JP2012208415A - 反射型露光用マスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上に多層反射膜12、保護膜13、吸収膜、裏面導電膜が形成された反射型マスクブランクスを準備する。次に、回路パターンとその領域外の吸収膜を選択的に除去して回路パターンと遮光枠領域を形成する。次に、前記遮光枠領域において保護膜13と多層反射膜12を除去する。加えて、前記遮光枠領域の基板とは対向位置の裏面導電膜の一部に同形状の除去領域を形成する。
【選択図】図2
Description
そこで、この射影効果を抑制ないし軽減するためにマスクパターンを形成している吸収膜の膜厚を薄膜化する提案がなされている。
基板と、
該基板上に形成された露光光を反射する多層反射膜と、
該多層反射膜上に形成された多層反射膜を保護する保護膜と、
該保護膜上に形成された露光光を吸収する吸収膜と、
該基板の多層反射膜とは反対面上に形成された導電膜を有した、
波長5から15nmの光を露光光とするリソグラフィで用いられる反射型マスクブランクであって、
前記基板は石英(SiO2)を主成分とし、酸化チタン(TiO2)を含む材料で形成され、
前記多層反射膜は前記基板上にモリブデン(Mo)を材料とする層と珪素(Si)を材料とする層とが重ねられた層が複数重ねられることで構成された多層構造で形成され、
前記保護膜は前記多層反射膜上に形成され、単層構造もしくは積層構造となっており、ルテニウム(Ru)またはシリコン(Si)のいずれかを含む材料で形成され、積層構造の場合はその最上層がルテニウム(Ru)の酸化物、窒化物、酸窒化物や珪素(Si)の酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、
前記吸収膜は、前記保護膜上に形成され、単層構造もしくは積層構造となっており、タンタル(Ta)及びその酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、積層構造の場合はその最上層がタンタル(Ta)の酸化物、窒化物、酸窒化物や珪素(Si)の酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、
前記基板の多層反射膜とは反対面上に形成された裏面導電膜は、単層構造もしくは積層構造となっており、クロム(Cr)またはタンタル(Ta)のいずれかの金属もしくはその酸化物、窒化物、酸窒化物で形成され、積層構造の場合はその基板側の層はクロム(Cr)またはタンタル(Ta)のいずれかの金属もしくはその酸化物、窒化物、酸窒化物、または酸化珪素(SiOx)のいずれかを含む材料で形成されることを特徴とする。
前記請求項1の反射型マスクブランクにおいて、前記吸収膜を選択的に除去することで回路パターンが形成され、前記回路パターンを除く前記回路パターンの周囲の部分に、前記吸収膜と前記保護膜と前記多層反射膜とを選択的に除去した枠状の領域が形成され、前記基板に対して対向位置の裏面導電膜の一部が前記枠状の領域と略同形状を選択的に除去した枠状の領域が形成されることを特徴とする反射型マスクである。
先ず、本発明の第1の実施形態について図1を参照して説明する。図1は、反射型マスクブランクス10の断面図である。より具体的には、EUV光を用いた露光に使用するマスク用のブランクスである。EUV光の波長は、例えば13.5nmである。
基板11の一面上に、多層反射膜12、保護膜13、吸収膜14を、この順に形成する。基板11の、多層反射膜12とは反対側面には裏面導電膜15を積層して形成する。多層反射膜12、保護膜13、吸収膜14及び裏面導電膜15は、公知のスパッタリング法を用いて形成することができる。吸収膜14は、図1(a)で示す単層14aの場合と、図1(b)で示す積層の場合がある。また、裏面導電膜15についても図1(a)で示す単層15aの場合と図1(b)で示す積層15bの場合がある。
この図2(a)(b)に示すように、回路パターンAの領域の外側に位置して、吸収膜14、保護膜13及び多層反射膜12の一部にわたり遮光枠領域Bを形成した構造である。また、裏面導電膜15には上記遮光枠領域Bに対向して一部重なる遮光枠領域Cを形成する。この遮光枠領域Cは遮光枠領域B以上の幅で形成する。
まず、図1のブランクスを用意し、吸収膜14に回路パターンAと領域Bを形成する。つまり、電子線に反応を示す化学増幅系や非化学増幅系レジスト21を吸収膜14に塗布し(S1)、所定の回路パターンAと遮光枠領域Bを描画する(S2)、その後に、アルカリ溶液などで現像を行い(S3)、これにより形成したレジスト21のパターンをマスクにして、フッ素系ガスや塩素系ガスを用いたガスプラズマによるエッチングを行い(S4)、不要なレジスト21のパターンを酸素プラズマによる灰化や硫酸やオゾン水などの酸化薬液による分解ないしは有機溶剤などで溶解除去する(S5)。その後、必要に応じて、酸・アルカリ系薬品やオゾンガスや水素ガスなどを溶解した超純水や有機アルカリ系薬品、界面活性剤などによる洗浄処理(S6)と、遠心力を利用したスピン乾燥(S7)を行う。
以上の工程により回路パターンAと遮光枠領域Bが形成される。
次に、遮光枠領域Cを露光または電子線で描画する(S16)。前記と同じく現像(S17)、エッチング(S18)、レジストの除去(S19)、洗浄(S20)、乾燥(S21)を行い、遮光枠領域Cを完成させる。
以上の工程により反射型マスク100が完成する。
11 基板
12 多層反射膜
13 保護膜
14a 吸収膜
14b 吸収膜
15a 裏面導電膜
15b 裏面導電膜
21 レジスト(パターン)
100 反射型マスク
Claims (2)
- 基板と、
該基板上に形成された露光光を反射する多層反射膜と、
該多層反射膜上に形成された多層反射膜を保護する保護膜と、
該保護膜上に形成された露光光を吸収する吸収膜と、
該基板の多層反射膜とは反対面上に形成された導電膜を有した、
波長5から15nmの光を露光光とするリソグラフィで用いられる反射型マスクブランクであって、
前記基板は石英(SiO2)を主成分とし、酸化チタン(TiO2)を含む材料で形成され、
前記多層反射膜は前記基板上にモリブデン(Mo)を材料とする層と珪素(Si)を材料とする層とが重ねられた層が複数重ねられることで構成された多層構造で形成され、
前記保護膜は前記多層反射膜上に形成され、単層構造もしくは積層構造となっており、ルテニウム(Ru)またはシリコン(Si)のいずれかを含む材料で形成され、積層構造の場合はその最上層がルテニウム(Ru)の酸化物、窒化物、酸窒化物や珪素(Si)の酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、
前記吸収膜は、前記保護膜上に形成され、単層構造もしくは積層構造となっており、タンタル(Ta)及びその酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、積層構造の場合はその最上層がタンタル(Ta)の酸化物、窒化物、酸窒化物や珪素(Si)の酸化物、窒化物、酸窒化物のいずれかを含む材料で形成され、
前記基板の多層反射膜とは反対面上に形成された裏面導電膜は、単層構造もしくは積層構造となっており、クロム(Cr)またはタンタル(Ta)のいずれかの金属もしくはその酸化物、窒化物、酸窒化物で形成され、積層構造の場合はその基板側の層はクロム(Cr)またはタンタル(Ta)のいずれかの金属もしくはその酸化物、窒化物、酸窒化物、または酸化珪素(SiOx)のいずれかを含む材料で形成されることを特徴とする反射型マスク。 - 前記請求項1の反射型マスクブランクにおいて、
前記吸収膜を選択的に除去することで回路パターンが形成され、前記回路パターンを除く前記回路パターンの周囲の部分に、前記吸収膜と前記保護膜と前記多層反射膜とを選択的に除去した枠状の領域が形成され、前記基板に対して対向位置の裏面導電膜の一部が前記枠状の領域と略同形状を選択的に除去した枠状の領域が形成されることを特徴とする反射型マスク。
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