JP2012114112A - ペースト塗布ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この装置は、フレームと、第1乃至第4リンク20、22、24、26を有する四節平行リンク機構と、第3リンクに固定された第1アーム40と、第4リンクに固定された第2アーム42と、第3リンクに取りつけられた第1ピン16と、第4リンクに取りつけられた第2ピン18とを有する。第1ピン16は、第1リンク20が、第1の方向への所定角度の枢動により、第1及び第2枢軸線X1、X2を結ぶ線上にある第1位置A1となり、反対の第2方向に同じ角度だけの枢動により、同線上にある第2位置A2となるようにされ、第2ピン18は第1方向の枢動で第2位置A2、第2方向の枢動で第1位置A1となるようにされている。
【選択図】図2
Description
フレーム13と、
該フレームに取りつけられる四節平行リンク機構であって、水平にされ相互に平行にされた第1及び第2リンク20、22、水平にされ相互に平行にされて該第1及び第2リンクに回転連接された第3及び第4リンク24、26を有し、該第1リンク20は、該第3及び第4リンク24、26との連接点間の中心に位置決めされた垂直な第1枢軸線X1の回りで枢動可能とされ、該第2リンク22は、該第3及び第4リンク24、26との連接点間の中心で、第1枢軸線X1から一定間隔離された垂直な第2枢軸線X2の回りで枢動可能とされ、該第3及び第4リンク24、26は該第1及び第2リンク20、22の枢動に伴って、相互に平行を保ちながら動くようにした四節平行リンク機構と、
該第3リンクに固定された第1アーム40と、
該第4リンクに固定された第2アーム42と、
該第3リンクに取りつけられた第1ピン16と、
該第4リンクに取りつけられた第2ピン18と、
を有し、
該第1ピン16は、第1リンク20が、第1及び第2枢軸線X1、X2を結ぶ線に直角に延びる位置から該第1枢軸線X1の回りで第1の方向に所定角度だけ枢動されることにより、該第1及び第2枢軸線X1、X2を結ぶ線上にある第1位置A1となり、第1リンク20が該第1方向と反対の第2方向に上記所定角度と同じ角度だけ枢動されることにより、該第1及び第2枢軸線X1、X2を結ぶ線上にある第2位置A2となることが可能なような位置で第1アーム40に固定され、
該第2ピン18は、第1リンク20が、第1及び第2枢軸線X1、X2を結ぶ線に直角に延びる位置から該第1枢軸線X1の回りで該第1の方向に所定角度だけ枢動されることにより、該第2位置A2となり、第1リンク20が、該第2方向に上記所定角度と同じ角度だけ枢動されることにより、該第1位置A1となることが可能なような位置で第4アーム42に固定されている
ことを特徴とするペースト塗布装置を提供する。
該第1リンク20が、第4リンク26に固定されて垂直に延びる第2シャフト34によって該第4リンク26と回転連接され、
該第1アーム40が該第1シャフト32に固定されており、
該第2アーム42が該第2シャフト34に固定されるようにすることができる。
該第4リンク26が、第4リンク26に固定されて垂直に延びる第4シャフト38によって該第2リンク22と回転連接され、第2リンク22に対して上下方向で摺動可能とされ、
該第1及び第2シャフト32、34が、第1リンク20に対して上下方向で摺動可能とされ、且つ、相互に独立して上下動可能とすることができる。
該第1延長部44に第1垂直軸線の回りで枢動可能に回転連接された第5リンク51と、
該第5リンク51に取りつけられて垂直に延びる第1上下動シャフト54であって、該第1上下動シャフト54の軸線が、該第1シャフト32の軸線と該第1枢軸線X1との間の軸間距離と同じ軸間距離だけ、該第1垂直軸線から離れた位置とされ、該第1垂直軸線と該第1上下動シャフト54の軸線とを結ぶ線が、該第1シャフト32の軸線と該第1枢軸線X1とを結ぶ線に平行になるようにされている第1上下動シャフト54と、
を有し、
該第1上下動シャフト54を上下動することにより、該第5リンク51、該第3リンク24及び第1シャフト32を介して第1アーム40を上下動することができるようにすることができる。
該第2延長部46に第2垂直軸線の回りで枢動可能に回転連接された第6リンク52と、
該第6リンク52に取りつけられて垂直に延びる第2上下動シャフト56であって、該第2上下動シャフト56の軸線が、該第2シャフト34の軸線と該第1枢軸線X1との間の距離と同じ距離だけ、該第2垂直軸線から離れた位置とされ、該第2垂直軸線と第2上下動シャフト56の軸線を結ぶ線が、該第2シャフト34の軸線と該第1枢軸線X1とを結ぶ線に平行になるようにされている第2上下動シャフト56と
を有し、
該第2上下動シャフト56を上下動することにより、該第6リンク52、該第4リンク26及び第2シャフト34を介して第2アーム42を上下動することができるようにすることができる。
Claims (6)
- フレーム(13)と、
該フレームに取りつけられる四節平行リンク機構であって、水平にされ相互に平行にされた第1及び第2リンク(20、22)、水平にされ相互に平行にされて該第1及び第2リンクに回転連接された第3及び第4リンク(24、26)を有し、該第1リンク(20)は、該第3及び第4リンク(24、26)との連接点間の中心に位置決めされた垂直な第1枢軸線(X1)の回りで枢動可能とされ、該第2リンク(22)は、該第3及び第4リンク(24、26)との連接点間の中心で、第1枢軸線(X1)から一定間隔離された垂直な第2枢軸線(X2)の回りで枢動可能とされ、該第3及び第4リンク(24、26)は該第1及び第2リンク(20、22)の枢動に伴って、相互に平行を保ちながら動くようにした四節平行リンク機構と、
該第3リンクに固定された第1アーム(40)と、
該第4リンクに固定された第2アーム(42)と、
該第3リンクに取りつけられた第1ピン(16)と、
該第4リンクに取りつけられた第2ピン(18)と、
を有し、
該第1ピン(16)は、第1リンク(20)が、第1及び第2枢軸線(X1、X2)を結ぶ線に直角に延びる位置から該第1枢軸線(X1)の回りで第1の方向に所定角度だけ枢動されることにより、該第1及び第2枢軸線(X1、X2)を結ぶ線上にある第1位置(A1)となり、第1リンク(20)が該第1方向と反対の第2方向に上記所定角度と同じ角度だけ枢動されることにより、該第1及び第2枢軸線(X1、X2)を結ぶ線上にある第2位置(A2)となることが可能なような位置で第1アーム(40)に固定され、
該第2ピン(18)は、第1リンク(20)が、第1及び第2枢軸線(X1、X2)を結ぶ線に直角に延びる位置から該第1枢軸線(X1)の回りで該第1の方向に所定角度だけ枢動されることにより、該第2位置(A2)となり、第1リンク(20)が、該第2方向に上記所定角度と同じ角度だけ枢動されることにより、該第1位置(A1)となることが可能なような位置で第4アーム(42)に固定されている
ことを特徴とするペースト塗布装置。 - 該第1リンク(20)が、第3リンク(24)に固定されて垂直に延びる第1シャフト(32)によって該第3リンク(24)と回転連接され、
該第1リンク(20)が、第4リンク(26)に固定されて垂直に延びる第2シャフト(34)によって該第4リンク(26)と回転連接され、
該第1アーム(40)が該第1シャフト(32)に固定されており、
該第2アーム(42)が該第2シャフト(34)に固定されている
ことを特徴とする請求項1に記載のペースト塗布装置。 - 該第3リンク(24)が、第3リンク(24)に固定されて垂直に延びる第3シャフト(36)によって該第2リンク(22)と回転連接され、第2リンク(22)に対して上下方向で摺動可能とされ、
該第4リンク(26)が、第4リンク26に固定されて垂直に延びる第4シャフト(38)によって該第2リンク(22)と回転連接され、第2リンク(22)に対して上下方向で摺動可能とされ、
該第1及び第2シャフト(32、34)が、第1リンク(20)に対して上下方向で摺動可能とされ、且つ、相互に独立して上下動可能とされていることを特徴とする請求項2に記載のペースト塗布装置。 - 第3リンク(24)に固定され水平に延びる第1延長部(44)と、
該第1延長部(44)に第1垂直軸線の回りで枢動可能に回転連接された第5リンク(51)と、
該第5リンク(51)に取りつけられて垂直に延びる第1上下動シャフト(54)であって、該第1上下動シャフト(54)の軸線が、該第1シャフト(32)の軸線と該第1枢軸線(X1)との間の軸間距離と同じ軸間距離だけ、該第1垂直軸線から離れた位置とされ、該第1垂直軸線と該第1上下動シャフト(54)の軸線とを結ぶ線が、該第1シャフト(32)の軸線と該第1枢軸線(X1)とを結ぶ線に平行になるようにされている第1上下動シャフト(54)と、
を有し、
該第1上下動シャフト(54)を上下動することにより、該第5リンク(51)、該第3リンク(24)及び第1シャフト(32)を介して第1アーム(40)を上下動することができるようにした
ことを特徴とする請求項3に記載のペースト塗布装置。 - 第4リンク(26)に固定され水平に延びる第2延長部(46)と、
該第2延長部46に第2垂直軸線の回りで枢動可能に回転連接された第6リンク(52)と、
該第6リンク(52)に取りつけられて垂直に延びる第2上下動シャフト(56)であって、該第2上下動シャフト(56)の軸線が、該第2シャフト(34)の軸線と該第1枢軸線(X1)との間の軸間距離と同じ軸間距離だけ、該第2垂直軸線から離れた位置とされ、該第2垂直軸線と第2上下動シャフト(56)の軸線を結ぶ線が、該第2シャフト(34)の軸線と該第1枢軸線(X1)とを結ぶ線に平行になるようにされている第2上下動シャフト(56)と
を有し、
該第2上下動シャフト(56)を上下動することにより、該第6リンク(52)、該第4リンク(26)及び第2シャフト(34)を介して第2アーム(42)を上下動することができるようにした
ことを特徴とする請求項4に記載のペースト塗布装置。 - 該第1リンク(20)に取りつけられた駆動シャフト(28)を有し、該駆動シャフト(28)の軸線が該第1枢軸線(X1)と一致するようにされ、駆動シャフト(28)が該第1リンク(20)を該第1枢軸線(X1)の回りで駆動するようにした請求項1乃至5のいずれかに記載のペースト塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010259193A JP5535049B2 (ja) | 2010-11-19 | 2010-11-19 | ペースト塗布ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012114112A true JP2012114112A (ja) | 2012-06-14 |
JP5535049B2 JP5535049B2 (ja) | 2014-07-02 |
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JP2011119294A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-06-16 | Canon Machinery Inc | 塗布装置および塗布方法 |
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2010
- 2010-11-19 JP JP2010259193A patent/JP5535049B2/ja not_active Expired - Fee Related
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