
- レンズ要素(4)は、第2の方向に並んで配置されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の装置。
- ミラー要素(6)が並んで配置される第1の方向は、レンズ要素(4)が並んで配置される第2の方向に平行であることを特徴とする、請求項9に記載の装置。
- レンズ要素(4)は、一塊のレンズアレイ(10)の一部であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置。
- レンズ要素(4)は、分離したレンズ要素(4)のアレイ(3)として構成されることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の装置。
- すべてのレンズ要素(4)は、同じ焦点距離(f4)を有することを特徴とする、請求項1〜12のいずれか1項に記載の装置。
- すべてのレンズ要素(4)は、同じ口径を有することを特徴とする、請求項1〜13のいずれか1項に記載の装置。
- フーリエレンズとして働くレンズ(5)を含み、該レンズは、レンズ要素(4)を通過して入射してくる部分ビーム(8)を重ねることができることを特徴とする、請求項1〜14のいずれか1項に記載の装置。
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US11333897B2 (en) * | 2019-03-12 | 2022-05-17 | Coherent Lasersystems Gmbh & Co. Kg | Apparatus for forming a homogeneous intensity distribution with bright or dark edges |
DE102020114077A1 (de) * | 2020-05-26 | 2021-12-02 | Limo Display Gmbh | Vorrichtung zur Homogenisierung von Laserlicht und Anordnung einer Mehrzahl derartiger Vorrichtungen |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001127003A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-05-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置 |
JP2008225380A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 位相制御光学系、該光学系を備えたレーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
Family Cites Families (12)
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---|---|---|---|---|
US4475027A (en) * | 1981-11-17 | 1984-10-02 | Allied Corporation | Optical beam homogenizer |
JPH1152289A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Minolta Co Ltd | 二次元照明光学系及びこれを用いた液晶プロジェクター |
JP2000199872A (ja) * | 1998-12-29 | 2000-07-18 | Sony Corp | 照明装置及び画像表示装置 |
WO2001035451A1 (fr) * | 1999-11-09 | 2001-05-17 | Nikon Corporation | Illuminateur, aligneur, et procede de fabrication d'un tel dispositif |
DE10148167A1 (de) | 2001-09-28 | 2003-04-17 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Beleuchtungsanordnung |
DE10327733C5 (de) | 2003-06-18 | 2012-04-19 | Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur Formung eines Lichtstrahls |
DE10338244A1 (de) | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Zeiss Carl Sms Gmbh | Kohärenzminderer und Herstellungsverfahren eines Kohärenzminderers |
CN1243989C (zh) * | 2003-10-28 | 2006-03-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 反射蝇眼式光束均匀器 |
CN2847319Y (zh) * | 2005-11-04 | 2006-12-13 | 北京工业大学 | 一种用于获得大面积均匀方形光斑的激光均束装置 |
JP2007150295A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-06-14 | Carl Zeiss Smt Ag | ラスタ要素を有する光学装置、及びこの光学装置を有する照射システム |
US20070127005A1 (en) | 2005-12-02 | 2007-06-07 | Asml Holding N.V. | Illumination system |
DE102006047941B4 (de) | 2006-10-10 | 2008-10-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur Homogenisierung von Strahlung mit nicht regelmäßigen Mikrolinsenarrays |
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Patent Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2001127003A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-05-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射装置 |
JP2008225380A (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 位相制御光学系、該光学系を備えたレーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
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