JP2012199207A - Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same - Google Patents

Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same Download PDF

Info

Publication number
JP2012199207A
JP2012199207A JP2011064191A JP2011064191A JP2012199207A JP 2012199207 A JP2012199207 A JP 2012199207A JP 2011064191 A JP2011064191 A JP 2011064191A JP 2011064191 A JP2011064191 A JP 2011064191A JP 2012199207 A JP2012199207 A JP 2012199207A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
partition
organic
electrode
substrate
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011064191A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiki Koshiyama
良樹 越山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2011064191A priority Critical patent/JP2012199207A/en
Publication of JP2012199207A publication Critical patent/JP2012199207A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a thin organic EL display capable of suppressing occurrence of deterioration phenomena in a display, such as reduction in brightness with driving time and generation/expansion of dark spots, even when laser repair is performed; and a method for manufacturing the thin organic EL display.SOLUTION: In an organic EL display, an organic EL element substrate is bonded with a counter substrate via a sealing agent laid throughout, the organic EL element substrate including: a patterned first electrode provided on a substrate; a first barrier covering an end of the first electrode; an organic light emitting medium layer provided in a region partitioned by the first barrier, on the first electrode; and a second electrode facing the first electrode while sandwiching the organic light emitting medium layer therebetween. A second barrier is further formed on the first barrier, and a filler is filled in a region partitioned by the second barrier.

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法に関し、レーザーリペアを行なっても駆動時間の経過に伴う輝度の低下、ダークスポットの発生・拡大といったディスプレイの劣化現象を抑制できる有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法に関するものである。   The present invention relates to an organic electroluminescence display and a method of manufacturing the same, and an organic electroluminescence display capable of suppressing deterioration of the display such as a decrease in luminance and generation / expansion of dark spots with the lapse of driving time even when laser repair is performed, and the method It relates to a manufacturing method.

近年、情報機器の多様化に伴い、一般に使用されているCRT(陰極線管)に比べて消費電力が少ない平面表示素子に対するニーズが高まってきている。このような平面表示素子の一つとして、高効率・薄型・軽量・低視野角依存性等の特徴を有する有機エレクトロルミネッセンス(以下、有機ELと略す)素子が注目され、この有機EL素子を用いたディスプレイの開発が進められている。   In recent years, with the diversification of information equipment, there has been an increasing need for flat display elements that consume less power than commonly used CRTs (cathode ray tubes). As one of such flat display elements, organic electroluminescence (hereinafter abbreviated as “organic EL”) elements having features such as high efficiency, thinness, light weight, and low viewing angle dependence have been attracting attention. The development of the existing display is underway.

有機EL素子は、薄膜トランジスタ(TFT)を設けた基板上に、第一電極(アノード)、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層などの有機層と第二電極(カソード)が順に積層されたものが知られている。アノードとカソードの間に電位差を加え、この有機EL素子に駆動電流を流すと、アノードから注入されたホールと、カソードから注入された電子とが発光層の内部で再結合し、発光層を形成する有機分子を励起して励起子が生じる。この励起子が放射失活する過程で発光層から光が放たれ、この光が透明なアノードから透明絶縁基板を介して外部へ放出されて発光する。   An organic EL element is formed on a substrate provided with a thin film transistor (TFT), an organic layer such as a first electrode (anode), a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a second electrode ( A cathode in which cathodes are stacked in order is known. When a potential difference is applied between the anode and the cathode, and a drive current is passed through the organic EL element, holes injected from the anode and electrons injected from the cathode are recombined inside the light emitting layer to form a light emitting layer. Excitons are generated by exciting organic molecules. Light is emitted from the light emitting layer in the process of radiation deactivation of the excitons, and the light is emitted from the transparent anode through the transparent insulating substrate to emit light.

上記の有機EL層及びカソードは、メタルマスクを用いた真空蒸着法により形成される。この蒸着工程で異物が有機EL素子の形成領域に付着することがある。このため、アノードとカソードとの間でショートが発生し、アノードとカソードとの間に電位差がなくなってしまう。すると、有機EL素子に駆動電流が流れなくなり、画素領域にダークスポット(滅点)が発生する。   The organic EL layer and the cathode are formed by a vacuum deposition method using a metal mask. In this vapor deposition step, foreign matter may adhere to the formation region of the organic EL element. For this reason, a short circuit occurs between the anode and the cathode, and there is no potential difference between the anode and the cathode. Then, the driving current does not flow through the organic EL element, and a dark spot (dark spot) is generated in the pixel region.

そこで、液晶ディスプレイの製造で用いられるレーザーリペア法を有機EL表示装置にも適用して、所定の波長(例えば、1056nm)を有するレーザー光を滅点の原因となる異物に照射し異物を焼き切って吹き飛ばし、画素の一部を破壊することで画素を発光させている。例えば、特許文献1には、発光の単位である画素をさらに区画分割して複数の画素要素を形成することにより、電極の剥離や非発光領域の増大が隣接する画素要素まで及ばないようにして、周辺画素領域が正常に発光するようにする技術が開示されている。   Therefore, the laser repair method used in the manufacture of the liquid crystal display is also applied to the organic EL display device, and the foreign matter causing the dark spot is irradiated with laser light having a predetermined wavelength (for example, 1056 nm) to burn out the foreign matter. The pixel is caused to emit light by blowing away and destroying part of the pixel. For example, Patent Document 1 discloses that a pixel, which is a unit of light emission, is further partitioned to form a plurality of pixel elements so that peeling of electrodes and increase of non-light-emitting areas do not reach adjacent pixel elements. A technique for causing the peripheral pixel region to emit light normally is disclosed.

しかしながら、例えば、特許文献2、3に開示されているように、カソード上に窒化シリコン等の保護膜がある構造では、封止性能の向上は期待できるが、レーザーリペアを実施する場合は保護膜がカソードを覆っているので異物は飛散しにくい。異物を飛散させるために無理にレーザー強度(エネルギー)をあげると、そのエネルギーによりカソード層等にダメージが加わり、それらが断裂して有機EL素子部分にピンホールが発生してしまう。このピンホールが形成されると、そこから水分が素子内に浸入して素子特性の劣化が起こり、ダークスポットという表示不良が発生する。また、レーザー照射によって保護膜層まで貫通し異物が飛散できたとしても、保護膜のバリア性が結果的に失われ、この貫通口から水分が浸入してダークスポットを拡大させてしまう問題があった。   However, as disclosed in Patent Documents 2 and 3, for example, a structure having a protective film such as silicon nitride on the cathode can be expected to improve the sealing performance. However, when laser repair is performed, the protective film is expected. Since it covers the cathode, it is difficult for foreign matter to scatter. If the laser intensity (energy) is forcibly increased in order to disperse foreign matter, the energy will damage the cathode layer and the like, which will break and cause pinholes in the organic EL element portion. When this pinhole is formed, moisture penetrates into the element and the element characteristics are deteriorated, resulting in a display defect called a dark spot. In addition, even if foreign matter can penetrate through the protective film layer by laser irradiation, the barrier property of the protective film is eventually lost, and there is a problem that moisture penetrates through this through-hole and enlarges the dark spot. It was.

特開2000−195677号公報JP 2000-195567 A 特開2005−347204号公報JP 2005-347204 A 特開2007−184251号公報JP 2007-184251 A

本発明は、上記問題を鑑みてなされたもので、レーザーリペアを行なっても、駆動時間の経過に伴う輝度の低下、ダークスポットの発生・拡大といったディスプレイの劣化現象を抑制でき、かつ薄型な有機ELディスプレイとその製造方法を提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the above problems, and even when laser repair is performed, a display deterioration phenomenon such as a decrease in luminance and generation / expansion of dark spots with the lapse of driving time can be suppressed, and a thin organic It is an object to provide an EL display and a manufacturing method thereof.

本発明の請求項1に係る発明は、基板上に設けられたパターン状の第一の電極と、前記第一の電極の端部を被覆する第一の隔壁と、前記第一の電極上であって前記第一の隔壁で区画された領域に設けられた有機発光媒体層と、この有機発光媒体層を挟んで前記第一の電極に対向する第二の電極からなる有機EL素子基板を、シール剤を全面に介して対向基板と貼り合わせてなる有機ELディスプレイにおいて、前記第一の隔壁上には、更に第二の隔壁が形成され、前記第二の隔壁によって区画された領域には充填剤が充填されていることを特徴とする有機ELディスプレイである。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a patterned first electrode provided on a substrate, a first partition wall covering an end of the first electrode, and the first electrode. An organic EL element substrate comprising an organic light emitting medium layer provided in a region partitioned by the first partition and a second electrode facing the first electrode across the organic light emitting medium layer, In the organic EL display in which the sealing agent is bonded to the counter substrate through the entire surface, a second partition is further formed on the first partition, and a region partitioned by the second partition is filled. It is an organic EL display characterized by being filled with an agent.

また、本発明の請求項2に係る発明は、前記第一の隔壁及び第二の隔壁はマトリックス状であり、マトリックス数が第一の隔壁より第二の隔壁の方が少ないことを特徴とする請求項1に記載する有機ELディスプレイである。   Further, the invention according to claim 2 of the present invention is characterized in that the first partition and the second partition are in a matrix form, and the number of matrices is smaller in the second partition than in the first partition. An organic EL display according to claim 1.

また、本発明の請求項3に係る発明は、前記充填剤は少なくともシリコーンオイルに吸湿剤を含有させたものからなる部材であることを特徴とする請求項1又は2に記載する有機ELディスプレイである。   Further, the invention according to claim 3 of the present invention is the organic EL display according to claim 1 or 2, wherein the filler is a member comprising at least a silicone oil containing a hygroscopic agent. is there.

また、本発明の請求項4に係る発明は、前記対向基板は平板状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載する有機ELディスプレイである。   The invention according to claim 4 of the present invention is the organic EL display according to any one of claims 1 to 3, wherein the counter substrate has a flat plate shape.

次に、本発明の請求項5に係る発明は、基板上に設けられたパターン状の第一の電極と、前記第一の電極の端部を被覆する第一の隔壁と、前記第一の隔壁で区画された領域に設けられた有機発光媒体層と、この有機発光媒体層を挟んで第一の電極に対向する第二の電極からなる有機エレクトロルミネッセンス素子基板を、対向基板と貼り合わせてなる有機ELディスプレイの製造方法において、少なくとも、前記第一の隔壁上に更に第二の隔壁を形成する第二隔壁形成工程と、前記第二の隔壁によって区画された領域に充填剤を注入する充填剤注入工程と、前記充填剤注入工程の後にシール剤を全面に介して前記有機EL素子基板と前記対向基板とを貼り合せる工程とを、具備することを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法である。   Next, an invention according to claim 5 of the present invention is a pattern-shaped first electrode provided on a substrate, a first partition that covers an end of the first electrode, and the first An organic electroluminescent element substrate comprising an organic light emitting medium layer provided in a region partitioned by a partition wall and a second electrode facing the first electrode across the organic light emitting medium layer is bonded to the counter substrate. In the method for manufacturing an organic EL display, at least a second partition forming step of forming a second partition on the first partition and a filling for injecting a filler into a region partitioned by the second partition An organic EL display manufacturing method comprising: an agent injection step; and a step of bonding the organic EL element substrate and the counter substrate through a sealing agent over the entire surface after the filler injection step. is there.

本発明の有機ELディスプレイは、第二電極(カソード)上に充填剤としてシリコーンオイルを用いているので、保護膜(有機膜や無機膜)に比べ、レーザーリペアを実施する際に低エネルギーで異物を焼き切って吹き飛ばすことが出来る。よって、カソード等に加わるダメージを抑制でき、ピンホールの発生を低減できる。また、第二電極上に保護膜を形成した場合にはレーザー照射のエネルギーによって膜にクラックが生じることがあり、その結果クラックから水分が浸入しダークスポットを拡大させてしまっていたが、第二電極上に充填剤(シリコーンオイル)を用いることでシリコーンオイル層内に異物を閉じ込
めることが出来る。また、充填剤に吸湿剤を含有させることで、レーザー照射で貫通してしまった第二電極の貫通口からの水分劣化を抑制することが出来る。
Since the organic EL display of the present invention uses silicone oil as a filler on the second electrode (cathode), it is less energetic when performing laser repair than a protective film (organic film or inorganic film). Can be burned out and blown away. Therefore, damage applied to the cathode or the like can be suppressed, and occurrence of pinholes can be reduced. In addition, when a protective film is formed on the second electrode, cracks may occur in the film due to the energy of laser irradiation. As a result, moisture penetrates from the cracks and enlarges the dark spots. By using a filler (silicone oil) on the electrode, foreign substances can be confined in the silicone oil layer. Moreover, the moisture deterioration from the through-hole of the 2nd electrode penetrated by laser irradiation can be suppressed by making a filler contain a hygroscopic agent.

また、本発明の有機ELディスプレイでは、隔壁を発光層塗り分け用の第一隔壁と、充填剤形成用の第二隔壁として作成し、第一の隔壁より第二の隔壁の方が少ないようにしてマトリックス形成することで、充填剤をディスペンス方式やノズル方式などで形成することが出来る。   Further, in the organic EL display of the present invention, the partition walls are prepared as a first partition wall for coating the light emitting layer and a second partition wall for forming the filler so that the second partition wall is smaller than the first partition wall. By forming a matrix, the filler can be formed by a dispensing method or a nozzle method.

また、対向基板に平板状の基材を用い、シール剤を全面に形成しそれを介して貼り合わせることで薄型のディスプレイを提供することが出来る。   Moreover, a thin display can be provided by using a flat base material for the counter substrate, forming a sealant on the entire surface, and attaching the sealant therethrough.

その結果、本発明によれば、レーザーリペアを行なっても駆動時間の経過に伴う輝度の低下や、ダークスポットの発生・拡大といったディスプレイの劣化現象を抑制でき、かつ薄型の有機ELディスプレイを提供することが出来る。   As a result, according to the present invention, it is possible to suppress a display deterioration phenomenon such as a decrease in luminance with the lapse of driving time and generation / expansion of dark spots even when laser repair is performed, and a thin organic EL display is provided. I can do it.

本発明の有機ELディスプレイの、一実施形態例を断面で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows one Example of the organic electroluminescent display of this invention in a cross section. 本発明の有機ELディスプレイの、一実施形態での他の例を断面で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the cross section of the other example in one Embodiment of the organic electroluminescent display of this invention. 本発明の有機ELディスプレイの、一実施形態に係る有機EL素子基板の斜視図である。It is a perspective view of the organic EL element substrate concerning one embodiment of the organic EL display of the present invention. 従来の有機ELディスプレイの、一構成例を断面で示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of 1 structure of the conventional organic EL display in a cross section.

本発明の有機ELディスプレイを一実施形態に基づいて、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面は、本発明の構成を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さ、寸法等は、実際のものとは異なる。また、本発明はこれらに限定されるものではない。   An organic EL display of the present invention will be described based on an embodiment with reference to the drawings. The drawings referred to in the following description are for explaining the configuration of the present invention, and the size, thickness, dimensions, and the like of each part shown in the drawings are different from the actual ones. The present invention is not limited to these.

図1は、本発明の有機ELディスプレイの、一実施形態例を断面で示す模式図である。本発明の有機ELディスプレイは、図1に示すように、基板1、薄膜トランジスタ(TFT)2、平坦化膜層3、第一電極4、第一隔壁5、第二隔壁6、有機EL発光媒体層7、第二電極8、充填剤9、吸湿剤10、シール剤11、及び封止基板12を含む。   FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the organic EL display of the present invention in cross section. As shown in FIG. 1, the organic EL display of the present invention includes a substrate 1, a thin film transistor (TFT) 2, a planarizing film layer 3, a first electrode 4, a first partition 5, a second partition 6, an organic EL light emitting medium layer. 7, a second electrode 8, a filler 9, a hygroscopic agent 10, a sealing agent 11, and a sealing substrate 12.

図2は、本発明の有機ELディスプレイの、一実施形態での他の例を断面で示す模式図であり、図1で示す基材の他に保護膜13を含む。   FIG. 2 is a schematic view showing, in cross section, another example of the organic EL display of the present invention, and includes a protective film 13 in addition to the substrate shown in FIG.

以下、有機ELディスプレイを構成する各部の材料について説明する。   Hereinafter, the material of each part constituting the organic EL display will be described.

[基板]
基板1としては絶縁性を有し寸法安定性に優れた基板であれば如何なる基板も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透光性基材を用いることができる。また、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、シート、板や、前記プラスチックフィルムやシートにアルミニウム、銅、ニッケル、ステンレスなどの金属膜を積層させた非透光性基材などを用いることができる。光取出しをどちらの面から行うかに応じて基材の透光性を選択すればよい。これらの材料からなる基板は、有機EL素子内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、有機発光媒体への水分の侵入を避けるために、基板における含水率およびガス透過係数を小さくすることが好ましい。
[substrate]
Any substrate can be used as the substrate 1 as long as it has insulating properties and excellent dimensional stability. For example, plastic films and sheets such as glass, quartz, polypropylene, polyethersulfone, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyarylate, polyamide, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc., or oxidation to these plastic films and sheets Metal oxides such as silicon and aluminum oxide, metal fluorides such as aluminum fluoride and magnesium fluoride, metal nitrides such as silicon nitride and aluminum nitride, metal oxynitrides such as silicon oxynitride, acrylic resins and epoxy resins Alternatively, a translucent base material in which a polymer resin film such as a silicone resin or a polyester resin is single-layered or laminated can be used. Further, a metal foil such as aluminum or stainless steel, a sheet, a plate, a non-translucent base material obtained by laminating a metal film such as aluminum, copper, nickel, stainless steel on the plastic film or sheet can be used. What is necessary is just to select the translucency of a base material according to which surface light extraction is performed from. The substrate made of these materials may have been subjected to moisture-proofing treatment or hydrophobic treatment by forming an inorganic film or applying a fluororesin in order to avoid moisture intrusion into the organic EL element. preferable. In particular, in order to avoid intrusion of moisture into the organic light emitting medium, it is preferable to reduce the moisture content and gas permeability coefficient in the substrate.

[薄膜トランジスタ(TFT)]
また、基板1として、必要に応じて、薄膜トランジスタ(TFT)を形成した駆動用基板を用いても良い。アクティブ駆動型有機EL素子とする場合には、TFT2上に、平坦化膜層3が形成してあるとともに、平坦化膜層3上に有機EL素子の第一電極4が設けられており、かつ、TFT2と第一電極4とが平坦化膜層3に設けたコンタクトホールを介して電気接続してあることが好ましい。このように構成することにより、TFTと、有機EL素子との間で、優れた導電性を得ることができる。基板上に設ける薄膜トランジスタは、公知の薄膜トランジスタを用いることができる。具体的には、主として、ソース/ドレイン領域及びチャネル領域が形成される活性層、ゲート絶縁膜及びゲート電極から構成される薄膜トランジスタが挙げられる。薄膜トランジスタの構造としては、特に限定されるものではなく、例えば、スタガ型、逆スタガ型、トップゲート型、コプレーナ型等が挙げられる。
[Thin Film Transistor (TFT)]
Further, as the substrate 1, a driving substrate on which a thin film transistor (TFT) is formed may be used as necessary. In the case of an active drive type organic EL element, the planarization film layer 3 is formed on the TFT 2, and the first electrode 4 of the organic EL element is provided on the planarization film layer 3, and The TFT 2 and the first electrode 4 are preferably electrically connected via a contact hole provided in the planarizing film layer 3. By comprising in this way, the outstanding electroconductivity can be obtained between TFT and an organic EL element. As the thin film transistor provided over the substrate, a known thin film transistor can be used. Specifically, a thin film transistor mainly including an active layer in which a source / drain region and a channel region are formed, a gate insulating film, and a gate electrode can be given. The structure of the thin film transistor is not particularly limited, and examples thereof include a staggered type, an inverted staggered type, a top gate type, and a coplanar type.

[平坦化膜層]
平坦化膜層3の材料については、SiO、スピンオンガラス、SiN(Si)、TaO(Ta)等の無機材料、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フォトレジスト材料、ブラックマトリックス材料等の有機材料等を用いることができる。これらの材料に合わせてスピンコーティング、CVD、蒸着法等を選択できる。必要に応じて、平坦化膜層として感光性樹脂を用いフォトリソグラフィーの手法により、あるいは一旦全面に平坦化膜層を形成後、下層の薄膜トランジスタに対応した位置にドライエッチング、ウェットエッチング等でコンタクトホールを形成する。コンタクトホールはその後導電性材料で埋めて平坦化層上層に形成される画素電極との導通を図る。平坦化層の厚みは下層のTFT、コンデンサ、配線等を覆うことができればよく、厚みは数μm、例えば3μm程度あればよい。
[Flattening film layer]
Regarding the material of the planarizing film layer 3, inorganic materials such as SiO 2 , spin-on glass, SiN (Si 3 N 4 ), TaO (Ta 2 O 5 ), polyimide resin, acrylic resin, photoresist material, black matrix material, etc. Organic materials or the like can be used. Spin coating, CVD, vapor deposition, etc. can be selected according to these materials. If necessary, contact holes are formed by dry etching, wet etching, etc. at a position corresponding to the thin film transistor in the lower layer by photolithography using a photosensitive resin as the planarizing film layer or once forming the planarizing film layer on the entire surface. Form. The contact hole is then filled with a conductive material to establish conduction with the pixel electrode formed in the upper layer of the planarization layer. The thickness of the planarizing layer is not limited as long as it can cover the lower TFT, capacitor, wiring, etc., and the thickness may be several μm, for example, about 3 μm.

[第一電極]
基板1の上に第一電極4を成膜し、必要に応じてパターニングをおこなう。本発明の一実施形態では第一電極は第一隔壁によって区画され、各画素に対応した画素電極となる。第一電極の材料としては、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物や、金、白金などの金属材料や、これら金属酸化物や金属材料の微粒子をエポキシ樹脂やアクリル樹脂などに分散した微粒子分散膜を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。第一電極を陽極とする場合にはITOなど仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。下方から光を取り出す、いわゆるボトムエミッション構造の場合は透光性のある材料を選択する必要がある。必要に応じて、第一電極の配線抵抗を低くするために、銅やアルミニウムなどの金属材料を補助電極として併設してもよい。第一電極の形成方法としては、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などの乾式成膜法や、グラビア印刷法、スクリーン印刷法などの湿式成膜法などを用いることができる。第一電極のパターニング方法としては、材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィー法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法などの既存のパターニング法を用いることができる。基板として予めTFTを形成した物を用いる場合は下層の画素に対応して導通を図ることができるように形成する。
[First electrode]
The first electrode 4 is formed on the substrate 1 and patterned as necessary. In one embodiment of the present invention, the first electrode is partitioned by a first partition, and becomes a pixel electrode corresponding to each pixel. As materials for the first electrode, metal composite oxides such as ITO (indium tin composite oxide), indium zinc composite oxide and zinc aluminum composite oxide, metal materials such as gold and platinum, these metal oxides, Either a single layer or a laminate of fine particle dispersion films in which fine particles of a metal material are dispersed in an epoxy resin or an acrylic resin can be used. When the first electrode is used as an anode, it is preferable to select a material having a high work function such as ITO. In the case of a so-called bottom emission structure in which light is extracted from below, it is necessary to select a light-transmitting material. If necessary, a metal material such as copper or aluminum may be provided as an auxiliary electrode in order to reduce the wiring resistance of the first electrode. Depending on the material, the first electrode can be formed by a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, a sputtering method, a dry film forming method, a gravure printing method, or a screen printing method. A wet film forming method such as a method can be used. As a patterning method for the first electrode, an existing patterning method such as a mask vapor deposition method, a photolithography method, a wet etching method, or a dry etching method can be used depending on the material and the film forming method. In the case where a substrate in which a TFT is formed in advance is used as the substrate, it is formed so that conduction can be achieved corresponding to the lower pixel.

[第一隔壁]
次に、第一電極4の端部を被覆する隔壁を形成する。隔壁は第一隔壁5と第二隔壁6の二層構造を有するもので、第一隔壁5は画素と画素を区画するものでマトリックス状に形成する。第一隔壁5の材質としては、有機発光媒体層7を構成するインキや第二電極8との親和性に優れたものが好ましく使用できる。一般に、親水性の無機材料である。例えば、無機酸化物、無機窒化物である。無機酸化物としては、例えば、珪素酸化物、アルミニウム酸化物等が例示できる。この第一隔壁5は、第一電極4上にその皮膜(第一隔壁形成層)5を形成した後、ドライエッチング法で発光領域に対応した開口部を形成する。第一隔壁5の厚みは、0.1μm〜10μmであり、より好ましくは0.5μm〜3μmである。第一隔壁5の幅は5μm〜100μmの範囲が好ましい。
[First partition]
Next, a partition that covers the end of the first electrode 4 is formed. The partition has a two-layer structure of a first partition 5 and a second partition 6, and the first partition 5 partitions pixels and is formed in a matrix. As the material of the first partition wall 5, a material excellent in affinity with the ink constituting the organic light emitting medium layer 7 and the second electrode 8 can be preferably used. Generally, it is a hydrophilic inorganic material. For example, inorganic oxides and inorganic nitrides. Examples of the inorganic oxide include silicon oxide and aluminum oxide. The first partition 5 is formed with an opening corresponding to the light emitting region by dry etching after forming a film (first partition formation layer) 5 on the first electrode 4. The thickness of the 1st partition 5 is 0.1 micrometer-10 micrometers, More preferably, they are 0.5 micrometer-3 micrometers. The width of the first partition wall 5 is preferably in the range of 5 μm to 100 μm.

[第二隔壁]
第二隔壁6は第一隔壁5上に形成し、第二隔壁6内に充填剤9を形成する。第二隔壁6の材質としては、限定されるものではないが例えば、樹脂バインダーに、モノマー又はオリゴマーと、このモノマーやオリゴマーを重合させる光重合開始剤とを含有する感光性材料が例示できる。樹脂バインダーとしては、アミノ基、アミド基、カルボキシル基、ヒドロキシル基を含有している樹脂が好ましく使用できる。具体的には、クレゾール−ノボラック樹脂、ポリビニルフェノール樹脂、アクリル樹脂、メタクリル樹脂等が挙げられる。また、モノマー又はオリゴマーとしては、ビニル基あるいはアリル基を有するモノマー、オリゴマー、末端あるいは側鎖にビニル基あるいはアリル基を有する分子を用いることができる。具体的には、(メタ)アクリル酸及びその塩、、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類、無水マレイン酸、マレイン酸エステル、イタコン酸エステル、スチレン類、ビニルエーテル類、ビニルエステル類、N−ビニル複素環類、アリルエーテル類、アリルエステル類、及びこれらの誘導体を挙げることができる。好適な化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレートなど、比較的低分子量の多官能アクリレート等を挙げることができる。そして、この感光性材料を前記第一隔壁5形成層上にスリットコート法などで塗布してその皮膜(第二隔壁形成層)を設け、露光・現像して形成する。第二隔壁の厚みは0.1μm〜10μmであり、より好ましくは1μm〜5μmである。第二隔壁の幅は5μm〜50μmの範囲が好ましい。行列数は第二隔壁6内に充填剤9を形成できる数であればよく、第一隔壁5の行列数より少なければ限定されるものではない。
[Second partition wall]
The second partition 6 is formed on the first partition 5 and a filler 9 is formed in the second partition 6. Examples of the material for the second partition 6 include, but are not limited to, a photosensitive material containing a monomer or oligomer and a photopolymerization initiator that polymerizes the monomer or oligomer in a resin binder. As the resin binder, a resin containing an amino group, an amide group, a carboxyl group, or a hydroxyl group can be preferably used. Specifically, a cresol-novolak resin, a polyvinylphenol resin, an acrylic resin, a methacrylic resin, and the like can be given. As the monomer or oligomer, a monomer or oligomer having a vinyl group or an allyl group, or a molecule having a vinyl group or an allyl group at the terminal or side chain can be used. Specifically, (meth) acrylic acid and salts thereof, (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylamides, maleic anhydride, maleic acid esters, itaconic acid esters, styrenes, vinyl ethers, vinyl esters , N-vinyl heterocycles, allyl ethers, allyl esters, and derivatives thereof. Examples of suitable compounds include relatively low molecular weight polyfunctional acrylates such as pentaerythritol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and hexaacrylate. be able to. Then, this photosensitive material is applied on the first partition wall 5 forming layer by a slit coating method or the like to form a film (second partition forming layer), and is exposed and developed. The thickness of the second partition wall is 0.1 μm to 10 μm, more preferably 1 μm to 5 μm. The width of the second partition wall is preferably in the range of 5 μm to 50 μm. The number of matrixes is not limited as long as it is a number that can form the filler 9 in the second partition walls 6 and is smaller than the number of matrices of the first partition walls 5.

[有機発光媒体層]
次に、有機発光媒体層7を形成する。本発明における有機発光媒体層7としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔(電子)注入機能と正孔(電子)輸送機能を分けたり、正孔(電子)の輸送をプロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成することがより好ましい。なお、本発明中の有機発光層とは有機発光材料を含む層を指し、電荷輸送層とは正孔輸送層等それ以外の発光効率を上げるために形成されている層を指す。
[Organic luminescent medium layer]
Next, the organic light emitting medium layer 7 is formed. The organic light emitting medium layer 7 in the present invention can be formed of a single layer film or a multilayer film containing a light emitting substance. Examples of the configuration in the case of forming a multilayer film include a hole transport layer, an electron transporting light emitting layer or a hole transporting light emitting layer, a two-layer structure comprising an electron transport layer, a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer. By further separating the hole (electron) injection function and the hole (electron) transport function as necessary, or by inserting a layer that blocks the transport of holes (electrons), if necessary, It is more preferable to form a multilayer. In addition, the organic light emitting layer in the present invention refers to a layer containing an organic light emitting material, and the charge transport layer refers to a layer formed to increase other light emission efficiency such as a hole transport layer.

正孔輸送材料の例としては、銅フタロシアニン、テトラ(t−ブチル)銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類及び無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’−ジフェニル−
N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン、N,N’−ジ(1−ナフチル)−N,N’−ジフェニル−1,1’−ビフェニル−4,4’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリビニルカルバゾール、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物などの高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他既存の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
Examples of hole transport materials include metal phthalocyanines such as copper phthalocyanine and tetra (t-butyl) copper phthalocyanine and metal-free phthalocyanines, quinacridone compounds, 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) Cyclohexane, N, N′-diphenyl-
N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine, N, N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1 ′ -Aromatic amine-based low molecular hole injection and transport materials such as biphenyl-4,4'-diamine, polyaniline, polythiophene, polyvinylcarbazole, a mixture of poly (3,4-ethylenedioxythiophene) and polystyrene sulfonic acid, etc. Polymer hole transport materials, polythiophene oligomer materials, and other existing hole transport materials.

有機発光材料としては、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノリノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス〔8−(パラ−トシル)アミノキノリン〕亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポルフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料や、ポリフルオレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロなどの高分子材料や、これら高分子材料に前記低分子材料の分散または共重合した材料や、その他既存の高分子・低分子発光材料を用いることができる。   As organic light-emitting materials, 9,10-diarylanthracene derivatives, pyrene, coronene, perylene, rubrene, 1,1,4,4-tetraphenylbutadiene, tris (8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-8) -Quinolinolato) aluminum complex, bis (8-quinolinolato) zinc complex, tris (4-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum complex, tris (4-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) aluminum complex Bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) [4- (4-cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) [4- (4 -Cyanophenyl) phenolate] aluminum complex, Lis (8-quinolinolato) scandium complex, bis [8- (para-tosyl) aminoquinoline] zinc complex and cadmium complex, 1,2,3,4-tetraphenylcyclopentadiene, pentaphenylcyclopentadiene, poly-2,5 -Diheptyloxy-para-phenylene vinylene, coumarin phosphor, perylene phosphor, pyran phosphor, anthrone phosphor, porphyrin phosphor, quinacridone phosphor, N, N'-dialkyl-substituted quinacridone fluorescence , Naphthalimide-based phosphors, N, N′-diaryl-substituted pyrrolopyrrole-based phosphors, phosphorescent phosphors such as Ir complexes, and other low-molecular light-emitting materials, polyfluorene, polyparaphenylene vinylene, polythiophene, polyspiro High molecular materials such as, and low molecular weight materials Materials and dispersed or copolymerized, it is possible to use other existing polymer-low molecular luminescent material.

電子輸送材料の例としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。形成には真空蒸着等を用いることができる。   Examples of the electron transport material include 2- (4-bifinylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (1-naphthyl) -1, 3,4-oxadiazole, oxadiazole derivatives, bis (10-hydroxybenzo [h] quinolinolato) beryllium complexes, triazole compounds, and the like can be used. For the formation, vacuum deposition or the like can be used.

有機発光媒体層7の膜厚は、単層または積層により形成する場合においても1000nm以下であり、好ましくは50〜150nmである。特に、有機EL素子の正孔輸送材料は、基体や第一電極の表面突起を覆う効果が大きく、50〜100nm程度厚い膜を成膜することがより好ましい。   The film thickness of the organic light-emitting medium layer 7 is 1000 nm or less, preferably 50 to 150 nm, even when formed by a single layer or a stacked layer. In particular, the hole transport material of the organic EL element has a large effect of covering the surface protrusions of the substrate and the first electrode, and it is more preferable to form a film having a thickness of about 50 to 100 nm.

有機発光媒体層7の形成方法としては、各層を構成する材料に応じて、真空蒸着法や、スピンコート、スプレーコート、フレキソ、グラビア、マイクログラビア、凹版オフセットなどのコーティング法、印刷法やインクジェット法などを用いることができる。有機発光媒体層を構成する材料を溶液化する際には、形成方法に応じて、溶剤の蒸気圧、固形分比、粘度などを制御することが好ましい。溶剤としては、水、キシレン、アニソール、シクロヘキサノン、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、安息香酸メチル、安息香酸エチル、トルエン、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの単独溶媒でも、混合溶媒でも良い。また、塗工性向上のために、必要に応じて界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などの添加剤を適量混合することがより好ましい。塗布液の乾燥方法としては、発光特性に支障のない程度に溶剤を取り除ければ良く、加熱しても、減圧しても、加熱減圧しても良い。   As a method for forming the organic light-emitting medium layer 7, depending on the material constituting each layer, a vacuum deposition method, a coating method such as spin coating, spray coating, flexo, gravure, micro gravure, intaglio offset, printing method or ink jet method Etc. can be used. When the material constituting the organic light emitting medium layer is made into a solution, it is preferable to control the vapor pressure, the solid content ratio, the viscosity and the like of the solvent according to the forming method. Solvents include water, xylene, anisole, cyclohexanone, mesitylene, tetralin, cyclohexylbenzene, methyl benzoate, ethyl benzoate, toluene, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, etc. These may be a single solvent or a mixed solvent. In order to improve coatability, it is more preferable to mix an appropriate amount of additives such as surfactants, antioxidants, viscosity modifiers and ultraviolet absorbers as necessary. As a method for drying the coating solution, the solvent may be removed to the extent that the light emission characteristics are not hindered, and heating, decompression, or heating / decompression may be performed.

[第二電極]
次に、第二電極8を形成する。第二電極を陰極とする場合には有機発光媒体層7への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質を用いる。具体的にはMg,Al,Yb等の金属単体を用いたり、発光媒体と接する界面にLiや酸化Li,LiF等の化合物を1nm程度挟んで、安定性・導電性の高いAlやCuを積層して用いてもよい。または電子注入効率と安定性を両立させるため、仕事関数が低いLi,Mg,Ca,Sr,La,Ce,Er,Eu,Sc,Y,Yb等の金属1種以上と、安定なAg,Al,Cu等の金属元素との合金系を用いてもよい。具体的にはMgAg,AlLi,CuLi等の合金が使用できる。第二電極側から光を取り出す、いわゆるトップエミッション構造とする場合には透光性を有する材料を選択することが好ましい。第二電極8の形成方法は、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法を用いることができる。第二電極の厚さに特に制限はないが、50nm〜1000nm程度が望ましい。
[Second electrode]
Next, the second electrode 8 is formed. When the second electrode is used as a cathode, a material having a high electron injection efficiency into the organic light emitting medium layer 7 and a low work function is used. Specifically, a single metal such as Mg, Al, or Yb is used, or a compound such as Li, oxidized Li, or LiF is sandwiched by about 1 nm at the interface contacting the light emitting medium, and Al or Cu having high stability and conductivity is laminated. May be used. Alternatively, in order to achieve both electron injection efficiency and stability, one or more metals such as Li, Mg, Ca, Sr, La, Ce, Er, Eu, Sc, Y, and Yb having a low work function and stable Ag, Al An alloy system with a metal element such as Cu or Cu may be used. Specifically, alloys such as MgAg, AlLi, and CuLi can be used. In the case of a so-called top emission structure in which light is extracted from the second electrode side, it is preferable to select a light-transmitting material. As a method for forming the second electrode 8, a resistance heating vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method, a reactive vapor deposition method, an ion plating method, or a sputtering method can be used depending on the material. Although there is no restriction | limiting in particular in the thickness of a 2nd electrode, About 50 nm-1000 nm are desirable.

[充填剤]
次に、充填剤9を形成する。充填剤9としてはシリコーンオイルが用いられる。シリコーンオイルとしては公知のシリコーンオイルであれば特に制限なく利用できる。抵抗値は10Ωcm以上であることが好ましく、より好ましくは10Ωcm〜1019Ωcmであり、さらに好ましくは1010〜1019Ωcmである。粘度は1×10−6−1〜1×10−3−1、より好ましくは1×10−6−1〜1×10−4−1である。具体的には、信越化学社製KF−96、Dow corning社製DOW CORNING 200、GE東芝シリコーン社製 TSF451などのジメチルシリコーンオイルが使用できる。また、ジメチルポリシロキサンのメチル基の一部に有機基を導入した変性シリコーンオイル(例えば、信越化学社製 KF−393、X22−3710)なども使用できる。充填剤9は次で述べる吸湿剤10を含有させた後に脱水処理を行い、含有水分量が100ppm以下、より好ましくは10ppm以下にすることが好ましい。充填剤の形成はディスペンス法やノズル塗布法などを利用することができる。
[filler]
Next, the filler 9 is formed. Silicone oil is used as the filler 9. As the silicone oil, any known silicone oil can be used without any particular limitation. The resistance value is preferably 10 3 Ωcm or more, more preferably 10 7 Ωcm to 10 19 Ωcm, and still more preferably 10 10 to 10 19 Ωcm. The viscosity is 1 × 10 −6 m 2 s −1 to 1 × 10 −3 m 2 s −1 , more preferably 1 × 10 −6 m 2 s −1 to 1 × 10 −4 m 2 s −1 . . Specifically, dimethyl silicone oils such as KF-96 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., DOW CORNING 200 manufactured by Dow Corning Co., Ltd., and TSF451 manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd. can be used. In addition, modified silicone oil in which an organic group is introduced into a part of the methyl group of dimethylpolysiloxane (for example, KF-393, X22-3710 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) can be used. The filler 9 is preferably dehydrated after containing the moisture absorbent 10 described below, and the water content is preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less. For forming the filler, a dispensing method, a nozzle coating method, or the like can be used.

[吸湿剤]
充填剤9に含有する吸湿剤10は水分等を除去可能なものであって、例えば、アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、硫酸塩、金属ハロゲン化物、過塩素酸塩等の無機化合物、アクリル系又はメタクリル系の吸水性高分子等の有機物、アルカリ金属及びアルカリ土類金属から選択される金属又はそれらの合金、活性アルミナ、シリカゲル、ゼオライト等の一般的な吸湿剤、など使用することができ、一種又は二種以上を使用することができる。水分の除去用には、水分を物理吸着する一般的な吸湿剤よりも、水分を化学吸着するアルカリ金属酸化物及び/又はアルカリ土類金属酸化物を吸湿剤とすることが好ましい。吸湿剤は充填剤に対して5〜70体積%の範囲とすることが好ましく、20〜50体積%とすることがより好ましい。吸湿剤の形状は特に限定されないが、表面積が大きく且つできるだけ細かい粉末状であることが好ましい。より好ましくは粒径2μm以下であることが好ましい。
[Hygroscopic agent]
The hygroscopic agent 10 contained in the filler 9 can remove moisture and the like, for example, inorganic compounds such as alkali metal oxides, alkaline earth metal oxides, sulfates, metal halides, perchlorates, etc. , Organic materials such as acrylic or methacrylic water-absorbing polymers, metals selected from alkali metals and alkaline earth metals or alloys thereof, general hygroscopic agents such as activated alumina, silica gel, zeolite, etc. 1 type, or 2 or more types can be used. For the removal of moisture, it is preferable to use an alkali metal oxide and / or alkaline earth metal oxide that chemically adsorbs moisture as a hygroscopic agent, rather than a general hygroscopic agent that physically adsorbs moisture. The hygroscopic agent is preferably in the range of 5 to 70% by volume, more preferably 20 to 50% by volume with respect to the filler. The shape of the hygroscopic agent is not particularly limited, but it is preferably a powder with a large surface area and as fine as possible. More preferably, the particle size is 2 μm or less.

[シール剤]
次にシール剤11を介して封止基板12を接着して有機EL素子を封止することができる。シール剤としては液状接着剤、シート状接着剤が挙げられる。液状接着剤としては、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型シール剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等の接着剤、エポキシ系などの熱及び化学硬化型(二液混合)等の接着剤、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤等を挙げることが出来る。液状接着剤を使用して封止部材と有機EL素子とを接着する場合、貼合部は、貼合安定性、貼合部内への気泡混入防止、可撓性封止部材の平面性保持等を考慮し、10〜1×10−5Paの減圧条件で行うことが好ましい。シート状の接着剤としては、常温(25℃程度)では非流動性を示し、且つ、加熱すると50℃〜100℃の範囲で流動性を発現し、シート状に成形された接着剤を言う。使用する接着剤としては、例えば分子の末端又は側鎖にエチレン性二重結合を有する化合物と、光重合開始剤とを主成分とする光硬化性樹脂が挙げられる。使用に際しては、例えば、予め、封止部材側に貼合して常温(25℃程度)以下にして使用することが好ましい。
[Sealant]
Next, the organic EL element can be sealed by adhering the sealing substrate 12 via the sealing agent 11. Examples of the sealing agent include a liquid adhesive and a sheet adhesive. Examples of the liquid adhesive include photo-curing and thermosetting sealing agents having reactive vinyl groups such as acrylic acid oligomers and methacrylic acid oligomers, moisture-curing adhesives such as 2-cyanoacrylate, epoxy-based adhesives, etc. And heat curing and chemical curing type (two-component mixing) adhesives, cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesives, and the like. When bonding a sealing member and an organic EL element using a liquid adhesive, the bonding part is bonded stability, prevention of air bubbles mixing into the bonding part, flatness of the flexible sealing member, etc. Is preferably performed under reduced pressure conditions of 10 to 1 × 10 −5 Pa. The sheet-like adhesive refers to an adhesive that is non-flowable at room temperature (about 25 ° C.) and exhibits fluidity in the range of 50 ° C. to 100 ° C. when heated and is formed into a sheet shape. As an adhesive to be used, for example, a photocurable resin mainly composed of a compound having an ethylenic double bond at the terminal or side chain of a molecule and a photopolymerization initiator can be mentioned. In use, for example, it is preferable to use it at a normal temperature (about 25 ° C.) or less by pasting it on the sealing member side in advance.

シール剤11の塗布方式は液状接着剤を使用する場合は例えばノズル塗布法式、シート状接着剤を使用する場合はラミネート方式を使用することができる。シート状接着剤は予め封止基板側にラミネート転写しても良いし、有機EL素子基板側にピック&プレースして真空ラミネートしても良い。  The application method of the sealant 11 can be, for example, a nozzle application method when using a liquid adhesive, and a laminate method when using a sheet-like adhesive. The sheet adhesive may be laminated and transferred to the sealing substrate side in advance, or may be vacuum laminated by picking and placing on the organic EL element substrate side.

[封止基板]
封止基板12としては、水分や酸素の透過性が低い基材である必要がある。また、材料の一例として、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素等のセラミックス、無アルカリガラス、アルカリガラス等のガラス、石英、アルミニウムやステンレスなどの金属箔、耐湿性フィルムを挙げることができる。耐湿性フィルムの例として、プラスチック基材の両面にSiOxをCVD法で形成したフィルムや、透過性の小さいフィルムと吸水性のあるフィルムまたは吸水剤を塗布した重合体フィルムなどがあり、耐湿性フィルムの水蒸気透過率は、10−6g/m/day以下であることが好ましい。
[Sealing substrate]
The sealing substrate 12 needs to be a base material having low moisture and oxygen permeability. Examples of the material include ceramics such as alumina, silicon nitride, and boron nitride, glass such as non-alkali glass and alkali glass, metal foil such as quartz, aluminum, and stainless steel, and moisture resistant film. Examples of moisture-resistant films include films formed by CVD of SiOx on both sides of plastic substrates, films with low permeability and water-absorbing films, or polymer films coated with a water-absorbing agent. The water vapor transmission rate is preferably 10 −6 g / m 2 / day or less.

[保護膜]
封止性能が不足する場合は、充填剤層9上を保護膜13で覆ってからシール剤を形成したり、シール剤/保護膜/シール剤構造にすることで封止性能を高めることができる。保護膜13としては例えばCVD法を用いて、窒化珪素膜を3μm成膜するなど、無機薄膜による封止を行なうことができる。保護膜13の厚みは、500nm〜10μmであることが好ましい。
[Protective film]
When the sealing performance is insufficient, the sealing performance can be improved by forming a sealing agent after covering the filler layer 9 with the protective film 13 or by forming a sealing agent / protective film / sealing agent structure. . The protective film 13 can be sealed with an inorganic thin film, for example, by using a CVD method to form a silicon nitride film having a thickness of 3 μm. The thickness of the protective film 13 is preferably 500 nm to 10 μm.

以下に、本発明の具体的実施例について説明する。   Specific examples of the present invention will be described below.

<実施例1>
従来から知られた手法により、ガラス基板上にTFT、平坦化絶縁層をパターン形成し、第一電極となるITO(Al:反射電極)をスパッタリングにて100nm積層した。この基板上にSiO膜をCVD法で2μm積層した後にドライエッチング法を用いて発光領域に対応して開口部を形成し、マトリックス状の第一隔壁(縦961列、横241列)を形成した。なお発光画素数は320×240で、1ピクセルは40μm×150μmである。次にスリットコート法により感光性ポリイミド樹脂を2μm積層し、露光・現像工程を経て、第一隔壁上に第二隔壁を積層した。第二隔壁は縦5列、横21列で均等になるようにマトリックス配列した。
<Example 1>
A TFT and a planarization insulating layer were patterned on a glass substrate by a conventionally known method, and ITO (Al: reflective electrode) serving as a first electrode was laminated by sputtering to a thickness of 100 nm. After laminating 2 μm of SiO 2 film on this substrate by CVD method, an opening is formed corresponding to the light emitting region by using dry etching method to form a matrix-like first partition wall (961 rows and 241 rows). did. The number of light emitting pixels is 320 × 240, and one pixel is 40 μm × 150 μm. Next, 2 μm of a photosensitive polyimide resin was laminated by a slit coating method, and a second partition was laminated on the first partition through an exposure / development process. The second partition walls were arranged in a matrix so as to be evenly arranged in 5 rows and 21 rows.

次に第一隔壁に区画された領域である開口部に、有機発光媒体層として高分子正孔輸送層(乾燥後の膜厚50nm)と高分子発光層(乾燥後の膜厚80nm)をインクジェット法を用いて形成した。次に蒸着法を用いて、第二電極としてBa(膜厚5nm)とAl(膜厚400nm)をこの順に形成した。   Next, a polymer hole transport layer (film thickness after drying of 50 nm) and a polymer light emitting layer (film thickness of after drying of 80 nm) as an organic light-emitting medium layer are ink-jetted into an opening which is a region partitioned by the first partition. Formed using the method. Next, Ba (film thickness: 5 nm) and Al (film thickness: 400 nm) were formed in this order as the second electrode by vapor deposition.

次に、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)社製のメチルフェニルシリコーン(品番SH550)に粒径0.6μmのゼオライトを35体積%で混合し、攪拌機で90分間ミキシングを行なった後、グローブボックス内で250℃4時間加熱して脱水処理した。その後、第二隔壁で区画された領域にディスペンス法で塗布した。以上のようにして、有機EL素子基板を形成した。   Next, methylphenyl silicone (product number SH550) manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd. was mixed with 35% by volume of zeolite having a particle size of 0.6 μm, and after mixing for 90 minutes with a stirrer, glove box It was dehydrated by heating at 250 ° C. for 4 hours. Then, it apply | coated to the area | region divided by the 2nd partition with the dispensing method. As described above, an organic EL element substrate was formed.

次に、対向基板は平板ガラスを使用した。平板ガラスに紫外線硬化型シート状接着剤(膜厚25nm)を転写した後、真空ラミネート装置で85℃5分加熱加圧して、上記した有機EL素子基板と貼り合せ、6000mJ/cmでUV照射し、実施例1の有機ELディスプレイを得た。 Next, flat glass was used for the counter substrate. After the ultraviolet curable sheet adhesive (film thickness 25 nm) is transferred to the flat glass, it is heated and pressurized at 85 ° C. for 5 minutes with a vacuum laminator and bonded to the organic EL element substrate, and UV irradiation is performed at 6000 mJ / cm 2. Thus, an organic EL display of Example 1 was obtained.

<実施例2>
実施例1で、紫外線硬化型接着剤を平板ガラス側に転写せず、シリコーン充填まで形成した上記有機EL素子基板上に熱硬化型シート状接着剤(膜厚10nm)を真空ラミネートした後、真空ラミネート装置で85℃5分加熱加圧して貼り合せた。さらに、保護膜としてCVD法でSiNx膜を3μm形成した後、紫外線硬化型接着剤(膜厚25nm)を転写した平板ガラスと真空ラミネート装置で貼り合せ(85℃5分)、6000mJ/cmUV照射し,実施例2の有機ELディスプレイを得た。
<Example 2>
In Example 1, the ultraviolet curable adhesive was not transferred to the flat glass side, and the thermosetting sheet adhesive (film thickness: 10 nm) was vacuum laminated on the organic EL element substrate formed up to the silicone filling, and then the vacuum was applied. The laminate was heated and pressed at 85 ° C. for 5 minutes in a laminating apparatus. Further, after forming a SiNx film of 3 μm by CVD as a protective film, it was bonded to a flat glass to which an ultraviolet curable adhesive (film thickness 25 nm) was transferred using a vacuum laminator (85 ° C. for 5 minutes), and 6000 mJ / cm 2 UV The organic EL display of Example 2 was obtained by irradiation.

<比較例1>
実施例1で第二電極まで形成した後、CVD法でSiNx膜(3μm)積層した後、紫外線硬化型接着剤(膜厚25nm)を転写した平板ガラスと真空ラミネート装置で貼り合せ(85℃5分)、6000mJ/cmUV照射し、比較例1の有機ELディスプレイを得た。
<Comparative Example 1>
After forming up to the second electrode in Example 1, the SiNx film (3 μm) was laminated by the CVD method, and then bonded to the flat glass to which the ultraviolet curable adhesive (film thickness: 25 nm) was transferred with a vacuum laminator (85 ° C. 5 Min) and 6000 mJ / cm 2 UV irradiation to obtain an organic EL display of Comparative Example 1.

[評価]
実施例1,2及び比較例1で得られた有機ELディスプレイのレーザーリペアを行なった。滅点画素で5μm以下の異物があるものに対してレーザーリペアを行なった。リペアできるまで強度をあげてレーザー照射した結果、ダークスポット(非発光部)サイズは、表1に示すようになった。また、レーザーリペア実施後、60℃90%RHの恒温恒湿槽に1500h放置し、ダークスポットの拡大の度合いを調べた。その結果も表1に示す。
[Evaluation]
Laser repair of the organic EL displays obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 was performed. Laser repair was performed on the dark spot pixels having foreign matters of 5 μm or less. As a result of increasing the intensity of the laser until repair was possible, the dark spot (non-light emitting portion) size was as shown in Table 1. Further, after laser repair, the sample was left in a constant temperature and humidity chamber at 60 ° C. and 90% RH for 1500 hours to examine the degree of expansion of dark spots. The results are also shown in Table 1.

表1から分かるように、実施例1,2の有機ELディスプレイでは、比較例1の有機ELディスプレイと比較して、ダークスポットサイズが小さく、恒温恒湿層に放置してもダークスポットサイズの拡大が小さい結果となった。よって、実施例1、2ではレーザーリペアを効果的に行なうことが出来ていて、ダークスポットといった素子の劣化現象を抑制できる有機ELディスプレイを実現できていることが分かる。 As can be seen from Table 1, in the organic EL displays of Examples 1 and 2, the dark spot size is small compared to the organic EL display of Comparative Example 1, and the dark spot size increases even if left in a constant temperature and humidity layer. Was a small result. Therefore, in Examples 1 and 2, laser repair can be performed effectively, and it can be seen that an organic EL display that can suppress the deterioration phenomenon of elements such as dark spots can be realized.

1・・・基板 2・・・TFT 3・・・平坦化膜層 4・・・第一電極
5・・・第一隔壁 6・・・第二隔壁 7・・・有機発光媒体層 8・・・第二電極 9・・・充填剤 10・・・吸湿剤 11・・・シール剤 12・・・封止基板 13・・・保護膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... TFT 3 ... Planarization film layer 4 ... 1st electrode
DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 ... 1st partition 6 ... 2nd partition 7 ... Organic luminescent medium layer 8 ... 2nd electrode 9 ... Filler 10 ... Hygroscopic agent 11 ... Sealing agent 12 ...・ Sealing substrate 13 ... Protective film

Claims (5)

基板上に設けられたパターン状の第一の電極と、前記第一の電極の端部を被覆する第一の隔壁と、前記第一の電極上であって前記第一の隔壁で区画された領域に設けられた有機発光媒体層と、この有機発光媒体層を挟んで前記第一の電極に対向する第二の電極からなる有機EL素子基板を、シール剤を全面に介して対向基板と貼り合わせてなる有機ELディスプレイにおいて、
前記第一の隔壁上には、更に第二の隔壁が形成され、前記第二の隔壁によって区画された領域には充填剤が充填されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。
A patterned first electrode provided on the substrate, a first partition covering the end of the first electrode, and the first partition on the first electrode and partitioned by the first partition An organic EL element substrate comprising an organic light emitting medium layer provided in a region and a second electrode facing the first electrode across the organic light emitting medium layer is attached to the counter substrate with a sealant over the entire surface. In the combined organic EL display,
An organic electroluminescence display, wherein a second partition is further formed on the first partition, and a region partitioned by the second partition is filled with a filler.
前記第一の隔壁及び第二の隔壁はマトリックス状であり、マトリックス数が第一の隔壁より第二の隔壁の方が少ないことを特徴とする請求項1に記載する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。   2. The organic electroluminescence display according to claim 1, wherein the first partition and the second partition have a matrix shape, and the number of matrixes is smaller in the second partition than in the first partition. 前記充填剤は少なくともシリコーンオイルに吸湿剤を含有させたものからなる部材であることを特徴とする請求項1又は2に記載する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。   3. The organic electroluminescence display according to claim 1, wherein the filler is a member made of at least a silicone oil containing a hygroscopic agent. 4. 前記対向基板は平板状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。   The organic electroluminescence display according to claim 1, wherein the counter substrate has a flat plate shape. 基板上に設けられたパターン状の第一の電極と、前記第一の電極の端部を被覆する第一の隔壁と、前記第一の隔壁で区画された領域に設けられた有機発光媒体層と、この有機発光媒体層を挟んで第一の電極に対向する第二の電極からなる有機エレクトロルミネッセンス素子基板を、対向基板と貼り合わせてなる有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
少なくとも、前記第一の隔壁上に更に第二の隔壁を形成する第二隔壁形成工程と、前記第二の隔壁によって区画された領域に充填剤を注入する充填剤注入工程と、前記充填剤注入工程の後にシール剤を全面に介して前記有機エレクトロルミネッセンス素子基板と前記対向基板とを貼り合せる工程とを、具備することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
A patterned first electrode provided on a substrate, a first partition covering an end of the first electrode, and an organic light emitting medium layer provided in a region partitioned by the first partition And in the manufacturing method of an organic electroluminescence display formed by laminating an organic electroluminescence element substrate composed of a second electrode facing the first electrode across the organic light emitting medium layer,
At least a second partition forming step of forming a second partition on the first partition, a filler injection step of injecting a filler into a region partitioned by the second partition, and the filler injection A method for producing an organic electroluminescence display, comprising: a step of bonding the organic electroluminescence element substrate and the counter substrate through a sealing agent over the entire surface after the step.
JP2011064191A 2011-03-23 2011-03-23 Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same Withdrawn JP2012199207A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011064191A JP2012199207A (en) 2011-03-23 2011-03-23 Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011064191A JP2012199207A (en) 2011-03-23 2011-03-23 Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012199207A true JP2012199207A (en) 2012-10-18

Family

ID=47181206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011064191A Withdrawn JP2012199207A (en) 2011-03-23 2011-03-23 Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012199207A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105023934A (en) * 2014-04-23 2015-11-04 业鑫科技顾问股份有限公司 Organic light-emitting diode panel
US9627448B2 (en) 2014-04-23 2017-04-18 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. OLED panel
WO2018167926A1 (en) * 2017-03-16 2018-09-20 シャープ株式会社 Display device and manufacturing method therefor
CN110931651A (en) * 2019-11-22 2020-03-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Display panel and preparation method thereof
JP2020520042A (en) * 2017-05-12 2020-07-02 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. Organic light emitting diode display panel and device, driving method and manufacturing method thereof

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105023934A (en) * 2014-04-23 2015-11-04 业鑫科技顾问股份有限公司 Organic light-emitting diode panel
US9627448B2 (en) 2014-04-23 2017-04-18 Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. OLED panel
WO2018167926A1 (en) * 2017-03-16 2018-09-20 シャープ株式会社 Display device and manufacturing method therefor
US10608062B2 (en) 2017-03-16 2020-03-31 Sharp Kabushiki Kaisha Display device
JP2020520042A (en) * 2017-05-12 2020-07-02 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司Boe Technology Group Co.,Ltd. Organic light emitting diode display panel and device, driving method and manufacturing method thereof
US11374070B2 (en) 2017-05-12 2022-06-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Organic light emitting diode display panel and apparatus having a connecting electrode in an electrode connecting region
JP7131757B2 (en) 2017-05-12 2022-09-06 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 Organic light emitting diode display panel and device, driving method and manufacturing method thereof
CN110931651A (en) * 2019-11-22 2020-03-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Display panel and preparation method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100818133B1 (en) Electric field light emitting element
JP6098091B2 (en) Method for manufacturing organic electroluminescence panel
JP3627707B2 (en) Color conversion filter substrate, organic multicolor EL display panel using the same, and manufacturing method thereof
CN1652643A (en) Electro-optical apparatus, manufacturing method thereof, and electronic instrument
JP2007115465A (en) Organic electroluminescence element
JP2014203707A (en) Method of manufacturing organic el display and organic el display
JP4736676B2 (en) Active matrix driving type organic electroluminescence display device
JP2012199207A (en) Organic electroluminescent display and method for manufacturing the same
JP2012209209A (en) Organic electroluminescent panel manufacturing method
WO2004008812A1 (en) Flexible organic electroluminescence element and production method therefor and information display unit and lighting device
JP4609135B2 (en) Method for manufacturing organic electroluminescence element
JP2013077460A (en) Manufacturing method of organic el panel, organic el panel, and organic el display
JP2012059553A (en) Organic electroluminescence element and method for manufacturing the same
JP2008071608A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent element
JP6064351B2 (en) Organic EL device and manufacturing method thereof
JP2013069615A (en) Organic el display and manufacturing method therefor
JP2007095518A (en) Organic electroluminescent display
JP2011076759A (en) Manufacturing method of organic electroluminescent panel, and passivation layer film forming mask
JP2007287613A (en) Organic electroluminescence element and its manufacturing method
JP5987407B2 (en) Organic electroluminescence panel
JP2014067599A (en) Organic el display, and method of manufacturing the same
JP2006054147A (en) Organic electroluminescent element
JP2007200801A (en) Top-emission type organic electroluminescent element
JP2006228493A (en) Organic electroluminescent element and its manufacturing method
JP2011181305A (en) Organic electroluminescent element and method of manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20140603