JP2012221726A - ランプユニットおよびこのランプを備えた光照射装置 - Google Patents
ランプユニットおよびこのランプを備えた光照射装置 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】均一な照度分布を有し、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび光照射装置を提供すること。
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子１２を、一方向に並べて配置し、複数列の光源素子列１１ａ，１１ｂからなるランプユニット１０を構成する。光源素子列１１ａと光源素子列１１ｂにおける光源素子１２はＸ方向（光源素子列の並び方向）に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置され、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を向上させる。また、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光量補正板２５ａ，２５ｂを設け、各光源素子１２から出射した光の光量分布におけるトップ近傍における光量を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。
【選択図】 図１
【解決手段】ショートアーク型の放電ランプとリフレクタよりなる複数の光源素子１２を、一方向に並べて配置し、複数列の光源素子列１１ａ，１１ｂからなるランプユニット１０を構成する。光源素子列１１ａと光源素子列１１ｂにおける光源素子１２はＸ方向（光源素子列の並び方向）に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置され、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を向上させる。また、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光量補正板２５ａ，２５ｂを設け、各光源素子１２から出射した光の光量分布におけるトップ近傍における光量を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。
【選択図】 図１
Description
本発明は、被照射物に線状光のパターン（ストライプ状のパターン）等を形成するに好適なランプユニットおよび当該ランプユニットを備えた光照射装置に関する。
三次元立体映像を現出させる３Ｄ映像表示装置は、アミューズメント施設、店舗ディスプレイ、医療などの用途に利用されることが期待されており、近年脚光を浴びている。このような３Ｄ映像表示装置においては、右目用映像と左目用映像とを区別するために、パターン化位相差フィルムが用いられている。
パターン化位相差フィルムは、図１６に示すように、フィルム基材９０上に配向膜９１を介して形成された光重合性液晶材料層９２に対して、それぞれ線状の遮光部９６および透光部９７が交互に並んで形成されてなるマスク９５を介して光を照射することにより、ストライプ状のパターンの液晶ポリマー層９３を形成し、その後、残存する光重合性液晶材料層９２を除去することによって得られる。
このようなパターン化位相差フィルム等の製造では、紫外光などの活性エネルギー線を被照射物に照射する光照射装置が用いられる。このような光照射装置としては、例えば、ロングアーク型の放電ランプを用いた光照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
パターン化位相差フィルムは、図１６に示すように、フィルム基材９０上に配向膜９１を介して形成された光重合性液晶材料層９２に対して、それぞれ線状の遮光部９６および透光部９７が交互に並んで形成されてなるマスク９５を介して光を照射することにより、ストライプ状のパターンの液晶ポリマー層９３を形成し、その後、残存する光重合性液晶材料層９２を除去することによって得られる。
このようなパターン化位相差フィルム等の製造では、紫外光などの活性エネルギー線を被照射物に照射する光照射装置が用いられる。このような光照射装置としては、例えば、ロングアーク型の放電ランプを用いた光照射装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
上述したパターン化位相差フィルム等の製造には、ロングアーク型の放電ランプを用いた光照射装置を用いることが考えられる。しかしながら、ロングアーク型の放電ランプは線光源であるため、光学系によって、放電ランプから放射される光を当該放電ランプの長手方向において互いに平行な平行光とすることができない。このため、図１７に示すように、マスク９５の透光部９７を透過する光の一部が、マスク９５の面方向に対して斜めから入射することにより、光重合性液晶材料層（図１６に示す９２）における遮光部９６の縁部の直下に位置する領域に照射される。その結果、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを有する液晶ポリマー層９３を形成することが困難である。
このような問題を解決するため、ショートアーク型の放電ランプを並べて配置した多灯式の光照射装置を用いることが考えられる。
すなわち、発光管内にその管軸に沿って互いに対向するよう一対の電極が配置されたショートアーク型の放電ランプと、この放電ランプを取り囲むよう設けられリフレクタとからなる複数の光源素子を一方向に並べた光源素子列を必要に応じて複数列配置し、光照射装置を構成する。
上記各光源素子のリフレクタを、その光軸を中心とする回転放物面状の光反射面を有するパラボラミラーにより構成し、当該リフレクタを、その光軸が放電ランプにおける発光管の管軸上に位置し、かつ、その焦点Ｆが放電ランプにおける電極間の輝点に位置するよう配置することにより、各光源素子からは、基本的に上記光軸に平行な光が出射する。
このような光照射装置を用いれば、光源素子を並べた方向において、互いに平行な平行光とすることができ、図１７に示すように、マスクの透光部を透過する光の一部が、マスクの面方向に対して斜めから入射するといった問題を解消することができる。
このような問題を解決するため、ショートアーク型の放電ランプを並べて配置した多灯式の光照射装置を用いることが考えられる。
すなわち、発光管内にその管軸に沿って互いに対向するよう一対の電極が配置されたショートアーク型の放電ランプと、この放電ランプを取り囲むよう設けられリフレクタとからなる複数の光源素子を一方向に並べた光源素子列を必要に応じて複数列配置し、光照射装置を構成する。
上記各光源素子のリフレクタを、その光軸を中心とする回転放物面状の光反射面を有するパラボラミラーにより構成し、当該リフレクタを、その光軸が放電ランプにおける発光管の管軸上に位置し、かつ、その焦点Ｆが放電ランプにおける電極間の輝点に位置するよう配置することにより、各光源素子からは、基本的に上記光軸に平行な光が出射する。
このような光照射装置を用いれば、光源素子を並べた方向において、互いに平行な平行光とすることができ、図１７に示すように、マスクの透光部を透過する光の一部が、マスクの面方向に対して斜めから入射するといった問題を解消することができる。
しかし、上記構成の光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプから構成される光源素子を一方向に並べて配置し、照射するものであり、該光照射装置ではインテグレータ等の光学素子を使用しない。従って、上記光照射装置は、多数のランプからの出射光の重なりによって、被照射面における照度分布を均一にすることが難しい。
本発明は上記問題を解決するものであって、その目的とするところは、均一な照度分布を有する光を被照射物に照射することができ、かつ、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび該ランプユニットを備えた光照射装置を提供することである。
本発明は上記問題を解決するものであって、その目的とするところは、均一な照度分布を有する光を被照射物に照射することができ、かつ、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができるランプユニットおよび該ランプユニットを備えた光照射装置を提供することである。
上記課題を本発明においては、次のように解決する。
（１）ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子を、その出射光の光軸が平行になるように一方向に並んで配置した光源素子列を、それぞれ同方向に伸びるように複数並べ、各光源素子を、光源素子支持枠体の収納部に収納してランプユニットを構成する。
そして、前記複数の光源素子列を、前記一方向に直交する方向に並べて配置し、前記一の光源素子列における光源素子と、前記他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、前記ランプユニットに、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を設ける。
（２）上記（１）において、前記光源素子は、その積算光量分布を示す曲線が、中央に位置する頂部を中心になだらかに広がる裾野部をもつ山状に形成され、前記各光源素子は、前記一の光源素子列Ｒ１を構成する隣り合う光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、前記他の光源素子列Ｒ２を構成する光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が位置するように配置される。
（３）上記（１）（２）において、光量補正板を、前記光源素子支持枠体に固定し、前記光源素子からの出射光の一部をさえぎるように、その光出射側に伸び出すように配置する。
（４）上記（１）（２）（３）において、前記光量補正板に、前記光源素子の放電ランプの管軸と直交し、かつ、前記一方向と直交する方向に伸びる直線上を、該方向に沿って伸びる凸状部を設ける。
（５）上記（１）（２）（３）（４）において、前記光量補正板の位置を調整する機構を設ける。
（６）上記（１）（２）（３）（４）（５）のランプユニットからなる光出射部を用いて光照射装置を構成し、該光照射装置に、前記光出射部からの光を線状に集光する、前記一の方向に伸びる集光部材を設ける。
（１）ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子を、その出射光の光軸が平行になるように一方向に並んで配置した光源素子列を、それぞれ同方向に伸びるように複数並べ、各光源素子を、光源素子支持枠体の収納部に収納してランプユニットを構成する。
そして、前記複数の光源素子列を、前記一方向に直交する方向に並べて配置し、前記一の光源素子列における光源素子と、前記他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、前記ランプユニットに、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を設ける。
（２）上記（１）において、前記光源素子は、その積算光量分布を示す曲線が、中央に位置する頂部を中心になだらかに広がる裾野部をもつ山状に形成され、前記各光源素子は、前記一の光源素子列Ｒ１を構成する隣り合う光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、前記他の光源素子列Ｒ２を構成する光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が位置するように配置される。
（３）上記（１）（２）において、光量補正板を、前記光源素子支持枠体に固定し、前記光源素子からの出射光の一部をさえぎるように、その光出射側に伸び出すように配置する。
（４）上記（１）（２）（３）において、前記光量補正板に、前記光源素子の放電ランプの管軸と直交し、かつ、前記一方向と直交する方向に伸びる直線上を、該方向に沿って伸びる凸状部を設ける。
（５）上記（１）（２）（３）（４）において、前記光量補正板の位置を調整する機構を設ける。
（６）上記（１）（２）（３）（４）（５）のランプユニットからなる光出射部を用いて光照射装置を構成し、該光照射装置に、前記光出射部からの光を線状に集光する、前記一の方向に伸びる集光部材を設ける。
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）複数の光源素子列を、一方向に直交する方向に並べて配置し、一の光源素子列における光源素子と、他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、前記ランプユニットに、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を設けたので、被照射面における積算光量の均一度を向上させることができる。
（２）光源素子は、その積算光量分布を示す曲線が、中央に位置する頂部を中心になだらかに広がる裾野部をもつ山状に形成され、各光源素子は、前記一の光源素子列Ｒ１を構成する隣り合う光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、前記他の光源素子列Ｒ２を構成する光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が位置するように配置されることにより、前記一の光源素子列における光源素子の光量分布のトップまたはボトムと、他の光源素子列における光源素子１２の光量分布のボトム又はトップとが互いに補い合う関係となり、ランプユニットの全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を一層向上させることができる。
（３）各光源素子を、光源素子支持枠体の収納部に収納してランプユニットを構成したので、特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニット単位で、多数のランプを簡単に新品のものに交換することができ、ランプ交換に要する時間を著しく短縮することができる。また、全ての新品のランプの照度分布調整を事前に済ませておくことにより、現場で照度分布調整を行うことなく、速やかにランプユニットを交換することができる。
（４）前記光量補正板の位置を調整する機構を設けることにより、各光源素子の積算光量分布を個別に微調整することができ、各光源素子から出射する光の光量にばらつきがあっても、積算光量をより確実に均一にすることができる。
（５）光照射装置の光出射部を、上記光量補正板を具備するランプユニットから構成することにより、均一な照度分布を有する光を被照射物に照射して、解像度の高いパターンを被照射物に形成することができる。
（１）複数の光源素子列を、一方向に直交する方向に並べて配置し、一の光源素子列における光源素子と、他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、前記ランプユニットに、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を設けたので、被照射面における積算光量の均一度を向上させることができる。
（２）光源素子は、その積算光量分布を示す曲線が、中央に位置する頂部を中心になだらかに広がる裾野部をもつ山状に形成され、各光源素子は、前記一の光源素子列Ｒ１を構成する隣り合う光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、前記他の光源素子列Ｒ２を構成する光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が位置するように配置されることにより、前記一の光源素子列における光源素子の光量分布のトップまたはボトムと、他の光源素子列における光源素子１２の光量分布のボトム又はトップとが互いに補い合う関係となり、ランプユニットの全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を一層向上させることができる。
（３）各光源素子を、光源素子支持枠体の収納部に収納してランプユニットを構成したので、特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニット単位で、多数のランプを簡単に新品のものに交換することができ、ランプ交換に要する時間を著しく短縮することができる。また、全ての新品のランプの照度分布調整を事前に済ませておくことにより、現場で照度分布調整を行うことなく、速やかにランプユニットを交換することができる。
（４）前記光量補正板の位置を調整する機構を設けることにより、各光源素子の積算光量分布を個別に微調整することができ、各光源素子から出射する光の光量にばらつきがあっても、積算光量をより確実に均一にすることができる。
（５）光照射装置の光出射部を、上記光量補正板を具備するランプユニットから構成することにより、均一な照度分布を有する光を被照射物に照射して、解像度の高いパターンを被照射物に形成することができる。
図１は本発明の実施例の光照射装置の概略構成を示す図であり、図２は図１に示す光照射装置のＡ−Ａ断面図であり、本実施例の光照射装置は例えば前記したパターン化位相差フィルムを製造するために用いることができる。
光照射装置は、図１に示すように、複数の光源素子１２から構成されるランプユニット１０と、このランプユニット１０からの光を、光源素子１２の並び方向（第１の方向：Ｘ方向）に伸びるように線状に集光する集光部材２０と、この集光部材２０からの光をストライプ状に整形するマスク３０とを備える。上記集光部材２０とマスク３０との間に、必要に応じて偏光素子３５が設けられる（図２に点線で示す。図１には図示していない）。偏光素子３５としては、例えばワイヤグリッド偏光素子を用いることができる。
この光照射装置の光出射部は、複数の光源素子が第１の方向に並ぶように配置された光源素子列１１ａ（Ｒ１）、１１ｂ（Ｒ２）を有し、この光源素子列１１ａ、１１ｂが上記第１の方向に直交する第２の方向（Ｙ方向）に並んで配列される。
被照射物Ｗ（例えば前記パターン化位相差フィルムを形成するための配向膜を介して形成された光重合性液晶材料層を有するフィルム基材）は、図２に示すように、搬送手段４０のローラー４１に接した状態で、マスク３０の直下に搬送される。
光照射装置は、図１に示すように、複数の光源素子１２から構成されるランプユニット１０と、このランプユニット１０からの光を、光源素子１２の並び方向（第１の方向：Ｘ方向）に伸びるように線状に集光する集光部材２０と、この集光部材２０からの光をストライプ状に整形するマスク３０とを備える。上記集光部材２０とマスク３０との間に、必要に応じて偏光素子３５が設けられる（図２に点線で示す。図１には図示していない）。偏光素子３５としては、例えばワイヤグリッド偏光素子を用いることができる。
この光照射装置の光出射部は、複数の光源素子が第１の方向に並ぶように配置された光源素子列１１ａ（Ｒ１）、１１ｂ（Ｒ２）を有し、この光源素子列１１ａ、１１ｂが上記第１の方向に直交する第２の方向（Ｙ方向）に並んで配列される。
被照射物Ｗ（例えば前記パターン化位相差フィルムを形成するための配向膜を介して形成された光重合性液晶材料層を有するフィルム基材）は、図２に示すように、搬送手段４０のローラー４１に接した状態で、マスク３０の直下に搬送される。
ランプユニット１０は、図１に示すように、複数の光源素子１２が一方向（Ｘ方向）に並ぶように配置された光源素子列１１ａ，１１ｂを有し、この光源素子列１１ａ．１１ｂは、上記Ｘ方向に直交する方向（第２の方向：Ｙ方向）に並んで配列される。
光源素子列１１ａ，１１ｂにおける光源素子１２の各々は、図２に示すように、発光管１４内にその管軸に沿って互いに対向するよう一対の電極（図示省略）が配置されてなるショートアーク型の放電ランプ１３と、この放電ランプ１３を取り囲むよう配置された、当該放電ランプ１３からの光を反射するリフレクタ１５とを有する。上記発光管１４の管軸は上記Ｘ方向及びＹ方向に直交するように（すなわちＺ方向に）配置される。
上記放電ランプ１３としては、発光管１４内に水銀、希ガスおよびハロゲンが封入された、例えば波長２７０〜４５０ｎｍの紫外光を高い効率で放射する超高圧水銀ランプを用いることができる。このような放電ランプ１３において、一対の電極間の電極間距離が例えば０．５〜２．０ｍｍ、水銀の封入量が例えば０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3である。
上記光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光源素子からの出射光をさえぎるように、その光出射側に伸び出す光量補正板２５ａ，２５ｂが設けられている。光量補正板２５ａ，２５ｂは、光源素子１２から出射した光の一部を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。なお、光量補正板２５ａ，２５ｂについては、後述する。
光源素子列１１ａ，１１ｂにおける光源素子１２の各々は、図２に示すように、発光管１４内にその管軸に沿って互いに対向するよう一対の電極（図示省略）が配置されてなるショートアーク型の放電ランプ１３と、この放電ランプ１３を取り囲むよう配置された、当該放電ランプ１３からの光を反射するリフレクタ１５とを有する。上記発光管１４の管軸は上記Ｘ方向及びＹ方向に直交するように（すなわちＺ方向に）配置される。
上記放電ランプ１３としては、発光管１４内に水銀、希ガスおよびハロゲンが封入された、例えば波長２７０〜４５０ｎｍの紫外光を高い効率で放射する超高圧水銀ランプを用いることができる。このような放電ランプ１３において、一対の電極間の電極間距離が例えば０．５〜２．０ｍｍ、水銀の封入量が例えば０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3である。
上記光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光源素子からの出射光をさえぎるように、その光出射側に伸び出す光量補正板２５ａ，２５ｂが設けられている。光量補正板２５ａ，２５ｂは、光源素子１２から出射した光の一部を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。なお、光量補正板２５ａ，２５ｂについては、後述する。
各光源素子１２のリフレクタ１５は、その光軸Ｃを中心とする回転放物面状の光反射面を有するパラボラミラーにより構成されており、当該リフレクタ１５は、その光軸Ｃが放電ランプ１３における発光管１４の管軸上に位置され、かつ、その焦点Ｆが放電ランプ１３における電極間の輝点に位置するよう配置されている。
また、各光源素子１２は、図２に示すように、その出射光の光軸がＺ方向に平行になるように配列されており、各光源素子１２から出射する光は、図２に示すように平行光となり、集光部材２０に入射する。
また、各光源素子１２は、図２に示すように、その出射光の光軸がＺ方向に平行になるように配列されており、各光源素子１２から出射する光は、図２に示すように平行光となり、集光部材２０に入射する。
集光部材２０は、Ｘ方向に垂直な断面が放物線状の光反射面を有する、Ｘ方向に沿って伸びるシリンドリカルパラボラミラーにより構成されており、当該集光部材２０は、ランプユニット１０における各リフレクタ１５の光軸Ｃに垂直な光出射面の前方において、その焦点ｆが被照射物Ｗの表面上に位置するよう配置されている。
この集光部材２０は、目的とする波長の紫外光のみを反射させ、不要な可視光および赤外光を透過させるコールドミラーコーティングが施されているものであってもよい。
かかる集光部材２０を備えることにより、ランプユニット１０からの光を一軸上に集光することができるため、限られた有効面積の被照射面における積算光量を増やすことができ、また、一軸上における積算光量分布の均一度を向上させることができる。
この集光部材２０は、目的とする波長の紫外光のみを反射させ、不要な可視光および赤外光を透過させるコールドミラーコーティングが施されているものであってもよい。
かかる集光部材２０を備えることにより、ランプユニット１０からの光を一軸上に集光することができるため、限られた有効面積の被照射面における積算光量を増やすことができ、また、一軸上における積算光量分布の均一度を向上させることができる。
マスク３０は、Ｘ方向に長尺な矩形の板状のものであって、集光部材２０の下方において、当該集光部材２０による反射光の光軸Ｌに対して垂直な平面に沿って配置されている。このマスク３０は、それぞれＸ方向に垂直な方向であるＺ方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部がＸ方向に交互に並ぶよう配置されてなるものである。
図３は、マスク３０の具体的な構成の一例を示す説明図であり、同図（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。このマスク３０においては、例えば石英ガラスよりなる透光性基板３１の一面に、例えばクロムよりなる多数の線状の遮光膜３２が所要の間隔で離間して並ぶよう配置されており、遮光膜３２が形成された領域によって線状の遮光部３３が形成され、隣接する遮光膜３２間の領域によって透光部３４が形成されている。このマスク３０には、図３（ａ）において破線Ｌｂで示すように、遮光部３３および透光部３４が並ぶＸ方向に伸びる帯状の光が入射される。なお、ｄは有効照射幅である。
図３は、マスク３０の具体的な構成の一例を示す説明図であり、同図（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。このマスク３０においては、例えば石英ガラスよりなる透光性基板３１の一面に、例えばクロムよりなる多数の線状の遮光膜３２が所要の間隔で離間して並ぶよう配置されており、遮光膜３２が形成された領域によって線状の遮光部３３が形成され、隣接する遮光膜３２間の領域によって透光部３４が形成されている。このマスク３０には、図３（ａ）において破線Ｌｂで示すように、遮光部３３および透光部３４が並ぶＸ方向に伸びる帯状の光が入射される。なお、ｄは有効照射幅である。
図１、図２に示す光照射装置において、ランプユニット１０の各光源素子１２の放電ランプ１３から放射された光は、リフレクタ１５の光反射面によって反射されて、リフレクタ１５の光軸Ｃに沿った平行光とされて集光部材２０に向かって出射される。
このランプユニット１０から出射する平行光は、集光部材２０における光反射面により下方に向かって反射されて、Ｘ方向に伸びる線状に集光され、偏光素子３５を介してマスク３０に入射する。マスク３０に入射される光は、Ｘ方向において互いに平行な平行光である。
マスク３０に入射した光は、マスク３０の遮光部および透光部によってストライプ状に整形され、被照射物Ｗに照射されることにより、被照射物Ｗにおけるローラー４１が接する箇所の表面には、マスク３０における遮光部および透光部のパターンに対応するストライプ状の光照射領域が形成される。そして、被照射物Ｗが搬送手段４０によってＺ方向に搬送されることにより、当該被照射物Ｗに対して、所要の光照射処理が達成される。
このランプユニット１０から出射する平行光は、集光部材２０における光反射面により下方に向かって反射されて、Ｘ方向に伸びる線状に集光され、偏光素子３５を介してマスク３０に入射する。マスク３０に入射される光は、Ｘ方向において互いに平行な平行光である。
マスク３０に入射した光は、マスク３０の遮光部および透光部によってストライプ状に整形され、被照射物Ｗに照射されることにより、被照射物Ｗにおけるローラー４１が接する箇所の表面には、マスク３０における遮光部および透光部のパターンに対応するストライプ状の光照射領域が形成される。そして、被照射物Ｗが搬送手段４０によってＺ方向に搬送されることにより、当該被照射物Ｗに対して、所要の光照射処理が達成される。
このような光照射装置においては、光配向膜用材料を用い、以下のようにしてパターン化位相差フィルムを製造することができる。
先ず、図４（ａ）に示すように、フィルム基材５１上に、液状の光配向膜用材料を塗布して乾燥または硬化することによって光配向膜用材料層５５Ａを形成する。
次いで、光配向膜用材料層５５Ａに対して、上記の光照射装置によって直線偏光光による選択的露光処理を行うことにより、図４（ｂ）に示すように、フィルム基材５１上にストライプ状にパターニングされた第１の光配向膜５５を形成する。
更に、適宜の光照射装置によって、上記図４（ｂ）で照射した偏光光と９０°偏光方向が異なる直線偏光光により全面露光処理を行うことにより、図４（ｃ）に示すように隣接する第１の光配向膜５５間に第２の光配向膜５６を形成する。
次いで、図４（ｄ）に示すように、第１の光配向膜５５および第２の光配向膜５６の表面上に、光重合性液晶材料層５７Ａを形成し、適宜の光照射装置によって全面露光処理を行って、当該光重合性液晶材料層５７Ａを硬化させることにより、図４（ｅ）に示すように、第１の光配向膜５５上に形成された第１の液晶ポリマー層部分５７およびこの第１の液晶ポリマー層部分５７とは液晶の配向状態が異なる第２の液晶ポリマー層部分５８がストライプ状にパターン化されてなる液晶ポリマー層５９が形成され、以て、パターン化位相差フィルムが得られる。
先ず、図４（ａ）に示すように、フィルム基材５１上に、液状の光配向膜用材料を塗布して乾燥または硬化することによって光配向膜用材料層５５Ａを形成する。
次いで、光配向膜用材料層５５Ａに対して、上記の光照射装置によって直線偏光光による選択的露光処理を行うことにより、図４（ｂ）に示すように、フィルム基材５１上にストライプ状にパターニングされた第１の光配向膜５５を形成する。
更に、適宜の光照射装置によって、上記図４（ｂ）で照射した偏光光と９０°偏光方向が異なる直線偏光光により全面露光処理を行うことにより、図４（ｃ）に示すように隣接する第１の光配向膜５５間に第２の光配向膜５６を形成する。
次いで、図４（ｄ）に示すように、第１の光配向膜５５および第２の光配向膜５６の表面上に、光重合性液晶材料層５７Ａを形成し、適宜の光照射装置によって全面露光処理を行って、当該光重合性液晶材料層５７Ａを硬化させることにより、図４（ｅ）に示すように、第１の光配向膜５５上に形成された第１の液晶ポリマー層部分５７およびこの第１の液晶ポリマー層部分５７とは液晶の配向状態が異なる第２の液晶ポリマー層部分５８がストライプ状にパターン化されてなる液晶ポリマー層５９が形成され、以て、パターン化位相差フィルムが得られる。
図１、図２に示す光照射装置では、点光源であるショートアーク型の放電ランプ１３と回転放物面状の光反射面を有するリフレクタ１５とよりなる複数の光源素子１２を一方向（Ｘ方向）に沿って並ぶよう配置されてなる光源素子列１１ａ，１１ｂによって、ランプユニット１０が構成されている。
したがって、当該光源素子列１１を構成する光源素子１２の各々における放電ランプ１３から放射される光が、当該光源素子１２の各々におけるリフレクタ１５によって、光源素子１２が並ぶ一方向において互いに平行な平行光とされ、これにより、集光部材２０からの光は、図５に示すように、マスク３０の透光部３４にその面方向に対して直交若しくは略直交して入射して当該透光部３４を透過する。従って、被照射物Ｗにおけるマスク３０の遮光部３３の直下に位置する領域に光が照射されることが防止または抑制され、マスク３０のパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができる。
したがって、当該光源素子列１１を構成する光源素子１２の各々における放電ランプ１３から放射される光が、当該光源素子１２の各々におけるリフレクタ１５によって、光源素子１２が並ぶ一方向において互いに平行な平行光とされ、これにより、集光部材２０からの光は、図５に示すように、マスク３０の透光部３４にその面方向に対して直交若しくは略直交して入射して当該透光部３４を透過する。従って、被照射物Ｗにおけるマスク３０の遮光部３３の直下に位置する領域に光が照射されることが防止または抑制され、マスク３０のパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができる。
ところで、上記光照射装置に設けられる放電ランプ１３は、回転放物面状の光反射面を有するリフレクタ１５とともに使用されることから、上記光源素子１２のＸ方向における照度分布を示す曲線は、中央に位置する頂部を中心として両側になだらかに広がる裾野部を有する山状の分布を示す。
また、上記の光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプを持つ光源素子１２を一方向（Ｘ方向）に並べて照射するものであり、前記したように該光照射装置ではインテグレータ等の光学素子を使用しない。従って、上記光照射装置は、多数のランプからの出射光の重なりによって照度分布が平均化されることを殆ど期待することができない。
これは、ショートアーク型の放電ランプを持つ光源素子１２を一方向（Ｘ方向）に並べた場合における固有の問題である。
そこで、本実施例の光照射装置では、図１に示すように光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とを、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置している。こうすることによって、一の光源素子列１１ａにおける光源素子１２の光量分布のトップ又はボトムと、他の光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の光量分布のボトム又はトップとが互いに補い合う関係となり、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を、ある程度、向上させることができる。
これは、ショートアーク型の放電ランプを持つ光源素子１２を一方向（Ｘ方向）に並べた場合における固有の問題である。
そこで、本実施例の光照射装置では、図１に示すように光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とを、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置している。こうすることによって、一の光源素子列１１ａにおける光源素子１２の光量分布のトップ又はボトムと、他の光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の光量分布のボトム又はトップとが互いに補い合う関係となり、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の光量分布の均一度を、ある程度、向上させることができる。
図６、図７は本発明のランプユニット１０の被照射面における積算光量分布を示す図である。図６、図７は３個の光源素子がＸ方向に並ぶように配置された第１の光源素子列１１ａ（Ｒ１）と、第２の光源素子列１１ｂ（Ｒ２）から構成され、第１の光源素子列の光源素子（ランプ）数が３、第２の光源素子列の光源素子（ランプ）数が２の場合であって、光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とを、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置した場合における、Ｘ方向の積算光量分布を示す図である。図６、図７のＡ，Ｃ，Ｅは光源素子列１１ａにおける光源素子１２の積算光量分布を示し、Ｂ，Ｄは光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の積算光量分布を示し、Ｆはこれらの積算光量分布を合算して得られる、補正前におけるランプユニット１０の全体の積算光量分布である。また、図７のＧは光量補正板２５ａ，２５ｂによる減光の効果を示す曲線であり、Ｈは光量補正板２５により補正されたランプユニット１０全体の積算光量分布を示す。これらのデータは、シュミレーションデータである。
なお、「積算光量分布」とは、ランプユニット１０を構成する各光源素子１２から出射された光によって、被照射面に形成される光照射領域の照度を、被照射物のスキャン方向であるＺ方向に積分することによって得られる、積算光量のＸ方向における分布のことを意味する。
なお、「積算光量分布」とは、ランプユニット１０を構成する各光源素子１２から出射された光によって、被照射面に形成される光照射領域の照度を、被照射物のスキャン方向であるＺ方向に積分することによって得られる、積算光量のＸ方向における分布のことを意味する。
各光源素子１２の光量分布は、曲線中央に位置する頂部を中心として両側になだらかに広がる裾野部を有する山状の分布を示している。
従って、当該光源素子１２の分布を被照射物のスキャン方向で積分した積算光量分布を示す曲線も、図６、図７のＡ〜Ｅに示すように、中央に位置する頂部Ｐ１，Ｐ２を中心として両側になだらかに広がる裾野部Ｓ１，Ｓ２を有する山状の分布を示している。
本実施例の光照射装置においては、前記したように、光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とを、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置している。即ち、各光源素子１２は、図６、図７に示すように、一の光源素子列１１ａにおける隣り合う光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部間に、他の光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置される。
従って、当該光源素子１２の分布を被照射物のスキャン方向で積分した積算光量分布を示す曲線も、図６、図７のＡ〜Ｅに示すように、中央に位置する頂部Ｐ１，Ｐ２を中心として両側になだらかに広がる裾野部Ｓ１，Ｓ２を有する山状の分布を示している。
本実施例の光照射装置においては、前記したように、光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とを、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置している。即ち、各光源素子１２は、図６、図７に示すように、一の光源素子列１１ａにおける隣り合う光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部間に、他の光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置される。
こうすることによって、一の光源素子列１１ａにおける光源素子１２の積算光量のトップ又はボトムと、他の光源素子列１１ｂにおける光源素子１２の積算光量のボトム又はトップとが互いに補い合う関係となり、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の積算光量分布の均一度が向上した。
しかしながら、各光源素子１２のＸ方向における積算光量分布は、前記したように中央に位置する頂部を中心として両側になだらかに広がる裾野部を有する山状の分布であるため、図６に示すように、各光源素子１２の積算光量分布Ａ〜Ｅを合成した積算光量分布Ｆも山状の分布となる。
しかしながら、各光源素子１２のＸ方向における積算光量分布は、前記したように中央に位置する頂部を中心として両側になだらかに広がる裾野部を有する山状の分布であるため、図６に示すように、各光源素子１２の積算光量分布Ａ〜Ｅを合成した積算光量分布Ｆも山状の分布となる。
近年、ランプユニット１０の全体から出射する光によって被照射面に形成される光照射領域の積算光量分布の均一度を、さらに高いものとすることが要求されている。
そこで、本発明においては、前記図１、図２に示したように、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光源素子からの出射光をさえぎるように、その光出射側に伸び出す光量補正板２５ａ，２５ｂを設けている。
光量補正板２５ａ，２５ｂは、各光源素子１２から出射した光のうち、図６の積算光量分布におけるトップ（ピーク）近傍における光量の一部を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。これにより、図７に示すように、積算光量分布の均一度が著しく改善される。
そこで、本発明においては、前記図１、図２に示したように、光源素子列１１ａ，１１ｂの光出射側には、光源素子からの出射光をさえぎるように、その光出射側に伸び出す光量補正板２５ａ，２５ｂを設けている。
光量補正板２５ａ，２５ｂは、各光源素子１２から出射した光のうち、図６の積算光量分布におけるトップ（ピーク）近傍における光量の一部を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する。これにより、図７に示すように、積算光量分布の均一度が著しく改善される。
以上のように、本実施例のランプユニット１０においては、図７に示すように、一の光源素子列１１ａにおける隣り合う各光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の間に、他の光源素子列１１ｂにおける各光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように、複数の光源素子１２が配置されている。このように各光源素子１２を配置することによって、各々の光源素子からの光が互いに補い合うことにより、図６、図７に示すＦの曲線が得られる。
しかしながら、Ｆの積算光量分布を示す曲線は、Ａ〜Ｅに示す単独の曲線に比較すると均一度が向上しているものの、角状に突出するピークＰ３が見られ、光量分布の均一度が十分に高いとは言えない。
これに対し、光量補正板２５ａ，２５ｂを用いて光源素子１２からの光の一部を遮蔽して減光することにより、Ｆの曲線で見られた角状に突出するピークＰ３を消滅させることができ、Ｆの曲線と比較して、図７のＨの積算光量分布に示すように、均一度が著しく向上している。
しかしながら、Ｆの積算光量分布を示す曲線は、Ａ〜Ｅに示す単独の曲線に比較すると均一度が向上しているものの、角状に突出するピークＰ３が見られ、光量分布の均一度が十分に高いとは言えない。
これに対し、光量補正板２５ａ，２５ｂを用いて光源素子１２からの光の一部を遮蔽して減光することにより、Ｆの曲線で見られた角状に突出するピークＰ３を消滅させることができ、Ｆの曲線と比較して、図７のＨの積算光量分布に示すように、均一度が著しく向上している。
ところで、かかる積算光量分布の均一度の補正は、ランプユニットにおける何れかのランプが、その仕様寿命を迎える毎に実施することが必要とされる。例えば、上記光照射装置における光源素子列の一方向の全長は、被照射物の大きさに応じて変動するものであるが、光源素子列の一方向の全長が５００〜１５００ｍｍである場合は、例えば、８＋８灯（計１６灯）〜２４＋２４灯（計４８灯）のランプを含む光源素子を使用する。つまり、上記のように特定のランプが使用寿命を迎えた場合は、多数のランプを一括して新品のものに交換し、尚且つ、積算光量分布の均一度を補正することが必要とされる。
したがって、ランプが使用寿命を迎えた場合に備え、速やかに、ランプユニットを構成する全てのランプを交換し、尚且つ、ランプユニットの積算光量分布の均一度を補正することが可能となるような対策を講じておくことが好ましい。
上記のように、ショートアーク型の放電ランプを一方向に並べて配置してなる複数の光源素子列を有するランプユニットを備えた光照射装置においては、ランプユニットにおける特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニット単位で交換することになる。
以下、上述した光照射装置において、ランプ交換が容易であり、尚且つ、積算光量分布の補正が事前に済ませてあるランプユニットおよび該ランプユニットを備えた光照射装置の具体的な構成例について説明する。
したがって、ランプが使用寿命を迎えた場合に備え、速やかに、ランプユニットを構成する全てのランプを交換し、尚且つ、ランプユニットの積算光量分布の均一度を補正することが可能となるような対策を講じておくことが好ましい。
上記のように、ショートアーク型の放電ランプを一方向に並べて配置してなる複数の光源素子列を有するランプユニットを備えた光照射装置においては、ランプユニットにおける特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、ランプユニット単位で交換することになる。
以下、上述した光照射装置において、ランプ交換が容易であり、尚且つ、積算光量分布の補正が事前に済ませてあるランプユニットおよび該ランプユニットを備えた光照射装置の具体的な構成例について説明する。
図８は、本発明の実施例のランプユニットの具体的な構成例を示す斜視図である。なお、図８に示すランプユニットは単一でも使用できるが、後述するように複数のランプユニットを光源素子の並び方向（前記Ｘ方向）に連結することにより、より長いランプユニットを構成することができる。
本実施例のランプユニット１０は、前記したようにショートアーク型の放電ランプ１３とリフレクタ１５よりなるそれぞれ８つの光源素子１２を、一方向（前記Ｘ方向）に並べて配置して光源素子列１１ａ，１１ｂを構成し、この２つの光源素子列１ａ，１１ｂを上記一方向に直交する方向（前記Ｙ方向）に、光源素子１２のＸ方向の幅の１／２だけＸ方向にずらして並べたものであり、各光源素子１２は、光源素子収容部を有するハニカム構造体（光源素子支持枠体）１６に収納されている。つまり、ランプユニット１０は合計１６個の光源素子１２から構成され、一方向における全長は約５００ｍｍである。各光源素子１２の放電ランプからリード線１２ａが引き出され端子１２ｂが接続されている。
本実施例のランプユニット１０は、前記したようにショートアーク型の放電ランプ１３とリフレクタ１５よりなるそれぞれ８つの光源素子１２を、一方向（前記Ｘ方向）に並べて配置して光源素子列１１ａ，１１ｂを構成し、この２つの光源素子列１ａ，１１ｂを上記一方向に直交する方向（前記Ｙ方向）に、光源素子１２のＸ方向の幅の１／２だけＸ方向にずらして並べたものであり、各光源素子１２は、光源素子収容部を有するハニカム構造体（光源素子支持枠体）１６に収納されている。つまり、ランプユニット１０は合計１６個の光源素子１２から構成され、一方向における全長は約５００ｍｍである。各光源素子１２の放電ランプからリード線１２ａが引き出され端子１２ｂが接続されている。
ハニカム構造体１６は、光源素子１２の個数と同数の光源素子収容部１６ａを有し、各光源素子収容部１６ａの間には隔壁が設けられる。ハニカム構造体１６の各光源素子収容部１６ａは、光源素子列１１ａの８個の光源素子１２と、光源素子列１１ｂの８個の光源素子１２が収納できるように２列の収容部から構成される。
ハニカム構造体１６の各光源素子収容部１６ａに収納される各光源素子１２の光出射側（前面）には、図８、図１０に示すように、前面ガラス１８が設けられ、前面ガラス１８はガラス固定金具１８ａで固定される。
ガラス固定金具１８ａは、光源素子１２の個数と同数の開口を有する板状体であり、各ランプユニット毎に一体成形されてなり、ハニカム構造体１６の光出射側端面にねじ止めされている。ガラス固定金具１８ａの各開口の大きさは、前面ガラス１８が抜け落ちることのないよう、各光源素子１２における前面ガラス１８よりもやや小さくなっている。
ハニカム構造体１６の各光源素子収容部１６ａに収納される各光源素子１２の光出射側（前面）には、図８、図１０に示すように、前面ガラス１８が設けられ、前面ガラス１８はガラス固定金具１８ａで固定される。
ガラス固定金具１８ａは、光源素子１２の個数と同数の開口を有する板状体であり、各ランプユニット毎に一体成形されてなり、ハニカム構造体１６の光出射側端面にねじ止めされている。ガラス固定金具１８ａの各開口の大きさは、前面ガラス１８が抜け落ちることのないよう、各光源素子１２における前面ガラス１８よりもやや小さくなっている。
なお、光源素子列１１ａにおける光源素子１２と、光源素子列１１ｂにおける光源素子１２とは、上記Ｘ方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置されており、ハニカム構造体１６の光源素子列１１ａを収納した部分の光源素子１２の並び方向（前記Ｘ方向）の端面１６ｄと、前記光源素子列１１ｂを収納した部分の光源素子１２の並び方向（前記Ｘ方向）の端面１６ｅは、図８に示すように、光源素子１２の並び方向（前記Ｘ方向）において段差を有することになる。
前面ガラス１８の前方には、一対の光量補正板２５ａ，２５ｂが配置される。図９は図８に示すランプユニット１０を光出射側から見た図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）の部分拡大図を示す。
光量補正板２５ａ、２５ｂは、図８、図９に示すように、光源素子１２の並び方向（Ｘ方向）に伸びる基体部２６ａ、２６ｂと、該基体部に連設される、Ｘ方向と直交するＹ方向（各光源素子１２の光出射面側）に伸び出す凸状部２７ａ、２７ｂを有する。
各光量補正板２５ａ，２５ｂは、各々の凸状部２７ａ、２７ｂの先端２８ａ、２８ｂが互いに斜め方向に向き合った状態で配置され、各基体部２６ａ、２６ｂが例えばねじ止めなどによってガラス固定金具１８ａの開口端部に固定される。光量補正板２５ａ、２５ｂは、金属によって一体成形される。
光量補正板２５ａ、２５ｂは、図８、図９に示すように、光源素子１２の並び方向（Ｘ方向）に伸びる基体部２６ａ、２６ｂと、該基体部に連設される、Ｘ方向と直交するＹ方向（各光源素子１２の光出射面側）に伸び出す凸状部２７ａ、２７ｂを有する。
各光量補正板２５ａ，２５ｂは、各々の凸状部２７ａ、２７ｂの先端２８ａ、２８ｂが互いに斜め方向に向き合った状態で配置され、各基体部２６ａ、２６ｂが例えばねじ止めなどによってガラス固定金具１８ａの開口端部に固定される。光量補正板２５ａ、２５ｂは、金属によって一体成形される。
各凸状部２７ａは、光源素子列１１ａを構成する光源素子１２の電極中心点を通過して放電ランプの管軸方向に伸びる直線と前記Ｘ方向の直線との交点Ａ１を通過し、Ｙ方向に伸びる直線ＡＹ１上を、該Ｙ方向に沿って伸びるように設けられ、光源素子１２の各々の光出射側に配置される。より具体的に、各凸状部２７ａは、前記直線ＡＹ１を中心として左右対称形状であり、且つ、前面ガラス１８の中心（Ａ１）に向かうに従って次第に幅が縮小する尖頭形状の先端部２８ａを有する。
他方の光量補正板２５ｂの各凸状部２７ｂも、光源素子列１１ｂを構成する光源素子１２の電極中心点を通過して放電ランプの管軸方向に伸びる直線と前記Ｘ方向の直線との交点Ａ２を通過し、Ｙ方向に伸びる直線ＡＹ２上を、該Ｙ方向に沿って伸びるように設けられ、光源素子１２の各々の光出射側に配置される。より具体的には、各凸状部２７ｂは、光量補正板２５ａの各凸状部２７ａと同じく、前記直線ＡＹ２を中心として左右対称形状であり、且つ、前面ガラス１８の中心に向かうに従って次第に幅が縮小する尖頭形状の先端部２８ｂを有する。
他方の光量補正板２５ｂの各凸状部２７ｂも、光源素子列１１ｂを構成する光源素子１２の電極中心点を通過して放電ランプの管軸方向に伸びる直線と前記Ｘ方向の直線との交点Ａ２を通過し、Ｙ方向に伸びる直線ＡＹ２上を、該Ｙ方向に沿って伸びるように設けられ、光源素子１２の各々の光出射側に配置される。より具体的には、各凸状部２７ｂは、光量補正板２５ａの各凸状部２７ａと同じく、前記直線ＡＹ２を中心として左右対称形状であり、且つ、前面ガラス１８の中心に向かうに従って次第に幅が縮小する尖頭形状の先端部２８ｂを有する。
各凸状部２７ａ、２７ｂの形状は、各光源素子１２の積算光量分布が、図６、図７のＡ〜Ｅに示すように、中央に位置する頂部の両側に連なるなだらかな裾野部をもつ、左右対称形状の山型の曲線を示すことに対応して設定される。
また、図７のＧに示すように各光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部Ｐ１、Ｐ２の光を遮蔽するために、光量補正板２５ａ、２５ｂにおける凸状部２７ａ、２７ｂの先端部２８ａ、２８ｂは、該曲線の頂部Ｐ１，Ｐ２に一致するように配置される。
ショートアーク型の放電ランプ１３を備える光源素子１２は、輝点が一対の電極間中心点に形成されるため、電極間中心点から出射される光の出力が最も強く、その周辺に向うに従って光の出力は次第に低下する（ガウス分布に近い分布になる）。即ち、光量補正板２５ａ、２５ｂの凸状部２７ａ、２７ｂは、尖頭形状をもつ先端部２８ａ、２８ｂが、上記直線ＡＹ１、ＡＹ２上に配置され、上記光の出力が最も強い部分の光量の一部を減光させる。
一方、各光源素子１２の積算光量分布における裾野部の光を過度に遮蔽することのないように、光量補正板２５ａ、２５ｂにおける各凸状部２７ａ、２７ｂは、斜面部２９ａ、２９ｂが各光源素子１２の光量分布を示す曲線の裾野部Ｓ１、Ｓ２に対応するように配置される。
また、図７のＧに示すように各光源素子１２の積算光量分布を示す曲線の頂部Ｐ１、Ｐ２の光を遮蔽するために、光量補正板２５ａ、２５ｂにおける凸状部２７ａ、２７ｂの先端部２８ａ、２８ｂは、該曲線の頂部Ｐ１，Ｐ２に一致するように配置される。
ショートアーク型の放電ランプ１３を備える光源素子１２は、輝点が一対の電極間中心点に形成されるため、電極間中心点から出射される光の出力が最も強く、その周辺に向うに従って光の出力は次第に低下する（ガウス分布に近い分布になる）。即ち、光量補正板２５ａ、２５ｂの凸状部２７ａ、２７ｂは、尖頭形状をもつ先端部２８ａ、２８ｂが、上記直線ＡＹ１、ＡＹ２上に配置され、上記光の出力が最も強い部分の光量の一部を減光させる。
一方、各光源素子１２の積算光量分布における裾野部の光を過度に遮蔽することのないように、光量補正板２５ａ、２５ｂにおける各凸状部２７ａ、２７ｂは、斜面部２９ａ、２９ｂが各光源素子１２の光量分布を示す曲線の裾野部Ｓ１、Ｓ２に対応するように配置される。
上記した光量補正板２５ａ、２５ｂは、光源素子１２からの光を吸収、反射および散乱することによって減光するものであり、紫外線に対する反射率が高く、紫外線に対する耐久性に優れ、加工がし易く、軽量であり、尚且つコストの安い材料であることが必要とされる。このような理由から、光量補正板２５ａ，２５ｂは例えばアルミニウムによって構成される。光量補正板２５ａ，２５ｂはアルミニウムのほか、セラミック材料によって構成しても良く、また、金属からなる基板の光入射面にアルミニウムからなる反射膜またはクロムからなる吸収膜を蒸着等によって形成したものでも良く、さらには、光入射面に微細な凹凸構造を有する擦りガラスのように光を散乱するものでも良い。
光量補正板２５ａ、２５ｂの凸状部２７ａ、２７ｂは、各光源素子１２に固有の光量、ランプユニット１０から被照射物までの距離などに応じて、ランプユニット１０の積算光量分布の均一度が向上するように、そのＸ方向およびＹ方向の全長や、形状が適宜調整される。光量補正板２５ａ、２５ｂは、凸状部２７ａ、２７ｂの全長および形状がそれぞれ同一であるが、勿論、同一であることは必須条件ではない。
なお、上記の例では光量補正板２５ａ、２５ｂが、ハニカム構造体１６のＹ方向において最も離間するように配置されているが、必ずしもこのように配置することは必須ではない。例えば、光量補正板２５ａ、２５ｂを、Ｙ方向において最も近接するように配置しても良い。この場合は、各々の凸状部２７ａ、２７は互いに反対方向を向いて配置されることになる。
なお、上記の例では光量補正板２５ａ、２５ｂが、ハニカム構造体１６のＹ方向において最も離間するように配置されているが、必ずしもこのように配置することは必須ではない。例えば、光量補正板２５ａ、２５ｂを、Ｙ方向において最も近接するように配置しても良い。この場合は、各々の凸状部２７ａ、２７は互いに反対方向を向いて配置されることになる。
図１０にハニカム構造体における光源素子収容部の断面図（放電ランプの管軸を通りＹ方向に平行な平面で切った断面図）を示す。
同図に示すように、ハニカム構造体１６の光出射側の端面には、ガラス固定金具１８ａで固定された前面ガラス１８が設けられ、また、ハニカム構造体１６の上記光出射側の反対側の面には、ランプ固定用の底蓋１６ｂが設けられている。なお、同図では前記光量補正板２５ａ，２５ｂは省略されている。
各光源素子１２は、図１０に示すようにしてハニカム構造体１６の各光源素子収容部１６ａに固定される。
まず、前面ガラス１８をガラス固定金具１８ａに取付ける。次に、放電ランプ１３の管軸が前面ガラス１８と直交するよう光源素子１２をハニカム構造体１６の光源素子収容部１６ａに配置する。光源素子１２は、放電ランプ１３とリフレクタ１５とリフレクタベース１７から構成され、これらが接着剤等により、固定されている。
ハニカム構造体１６の隣り合う光源素子収容部１６ａは、隔壁により仕切られており、各光源素子１２は隔壁により互いに隔てられて各光源素子収容部１６ａに収納される。なお、図１０に示すものにおいては、四角形状の光源素子収容部１６ａに、光出射側から見た形状が円形のリフレクタ１５を有する光源素子１２を収納するため、リフレクタ１５の一部を切り欠いており、図１０に示す曲線１５ａは切り欠かれたリフレクタ１５の端部を示している。
同図に示すように、ハニカム構造体１６の光出射側の端面には、ガラス固定金具１８ａで固定された前面ガラス１８が設けられ、また、ハニカム構造体１６の上記光出射側の反対側の面には、ランプ固定用の底蓋１６ｂが設けられている。なお、同図では前記光量補正板２５ａ，２５ｂは省略されている。
各光源素子１２は、図１０に示すようにしてハニカム構造体１６の各光源素子収容部１６ａに固定される。
まず、前面ガラス１８をガラス固定金具１８ａに取付ける。次に、放電ランプ１３の管軸が前面ガラス１８と直交するよう光源素子１２をハニカム構造体１６の光源素子収容部１６ａに配置する。光源素子１２は、放電ランプ１３とリフレクタ１５とリフレクタベース１７から構成され、これらが接着剤等により、固定されている。
ハニカム構造体１６の隣り合う光源素子収容部１６ａは、隔壁により仕切られており、各光源素子１２は隔壁により互いに隔てられて各光源素子収容部１６ａに収納される。なお、図１０に示すものにおいては、四角形状の光源素子収容部１６ａに、光出射側から見た形状が円形のリフレクタ１５を有する光源素子１２を収納するため、リフレクタ１５の一部を切り欠いており、図１０に示す曲線１５ａは切り欠かれたリフレクタ１５の端部を示している。
そして、同図に示すように、スプリング１９を上記リフレクタベース１７と底蓋１６ｂの間に介挿させ、スプリング１９により、光源素子１２のリフレクタ１５の光出射開口側の端面が前面ガラス１８に押し付けられるように、光源素子１２をガラス面側に付勢する。これにより、前面ガラス１８の前端面はガラス固定用金具１８ａのエッジ部の光源素子側の内面に押し付けられ、光源素子１２のリフレクタ１５の光出射開口側の端面が前面ガラス１８の光源素子１２側の面に押し付けられることにより、ハニカム構造体１６に固定される。
上記のように構成することで、各光源素子１２のリフレクタ１５の光出射開口側の端面を光源素子１２から出射する光の光軸に対して垂直になるように設定しておき、また前面ガラスの平面度を高くしておけば、光源素子１２を下からスプリング１９で押し上げるだけで、格別の調整をすることなく、各光源素子１２から出射する光を平行光にすることができる。
また、各光源素子１２は隔壁を隔ててハニカム構造体１６に収納されているので、各光源素子１２の位置決めが容易であり、また、隣接する放電ランプから受ける熱の影響を緩和することができる。また、漏れ光があっても、隣のランプに影響を与えることがない。
上記のように構成することで、各光源素子１２のリフレクタ１５の光出射開口側の端面を光源素子１２から出射する光の光軸に対して垂直になるように設定しておき、また前面ガラスの平面度を高くしておけば、光源素子１２を下からスプリング１９で押し上げるだけで、格別の調整をすることなく、各光源素子１２から出射する光を平行光にすることができる。
また、各光源素子１２は隔壁を隔ててハニカム構造体１６に収納されているので、各光源素子１２の位置決めが容易であり、また、隣接する放電ランプから受ける熱の影響を緩和することができる。また、漏れ光があっても、隣のランプに影響を与えることがない。
上記のように本実施例のランプユニット１０は、図６に示すように、一の光源素子列１１ａを構成する隣り合う光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、他の光源素子列１１ｂを構成する光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置され、尚且つ、光量補正板２５ａ，２５ｂが設けられているので、ランプユニット１０における各光源素子１２からの光の一部が、光量補正板２５ａ、２５ｂで遮蔽されて減光されるため、図７の曲線Ｈに示すように積算光量の均一度が向上する。
しかも、本実施例のランプユニット１０は、光量補正板２５ａ，２５ｂが、ハニカム構造体１６のガラス固定金具１８ａの開口エッジ部に固定されているため、ランプユニット１０を新品のものに交換する時点で既に積算光量の均一度の補正が完了した状態になっている。
したがって、光照射装置において特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、本発明のランプユニット１０をユーザーの工場において新品のものに交換するだけで、ランプ交換と積算光量の均一度の補正とを同時に完了することができるため、極めて短時間でランプを交換することができる。
さらに、本発明のランプユニット１０は、光源素子列１１ａ，１１ｂを構成する各光源素子１２の放電ランプの管軸を延長した直線と交わり、Ｙ方向に伸びる直線ＡＹ１、ＡＹ２上を、該Ｙ方向に沿って伸びる凸状部２７ａ、２７ｂを備えるため、図７のＦに示す角状に突出するピークＰ３を確実に消滅させることができる結果、ランプユニット１０全体の積算光量分布の均一度を高精度に補正することができる。
したがって、光照射装置において特定のランプが使用寿命を迎えた場合に、本発明のランプユニット１０をユーザーの工場において新品のものに交換するだけで、ランプ交換と積算光量の均一度の補正とを同時に完了することができるため、極めて短時間でランプを交換することができる。
さらに、本発明のランプユニット１０は、光源素子列１１ａ，１１ｂを構成する各光源素子１２の放電ランプの管軸を延長した直線と交わり、Ｙ方向に伸びる直線ＡＹ１、ＡＹ２上を、該Ｙ方向に沿って伸びる凸状部２７ａ、２７ｂを備えるため、図７のＦに示す角状に突出するピークＰ３を確実に消滅させることができる結果、ランプユニット１０全体の積算光量分布の均一度を高精度に補正することができる。
次に、上記光量補正板の他の実施例について説明する。
図１１、図１２は、光量補正板のその他の実施例を示す図であり、ハニカム構造体１６、前面ガラス１８、ガラス固定用金具１８ａと共に示す。また、図１３は図１１、図１２に示す光量補正板の近傍の部分拡大図であり、図１３（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
本実施例では、光源素子１２の個数と同数の光量補正板が、ランプユニット１０における光源素子１２の各々に対して一対一で対応するように、互いに独立して設けられる。この点が、図８、図９に示した各光源素子１２に対応する凸状部を有するように一体成形されてなる光量補正板とは相違する。
なお、光量補正板が相違するだけで、その他の構成は前記図８、図９と同じであり、本実施例の光量補正板の材料は、図８、図９で説明したものと同じである。
図１１、図１２は、光量補正板のその他の実施例を示す図であり、ハニカム構造体１６、前面ガラス１８、ガラス固定用金具１８ａと共に示す。また、図１３は図１１、図１２に示す光量補正板の近傍の部分拡大図であり、図１３（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
本実施例では、光源素子１２の個数と同数の光量補正板が、ランプユニット１０における光源素子１２の各々に対して一対一で対応するように、互いに独立して設けられる。この点が、図８、図９に示した各光源素子１２に対応する凸状部を有するように一体成形されてなる光量補正板とは相違する。
なお、光量補正板が相違するだけで、その他の構成は前記図８、図９と同じであり、本実施例の光量補正板の材料は、図８、図９で説明したものと同じである。
本実施例では、図１３に示すように、光量補正板の、各光源素子が並ぶＸ方向および／またはそれに直交するＹ方向におけるそれぞれの位置を調整可能な機構が設けられている。このような位置調整機構を設けることにより、光量補正板のＸ方向および／またはＹ方向におけるそれぞれの位置を微調整することができる。これにより、各光源素子１２を構成する放電ランプ毎に、積算光量分布を示す曲線における頂部の高さや位置が異なっていたとしても、光量補正板のＸ方向およびＹ方向の位置を微調整することができるため、ランプユニット１０全体の積算光量分布の均一度をより確実に補正することができる。
より具体的には、図１１、図１２に示す実施例は、一の光源素子列１１ａが並ぶＸ方向に沿って、それぞれ独立に配置される光量補正板６１ａ〜６８ａと、他の光源素子列１１ｂが並ぶＸ方向に沿って、それぞれ独立に配置される光量補正板６１ｂ〜６８ｂとが設けられている。各光量補正板６１ａ〜６８ａ、６１ｂ〜６８ｂは、ガラス固定用金具１８ａの開口エッジ部に以下のようにしてねじ止めされて固定される。
より具体的には、図１１、図１２に示す実施例は、一の光源素子列１１ａが並ぶＸ方向に沿って、それぞれ独立に配置される光量補正板６１ａ〜６８ａと、他の光源素子列１１ｂが並ぶＸ方向に沿って、それぞれ独立に配置される光量補正板６１ｂ〜６８ｂとが設けられている。各光量補正板６１ａ〜６８ａ、６１ｂ〜６８ｂは、ガラス固定用金具１８ａの開口エッジ部に以下のようにしてねじ止めされて固定される。
本実施例では、図１３に示すように、各光源素子１２が並ぶＸ方向および／またはそれに直交するＹ方向におけるそれぞれの位置を調整可能な機構を有する。
以下、図１３により上記機構の一例について説明する。なお、ここでは光量補正板６１ａを例に説明するが他の光量補正板の構成も同様である。
光量補正板６１ａは、上記Ｙ方向に長軸を有し、上記Ｘ方向に短軸を有する、略楕円形状の２つの長穴６１１ａ、６１２ａが所定距離を隔てて設けられている。長穴の個数は必要に応じて適宜設定することができる。この長穴６１１ａ、６１２ａは、ガラス固定用金具１８ａに固定するためのねじ６２ａ、６３ａの各胴部６２２ａ、６２３ａを挿入するために設けられる。長穴６１１ａ、６１２ａは、その短軸方向（Ｘ方向）の幅が、ねじ６２ａ、６３ａの頭部６２１ａ、６３１ａの径より狭く、胴部６２２ａ、６３２ａの径にほぼ等しく、その長軸方向（Ｙ方向）の幅がねじ６２ａの胴部６２２ａ、６３２ａの径よりも広くなるように形成される。
以下、図１３により上記機構の一例について説明する。なお、ここでは光量補正板６１ａを例に説明するが他の光量補正板の構成も同様である。
光量補正板６１ａは、上記Ｙ方向に長軸を有し、上記Ｘ方向に短軸を有する、略楕円形状の２つの長穴６１１ａ、６１２ａが所定距離を隔てて設けられている。長穴の個数は必要に応じて適宜設定することができる。この長穴６１１ａ、６１２ａは、ガラス固定用金具１８ａに固定するためのねじ６２ａ、６３ａの各胴部６２２ａ、６２３ａを挿入するために設けられる。長穴６１１ａ、６１２ａは、その短軸方向（Ｘ方向）の幅が、ねじ６２ａ、６３ａの頭部６２１ａ、６３１ａの径より狭く、胴部６２２ａ、６３２ａの径にほぼ等しく、その長軸方向（Ｙ方向）の幅がねじ６２ａの胴部６２２ａ、６３２ａの径よりも広くなるように形成される。
ねじ６２ａ、６３ａをガラス固定用金具１８ａに対して固定する際には、光量補正板６１ａを長穴６１１ａ、６１２ａの長軸方向（Ｙ方向）にスライドさせることによって最適な位置に移動させる。そして、光量補正板６１ａが最適位置に到達したときに、ねじ６２ａ、６３ａを、それぞれ光量補正板６１ａに締結すると共にガラス固定用金具１８ａに螺合することにより、光量補正板６１ａがＹ方向に移動しないようにする。
上記のようにして、本実施例では、光量補正板６１ａの、長穴６１１ａ、６１２ａの長軸方向（Ｙ方向）における位置を自在に調整することができる。
なお、図示は省略するが、上記とは逆に、Ｘ方向に長軸を有し、Ｙ方向に短軸を有する楕円形状の長穴を光量補正板に形成することによって、光量補正板のＸ方向における位置を自在に調整することができるようにしても良い。
上記のようにして、本実施例では、光量補正板６１ａの、長穴６１１ａ、６１２ａの長軸方向（Ｙ方向）における位置を自在に調整することができる。
なお、図示は省略するが、上記とは逆に、Ｘ方向に長軸を有し、Ｙ方向に短軸を有する楕円形状の長穴を光量補正板に形成することによって、光量補正板のＸ方向における位置を自在に調整することができるようにしても良い。
図１４に示すランプユニットは、図８に示すランプユニット１０ａ、１０ｂの２つを、板状の連結用金具１６ｆを用いてねじ止めすることによって連結したものである。ランプユニット１０ａ、１０ｂの連結は、ランプユニット１０ａの光源素子１２の並び方向の端面１６ｄと１６ｅが、それぞれランプユニット１０ｂの端面１６ｅと１６ｄに接するように合わせて、連結用金具１６ｆで連結する。各光源素子１２の放電ランプからリード線１２ａが引き出され端子１２ｂが接続されている。
上記のように連結されたランプユニットは、合計３２個の光源素子から構成され、一方向における全長は約１０００ｍｍである。
上記のように構成されたランプユニットも、前記図８のものと同様、一の光源素子列１１ａを構成する隣り合う光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、他の光源素子列１１ｂを構成する光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置され、尚且つ、光量補正板２５ａ，２５ｂが設けられている。このため、ランプユニット１０ａ，１０ｂにおける各光源素子１２からの光の一部が、光量補正板２５ａ、２５ｂで遮蔽されて減光され、図７の曲線Ｈに示すように積算光量の均一度が向上する。
上記のように連結されたランプユニットは、合計３２個の光源素子から構成され、一方向における全長は約１０００ｍｍである。
上記のように構成されたランプユニットも、前記図８のものと同様、一の光源素子列１１ａを構成する隣り合う光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、他の光源素子列１１ｂを構成する光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置され、尚且つ、光量補正板２５ａ，２５ｂが設けられている。このため、ランプユニット１０ａ，１０ｂにおける各光源素子１２からの光の一部が、光量補正板２５ａ、２５ｂで遮蔽されて減光され、図７の曲線Ｈに示すように積算光量の均一度が向上する。
図１４に示したものは、２つのランプユニットをその長手方向に連結したものであるが、光照射装置に組み込まれるランプユニットの個数は、被処理物の全長との関係で適宜調整することができる。同図の例は、被処理物に照射される線状の集光光による光照射領域の、光源素子が並ぶ一方向における全長が１０００ｍｍの場合を示す。該光照射領域の全長が例えば５００ｍｍ程度と短い場合は、ランプユニットの個数は１つでも良い。
尚、複数のランプユニットを連結する場合は、個々のランプユニットの形状は同一であることが好ましい。即ち、複数のランプユニットを連結する場合、図１４に示したように、各光源素子がそれぞれ一方向に配列された複数個の光源素子からなるランプユニットの複数を、該一方向において連結することが好ましい。このようにすることで、各ランプユニットの連結部分の直下の光照射領域において、照度ムラが発生することなく、均一な照度分布を得ることができる。
尚、複数のランプユニットを連結する場合は、個々のランプユニットの形状は同一であることが好ましい。即ち、複数のランプユニットを連結する場合、図１４に示したように、各光源素子がそれぞれ一方向に配列された複数個の光源素子からなるランプユニットの複数を、該一方向において連結することが好ましい。このようにすることで、各ランプユニットの連結部分の直下の光照射領域において、照度ムラが発生することなく、均一な照度分布を得ることができる。
図１５は、ランプユニットを３列以上並べた実施例を示す。
図１５に示すように、ランプユニット１０は、複数の光源素子１２が一方向に並んで形成される光源素子列１１を３列以上有するものであっても良い。光源素子列１１の列数が多いほど照度分布の均一度が向上する。図１５に示すランプユニットによれば、一の光源素子列１１ａを構成する隣り合う光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、他の光源素子列１１ｂ，１１ｃを構成する光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置され、尚且つ、光量補正板２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられている。このため、前記実施例に示したものと同等もしくはそれ以上に積算光量の均一度を向上させることができる。
図１５に示すように、ランプユニット１０は、複数の光源素子１２が一方向に並んで形成される光源素子列１１を３列以上有するものであっても良い。光源素子列１１の列数が多いほど照度分布の均一度が向上する。図１５に示すランプユニットによれば、一の光源素子列１１ａを構成する隣り合う光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、他の光源素子列１１ｂ，１１ｃを構成する光源素子１２の、Ｘ方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が相補的に位置するように配置され、尚且つ、光量補正板２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられている。このため、前記実施例に示したものと同等もしくはそれ以上に積算光量の均一度を向上させることができる。
上記実施例の光量補正板は、前面ガラス１８とは別体の、例えばアルミニウムで構成されたものであるが、これに限られないことは勿論である。
例えば、ランプユニット１０のハニカム構造体１６には、個々の光源素子１２に対応して前面ガラス１８が設けられているが、該前面ガラス１８の光出射側の面の特定の領域に、光源素子１２からの光を反射、吸収、散乱するための加工を施すことによって、前面ガラス１８を光量補正板として適用することもできる。即ち、該前面ガラスの光出射側の面において、光源素子１２からの光を遮蔽したい箇所に対し、アルミニウムからなる反射膜やクロムからなる吸収膜を蒸着等によって形成することもできるし、ブラスト加工により凹凸構造を形成することもできる。
例えば、ランプユニット１０のハニカム構造体１６には、個々の光源素子１２に対応して前面ガラス１８が設けられているが、該前面ガラス１８の光出射側の面の特定の領域に、光源素子１２からの光を反射、吸収、散乱するための加工を施すことによって、前面ガラス１８を光量補正板として適用することもできる。即ち、該前面ガラスの光出射側の面において、光源素子１２からの光を遮蔽したい箇所に対し、アルミニウムからなる反射膜やクロムからなる吸収膜を蒸着等によって形成することもできるし、ブラスト加工により凹凸構造を形成することもできる。
１０，１０ａ、１０ｂ ランプユニット
１１ａ，１１ｂ．１１ｃ 光源素子列
１２ 光源素子
１２ａ リード線
１２ｂ 端子
１３ 放電ランプ
１４ 発光管
１５ リフレクタ
１６ ハニカム構造体
１６ａ 光源素子収容部
１６ｂ 底蓋
１６ｄ，１６ｅ 端面
１６ｆ 連結用金具
１７ リフレクタベース
１８ 前面ガラス
１８ａ ガラス固定金具
１９ スプリング
２０ 集光部材
２５ａ、２５ｂ，２５ｃ 光量補正板
２６ａ、２６ｂ 基体部
２７ａ、２７ｂ 凸状部
３０ マスク
３１ 透光性基板
３２ 遮光膜
３３ 遮光部
３４ 透光部
３５ 偏光素子
４０ 搬送手段
４１ ローラー
５１ フィルム基材
５５Ａ 光配向膜用材料層
５５ 第１の光配向膜
５６ 第２の光配向膜
５７Ａ 光重合性液晶材料層
５７ 第１の液晶ポリマー層部分
５８ 第２の液晶ポリマー層部分
５９ 液晶ポリマー層
６１ａ〜６８ａ、６１ｂ〜６８ｂ 光量補正板
６２ａ、６３ａ ねじ
１１ａ，１１ｂ．１１ｃ 光源素子列
１２ 光源素子
１２ａ リード線
１２ｂ 端子
１３ 放電ランプ
１４ 発光管
１５ リフレクタ
１６ ハニカム構造体
１６ａ 光源素子収容部
１６ｂ 底蓋
１６ｄ，１６ｅ 端面
１６ｆ 連結用金具
１７ リフレクタベース
１８ 前面ガラス
１８ａ ガラス固定金具
１９ スプリング
２０ 集光部材
２５ａ、２５ｂ，２５ｃ 光量補正板
２６ａ、２６ｂ 基体部
２７ａ、２７ｂ 凸状部
３０ マスク
３１ 透光性基板
３２ 遮光膜
３３ 遮光部
３４ 透光部
３５ 偏光素子
４０ 搬送手段
４１ ローラー
５１ フィルム基材
５５Ａ 光配向膜用材料層
５５ 第１の光配向膜
５６ 第２の光配向膜
５７Ａ 光重合性液晶材料層
５７ 第１の液晶ポリマー層部分
５８ 第２の液晶ポリマー層部分
５９ 液晶ポリマー層
６１ａ〜６８ａ、６１ｂ〜６８ｂ 光量補正板
６２ａ、６３ａ ねじ
Claims (6)
- ショートアーク型の放電ランプ、およびこの放電ランプを取り囲むよう配置されたリフレクタよりなる複数の光源素子が、その出射光の光軸が平行になるように一方向に並んで配置されてなる、それぞれ同方向に伸びる複数の光源素子列と、各光源素子に対応した光源素子収容部を有する光源素子支持枠体とを有してなるランプユニットであって、
前記複数の光源素子列を、前記一方向に直交する方向に並べて配置し、
前記一の光源素子列における光源素子と、前記他の光源素子列における光源素子とを前記一方向に対して互いに斜め方向にずらした位置に配置し、
前記ランプユニットは、前記光源素子から出射した光を減光することにより該ランプユニットの積算光量の均一度を補正する、光量補正板を有する
ことを特徴とするランプユニット。 - 前記光源素子は、その積算光量分布を示す曲線が、中央に位置する頂部を中心になだらかに広がる裾野部をもつ山状に形成され、
前記各光源素子は、前記一の光源素子列Ｒ１を構成する隣り合う光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部の間に、前記他の光源素子列Ｒ２を構成する光源素子の、前記一方向における積算光量分布を示す曲線の頂部が位置するように配置される
ことを特徴とする請求項１に記載のランプユニット。 - 前記光量補正板が、前記光源素子支持枠体に固定され、前記光源素子からの出射光をさえぎるように伸び出している
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のランプユニット。 - 前記光量補正板は、前記光源素子の放電ランプの管軸と直交し、かつ、前記一方向と直交する方向に伸びる直線上を、該方向に沿って伸びる凸状部を有する
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３に記載のランプユニット。 - 前記光量補正板の位置を調整する機構を有することを特徴とする請求項１，２，３または請求項４に記載のランプユニット。
- 請求項１ないし請求項５に記載のランプユニットからなる光出射部を有する光照射装置であって、前記光出射部からの光を線状に集光する、前記一方向に伸びる集光部材を備えることを特徴とする光照射装置。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015040664A1 (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-26 | 信越エンジニアリング株式会社 | 光配向照射装置及び光配向照射装置の開口量調整方法 |
| KR20160042866A (ko) | 2013-08-09 | 2016-04-20 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 조명 장치 |
-
2011
- 2011-04-08 JP JP2011086091A patent/JP2012221726A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
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| WO2015040664A1 (ja) * | 2013-09-17 | 2015-03-26 | 信越エンジニアリング株式会社 | 光配向照射装置及び光配向照射装置の開口量調整方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140701 |