JP2012211927A - 電気計測プローブ用変位拡大機構および基板検査装置 - Google Patents
電気計測プローブ用変位拡大機構および基板検査装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基台部12と、力点として作用させる当接部25を備えて伸縮制御を自在に配設される伸縮体22と、該伸縮体22側からの押圧力を受けて変位出力端57側に対しZ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部12を含む必要箇所に介在させた各支点部15を介して連結されるアーム体32とで変位拡大機構11を構成し、該変位拡大機構11を具備させることで基板検査装置を形成した。これにより、電気計測プローブPが取り付けられる変位出力端57側に対しては、アーム体32を介してZ軸方向での拡大された非線形の変位量を平行リンクを介して線形の変位量として出力することができるようにした。
【選択図】図1
Description
(1)応答特性がよくない。
(2)立ち上がりが遅い。
(3)騒音が発生する。
(4)ベルト116とプーリー114,115との間で摩擦熱が生じる。
(5)1mmの移動に4ms程度の時間を要する。
(1)装置が高価である。
(2)騒音が発生する。
(3)質量が大きいので、平面位置決めX−Y移動部も大きくなってしまう。(4)1mmの移動に4ms程度の時間を要する。
12 基台部
15(15a〜15f)支点部
22 伸縮体
24 変位端
25 当接部
32アーム体
33 アーム部
44 変位入力側のアーム部
45 水平片部
45a 開放端
45b 基端
46 斜行片部
46a 開放端
47 変位出力側のアーム部
48 上側アーム片部
48a 基端
48b 先端
49 下側アーム片部
49a 基端
49b 先端
50 縦側アーム片部
50a 上端部
50b 下端部
57 変位出力端
P 電気計測プローブ
Claims (5)
- X−Y軸方向への移動を自在に配設される移動体に取り付けられる基台部と、相手材に当接して力点として作用させる当接部をその自由端である変位端に備えて前記基台部側に伸縮制御を自在に配設される伸縮体と、該伸縮体の前記当接部からの押圧力を受けて変位出力端側に対しZ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、前記基台部を含む必要箇所に介在させた各支点部を介して連結される前記相手材としてのアーム体とで少なくとも構成され、電気計測プローブが取り付けられる前記変位出力端側へは、前記アーム体を介してZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした電気計測プローブ用変位拡大機構において、
前記アーム体は、上方に位置して前記伸縮体からの押圧力を受ける水平片部と、該水平片部の開放端側から前傾させた斜行片部とからなる前記変位入力側のアーム部と、その下方に位置させて該アーム部と支点部を介して連結され、かつ、その全体で平行リンクを形成して前記変位出力端を備える変位出力側のアーム部とで構成され、
前記変位入力側のアーム部は、前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、前記一端寄りの位置が伸縮体の前記当接部と当接し、荷重点である前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して前記変位出力側のアーム部の一端寄りと連結され、
前記変位出力側のアーム部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部側と連結され、他端側に介在させた支点部を介して略直進するZ軸方向での拡大された変位量の付与を自在とした前記変位出力端側への前記電気計測プローブの連結を自在に形成したことを特徴とする電気計測プローブ用変位拡大機構。 - 前記変位出力側のアーム部は、前記平行リンクを形成する上側アーム片部と下側アーム片部と縦側アーム片部とで構成され、
前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部を介して連結される前記上側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して前記縦側アーム片部の上端部とそれぞれが連結され、前記下側アーム片部は、一端側に介在させた支点部を介して前記基台部と、他端側に介在させた支点部を介して縦側アーム片部の下端部とそれぞれが連結され、
該縦側アーム片部の前記下端部をその荷重点である前記変位出力端として前記電気計測プローブ側と連結させる請求項1に記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。 - 前記水平片部の長さ方向での一端側に介在させた支点部と前記斜行片部の開放端側に介在させた支点部とを、略同一の水平方向に位置させた請求項1または2に記載の電気計測用プローブのための変位拡大機構。
- 前記変位出力側のアーム部は、前記変位入力側のアーム部とは逆向きに配置した請求項1ないし3のいずれかに記載の電気計測プローブ用変位拡大機構。
- 装置本体に配設される前記移動体に対し、請求項1ないし4のいずれかに記載の電気計測プローブ用変位拡大機構を具備させたことを特徴とする基板検査装置。
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JP2017053660A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ、プローブ組立体の製造方法およびプローブ組立体 |
JP2022169624A (ja) * | 2017-12-26 | 2022-11-09 | 日本電産リード株式会社 | 検査治具 |
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