JP2012187644A - 研磨シート及びその作製方法、並びにレンズ研磨皿の作製方法 - Google Patents

Abstract

【課題】研磨台皿からの剥がれを抑制することができる研磨シート及びその作製方法、並びに、レンズ研磨皿の作製方法を提供する。
【解決手段】研磨シートは、レンズ研磨皿の研磨台皿に貼り付けて使用される研磨シート２０であって、外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込み２２により周縁部２１が複数の花弁状に分割された花冠形状を有し、該周縁部２１は湾曲している。この研磨シート２０は、研磨シートの原材料である研磨シート部材から花冠形状を成形し、該花冠形状に成形された研磨シート部材を、第１の型に設けられた第１の湾曲面、及び第１の型と対をなす第２の型に設けられ、第１の湾曲面に対応する形状を有する第２の湾曲面により挟んだ状態で所定時間保持して湾曲させることにより作製される。
【選択図】図２

Description

本発明は、レンズ研磨皿において用いられる研磨シート及びその作製方法、並びに、レンズ研磨皿の作製方法に関する。

レンズ等の研磨においては、研磨対象であるレンズ部材の最終仕上げ面に応じた形状（例えば球面形状）の基体（台皿）に研磨シートを貼り付けたレンズ研磨皿が用いられる。研磨シートは、例えば発砲ポリウレタンや発砲ポリエステル等の多孔質材料に研磨剤を含浸させたシート状部材からなり、円形状の外周側から複数の切り込みを入れて複数の花弁状に分割した花冠状に成形して用いられる（例えば、特許文献１参照）。レンズ研磨皿は、例えば、このような研磨シートを接着剤により台皿に貼り付け、さらに、研磨面成形用の型皿を用いて押圧し、台皿に密着させることにより作製される。

特開２００１−１６２５０２号公報

ところが、従来のレンズ研磨皿においては、研磨シートを台皿に接着した後、研磨シートの端部が台皿から剥がれてしまう場合があった。このような剥がれを防止するために、例えば特許文献１においては、研磨シートを成形する際の切り込みの形状を工夫することが提案されている。

しかしながら、平面状の研磨シートを台皿に沿って湾曲させると復元力が生じるため、切り込みの形状を工夫したとしても、研磨シートの端部における剥がれを防止することはやはり困難である。特に、微小なレンズ（マイクロレンズ）用の小型のレンズ研磨皿においては、径が小さくなるほど剥がれが生じ易くなる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、台皿からの端部の剥がれを抑制することができる研磨シート及びその作製方法、並びに、そのような研磨シートを用いたレンズ研磨皿の作製方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る研磨シートは、レンズ研磨用の台皿に貼り付けて使用される研磨シートであって、外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を有し、前記周縁部は湾曲していることを特徴とする。

上記研磨シートにおいて、前記周縁部は熱塑性変形されていることを特徴とする。
また、上記研磨シートにおいて、前記周縁部は圧縮変形されていることを特徴とする。
また、上記研磨シートにおいて、前記周縁部は球面形状に沿って湾曲していることを特徴とする。

本発明に係る研磨シートの作製方法は、レンズ研磨用の台皿に貼り付けて使用される研磨シートの作製方法であって、研磨シートの原材料である研磨シート部材から、前記研磨シート部材の外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を成形する工程（ａ）と、前記花冠形状に成形された前記研磨シート部材を、第１の型に設けられた第１の湾曲面、及び前記第１の型と対をなす第２の型に設けられ、前記第１の湾曲面に対応する形状を有する第２の湾曲面によって挟んだ状態で所定時間保持することにより湾曲させる工程（ｂ）とを含むことを特徴とする。

上記研磨シートの作製方法において、前記工程（ｂ）は、前記研磨シート部材を、前記第１及び第２の湾曲面によって挟んだ状態で、前記研磨シート部材の融点よりも低い温度で加熱することを特徴とする。

上記研磨シートの作製方法において、前記工程（ｂ）は、前記第１及び第２の型によって前記研磨シート部材を圧縮することを特徴とする。

上記研磨シートの作製方法において、前記工程（ｂ）は、前記第１及び第２の型の間に、前記第１及び第２の湾曲面の間隔を所定の厚さに維持するスペーサを配置することを特徴とする。

本発明に係るレンズ研磨皿の作製方法は、外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を有する研磨シートであって、前記周縁部が湾曲している研磨シートの一方の面と、レンズ研磨用の台皿に設けられた第１の湾曲面との内の少なくとも一方に接着剤を塗布する工程（ｃ）と、前記研磨シートの前記一方の面を前記第１の湾曲面に当接させると共に、前記研磨シートの他方の面を、研磨面成形用の型皿に設けられた第２の湾曲面であって、前記第１の湾曲面に対応する形状を有する第２の湾曲面に当接させる工程（ｄ）と、前記研磨シートを前記第１及び第２の湾曲面に当接させた状態で、前記接着剤を硬化させる工程（ｅ）とを含むことを特徴とする。

上記レンズ研磨皿の作製方法において、前記工程（ｅ）は、前記研磨シートを、前記第１及び第２の湾曲面に当接させた状態で、該研磨シートの融点よりも低い温度で加熱することを特徴とする。

上記レンズ研磨皿の作製方法において、前記工程（ｅ）は、前記研磨シートを圧縮することを特徴とする。

上記レンズ研磨皿の作製方法において、前記研磨シートは、前記第２の湾曲面と同じ形状の湾曲面を有する型を用いて湾曲加工されていることを特徴とする。

本発明によれば、花冠形状に成形された研磨シートの周縁部を湾曲させるので、研磨シートをレンズ研磨用の台皿に接着した際に、研磨シートの端部における剥がれを抑制することができる。

図１は、本発明の実施の形態１に係るレンズ研磨皿の外観を示す斜視図である。 図２は、本発明の実施の形態１に係る研磨シートの外観を示す斜視図である。 図３は、レンズ研磨皿作製装置の構造を示す模式図である。 図４は、図３に示す型皿の外観を示す模式図である。 図５は、本発明の実施の形態１に係る研磨シートの作製方法を示すフローチャートである。 図６Ａは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図６Ｂは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図６Ｃは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図６Ｄは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図６Ｅは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図６Ｆは、研磨シートの作製方法を説明する図である。 図７は、本発明の実施の形態１に係るレンズ研磨皿の作製方法を示すフローチャートである。 図８Ａは、レンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図８Ｂは、レンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図８Ｃは、レンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図８Ｄは、レンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図９Ａは、本発明の実施の形態１の比較例を説明する図である。 図９Ｂは、本発明の実施の形態１の実施例を説明する図である。 図１０は、本発明の実施の形態１の変形例を説明する図である。 図１１Ａは、本発明の実施の形態２に係る研磨シートの作製方法を説明する図である。 図１１Ｂは、本発明の実施の形態２に係る研磨シートの作製方法を説明する図である。 図１２Ａは、本発明の実施の形態３に係るレンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図１２Ｂは、本発明の実施の形態３に係るレンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図１２Ｃは、本発明の実施の形態３に係るレンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。 図１２Ｄは、本発明の実施の形態３に係るレンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、これら実施の形態によって本発明が限定されるものではない。また、各図面の記載において、同一部分には同一の符号を付して示している。図面は模式的なものであり、各部の寸法の関係や比率は、現実と異なることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るレンズ研磨皿の外観を示す模式図である。図１に示すように、レンズ研磨皿１は、研磨台皿１１及び支持部１２を含む研磨皿基体１０と、研磨台皿１１に貼り付けられた研磨シート２０とを備える。

研磨台皿１１は、研磨対象であるレンズ部材の最終仕上げ面に対応する曲面形状（図１においては凸の球面形状）の研磨面（研磨シート２０の貼付面）１１ａを有する。
支持部１２は、研磨皿基体１０を研磨装置や後述するレンズ研磨皿作製装置に取り付ける際に用いられる。支持部１２は、略円柱形状を有し、側面の一部には、研磨皿基体１０の向きを識別するため、平面状にカットした平面部１３が設けられている。さらに、支持部１２の研磨台皿１１とは反対側の底面中央部には、凹状の受け部１４が設けられている。
このような研磨皿基体１０は、例えば真鍮、ステンレス等の合金によって形成される。

研磨シート２０は、発砲ポリウレタンや発砲ポリエステル等の多孔質材料に研磨剤を含浸させたシート状の部材からなる。研磨シート２０は、ビニール系又はエポキシ系等の接着剤を介して研磨面１１ａに貼り付けられている。また、研磨シート２０の表面は、研磨対象のレンズ部材の最終仕上げ面に対応する曲面形状となるよう、型皿を用いて圧縮及び成形されている。

図２は、研磨シート２０の外観を示す斜視図であり、図１と上下を逆転させた図である。図２に示すように、研磨シート２０は、原材料である研磨シート部材（例えば円形状）の外周側から中心に向け複数の切り込み２２を入れて花弁状に分割した複数の周縁部２１と、周縁部２１の内周側に位置する中心部２３とを有する花冠形状をなす。また、研磨シート２０の形状は、研磨対象の最終仕上げ面の形状に対応した形状をなし、例えば、球面状に湾曲している。なお、切り込み２２を入れる前の状態での研磨シート２０の平面形状及びサイズは、研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付した際に研磨面１１ａを縁まで覆うことができる形状及びサイズであれば特に限定されない。即ち、切り込み２２を入れる前の状態での研磨シート２０は、少なくとも、研磨面１１ａの中心と研磨面１１ａの縁とを結ぶ経線の長さを半径とする円形を包含する形状及びサイズを有していれば良く、例えば、該円形よりも径が大きい円形状や、該円形が内接する又は該円形を包含する多角形等であっても良い。

次に、図２に示す研磨シート２０、及びこの研磨シート２０を用いたレンズ研磨皿１の作製方法を説明する。
図３は、研磨シート２０及びレンズ研磨皿１の作製に用いられるレンズ研磨皿作製装置の構造を示す一部断面正面図である。図３に示すレンズ研磨皿作製装置５０は、水平に配置された基台である第１支持部材５１と、該第１支持部材５１の上方に平行に配置された第２支持部材５２と、これらの第１、第２支持部材５１、５２の対向面の両側に植立固定されて第１、第２支持部材５１、５２を互いに連結する柱状の連結部材５３とからなる成形枠体を有する。第１支持部材５１上の略中央部には、内周面に雌ネジが刻設された円筒形状の型皿受け５４が固設され、この型皿受け５４に、研磨台皿１１と対をなす型皿３０が螺合して装着される。レンズ研磨皿１の作製時には、型皿３０に設けられた凹部に研磨シート２０が載置され、この研磨シート２０を、接着剤を塗布した研磨台皿１１で上方から押圧するようになっている。

第２支持部材５２の略中央部には、内周面に雌ネジが刻設され、外周面に指標５５ａが記されたネジ環５５が嵌合して固着されている。このネジ環５５には、上部（略上半分）の外周に雄ネジ部（図示せず）が形成された押圧棒５６が螺合している。この押圧棒５６の下部（略下半分）は第２支持部材５２の下面から突出している。押圧棒５６の下端面は、レンズ研磨皿１の作製時に研磨皿基体１０の受け部１４に配置される剛球５７の対向面となっている。押圧棒５６の下端面には凹部５６ａが設けられており、これにより、剛球５７を介して研磨皿基体１０を安定して押圧することができる。

押圧棒５６の上端はネジ環５５から突出しており、この突出端部に操作部５８が一体的に固定されている。この操作部５８を回転操作することにより、押圧棒５６がネジ環５５内を上下に移動する。また、操作部５８は、操作し易い角形（例えば６角形）に形成されており、その下部には、目盛環５９が一体的に設けられている。この目盛環５９の周面には、押圧棒５６を上下動させる寸法に対応した目盛５９ａが刻設されている。この目盛５９ａをネジ環５５上の指標５５ａを基準として読み取ることにより、押圧棒５６の移動量を検知することができる。

このようなレンズ研磨皿作製装置５０において、型皿３０及び研磨皿基体１０は、互いに中心軸が互いに一致するように配置される。

図４は、図３に示す型皿３０の外観を示す模式図である。型皿３０は、研磨シート２０の作製時や、研磨皿基体１０への研磨シート２０の貼付時に使用される研磨面成形用の型であり、例えば鉄やステンレス等の金属又は合金によって形成される。図４に示すように、型皿３０は、円盤状の皿部３１及び該皿部３１を支持する脚部３２を含む。

皿部３１の上面中央部には、凹部３３が設けられる。この凹部３３の内壁面（シート成形面）３４は、研磨対象のレンズ部材の最終仕上げ面と同様の球面形状を有する。また、皿部３１の外周側面には、型皿３０を型皿受け５４に螺合し、或いは螺合を解除する際にスパナ等を嵌合させるため、一部を平面状にカットした平面部３５が例えば２箇所に設けられる。
一方、脚部３２は円柱状を有し、脚部３２の側面には、型皿３０を第１支持部材５１に羅合するためのネジ部３６が設けられる。

図５は、研磨シート２０の作製方法を示すフローチャートである。また、図６Ａ〜図６Ｆは、研磨シート２０の作製方法を説明する図である。以下においては、一例としてレンズ研磨皿作製装置５０を用いる場合を説明する。

まず、工程Ｓ１１において、研磨シート２０の原材料として、発砲ポリウレタンや発砲ポリエステル等の多孔質材料に研磨剤を含浸させた平面状のシート部材を用意し、このシート部材を、円形状の外周側から中心に向け複数の切り込み２２を入れて周縁部２１を複数の花弁状に分割した花冠形状にカットする（図６Ａの研磨シート部材２４）。なお、研磨シート部材２４の厚さＴ_ｓ（例えば、０．５〜０．６ｍｍ程度）は、後の工程における圧縮量及び研磨台皿１１への貼付時における最終的な厚さＴ_ｋ（例えば、０．４ｍｍ程度）を考慮して決定すると良い。また、切り込み２２の形状及び長さは、研磨面１１ａの球面形状を展開した形状に基づいて決定される。

なお、切り込み２２を入れる前の研磨シート部材は、研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付した際に研磨台皿１１の球面（研磨面１１ａ）を縁まで覆うことができる形状及びサイズを少なくとも有していれば良い。研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付した際に研磨面１１ａの縁からはみ出した部分については、貼付後に切り取ることができる。

続く工程Ｓ１２において、図６Ｂに示すように、花冠形状にカットした研磨シート部材２４を、その中心２４ａが型皿３０の中心軸Ｏと略一致するように、凹部３３上に配置する。このとき、レンズ研磨皿作製装置５０には、図３に示す研磨皿基体１０の代わりに、予備台皿４１及び支持部４２を含む予備工具４０を取り付けておく。なお、その際、操作者の手又は図示しないガイド等によって予備工具４０を保持しておくと良い。

予備工具４０は、研磨シート２０を作製する際に用いられる型である。予備台皿４１は、型皿３０のシート成形面３４に対応する球面形状の押圧面４３を有する。この押圧面４３の曲率半径Ｒ_ｂは、型皿３０のシート成形面３４の曲率半径Ｒ_ｋと、作製する研磨シート２０の厚さ（研磨台皿１１への貼付前の厚さ）Ｔ_ｙに応じて、Ｒ_ｂ＝Ｒ_ｋ−Ｔ_ｙとなるように設計される。また、支持部４２は、支持部１２と同様の円柱形状を有し、予備台皿４１とは反対側の底面の中央部には、剛球５７を受ける凹状の受け部４４が設けられる。このような予備工具４０は、研磨皿基体１０と同様に、真鍮やステンレス等の合金によって形成される。

また、予備工具４０をレンズ研磨皿作製装置５０に取り付けた際には、予め、押圧面４３と型皿３０のシート成形面３４との間に何も挟まない状態で、両者が接触するように操作部５８を回転操作し、このとき指標５５ａが指す目盛５９ａの値を読み取っておく。そして、このときの読み取り値を基準とし、操作部５８を回転操作して押圧面４３とシート成形面３４との間隔がＴ_ｙとなるように予備工具４０を引き上げた状態（例えば、押圧面４３とシート成形面３４との間に厚さＴ_ｙの部材を挟んだ状態）での指標５５ａが指す目盛５９ａの値を読み取る。この目盛５９ａの値が、研磨シート部材２４の押圧時に操作部５８を回転操作する際の目標値となる。

工程Ｓ１３において、操作部５８を回転操作することにより予備工具４０を下方に移動させ、予備台皿４１によって研磨シート部材２４を型皿３０の凹部３３内に押し込む。さらに、目盛５９ａが上記目標値となるように操作部５８を回転操作して、研磨シート部材２４の厚さをＴ_ｙに維持する。

工程Ｓ１４において、図６Ｃに示すように、予備台皿４１の押圧面４３及び型皿３０のシート成形面３４によって研磨シート部材２４を挟み、研磨シート部材２４を湾曲させた状態のまま所定時間、研磨シート部材２４を加熱する。このときの加熱温度は、常温以上、研磨シート部材２４の融点未満の範囲とする。それにより、研磨シート部材２４を熱塑性変形させる。

このとき、予備台皿４１により研磨シート部材２４を押圧して圧縮変形させても良いし、研磨シート部材２４を圧縮せずに、湾曲した状態を保持するだけでも良い。前者の場合、研磨台皿１１への研磨シート２０の貼付工程（後述）における圧縮の余地を残すため、工程Ｓ１４においては、圧縮後の研磨シート部材２４の厚さＴ_ｙが、研磨台皿１１に研磨シート２０を貼り付けた後の最終的な厚さＴ_ｋ（例えば、０．４ｍｍ程度）よりも厚くなるように、圧縮量（Ｔ_ｓ−Ｔ_ｙ）を留めておく（図６Ｄ参照）。ここで、最終的な厚さＴ_ｋは、研磨台皿１１の研磨面１１ａの曲率半径Ｒ_ｄと、型皿３０のシート成形面３４の曲率半径Ｒ_ｋとによって決まるため（Ｔ_ｋ＝Ｒ_ｋ−Ｒ_ｄ）、Ｔ_ｙ＞Ｔ_ｋとするためには、押圧面４３の曲率半径Ｒ_ｂを、研磨面１１ａの曲率半径Ｒ_ｄよりも小さくしておけば良い。

また、加熱時間及び加熱温度は、研磨シート部材の材料や厚さ等の条件に応じて調整すると良い。本実施の形態１においては、約１６０℃の雰囲気中に、図６Ｃに示すレンズ研磨皿作製装置５０ごと約１５分間放置する。

工程Ｓ１５において、レンズ研磨皿作製装置５０への加熱を停止し、研磨シート部材２４を常温まで冷却させる。その後、図６Ｅに示すように、操作部５８を回転操作して押圧棒５６を引き上げ、型皿３０から予備台皿４１を取り外して研磨シート部材２４を取り出す。それにより、図６Ｆに示すように、球面形状に沿って湾曲した研磨シート２０が得られる。

なお、型皿３０から取り出した後、研磨シート２０の曲率半径Ｒ_ｓがシート成形面３４の曲率半径Ｒ_ｋよりも若干広がる場合があるが、周縁部が湾曲した状態を維持できれば問題ない。研磨シート２０の曲率半径Ｒ_ｓをシート成形面３４の曲率半径Ｒ_ｋ近傍に維持するためには、工程Ｓ１４において加熱する時間を長くするか、加熱温度を、研磨シート部材２４の融点を超えない範囲で高くすれば良い。

次に、レンズ研磨皿１の作製方法を説明する。図７は、レンズ研磨皿１の作製方法を示すフローチャートである。また、図８Ａ〜図８Ｄは、レンズ研磨皿１の作製方法を説明する図である。

まず、工程Ｓ２１において、図８Ａに示すように、研磨シート２０を、その中心２０ａが型皿３０の中心軸Ｏと略一致するように、凹部３３内に配置する。このとき、研磨シート２０の一部が凹部３３からはみ出していても構わない。

また、工程Ｓ２２において、研磨台皿１１の表面（研磨面１１ａ）にビニール系又はエポキシ系等の接着剤１５を塗布し、研磨皿基体１０をレンズ研磨皿作製装置５０に取り付ける。なお、この際、操作者の手又は図示しないガイド等によって研磨皿基体１０を保持しておくと良い。

また、研磨皿基体１０をレンズ研磨皿作製装置５０に取り付けた際には、ステップＳ１２において説明したものと同様に、予め、研磨面１１ａと型皿３０のシート成形面３４とを接触させた状態で指標５５ａが指す目盛５９ａの値を読み取っておく。そして、このときの読み取り値を基準とし、操作部５８を回転操作して研磨面１１ａとシート成形面３４との間隔がＴ_ｋとなるように研磨皿基体１０を引き上げた状態（例えば、研磨面１１ａとシート成形面３４との間に厚さＴ_ｋの部材を挟んだ状態）での指標５５ａが指す目盛５９ａの値を読み取る。この目盛５９ａの値が、研磨シート２０の押圧時に操作部５８を回転操作する際の最終目標値となる。

工程Ｓ２３において、図８Ｂに示すように、操作部５８を回転操作することにより研磨皿基体１０を下方に移動させ、接着剤１５の塗布面（研磨面１１ａ）及びシート成形面３４を研磨シート２０の両面にそれぞれ当接させる。さらに、目盛５９ａが上記最終目標値となるように操作部５８を回転操作して、研磨台皿１１により研磨シート２０をシート成形面３４に向けて押圧する。それにより、図８Ｃに示すように、研磨シート２０を最終的な厚さＴ_ｋまで均一に圧縮する。なお、図８Ｂ及び図８Ｃにおいては、接着剤１５の記載を省略している。

工程Ｓ２４において、研磨シート２０を圧縮しながら所定時間保持することにより、接着剤１５を硬化させる。このとき、研磨シート２０の材料、圧縮量、接着剤の種類等の条件に応じて、研磨シート２０を加熱しても良い。本実施の形態１においては、約１９５℃の雰囲気中に、図８Ｂに示すレンズ研磨皿作製装置５０ごと約３０分間放置する。

工程Ｓ２５において、接着剤が硬化した後（研磨シート２０を加熱する場合には、加熱を停止して研磨シート２０を常温まで冷却させた後）、図８Ｄに示すように、操作部５８を回転操作して押圧棒５６を引き上げ、型皿３０から研磨皿基体１０を離型する。それにより、シート成形面３４の球面形状が転写されると共に、所望の厚さに圧縮された研磨シート２０が研磨台皿１１に貼付されたレンズ研磨皿１が完成する。

なお、研磨面１１ａに対してサイズが大きい研磨シート部材を用いて研磨シート２０を作製した場合には（工程Ｓ１１参照）、この段階で、研磨面１１ａからはみ出した研磨シート２０の部分を切り取れば良い。

以上説明したように、実施の形態１においては、平面状の研磨シート部材２４の周縁部を湾曲させることにより研磨シート２０を作製し、この研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付することによりレンズ研磨皿１を作製する。そのため、研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付した際に、研磨シート２０の周縁部が平面に戻ろうとする復元力を抑制することができ、研磨台皿１１からの研磨シート２０の剥がれを抑制することが可能となる。特に、本実施の形態１によれば、研磨シート２０の厚さＴ_ｋに対して研磨台皿１１の曲率半径Ｒ_ｄが小さい（例えば、Ｒ_ｄ／Ｔ_ｋが約５／０．５以下）レンズ研磨皿１（例えば、小型の凹レンズ研磨用のレンズ研磨皿）においても、研磨シート２０の端部における剥がれを良好に抑制することが可能である。
従って、このようなレンズ研磨皿１を用いることにより、球面レンズ等の光学素子を安定的に精度よく研磨することが可能となる。

また、実施の形態１においては、熱塑性変形により研磨シート２０を湾曲させるため、予備台皿４１及び型皿３０から研磨シート２０を外した後においても、周縁部が湾曲した状態を確実に維持することが可能となる。また、加熱により、湾曲によって生じた応力が緩和されるので、研磨シート２０を研磨台皿１１に貼り付けた際、変形量が大きい領域（例えば、研磨シート２０の端部）においても、研磨台皿１１からの剥がれや研磨シート２０自体の破損等を抑制することが可能となる。

さらに、実施の形態１によれば、研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付する際に位置ずれを抑制できるという効果もある。
例えば図９Ａの比較例に示すように、平面状の研磨シート９０を研磨台皿１１に貼付する場合、研磨シート９０の中心９０ａを型皿３０の中心軸Ｏに正確に合わせる必要があるが（図９Ａの（ａ））、ガイド等がなければこの位置合わせは困難である。また、研磨台皿１１を用いて研磨シート９０を凹部３３内に押し込む際に、平面状の研磨シート９０を湾曲させる必要があるが、研磨シート９０の復元力等が抵抗となって押し込み難い。そして、この際に、研磨面１１ａの中心１１ｂに対する研磨シート９０の中心９０ａの位置がずれ、ずれた状態のまま研磨シート９０が研磨台皿１１に貼付される結果、研磨面１１ａの一部が剥き出しになってしまう場合がある（図９Ａの（ｂ））。それに対し、図９Ｂに示すように、研磨シート２０においては周縁部も湾曲しているため、研磨シート２０の中心２０ａを型皿３０の中心軸Ｏに容易に合わせることができる（図９Ｂの（ａ））。また、研磨シート２０の湾曲形状は元々型皿３０を用いて成形されているので、研磨台皿１１により研磨シート２０を凹部３３内に容易に押し込むことができ、その際に位置ずれも生じ難い。従って、研磨面１１ａ全体が研磨シート２０により覆われたレンズ研磨皿１を、容易に作製することが可能となる（図９Ｂの（ｂ））。なお、図９Ａ及び図９Ｂにおいては、接着剤の記載を省略している。

また、実施の形態１によれば、平面状の研磨シート部材を花冠形状にカットした後で湾曲させるので、大量の研磨シート２０を容易且つ低コストで作製することが可能となる。

なお、実施の形態１においては、レンズ研磨皿作製装置５０ごと加熱することにより研磨シート２０を熱塑性変形させたが（工程Ｓ１４）、熱塑性変形させる方法はこれに限定されない。例えば、予め加熱しておいた型皿３０及び予備台皿４１の間に研磨シート部材２４を挟み、所定時間保持するといった方法を用いても良い。

また、実施の形態１においては、レンズ研磨皿作製装置５０によって研磨シート２０及びレンズ研磨皿１を作製したが、研磨台皿１１及びこれと対になる予備台皿４１又は型皿３０の間に押圧力を印加することができれば、どのような構成の装置を用いても良い。

また、実施の形態１においては、レンズ研磨皿１を作製する際に、研磨台皿１１側に接着剤１５を塗布したが、研磨シート２０側に接着剤を塗布しても良いし、研磨台皿１１及び研磨シート２０の両方に接着剤を塗布しても良い。

（変形例）
実施の形態１においては、曲率半径Ｒ_ｂが研磨台皿１１の曲率半径Ｒ_ｄよりも小さい予備台皿４１を使用することにより、研磨シート２０の厚さＴ_ｙを、均一且つ最終的な厚さＴ_ｋよりも厚くなるようにした（工程Ｓ１３）。しかしながら、作製するレンズ研磨皿１の形状によっては、予備台皿４１の代わりに研磨台皿１１を用いても良い。

この場合、花冠形状に成形した研磨シート部材２４を湾曲させる際、図１０に示すように、型皿３０の凹部３３に対して研磨台皿１１を規定位置Ｐ（研磨台皿１１と型皿３０との間隔が均一な厚さＴ_ｋとなる位置）よりも浅い位置まで押し込む。それにより、研磨シート部材２４の中心２４ａにおいては、圧縮後の厚さＴ_ｙが最終的な厚さＴ_ｋよりも厚くなる。

このとき、研磨シート部材２４の厚さは、研磨シート部材２４の中心２４ａから端部に向かって徐々に薄くなる。しかしながら、中心２４ａ近傍の領域Ｄ（厚さがＴ_ｓよりも厚い範囲）においては厚さの差がそれほど顕著ではないため、この領域Ｄの部分を研磨シート２０として使用することができる。研磨シート２０を研磨台皿１１に貼付する際の圧縮により、厚さの差を吸収することができるからである。

このように、レンズ研磨皿１のカーブが浅い場合（曲率半径に対して研磨に使用する領域が小さい場合）には、研磨シート２０の作製のために予備台皿４１（予備工具４０）を別途用意する必要がなくなる。

（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。図１１Ａ及び図１１Ｂは、実施の形態２に係る研磨シートの作製方法を説明する図である。
図１１Ａに示すレンズ研磨皿作製装置５０には、凹部３８が設けられた型皿３７と、
予備台皿４６及び支持部４７を含む予備工具４５とが取り付けられている。予備台皿４６の押圧面４８の曲率半径Ｒ_ｅは、凹部３８内のシート成形面３９の曲率半径Ｒ_ｋから、研磨シート２０（図２参照）の厚さＴ_ｙを差し引いた大きさとなっている。また、予備台皿４６の上部には、外周方向に突出して周回するフランジ部４９が設けられている。

型皿３７上には、リング状の間座（スペーサ）６０が凹部３８を囲むように設置されている。図１１Ｂに示すように、間座６０は、予備台皿４６によって厚さＴ_ｓの研磨シート部材２４を押圧する際に、シート成形面３９と押圧面４８との間に一定の厚さＴ_ｙの空間が確保されるようにフランジ部４９を支持する。

以上説明した実施の形態２によれば、シート成形面３９と押圧面４８と間を一定の間隔に保持することができるので、均一な厚さの研磨シート２０を容易且つ正確に作製することが可能となる。従って、このような研磨シートが貼付されたレンズ研磨皿を用いることにより、レンズ等の光学素子を精度良く研磨することが可能となる。

また、実施の形態２によれば、研磨シート２０の厚さＴ_ｙの制御が容易となるので、予め研磨シート２０の厚さＴ_ｙを、研磨台皿１１への貼付後の最終的な厚さＴ_ｋに近付けておくことにより、貼付時における研磨シート２０の変形を極力低減し、レンズ研磨皿１からの研磨シート２０端部の剥がれや隙間の発生をさらに抑制することが可能となる。

（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について説明する。図１２Ａ〜図１２Ｄは、実施の形態３に係るレンズ研磨皿の作製方法を説明する図である。実施の形態３においては、凸レンズ研磨用のレンズ研磨皿を作製する。なお、研磨シート２０の作製方法は、実施の形態１又は２と同様である。

まず、図１２Ａに示すように、レンズ研磨皿作製装置５０の型皿受け５４に、凹状の研磨面（研磨シート貼付面）７１を有する凹部７２が設けられた研磨台皿７０を取り付けると共に、その上方に、研磨面７１に対応する凸状のシート成形面８１を有する型皿８０を配置する。なお、この際、操作者の手又は図示しないガイド等によって型皿８０を保持しておくと良い。また、操作部５８を回転操作する際の最終目標値（目盛５９ａの値）は、工程Ｓ２２において説明したものと同様にして予め取得しておく。

続いて、図１２Ｂに示すように、研磨面７１に接着剤８２を塗布し、研磨シート２０を、その中心２０ａが研磨台皿７０の中心軸Ｏと略一致するように、凹部７２内に配置する。このとき、研磨シート２０の一部が凹部７２からはみ出していても構わない。また、研磨面７１の代わりに、研磨シート２０側に接着剤８２を塗布しても良いし、研磨面７１及び研磨シート２０の両方に接着剤８２を塗布しても構わない。

そして、操作部５８を回転操作して型皿８０を下方に移動させることにより、研磨面７１及びシート成形面８１を研磨シート２０の両面にそれぞれ当接させる。そして、図１２Ｃに示すように、研磨台皿７０及び型皿８０により研磨シート２０を圧縮しながら接着剤８２を硬化させる。このとき、研磨シート２０の材料、圧縮量、接着剤の種類等の条件に応じて、研磨シート２０を所定時間、所定温度で加熱しても良い。なお、図１２Ｃの二点鎖線は、圧縮前の研磨シート２０を示している。

接着剤８２が硬化した後（研磨シート２０を加熱した場合には、加熱を停止して研磨シート２０を常温まで冷却させた後）、図１２Ｄに示すように、型皿８０を上方に引き上げる。それにより、シート成形面８１の球面形状が転写されると共に、所望の厚さに圧縮された研磨シート２０が研磨台皿７０に貼付されたレンズ研磨皿２が完成する。

以上説明した実施の形態３によれば、凸レンズ研磨用のレンズ研磨皿２においても、研磨面７１に対する研磨シート２０の位置ずれを抑制することができる。そのため、研磨面７１の一部が剥き出しになるといった事態を防止することができる。従って、このようなレンズ研磨皿を用いることにより、凸レンズ等の光学素子を安定的に精度良く研磨することが可能となる。

以上の実施の形態１〜３において使用したレンズ研磨皿作製装置５０は、上述した形態に限定されない。例えば、型皿３０及び研磨皿基体１０の位置関係（上下関係）を逆転させ、研磨台皿１１上に研磨シート２０を被せ、その上を型皿３０の凹部３３によって覆い、型皿３０側から研磨台皿１１に向けて研磨シート２０を押圧する形態としても良い。

１ レンズ研磨皿
１０ 研磨皿基体
１１、７０ 研磨台皿
１１ａ、７１ 研磨面
１１ｂ 研磨面の中心
１２、４２、４７ 支持部
１３ 平面部
１４、４４ 受け部
１５、８２ 接着剤
２０、９０ 研磨シート
２０ａ、９０ａ 研磨シートの中心
２１ 周縁部
２２ 切り込み
２３ 花冠形状の中心部
２４ 研磨シート部材
２４ａ 研磨シート部材の中心
３０、３７、８０ 型皿
３１ 皿部
３２ 脚部
３３、３８、７２ 凹部
３４、３９、８１ シート成形面
３５ 平面部
３６ ネジ部
４０、４５ 予備工具
４１、４６ 予備台皿
４３、４８ 押圧面
４９ フランジ部
５０ レンズ研磨皿作製装置
５１ 第１支持部材
５２ 第２支持部材
５３ 連結部材
５４ 型皿受け
５５ ネジ環
５５ａ 指標
５６ 押圧棒
５６ａ 凹部
５７ 剛球
５８ 操作部
５９ 目盛環
５９ａ 目盛
６０ 間座

Claims (12)

1. レンズ研磨用の台皿に貼り付けて使用される研磨シートであって、
   外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を有し、
   前記周縁部は湾曲していることを特徴とする研磨シート。
2. 前記周縁部は、熱塑性変形されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨シート。
3. 前記周縁部は、圧縮変形されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨シート。
4. 前記周縁部は、球面形状に沿って湾曲していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の研磨シート。
5. レンズ研磨用の台皿に貼り付けて使用される研磨シートの作製方法であって、
   研磨シートの原材料である研磨シート部材から、前記研磨シート部材の外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を成形する工程（ａ）と、
   前記花冠形状に成形された前記研磨シート部材を、第１の型に設けられた第１の湾曲面、及び前記第１の型と対をなす第２の型に設けられ、前記第１の湾曲面に対応する形状を有する第２の湾曲面によって挟んだ状態で所定時間保持することにより湾曲させる工程（ｂ）と、
   を含むことを特徴とする研磨シートの作製方法。
6. 前記工程（ｂ）は、前記研磨シート部材を、前記第１及び第２の湾曲面によって挟んだ状態で、前記研磨シート部材の融点よりも低い温度で加熱することを特徴とする請求項５に記載の研磨シートの作製方法。
7. 前記工程（ｂ）は、前記第１及び第２の型によって前記研磨シート部材を圧縮することを特徴とする請求項５又は６に記載の研磨シートの作製方法。
8. 前記工程（ｂ）は、前記第１及び第２の型の間に、前記第１及び第２の湾曲面の間隔を所定の厚さに維持するスペーサを配置することを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の研磨シートの作製方法。
9. 外周側から中心に向けて入れられた複数の切り込みにより周縁部が複数の花弁状に分割された花冠形状を有する研磨シートであって、前記周縁部が湾曲している研磨シートの一方の面と、レンズ研磨用の台皿に設けられた第１の湾曲面との内の少なくとも一方に接着剤を塗布する工程（ｃ）と、
   前記研磨シートの前記一方の面を前記第１の湾曲面に当接させると共に、前記研磨シートの他方の面を、研磨面成形用の型皿に設けられた第２の湾曲面であって、前記第１の湾曲面に対応する形状を有する第２の湾曲面に当接させる工程（ｄ）と、
   前記研磨シートを前記第１及び第２の湾曲面に当接させた状態で、前記接着剤を硬化させる工程（ｅ）と、
   を含むことを特徴とするレンズ研磨皿の作製方法。
10. 前記工程（ｅ）は、前記研磨シートを、前記第１及び第２の湾曲面に当接させた状態で、該研磨シートの融点よりも低い温度で加熱することを特徴とする請求項９に記載のレンズ研磨皿の作製方法。
11. 前記工程（ｅ）は、前記研磨シートを圧縮することを特徴とする請求項９又は１０に記載のレンズ研磨皿の作製方法。
12. 前記研磨シートは、前記第２の湾曲面と同じ形状の湾曲面を有する型を用いて湾曲加工されていることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項に記載のレンズ研磨皿の作製方法。
    
    

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