JP2012151370A - パワーデバイス用のウエハキャリア及びパワーデバイスの検査方法 - Google Patents
パワーデバイス用のウエハキャリア及びパワーデバイスの検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のパワーデバイス用のウエハキャリア20は、パワーデバイスの電気的特性検査をウエハレベルで行う際に、検査装置10の載置台11上に吸着固定して用いられ且つ複数のパワーデバイスが形成されたウエハWを保持するもので、キャリア本体21と、キャリア本体21の第1の主面上にウエハの載置面として形成された導電性金属膜23と、載置面に形成された真空吸着用の溝20Aと、載置台11の真空吸着用の溝11Aと連通し且つ真空吸着用の溝20A内で開口する吸引孔20Bと、を備えている。
【選択図】図3
Description
まず、本実施形態のウエハキャリアを適用する検査装置について説明する。本実施形態に用いられる検査装置10は、例えば、図1に示すように、本実施形態のウエハキャリア20で保持されたウエハWを載置する移動可能な載置台11と、載置台11を水平方向及び上下方向へ移動させる駆動機構12と、載置台11の上方に配置された複数のプローブ13Aを有するプローブカード13と、複数のプローブ13Aとウエハキャリア20上のウエハWの複数の電極とのアライメントを行うアライメント機構14と、これらの各機器を制御する制御装置15と、を備え、制御装置15の制御下でウエハWの電気的特性検査を行うように構成されている。尚、図1において、13Bはプローブカード13と一体化したカードホルダで、プローブカード13はカードホルダ13Bを介してプローバ室の上面を形成するヘッドプレート16に固定されている。
11 載置台
13 プローブカード
13A プローブ
14 アライメント機構
15 制御装置
20 ウエハキャリア
20A 吸着溝
20B 吸着用孔
21 キャリア本体
22 樹脂膜
23 導電性金属膜
23A 銅薄膜
23B ニッケル箔膜
23C 金薄膜
W ウエハ
Claims (7)
- パワーデバイスの電気的特性検査をウエハレベルで行う際に、検査装置の載置台上に吸着固定して用いられ且つ複数のパワーデバイスが形成されたウエハを保持するウエハキャリアであって、キャリア本体と、上記キャリア本体の第1の主面上に上記ウエハの載置面として形成された導電性金属膜と、上記載置面に形成された真空吸着用の溝と、上記載置台の真空吸着用の溝と連通し且つ上記真空吸着用の溝内で開口する吸引孔と、を備えたことを特徴とするウエハキャリア。
- 上記導電性金属膜が上記ウエハの外周より大径に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のウエハキャリア。
- 上記導電性金属膜が複数の金属薄膜を積層して形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のウエハキャリア。
- 上記導電性金属膜が樹脂膜に被着されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のウエハキャリア。
- 上記キャリア本体がシリコンまたはガラスによって形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のウエハキャリア。
- 上記樹脂膜が上記キャリア本体に対して剥離可能に接合されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のウエハキャリア。
- 複数のパワーデバイスが形成されたウエハを載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置された複数のプローブを有するプローブカードと、上記複数のプローブと上記ウエハの複数の電極をアライメントするアライメント機構と、を備えた検査装置を用いて上記複数のパワーデバイスの電気的特性検査を行う際に、請求項1〜5のいずれか1項に記載のウエハキャリアを用いてウエハ状態のまま上記複数のパワーデバイスの電気的特性検査を行うパワーデバイスの検査方法であって、
上記ウエハキャリアのプリアライメントを行う工程と、
上記プリアライメント後の上記ウエハキャリアを上記載置台上に載置する工程と、
上記ウエハキャリアを上記載置台上に固定する工程と、
上記ウエハをプリアライメントする工程と、
上記プリアライメント後の上記ウエハを上記ウエハキャリア上に載置する工程と、
上記ウエハキャリア上に上記ウエハを固定する工程と、
上記載置台と上記アライメント機構とを用いて上記キャリア上の上記ウエハの複数の電極と上記複数のプローブのアライメントを行う工程と、を備えた
ことを特徴とするパワーデバイスの検査方法。
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