JP2012162364A - 離間距離調整装置およびこれを用いた搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レベリング装置3は、ユニット化されたアジャスター33、スペーサ34を有する。アジャスター33において、スリーブ331は、レール2の貫通穴23に挿入される六角穴付ボルト32用のネジ穴部331Aが形成された雄ネジ部331D、ベース1のT字状溝11に挿入されるTボルト31用のネジ穴部331B、バネ332を受けるフランジ331Cを有し、六角穴付止めネジ334はスリーブ331に対して回転不能にネジ穴部331A内に固定され、ナット333は雄ネジ部331Dに締結されてバネ332に接触し、フランジ331Cとの間でバネ332をプリロードする。スペーサ34は、ナット座面−雄ネジ先端の間隔より深く、雄ネジ部331Dに被せられてバネ332に支持された状態でレール2を支持し、かつネジ穴部331Aをレール2の貫通穴23に露出する開口341を有する。
【選択図】図2
Description
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部が接触すると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備する。
ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部を接触させると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備し、
前記固定手段として、前記スリーブ本体は、一方の端部側の端面に第四雄ネジ部を有した突起部を有する。
Claims (14)
- ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部が接触すると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、
を具備する離間距離調整装置。 - 前記スリーブ本体は、一方の端部側に第一雌ネジ穴部を有する請求項1に記載の離間距離調整装置。
- 前記固定手段として、前記スリーブ本体の一方の端部側の第一雌ネジ穴部に螺合して当該スリーブ本体を前記ベース部材に固定するための第一雄ネジ部を有したTボルトを具備する請求項2に記載の離間距離調整装置。
- ベース部材と支持対象物との間に介在し、前記ベース部材と前記支持対象物との間隔を調整可能に前記支持対象物を前記ベース部材に固定する離間距離調整装置であって、
外面にフランジ部が形成されたスリーブ本体を有するスリーブと、
前記フランジ部に一方の端部を接触させると共に前記スリーブ本体を囲むように配され、前記スリーブ本体の軸方向に伸縮する弾性体と、
前記弾性体を前記フランジ部との間で前記スリーブ本体の軸方向に圧縮させるプリロードナットと、
前記スリーブ本体の一方の端部側に配され、当該スリーブ本体と前記ベース部材とを固定する固定手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と当該スリーブ本体とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する固定調整手段と、
前記スリーブ本体の他方の端部側に配され、前記支持対象物と前記弾性体との間に介在して、前記弾性体の反力により前記支持対象物を支持するスペーサと、を具備し、
前記固定手段として、前記スリーブ本体は、一方の端部側の端面に第四雄ネジ部を有した突起部を有する離間距離調整装置。 - 前記スリーブ本体は、他方の端部側に第二雌ネジ穴部を有し、
前記スペーサは、前記スリーブ本体の第二雌ネジ穴部に対向する貫通穴を有する請求項1から4の何れか一項に記載の離間距離調整装置。 - 前記固定調整手段として、前記スペーサの貫通穴を介して、前記スリーブ本体の他方の端部側の前記第二雌ネジ穴部に螺合して当該スリーブ本体と前記支持対象物とを固定すると共に、当該支持対象物と前記ベース部材との間隔を調整する第二雄ネジ部を有する六角穴付きボルトを具備する請求項5に記載の離間距離調整装置。
- 前記スリーブ本体は、他方の端部側の外周部に前記プリロードナットと螺合して前記弾性体を押圧する第三雄ネジ部を有する請求項1から6の何れか一項に記載のレベリング固定装置。
- 前記スリーブ本体は、第二雌ネジ穴部の一方の端部側に工具と係合することにより当該スリーブ本体を軸心周り方向に回転させるための回転操作受付部を具備する請求項5または6に記載の離間距離調整装置。
- 前記スリーブ本体は、前記フランジ部からの距離が前記弾性体の自由高さよりも短い位置で前記プリロードナットの座面に接触する座を有する請求項1から8の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
- 前記スペーサは、内部に凹部を有し、一方の端面が前記弾性体の他方の端部に接触し、他方の端面の外面が前記支持対象物に接触し、他方の端面が前記スリーブ本体の他方の端面より前記支持対象物側に配されている請求項1から9の何れか一項に記載の離間距離調整装置。
- 前記スペーサの貫通穴の他方の端面側の開口部は、前記スリーブ本体の第二雌ネジ穴部と同心の穴を有する請求項5または6に記載の離間距離調整装置。
- 搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
前記ベース部材と、
前記搬送面を備え、当該搬送面に貫通穴が形成されたエアレールと、
当該エアレールの貫通穴から前記固定調整手段が露出するように、当該エアレールを前記支持対象物として支持する請求項1から11の何れか一項に記載の離間距離調整装置と、
を有する浮上搬送装置。 - 搬送面から搬送物を浮上させる浮上搬送装置であって、
前記ベース部材と、
前記搬送面を備え、当該搬送面に貫通穴が形成されたエアレールと、
当該エアレールの貫通穴から前記固定調整手段が露出するように、当該エアレールを前記支持対象物として支持する請求項3に記載の離間距離調整装置と、を備え、
前記ベース部材は、当該ベース部材の長手方向に直交する一方並びに他方の端面にて開口し、当該一方の端面から他方の端面まで連続すると共に前記支持対象物側に開口し、前記Tボルトが挿入されるT字状溝を有する浮上搬送装置。 - 前記ベース部材は、前記支持対象物に対向する面に、前記スリーブ本体の前記第四雄ネジ部が螺合する第三雌ネジ穴部を有した請求項4から11の何れか一項に記載の離間距離調整装置を有する浮上搬送装置。
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JP2009229258A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 基板搬送装置及び基板検査装置 |
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