JP2012142331A - 基板の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トレイに基板を移載する基板移載部と、基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、基板搬送を制御する制御手段と、を有し、第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、制御手段により各ポジションに回動させる。
【選択図】図2
Description
特許文献1では、基板を両面に保持した縦型トレイを、搬送ユニット上ラック/ピニオンの機構を用いて移動させることにより、基板の搬送は、より行われている。トレイは、
特許文献2には、基板をトレイに載せる際に、水平状態の基板を大気中で縦型トレイに載せた後、基板を保持したトレイを搬送し、真空処理室で処理することが記載されている。
装置が大型化するにつれ、構成部材に荷重がかかりタワミが生じたりすること等により、搬送調整時に直進性を向上させる調整を行うことがより困難になる。
従って、処理室からロードロック室を経て、基板移載部までの距離が長くなると、各搬送ユニットの角度ずれが積算してしまうことになる。一方、基板を両面に保持するトレイに載せるには基板を両側から載せる必要がある。そのため、基板搬送時には搬送ユニットは基板が適切に移載できる位置に角度調整されていなくてはいけない。
ところが、基板搬送時には上述したような、処理室から調整した搬送ユニットとの直進性を持たせなくてはいけない。
基板が大型化したため角度ずれの影響が大きく、特許文献3のように台車の速度を減速したとしても、他端では台車の搬送ができないことがあった。
第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
制御手段は、基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第二のポジションに回動させ、第一のトレイ搬送ユニットから第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には第一のトレイ搬送ユニットを第三のポジションに回動させることを特徴とする。
また、調整コストの削減、部材コストの削減が可能になり、大型化してもより安価な装置を提供することが可能になる。
本発明に係る真空処理装置を、図1を参照して説明する。図1は、本発明に係る真空処理装置の一実施態様の全体構成を示す平面模式図である。
本態様では、トレイ搬送ユニット14は2つ設けられているが、トレイ搬送ユニット14の個数は2つに限られない。トレイ搬送ユニット14は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
ロードロック室3には、トレイ搬送ユニット15が設けられ、ロードロック室4にはトレイ搬送ユニット16が設けられている。
なお、本態様では、トレイ搬送ユニット14は2つ設けられているが、トレイ搬送ユニット14の個数は2つに限られない。トレイ搬送ユニット14は複数設ける方がタクト向上のために好ましい。
(ポジションの設定)
まず、予め、以下の方法により、移載ユニット6のトレイ搬送ユニット13に第一のポジション、第二のポジション、第三のポジションを制御手段に教示させておく。
図5を用いて各ポジションについて説明する。図5は、各ポジションにおいてトレイ搬送ユニット13が角度調整された状態を示す模式図である。
トレイ搬送ユニット13上の所定位置に静止したトレイ12に、基板ステージ11a,11の基板10が適切に移送されるポジションを第一のポジションとする(図5(A)参照)。トレイ搬送ユニット13が第一のポジションとなるように、トレイ搬送ユニット13を角度調整する。このポジションは第一のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
なお、このポジションでは、トレイ搬送ユニット13は、基板ステージ11aと11bの各々と平行状態となっていることが好ましい。
トレイ搬送ユニット13aからトレイ搬送ユニット14aにトレイが適切に搬送できるようにトレイ搬送ユニット13が角度調整されたポジションを第二のポジションとする(図5(B)参照)。
基板が大型化であれば、トレイが大型化し、トレイ搬送ユニット14も大型化する。そのため、各室に設けられたトレイ搬送ユニットが完全に直線状態に並ばない場合もある。トレイ12が大型化し、トレイ搬送ユニットも大型化したことにより、一方の端での微小角のずれであっても、他端ではそのずれが大きくなるからである。
そのため、トレイ搬送ユニット14aがトレイ搬送ユニット13とローラ直進性を有さない場合がある。そこで、直進性を有するように、トレイ搬送ユニット14aの角度調整を行うことが必要となる。
トレイ搬送ユニット14aをトレイ搬送ユニット13の位置にY軸方向(トレイ12の搬送方向と垂直な方向)にスライドさせた状態で、トレイ搬送ユニット13がトレイ搬送ユニット14aとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット13を角度調整する。このポジションを第二のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
トレイ搬送ユニット13がトレイ搬送ユニット14bとローラ直進性を有するように
角度調整されたポジションを第三のポジションとする(図5(C)参照)。
トレイ搬送ユニット14bをトレイ搬送ユニット13の位置にY軸方向にスライドさせ
た状態で、トレイ搬送ユニット13がトレイ搬送ユニット14bとローラ直進性を有するようにトレイ搬送ユニット13を角度調整する。このポジションと第三のポジションとして、制御手段に記憶させておく。
本発明に係る搬送装置を用いた基板の搬送方法について説明する。
カセットユニット8に水平状態に保持されている基板10は、ロボット7により1枚ずつ取り出され、移載ユニット6の基板ステージ11aと11aに載置される。基板ステージ11a、11bに載置された基板10は、基板ステージ11から移載機構6aにより、基板を水平状態から垂直状態に起こしてトレイ12に移載される。基板10が、ステージ11a,11bからトレイ12に移載される前に、トレイ搬送ユニット13は第一のポジションに角度調整されている。
基板10を保持したトレイ12は、トレイ搬送ユニット13から、スライドユニットに設けられたトレイ搬送ユニット14aへ、ラック/ピニオン機構により移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット13は、第二のポジションに制御手段により角度調整されるとともに、トレイ搬送ユニット14aは、トレイ搬送ユニット13の位置にY軸方向にスライドする。
ロードロック室3の排気が完了した後、搬送室2と処理室1との間に設けたスリットバルブ9bが開き、基板10を保持したトレイ12が、トレイ搬送ユニット15からトレイ搬送ユニット17aへ移送される。移送開始前に、トレイ搬送ユニット17aは、トレイ搬送ユニット15とローラ直進性を有する位置にくるようにY軸方向にスライドする。
搬送室2に搬送されたトレイ12は、トレイ搬送ユニット17aから処理室1のトレイ搬送ユニット18へ移送される。
すなわち、まず、処理済み基板1を保持したトレイ12が、トレイ搬送ユニット18からトレイ搬送ユニット17bへ搬送される。
ロードロック室4内が大気圧になった後、ドアバルブ9aが開放される。
トレイ搬送ユニット14bのスライド機構により、トレイ搬送ユニット16とトレイ搬送ユニット14bの搬送ラインがそろえられ、処理済基板を保持したトレイ12がトレイ搬送ユニット14bへと搬送される。
トレイ搬送ユニット13の搬送ラインに、トレイ搬送ユニット14bのスライド機構により揃えられ、トレイ12がトレイ搬送ユニット13へと搬送される。搬送される前に、トレイ搬送ユニットは第三のポジションに制御手段により角度調整される。
なお、上記例では、一つのトレイに着眼して記載してきたが、真空搬送装置内には複数のトレイが次々に送り出され、かつ回収されている。
(移載部トレイ搬送ユニット)
(第1の態様)
さらにベースプレート26には、トレイ12を保持拘束するためのローラ23が配備されている。
ローラ23、レール24の取り合いは、逆になっていても構わない。
ベースプレート26には、中心軸28を保持するベアリングホルダが配設されている。ベアリングホルダ31は外周部にギア33が固定されている。
これにより、回転ベースプレート21は、トレイ搬送機構13を回転軸28を中心に、図2の矢印の方法、あるいは逆の方向に回動することができる。
(第2の態様)
図6は、本態様に係るトレイ搬送ユニット13にトレイ2が載っている状態を示す模式図である。図7は、回転ベースプレート21上に駆動部が設けられた状態を示す模式図である。
本態様は、第1の態様において、駆動部をトレイ搬送ユニットの端部に設けた例である。
回転ベースプレート21の端部には、固定部材44により、ギアを具備するボールネジ43が固定されている。ベースプレート26には、ギア42を回転させる駆動源(モータ)が固定されている。ギア42を回転させることにより、ボールネジ43のギアが回転し、回転ベースプレートを回転させる。
本態様のトレイ搬送ユニットにより、動力源の小型化、コスト低減を図ることができる。駆動部を回転中心部から離れた位置に設けたことにより、より小さな動力で動かすことができるためである。また、トレイ搬送ユニットの最外端の点の円弧がより直線に近づくことになり直線駆動機構を用いることができるためである。
大型基板の搬送装置では、より効果が得られる。
本態様は、第2の態様において、直線駆動機構をシリンダ駆動に置き換えた例である。
LMガイド54上には、スライドプレート55がLMガイド54によりスライド可能に設けられており、第二のシリンダ53の伸縮によりスライドプレート55を直動動作させることができる
スライドプレート55上には、第一のストッパピン56と第二のストッパピン57と、第1のシリンダ52が固定されている。第一のシリンダ52の先端には、メインストッパブロック59が接続されており、第一のシリンダ52の伸縮によりメインストッパブロックを直動動作させることができる。
次に、図10、11、12を用いて、移載ユニット6のトレイ搬送ユニット13のポジションの変更方法について説明する。
図11は、図10において第二のポジションの状態を示す模式図であり、図12は、図10において第三のポジションの状態を示す模式図である。
第一のシリンダ52を伸ばし、第二のシリンダ53を縮めるよう制御する。第一のシリンダ52により動かされたメインストッパブロック59は第二のストッパピン57により、位置の拘束を受けるよう構成されている。また、第二のシリンダ53により動かされたスライドプレート55は第二のシリンダ53のストロークエンドにて位置の拘束を受けるよう構成されている。そのため、位置の固定が可能になる。
上記位置から、第二のポジションにトレイ搬送ユニット13を動作させる場合には、第一のシリンダ52を伸びの状態から縮の状態にする。その結果、CW(時計回り)側へトレイ搬送ユニット13が中心軸28を中心に回動し、第二のポジションに位置を変えることができる。
この際の第一のシリンダ52により、一点点線の位置から矢印の方向に動かされたメインストッパブロック59は第一のストッパピン57により、位置の拘束を受けるよう構成されているため、位置の固定が可能になる。
本態様では、第2の態様のトレイ搬送ユニットにおいて、前記記載の場合における3つのポジションを直動運動で動作可能であるため、更なるコスト削減が可能となる。
2 搬送室
3 ロードロック室
4 ロードロック室
5 スライドユニット
6 移載ユニット
7 ローダロボット
8 カセットユニット
9 ゲートバルブ
10 基板
11 基板ステージ
12 トレイ
13 移載ユニットのトレイ搬送ユニット
14 スライドユニットの第二のトレイ搬送ユニット
15 ロードロック室のトレイ搬送ユニット
16 搬送室のトレイ搬送ユニット
17 処理室のトレイ搬送ユニット
21 ベースプレート
22 ピニオン
23 ローラ
24 レール
25 ラック
26 回転ベースプレート
27 トレイ搬送用駆動源
28 中心軸
29 回転動力源
30 ガイド
31 ベアリングホルダ
32 ベアリング
33 ギア
34 回転軸
35 ギア
41 駆動源
42 ギア
43 ボールネジ
52 第一のシリンダ
53 第二のシリンダ
54 MLガイド
55 スライドプレート
56 第一のストッパピン
57 第二のストッパピン
58 第三のストッパピン
59 メインストッパブロック
Claims (1)
- 基板を保持したトレイが移送されることにより基板を搬送する基板搬送装置において、
前記トレイに基板を移載する基板移載部と、前記基板移載部からロードロック室へトレイを搬送する搬送部と、前記基板移載部に配設した第一のトレイ搬送ユニットと、前記搬送部に配設した第二のトレイ搬送ユニットおよび第三のトレイ搬送ユニットと、前記基板搬送を制御する制御手段と、を有し、
前記第一のトレイ搬送ユニットは、予め前記制御手段に記憶された第一のポジションと、第二のポジションと、第三のポジションとのいずれかに、前記第一のトレイ搬送ユニットに設けた回動軸を中心に回動可能であり、
前記制御手段は、前記基板を前記トレイに移載する際には第一のトレイ搬送ユニットを前記第一のポジションに前記回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第二のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第二のポジションに回動させ、前記第一のトレイ搬送ユニットから前記第三のトレイ搬送ユニットにトレイを搬送する際には前記第一のトレイ搬送ユニットを前記第三のポジションに回動させることを特徴とする基板搬送装置。
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