JP2012256883A - 光学コンポーネント - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学コンポーネントはエミッタ及び固体反射体1を具備する。反射体1は凸状の外面を有し、エミッタである量子ドットは反射体1の焦点3に位置し、電気双極子遷移によって放射を出す。双極子は反射体1の頂点における表面法線に対して45度以下の角度に向けられる双極子軸を有する。エミッタからの放射は、反射体1によって反射され、基板および反射防止コーティング9を経由して抜け出る。
【選択図】図1
Description
z=A(x2+y2)α
ここで、zは回転対称軸に沿う距離であり、r=(x2+y2)は回転対称軸からの距離であり、αは0.95から1.05の数であり、Aはパラメータである。
z=Ar2α=A(x2+y2)α
この面は、放物面の焦点51に位置する(位置x=0、y=0、z=1/(4A)を有する)点光源の放射をz方向に反射する特性を持つ。
n0sinθ0=n1sinθ1
である。
続いて、この構造50は放物面50を形成するようにエッチングされ、次に、n型接触57がn型領域51に作られ、p型接触59がp型領域53に作られる。
ウエハは、約3mm×20nmの寸法のサンプルに裂かれる。
接合手順は、複数のステージからなる。各ステージでは、サンプルは、既に接合されているサンプルのスタック(stack)に接合される。
サンプル表面の洗浄は重要であり、サンプル表面上の各欠陥は、より弱い接合を生じることがある。
Claims (20)
- エミッタ及び固体反射体を具備し、前記反射体は凸状の外面を有し、前記エミッタは前記固体反射体内に位置し、前記エミッタは電気双極子遷移によって放射を出し、前記双極子は前記反射体の頂点における表面法線に対して45度以下の角度に向けられる双極子軸を有する、光学コンポーネント。
- 前記頂点は、前記エミッタに最も近い前記凸状の外面の点である請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記反射体は、放物面形状の外面と、前記放物面の頂点から、この頂点における表面の法線に沿って延びる中心軸と、を有する請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記エミッタは、前記放物面の焦点に設けられる請求項3に記載の光学コンポーネント。
- 前記双極子は、放射の少なくとも50パーセントが前記反射体の前記頂点における前記表面法線と平行な方向に前記外面によって反射されるように配置される請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記固体反射体の外面は、円柱座標において下記式によって規定される形状を有し、
z=Ar2α
ここで、zは回転対称軸に沿う距離であり、rは回転対称軸からの距離であり、αは0.95から1.05の数である請求項1に記載の光学コンポーネント。 - 前記αは1である請求項6に記載の光学コンポーネント。
- 前記反射体の少なくとも一部は前記固体反射体内に焦点を有し、前記エミッタは前記焦点に位置する請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記エミッタを光学的に励起するレーザをさらに具備する請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記エミッタを電気的に励起する電気接触をさらに具備する請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記エミッタは量子ドットを含み、前記固体反射体は半導体系材料を含む請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記固体反射体はダイヤモンドを含み、前記エミッタは前記タイヤモンド内の欠陥又は色中心を含む請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 周囲材料は空気である請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記周囲材料は前記固体反射体の屈折率より低い屈折率を有する請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 前記反射体は金属で表面を覆われている請求項1に記載の光学コンポーネント。
- 光学コンポーネントを形成する方法であって、
固体構造内に設けられる且つ双極子軸を有する量子ドットを形成することと、
実質的に放物面である形状を有するように前記固体構造をパターニングすることと、
を具備し、前記固体構造は、前記放物面の中心を通って前記放物面の頂点から延びる中心軸を有し、前記パターニングは、前記量子ドットの双極子軸が前記反射体の中心軸に対して45度以下の角度をなすように前記固体構造を位置決めし、前記反射体は、任意の周囲媒体より高い屈折率を有する、方法。 - 前記構造をパターニングすることは、前記放物面の形状を定義するためにグレースケールレジストを用意することを含む請求項16に記載の方法。
- 前記構造をパターニングすることは、集束されたイオンビームを使用して前記放物面の形状を定義することを含む請求項16に記載の方法。
- 複数のウエハ片は量子ドットを備えて生成され、前記ウエハ片はパターニングのために接合されるウエハである請求項17に記載の方法。
- 前記量子ドットは自己組織化技術を使用して形成される請求項16に記載の方法。
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