JP2012169450A - Spin transistor and magnetic device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、磁気メモリ、不揮発性論理回路等の磁気デバイスに使われる、出力電流を磁化状態およびゲート電圧により制御可能なスピントランジスタおよび磁気デバイスに関するものである。 The present invention relates to a spin transistor and a magnetic device that are used in a magnetic device such as a magnetic memory and a non-volatile logic circuit and in which an output current can be controlled by a magnetization state and a gate voltage.
磁気ランダムアクセスメモリにおいて、1つの記録ビットは、1つのトンネル磁気抵抗素子と1つのトランジスタとによって構成されている。トンネル磁気抵抗素子が記憶機能を担い、トランジスタがスイッチ機能を担っている。 In the magnetic random access memory, one recording bit is composed of one tunnel magnetoresistive element and one transistor. The tunnel magnetoresistive element has a memory function, and the transistor has a switch function.
しかしながら、トンネル磁気抵抗素子とトランジスタとを対にして使用する必要があるため、素子全体のサイズが大きくなり、大容量化を果たす上での障害となっている。従って、両方の機能を単一の素子で実現可能なスピントランジスタの実現が期待されている。 However, since it is necessary to use a tunnel magnetoresistive element and a transistor in pairs, the entire size of the element becomes large, which is an obstacle to achieving a large capacity. Therefore, realization of a spin transistor capable of realizing both functions with a single element is expected.
さらに、スピントランジスタを従来のトランジスタと同様に集積化することで、不揮発性の再構成可能論理回路を実現することができる。不揮発性により、従来よりも圧倒的な低消費電力化が期待できる。また、スピントランジスタ素子の磁化状態を制御することで、1つの素子で、何種類もの演算をすることが可能になる。このことが実現すれば、従来の半導体市場の約半分をスピントランジスタで置きかえることが期待できる。 Further, by integrating the spin transistor in the same manner as a conventional transistor, a nonvolatile reconfigurable logic circuit can be realized. Due to the non-volatility, an overwhelming reduction in power consumption can be expected. Further, by controlling the magnetization state of the spin transistor element, it is possible to perform many kinds of calculations with one element. If this is realized, it can be expected that about half of the conventional semiconductor market will be replaced by spin transistors.
しかし、従来提案されているいくつかのスピントランジスタでは、室温において、外部磁界によるスピントランジスタの電流変化率が小さく、ゲート電圧のオン/オフによる出力電流のオン/オフ比も小さい。その結果、スピントランジスタを流れる電流を良好に制御するのが困難となる(例えば、非特許文献1乃至5参照)。 However, in some conventionally proposed spin transistors, the current change rate of the spin transistor due to an external magnetic field is small at room temperature, and the on / off ratio of the output current due to on / off of the gate voltage is also small. As a result, it becomes difficult to satisfactorily control the current flowing through the spin transistor (see, for example, Non-Patent Documents 1 to 5).
一方、ハーフメタルのバンドギャップを用いることで、外部磁界による大きな電流変化率と、ゲート電圧のオン/オフによる大きな電流比とを得るための構造が提案されている(例えば、特許文献1または2参照)。しかし、これまで、動作確認は、低温やシミュレーションのみで行われており、室温下の実験で動作実証がなされた例はない。 On the other hand, a structure for obtaining a large current change rate by an external magnetic field and a large current ratio by ON / OFF of a gate voltage by using a half metal band gap has been proposed (for example, Patent Document 1 or 2). reference). However, until now, operation confirmation has been performed only at low temperatures and simulations, and there has been no example that has been verified in experiments at room temperature.
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、その目的は、磁化の相対角度を外部磁界で制御した際の電流変化率が大きく、かつ、ゲート電圧のオン/オフによる出力電流のオン/オフ比の高い、室温で出力電流が制御可能なスピントランジスタおよび磁気デバイスを提供することにある。 The present invention has been made paying attention to such a problem, and its purpose is that the rate of change of current when the relative angle of magnetization is controlled by an external magnetic field is large, and that the output current depends on on / off of the gate voltage. It is an object of the present invention to provide a spin transistor and a magnetic device having a high on / off ratio and a controllable output current at room temperature.
上記目的を達成するために、本発明に係るスピントランジスタは、ハーフメタルによって構成されたソース層、ゲート層およびドレイン層と、前記ソース層と前記ゲート層との間に介在する第1の絶縁層と、前記ゲート層と前記ドレイン層との間に介在する第2の絶縁層と、前記ゲート層を含み、前記ゲート層に静電容量を介してゲート電圧を印加可能なゲート構造とを、備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a spin transistor according to the present invention includes a source layer, a gate layer and a drain layer made of half metal, and a first insulating layer interposed between the source layer and the gate layer. And a second insulating layer interposed between the gate layer and the drain layer, and a gate structure including the gate layer and capable of applying a gate voltage to the gate layer via a capacitance. It is characterized by that.
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を実施した。その結果、前記ハーフメタルにホイスラー合金を使用したスピントランジスタにおいて、室温にて、磁化状態の制御による電流変化率として50%、ゲート電圧によるオン/オフ比として1266を得た。 The inventors of the present invention have intensively studied to achieve the above object. As a result, in the spin transistor using a Heusler alloy for the half metal, a current change rate of 50% by controlling the magnetization state and 1266 of an on / off ratio by gate voltage were obtained at room temperature.
本発明に係るスピントランジスタで、前記ホイスラー合金は、Co2FexMn1−xSi、または、Co2MnAlxSi1−xのCo基のホイスラー合金組成から成ることが好ましい。この場合、Xは、0以上1以下の範囲である。また、前記第1の絶縁層および前記第2の絶縁層は酸化マグネシウム(MgO)から成ることが好ましい。前記ゲート構造はCr/MgO/Co2MnSiから成ることが好ましい。また、ゲート電圧を効率的に印加するために、前記ゲート構造の前記MgOの膜厚が5〜20ナノメートルであることが好ましい。 In the spin transistor according to the present invention, the Heusler alloy, Co 2 Fe x Mn 1- x Si or, preferably consists of Heusler alloy composition of Co group Co 2 MnAl x Si 1-x . In this case, X is in the range of 0 to 1. The first insulating layer and the second insulating layer are preferably made of magnesium oxide (MgO). The gate structure is preferably made of Cr / MgO / Co 2 MnSi. Moreover, in order to apply a gate voltage efficiently, it is preferable that the film thickness of the MgO of the gate structure is 5 to 20 nanometers.
本発明に係るスピントランジスタは、前記ソース層、前記ゲート層および前記ドレイン層の磁化の相対角度により、室温にて電流が変化することが好ましい。 In the spin transistor according to the present invention, the current is preferably changed at room temperature depending on the relative angles of magnetization of the source layer, the gate layer, and the drain layer.
また、本発明に係るスピントランジスタは、前記ゲート層に電圧を印加することにより、室温にて電流が変化することが好ましい。この場合、前記ゲート層に印加する電圧がパルス形状であり、過渡的に電流が変化することが高速動作を実現する上で好ましい。また、前記ゲート層に印加するパルス電圧の立ち上がり時間がマイクロ秒以下であり、高速で出力電流が変化することが好ましい。 In the spin transistor according to the present invention, it is preferable that the current changes at room temperature by applying a voltage to the gate layer. In this case, it is preferable that the voltage applied to the gate layer has a pulse shape and the current changes transiently in order to realize high-speed operation. The rise time of the pulse voltage applied to the gate layer is preferably not more than microseconds, and the output current is preferably changed at high speed.
本発明に係るスピントランジスタは、スピントロニクス分野において、例えば磁気メモリや不揮発性論理回路などの磁気デバイスに使用することができる。本発明に係る磁気デバイスは、本発明に係るスピントランジスタを有することを、特徴とする。 The spin transistor according to the present invention can be used for a magnetic device such as a magnetic memory or a nonvolatile logic circuit in the spintronics field. A magnetic device according to the present invention includes the spin transistor according to the present invention.
本発明によれば、磁化の相対角度で出力電流が制御可能で、かつ、ゲート電極に電圧を印加することでも出力電流が制御可能なスピントランジスタを提供することができる。このため、磁化の相対角度を外部磁界で制御した際の電流変化率が大きく、かつ、ゲート電圧のオン/オフによる出力電流のオン/オフ比の高い、室温で出力電流が制御可能なスピントランジスタを提供することができる。また、ゲートに入力する電圧をパルス形状にすることで、高速動作のスピントランジスタを提供することができる。また、このスピントランジスタを集積化することで、磁気メモリや不揮発性論理回路などの磁気デバイスを実現することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a spin transistor in which an output current can be controlled by a relative angle of magnetization, and an output current can be controlled by applying a voltage to a gate electrode. Therefore, a spin transistor that has a large current change rate when the relative angle of magnetization is controlled by an external magnetic field and that has a high on / off ratio of the output current due to on / off of the gate voltage and can control the output current at room temperature. Can be provided. In addition, a high speed operation spin transistor can be provided by making the voltage input to the gate into a pulse shape. Further, by integrating the spin transistor, a magnetic device such as a magnetic memory or a nonvolatile logic circuit can be realized.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1に示すように、ゲート電極層11/ゲート絶縁層12の上に、二つの強磁性トンネル接合が並列にならんだ、スピントランジスタ構造をリソグラフィー法により作製した。図1に示す一例では、ゲート電極層11/ゲート絶縁層12はCr/MgOから成り、強磁性トンネル接合はCo2MnSi/MgO/Co2MnSiから成っている。ゲート絶縁層12に隣接するCo2MnSiがゲート層13のハーフメタルであり、トンネル絶縁層であるMgO上部の二つのCo2MnSiが、ソース層14およびドレイン層15のハーフメタルである。トンネル絶縁層は、ソース層14とゲート層13との間に介在する第1の絶縁層16と、ゲート層13とドレイン層15との間に介在する第2の絶縁層17とから成っている。また、ゲート構造は、ゲート電極層11、ゲート絶縁層12およびゲート層13から成っている。 As shown in FIG. 1, a spin transistor structure in which two ferromagnetic tunnel junctions are arranged in parallel on a gate electrode layer 11 / gate insulating layer 12 was fabricated by a lithography method. In the example shown in FIG. 1, the gate electrode layer 11 / gate insulating layer 12 is made of Cr / MgO, and the ferromagnetic tunnel junction is made of Co 2 MnSi / MgO / Co 2 MnSi. Co 2 MnSi adjacent to the gate insulating layer 12 is a half metal of the gate layer 13, and two Co 2 MnSi on the top of MgO which is a tunnel insulating layer are half metals of the source layer 14 and the drain layer 15. The tunnel insulating layer includes a first insulating layer 16 interposed between the source layer 14 and the gate layer 13 and a second insulating layer 17 interposed between the gate layer 13 and the drain layer 15. . The gate structure includes a gate electrode layer 11, a gate insulating layer 12, and a gate layer 13.
図2に、図1に示す二つの強磁性トンネル接合の6Kにおける(a)磁気抵抗曲線、および、(b)ソース-ドレイン電圧に対するコンダクタンス特性を示す。トンネル磁気抵抗比は、6Kにおいて235%、室温において64%と非常に大きい。この大きなトンネル磁気抵抗比と、コンダクタンス特性における、ゼロバイアス電圧近傍でのコンダクタンスの増大は、ソース層14、ゲート層13、ドレイン層15に用いたCo2MnSiがハーフメタルであることを示している。 FIG. 2 shows (a) the magnetoresistance curve at 6K of the two ferromagnetic tunnel junctions shown in FIG. 1 and (b) the conductance characteristics with respect to the source-drain voltage. The tunnel magnetoresistance ratio is very large at 235% at 6K and 64% at room temperature. The increase in conductance near the zero bias voltage in the large tunnel magnetoresistance ratio and conductance characteristics indicates that the Co 2 MnSi used for the source layer 14, the gate layer 13, and the drain layer 15 is a half metal. .
図3に、ゲート電圧を1V印加した際の、磁化平行および反平行状態のドレイン電流の室温における過渡応答特性を示す。パルス印加後、約5μs後にドレイン電流がピークを示し、その後減少することが分かる。ピーク電流とゲート電圧印加前の電流との比(オン/オフ比)は非常に大きく、また、平行および反平行状態でピーク電流値に差があることが分かる。 FIG. 3 shows the transient response characteristics of the parallel and antiparallel drain currents at room temperature when a gate voltage of 1 V is applied. It can be seen that the drain current peaks after about 5 μs after the pulse application and then decreases. It can be seen that the ratio (on / off ratio) between the peak current and the current before application of the gate voltage is very large, and that there is a difference in peak current values between the parallel and antiparallel states.
図4に、ゲート電圧(Gate Voltage)のオン/オフに対する、出力電流の室温におけるオン/オフ比(On/Off Ratio)のゲート電圧依存性を示す。 FIG. 4 shows the gate voltage dependence of the on / off ratio (On / Off Ratio) of the output current at room temperature with respect to on / off of the gate voltage (Gate Voltage).
図4から、ゲート電圧が0.1V以上で、急激に電流が増加していることが分かる。また、ソース−ドレイン電圧VSDが小さいほど、オン/オフ比が大きく、良好なスイッチ特性を得るのに好ましいことが分かる。また、ゲート層のハーフメタルの磁化の向きが、ソース層およびドレイン層のハーフメタルの磁化に対して、平行(at P state)および反平行(at AP state)に変化することにより、スイッチ特性が変化することが分かる。 From FIG. 4, it can be seen that the current rapidly increases when the gate voltage is 0.1 V or higher. Further, it can be seen that the smaller the source-drain voltage V SD is, the larger the on / off ratio is, which is preferable for obtaining good switching characteristics. Further, the switching characteristics are changed by changing the direction of magnetization of the half metal of the gate layer to be parallel (at P state) and anti-parallel (at AP state) to the magnetization of the half metal of the source layer and the drain layer. You can see that it changes.
図5に、ゲート層の磁化の向きが、ソース層およびドレイン層の磁化に対して、平行および反平行に変化した時の、出力電流の室温における変化率(MC ratio)をゲート電圧に対してプロットした結果を示す。 FIG. 5 shows the change rate (MC ratio) of the output current at room temperature with respect to the gate voltage when the direction of magnetization of the gate layer changes parallel and antiparallel to the magnetization of the source layer and the drain layer. The plotted result is shown.
図5から、ゲート電圧が小さく、また、ソース−ドレイン電圧が小さい状態では、最大で約50%の電流変化率が得られていることが分かる。 From FIG. 5, it can be seen that a maximum current change rate of about 50% is obtained when the gate voltage is low and the source-drain voltage is low.
以上から、図1のスピントランジスタ構造は、磁化の向き、および、ゲート電圧を制御することで、出力電流を室温にて高速制御することが可能な最良の態様であることが分かる。 From the above, it can be seen that the spin transistor structure of FIG. 1 is the best mode in which the output current can be controlled at high speed at room temperature by controlling the direction of magnetization and the gate voltage.
以上、発明の実施の形態に則して本発明を説明してきたが、本発明の内容は上記に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいて、あらゆる変形や変更が可能である。 As described above, the present invention has been described according to the embodiment of the invention. However, the content of the present invention is not limited to the above, and various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention. is there.
11 ゲート電極層
12 ゲート絶縁層
13 ゲート層
14 ソース層
15 ドレイン層
16 第1の絶縁層
17 第2の絶縁層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Gate electrode layer 12 Gate insulating layer 13 Gate layer 14 Source layer 15 Drain layer 16 1st insulating layer 17 2nd insulating layer
Claims (11)
前記ソース層と前記ゲート層との間に介在する第1の絶縁層と、
前記ゲート層と前記ドレイン層との間に介在する第2の絶縁層と、
前記ゲート層を含み、前記ゲート層に静電容量を介してゲート電圧を印加可能なゲート構造とを、
備えることを特徴とするスピントランジスタ。 A source layer, a gate layer and a drain layer made of half metal;
A first insulating layer interposed between the source layer and the gate layer;
A second insulating layer interposed between the gate layer and the drain layer;
A gate structure including the gate layer and capable of applying a gate voltage to the gate layer via a capacitance;
A spin transistor comprising:
A magnetic device comprising the spin transistor according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 or 10.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011029048A JP2012169450A (en) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | Spin transistor and magnetic device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
ID=46973330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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