JP2012502808A5

JP2012502808A5 -

Info

Publication number: JP2012502808A5
Application number: JP2011527291A
Authority: JP
Filing date: 2009-09-09
Publication date: 2013-05-16
Anticipated expiration: 2029-09-09

Claims

被加工物をマイクロ放電加工により加工する装置であって、この装置は、加工段階を有し、この加工段階では、エッチング電極（２０）の先端（２２）を、前記被加工物の一方の加工対象面を浸す誘電体流体浴に浸漬して、この被加工物の加工を、放電加工により行うのに際し、この先端（２２）を十分に細いものとして、１０μｍ未満の交叉幅を有する溝を、前記面にエッチング形成しうるようにした装置において、
前記装置は、前記装置の構成の変更を可能にすることにより、前記構成を加工段階から尖鋭化段階に、交互に、かつ可逆的に移行させる機構（４４，４５，４６）と、
前記エッチング電極（２０）の先端の形状を測定するステップ（１０４，１４２）と、
制御ユニット（７０）とを備え、
前記尖鋭化段階では、同じエッチング電極の前記先端、及び別の電極（６４）を電解浴（６２）に浸漬して、前記先端の尖鋭化を電解加工により行なわせ、
制御ユニット（７０）は、測定された前記形状を、所定のテンプレートと比較すること、前記加工段階への前記移行を、前記形状が前記所定のテンプレートに収まる場合に許可し、前記形状が、前記所定のテンプレートに収まらない場合に、前記加工段階への前記移行を禁止することが可能であることを特徴とする装置。
前記装置は、前記誘電体流体浴を収容する第１容器（１８）と、前記電解浴を収容する第２容器（６０）とを有し、前記機構（４４，４５，４６，４８）は、前記エッチング電極を、前記第１容器と前記第２容器との間で搬送して、前記加工段階から前記尖鋭化段階に、そして逆に、前記尖鋭化段階から前記加工段階に移行させることができるようになっている、請求項１に記載の装置。
前記装置は、前記誘電体流体浴を収容する第１容器と、前記電解流体浴を収容する第２容器とを有し、前記機構は、前記第１及び第２容器を前記エッチング電極に対してシフトさせて、前記加工段階から前記尖鋭化段階に、そして逆に、前記尖鋭化段階から前記加工段階に移行させることができるようになっている、請求項１に記載の装置。
前記装置は、前記誘電体流体浴（１７２）及び前記電解浴（１７４）を同時に収容する同じ容器（１７１）を有し、これらの浴は、異なる質量密度を有し、かつ非混和性であって、これらの浴を上下に重ねることができるようになっている、請求項１に記載の装置。
前記装置は、アクチュエータ（４４）を備え、前記アクチュエータは、前記加工段階では、前記エッチング電極（２０）を、前記被加工物の前記加工対象面に直交する方向にシフトさせて、この電極の先端と、この加工対象面とのギャップの幅を調整することができ、かつ同じアクチュエータ（４４）は、前記尖鋭化段階では、前記エッチング電極を、前記電解浴の表面に直交する方向にシフトさせることができるようになっている、上記請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
前記装置は、
−前記加工段階において、前記エッチング電極（２０）を、前記被加工物の加工対象面と直交する方向にシフトさせて、この電極の先端（２２）と、この加工対象面とのギャップの幅を調整することができる制御可能なアクチュエータ（４４）と、
−この先端の形状センサ（５４）と、
−制御ユニット（７０）とを備え、前記制御ユニットは、
・前記先端の摩耗量を前記形状センサの測定値に基づいて求め、そして
・前記アクチュエータに指示して、前記ギャップの幅を、求めた前記摩耗量の関数として調整することができるようになっている、上記請求項のいずれか１項に記載の装置。
前記エッチング電極（２０）の先端の形状を測定する前記形状センサ（５４）は、カメラである、上記請求項のいずれか１項に記載の装置。
被加工物を、マイクロ放電加工により、構成可能なマイクロ放電加工装置を利用して加工する方法であって、この方法は、装置の構成を変更して、加工段階と尖鋭化段階との間を交互に、かつ可逆的に移行させる機構を作動させるステップ（９０，１１２）を有し、
−前記加工段階では、エッチング電極の先端を、加工対象面を浸す誘電体流体浴に浸漬して、この被加工物の加工を放電加工により行ない、この先端は十分に細くて、１０μｍ未満の交叉幅を有する溝を、前記面にエッチング形成することができるようになっており、かつ
−前記尖鋭化段階では、同じエッチング電極の前記先端、及び別の電極を、電解浴に浸漬して、前記エッチング電極の前記先端の尖鋭化を電解加工により行い、
前記加工段階に移行する前に、前記方法は、
−前記先端の形状を測定するステップ（１０４，１４２）と、
−測定された前記形状を、所定のテンプレートと比較するステップ（１１０）と、
−前記加工段階への前記移行を、前記形状が前記所定のテンプレートに収まる場合に許可し、前記形状が、前記所定のテンプレートに収まらない場合に、前記加工段階への前記移行を禁止するステップ（１１０）とを含むことを特徴とする方法。
前記方法は、
−前記先端の形状を測定するステップ（１０４，１０２）と、
−前記先端の摩耗量をこれらの測定から求めるステップと、
−前記加工段階から前記尖鋭化段階への自動的な移行を、求めた前記摩耗量が所定の閾値を上回ると直ぐに開始するステップ（１５０）とを有する、請求項８に記載の方法。
前記方法は、
−前記先端の形状を測定するステップ（１０４，１０２）と、
−前記先端の摩耗量を、前記先端の形状の測定値から求めるステップ（１４０）と、
−前記先端と前記加工対象面とのギャップの幅を、求めた前記摩耗量の関数として調整するステップ（１５２）とを含む、請求項８または９に記載の方法。