JP2012174879A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ハロゲンランプHLのうち、両端側は密に、中央部側は、中央部に向って徐々に間隔が広くなるように配列される。ハロゲンランプHLと下側チャンバー窓64との間にルーバー100が配置される。ルーバー100は、厚さ3mm、高さ20mmで、外径が半導体ウエハWと同じ300mmの無底円筒形状であって、透明な石英ガラスに微細な気泡を形成して入射した光をその気泡で散乱させ、約30%程度の光を透過させるように半透明になした素材により形成される。
【選択図】図1
Description
の取付角度を容易にそろえることができて製造が容易で、高効率で均一性も良好な照明装置と検査装置が得られる。
加熱部4の40本のハロゲンランプHLが一斉に点灯する。ハロゲンランプHLから出射されたハロゲン光は、石英にて形成された下側チャンバー窓64および保持プレート74を透過して半導体ウエハWの裏面から照射される。ハロゲンランプHLからの光照射を受けることによって半導体ウエハWの温度が上昇する。なお、移載機構10の移載アーム11は凹部62の内側に退避しているため、ハロゲンランプHLによる加熱の障害となることは無い。
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュ加熱部
6 チャンバー
7 保持部
100 ルーバー
102 支持体
W 半導体ウエハ
HL ハロゲンランプ
FL フラッシュランプ
LS 光源構成体
LA ランプ配置領域
Claims (6)
- 基板に対して光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を支持する支持手段と、
前記基板よりも大きい形状の発光領域面を有し、該発光領域面を前記支持手段に支持された基板に対向させて光照射を行う光源構成体と、
筒形をなし、前記支持手段に支持された基板と前記光源構成体との間に配置されて入射した光の一部を透過し一部を散乱させるよう構成された半透明の光散乱部材と
を備えたことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記光源構成体は、その発光領域面の中央部よりも周縁部のほうが、単位面積あたりの発光光量が多くなるように構成されたことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の熱処理装置において、
前記基板が半導体ウエハであり、前記光散乱部材は前記半導体ウエハと同軸位置に配置された無底の円筒形であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項3に記載の熱処理装置において、
前記光散乱部材の円筒形は、前記半導体ウエハの直径と略同じ直径であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記光散乱部材が、光散乱用の微細構造を形成したガラス材よりなることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記光源構成体が、平行に配置された複数の棒状の光源からなる光源群を備えることを特徴とする熱処理装置。
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