JP2012181997A - 光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記エキシマランプは、前記光出射部と反対側の内壁面にのみ反射膜が形成されるとともに、前記ケーシングは、前記エキシマランプの側壁を透過した光を前記光取出窓に向けて反射させる反射ミラーを有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この光ナノインプリント技術を利用したパターン形成方法においては、パターンを形成すべき基板、例えば、ウエハ上に液状の光硬化性樹脂を塗布することによってパターン形成用材料層を形成し、このパターン形成用材料層に対して、形成すべきパターンのネガとなるパターンが予め形成されたテンプレートを接触させ、この状態でパターン形成用材料層に紫外線を照射して硬化させ、その後、得られた硬化樹脂層からテンプレートを剥がす工程が行われる。
このテンプレートを洗浄処理する方法としては、特開平8−236492号公報(特許文献1)に示されるように、溶剤やアルカリ、もしくは酸などの薬品を用いたウェット洗浄法が知られている。
しかしながら、このようなウェット洗浄法においては、有機溶剤や薬品などによってテンプレートの一部が溶解して、パターン形状が変形する恐れがあり、洗浄液を回収することも必要であって、その処理が煩雑となるという不具合があった。
また、硬化性樹脂層からテンプレートを剥がす際に、テンプレートに光硬化性樹脂の残滓が付着することがあり、パターン形成工程が終了する毎に、テンプレートのウェット洗浄処理を行うことが必要であって、このウェット洗浄処理に相当長い時間を要するため、生産性が著しく低下する、という問題がある。
図において、本発明の光照射装置1は、ケーシング2と、その内部に収納されたエキシマランプ3とを有し、前記ケーシング2には、エキシマランプ3からの紫外光を出射する、例えば、石英ガラスからなる光取出窓4が設けられている。そして、前記ケーシング2内は不活性ガス雰囲気に置換されており、例えば、窒素ガスが充填されている。
また、図3に示されるように、エキシマランプ3は、石英ガラス等の透光性部材からなり、断面矩形の扁平状放電容器31と、この放電容器31の外表面に設けられた一対の電極32、33とを備えている。前記放電容器31の内部には放電ガスが封入され、その放電ガスは、キセノン、アルゴン、クリプトン等の希ガス、または希ガスと臭素、塩素、沃素、フッ素等のハロゲンガスとを混合した混合ガスなどである。
そして、該放電容器31の一面は、光出射部34として機能し、その内壁面のうち、該光出射部34と反対側の内壁面にのみ紫外線反射膜35が形成されていて、該反射膜35はそれ以外の内壁面には形成されていない。
なお、前記外部電極32、33は透光性電極として網状電極のものを例示したが、このうち、光出射部34側に位置する電極32を網状電極として、他方の電極33は必ずしも網状電極である必要はなく、不透光性の帯状電極であってもよい。
なお、該反射ミラー5は高輝度アルミニウム等から構成される。
光照射装置1は、下面にパターン形成面10aを有するテンプレート10の下方に配置され、その光取出窓4が前記テンプレート10の該パターン形成面10aに対向するように配置される。なお、前記テンプレート10は紫外線透過性材料、例えば、石英ガラスからなる。
なお、前記テンプレート10の上方には、図示しないレジスト硬化用紫外線光源が配置されていて、テンプレート10が降下して支持台12上のワークWに押圧された後に、前記紫外線光源からテンプレート10を介して該ワークWに紫外線が照射される。
1回もしくは何回かの硬化処理を行ったテンプレート10のパターン形成面10aの凹凸にはレジスト等の残滓が付着しており、このテンプレート10のパターン形成面10aを洗浄するために、光照射装置1のエキシマランプ3から光取出窓4を経て紫外線が照射され、該テンプレート10のパターン形成面10aに付着した残滓が洗浄除去されるものである。
エキシマランプ3は石英ガラス製放電容器31の内部にキセノンガスが封入され、発光長が50mm、発光幅が45mm、出力が15Wである。
比較例として、放電容器内の光出射部を除いた内壁面に反射膜を形成したエキシマランプを備え、ケーシング内に反射ミラーを有しない構造の光照射装置を作成し、本発明と比較した。図5がその結果である。実験は、ケーシング2に設けた光取出窓4の上面の9点に照度計を設け、波長172nmの真空紫外光の照度測定を行った。
図5には、エキシマランプ3の幅方向の照度均一度を算出した値が記載されている。均一度は、幅方向で見て、照度が最も高い数値(Max)と、最も低い数値(Min)とから、{(Max−Min)/(Max+Min)}×100(%)として算出して、±○○%と表記したものである。
この結果、比較例においては、幅方向の均一度が、それぞれ±8.5%、±10.4%、±7.1%であったものが、本発明では、それぞれ±6.5%、±7.6%、±5.6%となって、反射ミラーを設けたことによる照度均一性の向上が実証された。加えて、全体の照度アップももたらされた。
2 ケーシング
3 エキシマランプ
31 放電容器
31a 側壁
34 光出射部
35 紫外線反射膜
4 光取出窓
5 反射ミラー
10 テンプレート
10a パターン形成面
11 ハウジング
12 支持台
W ワーク(基板)
Claims (1)
- 断面矩形の扁平状放電容器の外表面に一対の電極が配置されるとともに、前記放電容器の1面に光出射部が形成されてなるエキシマランプと、該エキシマランプを収容するケーシングと、該ケーシングに設けられて、前記エキシマランプの光出射部からの放射光をケーシング外に出射するための光取出窓とよりなる光照射装置において、
前記エキシマランプは、前記光出射部と反対側の内壁面にのみ反射膜が形成されるとともに、
前記ケーシングは、前記エキシマランプの側壁を透過した光を前記光取出窓に向けて反射させる反射ミラーを有することを特徴とする光照射装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204736A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Ushio Inc | 光処理装置 |
JP2018528470A (ja) * | 2015-08-27 | 2018-09-27 | ズース マイクロテク フォトマスク エクイップメント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトSuss MicroTec Photomask Equipment GmbH & Co. KG | Uv放射が照射される液状の媒質を基板に塗布するための装置 |
JP2018182230A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御データの生成方法、及び物品の製造方法 |
JP2018534623A (ja) * | 2015-11-20 | 2018-11-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | インプリント装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015011229B4 (de) | 2015-08-27 | 2020-07-23 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
DE102017203351B4 (de) * | 2017-03-01 | 2021-08-05 | Süss Microtec Photomask Equipment Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001300451A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-10-30 | Hoya Schott Kk | 紫外光照射装置 |
JP2006040867A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | エキシマランプ装置 |
JP2009016558A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射ユニット |
JP2009123348A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010125368A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
JP2011009238A (ja) * | 2010-09-22 | 2011-01-13 | Gs Yuasa Corp | 無声放電ランプおよび照射装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW260806B (ja) * | 1993-11-26 | 1995-10-21 | Ushio Electric Inc | |
KR101158962B1 (ko) * | 2007-10-10 | 2012-06-21 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
-
2011
- 2011-03-01 JP JP2011043768A patent/JP5348156B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-06 KR KR1020120011740A patent/KR20150127763A/ko not_active Application Discontinuation
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001300451A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-10-30 | Hoya Schott Kk | 紫外光照射装置 |
JP2006040867A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-02-09 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | エキシマランプ装置 |
JP2009016558A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射ユニット |
JP2009123348A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010125368A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
JP2011009238A (ja) * | 2010-09-22 | 2011-01-13 | Gs Yuasa Corp | 無声放電ランプおよび照射装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012204736A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Ushio Inc | 光処理装置 |
JP2018528470A (ja) * | 2015-08-27 | 2018-09-27 | ズース マイクロテク フォトマスク エクイップメント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトSuss MicroTec Photomask Equipment GmbH & Co. KG | Uv放射が照射される液状の媒質を基板に塗布するための装置 |
JP7005485B2 (ja) | 2015-08-27 | 2022-01-21 | ズース マイクロテク フォトマスク エクイップメント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | Uv放射が照射される液状の媒質を基板に塗布するための装置 |
JP2018534623A (ja) * | 2015-11-20 | 2018-11-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | インプリント装置 |
JP2018182230A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御データの生成方法、及び物品の製造方法 |
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