JP2012193438A - 成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】連続的または断続的に基板を搬送しながら、気相状態にある材料を用いて該基板上に薄膜の形成を行う成膜方法であって、回転ドラムの周囲に基板を配置する工程と、該回転ドラムを第一の速度で回転させる工程と、該回転ドラムに少なくとも2つの材料をそれぞれ供給する工程と、上記基板を第二の速度で搬送する工程と、を含み、上記第一の速度と該第二の速度とが異なることを特徴とする成膜方法。
【選択図】図1
Description
ALDにおいて、第一の前駆体201が基板103に吸着し、第二の前駆体203が先の基板103に吸着した第一の前駆体201と反応して薄膜を形成する場合には、基板103が、第二の前駆体203に曝露された後または曝露中に、その基板103がプラズマに曝露されることが望ましい。
101 凹部
102 基板搬送機構
103 基板
110 ローラー
201 第一の前駆体
202 第三のガス
203 第二の前駆体
Claims (11)
- 連続的または断続的に基板を搬送しながら、気相状態にある材料を用いて該基板上に薄膜の形成を行う成膜方法であって、
回転ドラムの周囲に基板を配置する工程と、
該回転ドラムを第一の速度で回転させる工程と、
該回転ドラムに少なくとも2つの前記材料をそれぞれ供給する工程と、
前記基板を第二の速度で搬送する工程とを含み、
前記第一の速度と該第二の速度とが異なることを特徴とする成膜方法。 - 前記回転ドラムの周囲において、前記回転ドラムの回転方向が、前記基板の進行方向と反対向きであることを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 前記基板がフレキシブル基板であることを特徴とする請求項1または2記載の成膜方法。
- 前記2つの材料が、それぞれ異なる材料であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 成膜法が、原子層堆積法であり、
前記回転ドラムを用い、前記回転ドラムの第一の部位から第一の前駆体を供給し、前記回転ドラムの第二の部位から第二の前駆体を供給することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の成膜方法。 - 前記第一の部位と前記第二の部位との間に第三の部位を設け、当該第三の部位から、薄膜形成材料でない第三のガスを導入することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記第三のガスが、不活性ガスであることを特徴とする請求項6記載の成膜方法。
- 前記不活性ガスが、アルゴンであることを特徴とする請求項7記載の成膜方法。
- 前記第三のガスが、窒素ガスであることを特徴とする請求項6記載の成膜方法。
- 前記回転ドラムは、その一部にプラズマを発生または照射させる機構を有し、発生または照射された前記プラズマを用いて前記前駆体を変化させて成膜を行うことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記回転ドラムは、その一部にフラッシュランプを有し、当該フラッシュランプから供給される熱を用いて前記前駆体を変化させて成膜を行うことを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の成膜方法。
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