JP2018528470A - Uv放射が照射される液状の媒質を基板に塗布するための装置 - Google Patents
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Abstract
Description
細長いチャンバと、チャンバに向かう方向に開いている少なくとも1つの供給口と、当該少なくとも1つの供給口とは反対側にある、チャンバの長さにわたって延在するスリット形の排出口とを有するハウジング、
チャンバ内を長手方向に通って延在する、少なくとも部分的にUV放射に対して透過性である管部材であって、当該管部材とチャンバの壁との間に、排出口の中心と交差するチャンバの長手方向中心平面を基準として対称的である流れ空間が形成されるように、かつ、当該管部材がハウジングのスリット形の排出口内まで延在して、長手方向に延在する2つの排出スリットを当該管部材とハウジングとの間に形成するように、チャンバ内に配置された管部材、および
流れ空間の方向にUV放射を排出口に通してハウジングから外部へ放出するように管部材内に配置された少なくとも1つのUV放射源
を備えた装置に関するものである。本装置は、管部材の第1の部分を通じて第1の波長領域のUV放射を流れ空間内へ放出させ、かつ、当該管部材の第2の部分を通じてハウジングの排出口を通過するように第2の波長領域のUV放射を放出させ、かつ選択的に、流れ空間の、排出スリットと隣り合った端部領域へ放出させる手段がさらに設けられていることを特徴とする。第1の波長領域と第2の波長領域とは異なっており、両部分のうち少なくとも一方の部分については、各部分を通じて放出される放射出力の最大20%、有利には最大5%が、他方の波長領域に由来するものとなっている。
Claims (16)
- UV放射が照射される液状の媒質を基板に塗布するための装置であって、
細長いチャンバと、当該チャンバに向かう方向に開いている少なくとも1つの供給口と、当該少なくとも1つの供給口とは反対側にある、前記チャンバの長さにわたって延在するスリット形の排出口とを有するハウジング、
前記チャンバ内を長手方向に延在する、少なくとも部分的にUV放射に対して透過性である管部材であって、当該管部材と前記チャンバの壁との間に、前記排出口の中心と交差する前記チャンバの長手方向中心平面を基準として対称的である流れ空間が形成されるように、かつ、当該管部材が前記ハウジングのスリット形の前記排出口内まで延在して、長手方向に延在する2つの排出スリットを当該管部材と前記ハウジングとの間に形成するように、前記チャンバ内に配置された管部材、および
前記流れ空間の方向にUV放射を前記排出口に通して前記ハウジングから外部へ放出するように前記管部材内に配置された少なくとも1つのUV放射源
を備えた装置において、
前記装置は、
前記管部材の第1の部分を通じて主に第1の波長領域のUV放射を前記流れ空間内へ放出させ、かつ、当該管部材の第2の部分を通じて主に第2の波長領域のUV放射を前記ハウジングの前記排出口を通過するように放出させ、かつ選択的に、前記流れ空間の、前記排出スリットと隣り合った端部領域へ放出させる手段
を備えており、
前記第1の波長領域と前記第2の波長領域とは異なっており、
前記両部分のうち少なくとも一方の部分については、各部分を通じて放出される放射出力の最大20%、有利には最大5%が、他方の波長領域に由来するものとなっている
ことを特徴とする装置。 - 前記手段は、前記波長領域ごとに異なる透過特性を有する複数の異なる材料であって、前記管部材の前記第1の部分および前記第2の部分の透過特性に影響を及ぼす複数の異なる材料を有する、
請求項1記載の装置。 - 前記手段は前記管部材内に、少なくとも2つの異なるUV放射源と少なくとも1つの分離部材とを備えており、
前記分離部材は、複数の前記異なるUV放射源間に配置されており、
少なくとも1つの第1の放射源は主に前記第1の波長領域の放射を放出し、少なくとも1つの第2の放射源は主に前記第2の波長領域の放射を放出する、
請求項1または2記載の装置。 - 前記分離部材は前記管部材の実質的に全幅にわたって延在し、当該分離部材の端部が、前記管部材の前記第1の部分と前記第2の部分との分離を決定する、
請求項3記載の装置。 - 前記分離部材の、前記各放射源に対向する表面の少なくとも一部は、鏡面反射性に構成されており、特に、各対向する放射源の主な各放出領域において鏡面反射性を有する、
請求項3または4記載の装置。 - 前記分離部材の、前記放射源にそれぞれ対向する少なくとも1つの表面において反射された放射を、特定のパターンで分布させるため、当該表面は曲面である、
請求項3から5までのいずれか1項記載の装置。 - 前記分離部材の、前記第1の放射源に対向する表面は、凸形の曲面であり、かつ/または、前記第2の放射源に対向する表面は、凹形の曲面の部分を少なくとも1つ有する、
請求項6記載の装置。 - 前記手段は前記管部材内と、当該管部材の少なくとも1つの部分と隣り合う場所または当該少なくとも1つの部分と接触する場所とに、所望の波長領域のUV放射を選択的に透過させ、かつ所望の波長領域外の放射を吸収するフィルタ部材を備えている、
請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。 - 前記第1の波長領域は200nm未満の領域内であり、かつ、前記第2の波長領域は220nm超の領域内である、
請求項1から8までのいずれか1項記載の装置。 - 前記装置はさらに、前記管部材の、前記流れ空間の方を向いた第3の部分では当該流れ空間内へUV放射を放出させない第2の手段を備えている、
請求項1から9までのいずれか1項記載の装置。 - 前記第2の手段は、前記少なくとも1つのUV放射源と前記流れ空間との間に、UV放射に対して不透明の要素を備えている、
請求項10記載の装置。 - 前記第3の部分は、前記少なくとも1つの供給口を指向しており、かつ、前記長手方向中心平面を基準として対称的に配置されている、
請求項10または11記載の装置。 - 前記第3の部分は、前記管部材の周方向において、対応する前記排出スリットの手前最大5°まで延在する、
請求項12記載の装置。 - 前記第2の部分は、前記少なくとも1つの供給口と前記各排出スリットとの間における流れ経路に沿った前記流れ空間の、最大で最後の1/4の部分と重なり合う、
請求項1から13までのいずれか1項記載の装置。 - 前記第2の部分は、前記管部材の中心点から少なくとも、当該管部材の中心点を基準として前記ハウジングの前記スリット形の開口の角度範囲に相当する角度範囲をカバーする、
請求項1から14までのいずれか1項記載の装置。 - 前記第2の部分は、前記管部材の中心点を基準として前記ハウジングの前記スリット形の開口の角度範囲より最大40°大きい角度範囲をカバーする、
請求項15記載の装置。
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